JPS6362342A

JPS6362342A - 部品のハンドラ

Info

Publication number: JPS6362342A
Application number: JP61207147A
Authority: JP
Inventors: Hideo Hirokawa; 広川　英夫; Ichiro Kuwabara; 一郎桑原
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1986-09-03
Filing date: 1986-09-03
Publication date: 1988-03-18
Also published as: JPH057869B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野コこの発明は、部品の自動検査装置に組込まれて順次検査
対象の部品を測定部に供給し、検査終了後の部品を検査
結果に応じてυト出する部品のハンドラに関し、特に、
サイズの相違する部品を測定部に供給することができる
部品供給機構を有するＩＣハンドラに関する。

［従来の技術］第９図は、従来のＩＣハンドラの基本的な構成を示す概
要図である。

図中、Ａは、未検査のＩＣを収納して順次送り出すロー
ダ部であり、一般に、ＩＣマガジン１が積層されている
。このＩＣマガジンの１の内部には、連続的に、個々の
ＩＣが配列されている。

ＩＣマガジン１の中のＩＣは、予熱処理ＭＯＢに順次自
重にてガイドレールにより案内されて滑降しつつ所定の
検査条件に適合する温度に予備処理される。この場合の
予備処理としては、予熱と予冷等がある。

予熱処理部Ｂを通過したＩＣは、同様にガイドレールに
より案内されて測定部Ｃを順次垂直下方に自重降下しつ
つ、自動測定器（検査ヘッド、図示せず）によって検査
される。

そして、検査を終えたＩＣは、アンローダＩＤに自重滑
降することになるが、その途中で、検査結果に応じて分
類部Ｅによって分類されて振分られ、平行に設けられた
複数のレーンを自重滑降して、アンローダ部りにセット
されている複数列のマガジンｌａ、１ｂ＋　　ｌｃ、ｌ
ｅ、ｌｆｔ　　１ｇ＋１ｈのいずれか１つに収納される
。

［解決しようとする問題点コこのようにガイドレール上を自重により滑降し、降下し
て行く自然落下方式のものにあっては、加熱処理及び測
定処理等のためにＩＣ自体を押さえてその流れをｒ）−
めたり、落下方向に合わせてＩＣ自体の方向を転換する
ことが必要となるため、ＩＣビンの曲がりとかジャムが
発生し易いという欠点がある。

また、ガイドレールによるために複数のＩＣを並列に検
査する場合には、その数に対応するガイドレールを並設
しけなければならず、並列に流れるＩＣ相互の制御タイ
ミングが難しくなるとともに、装置が大型化する欠点が
ある。

さらに、ガイドレールのレール幅が固定式なので、平面
から見て幅（サイズ）の異なるＩＣを同時に検査するこ
とは難しく、ＩＣのサイズが変化する場合には、ガイド
レールをＩＣのサイズに合ったものに交換するか、それ
１，９．用のレーンを設ける必要がある。

このような欠点を解消する方式として、ガイドレールを
使用しないで搬送する強制搬送方式が考えられるが、こ
の場合、ローダ部から強制搬送機構に部品を載置するた
めにローダ部側にピンクアップアーム等の部品取出し機
構を設けることが必要となる。

［解決しようとする問題点］ローダ、アンローダ機構にあっては、ピックアップアー
ム等を用意することにより強制搬送機構による部品供給
は実現できるが、強制搬送機構により測定部まで部品を
搬送するようにした場合に、強制搬送機構から測定部に
部品を供給することが問題となる。測定部に部品を供給
するために部品供給機構として部品チャックとかピック
アップアーム等を用いると上部のスペースが多く必要と
なる。一般に部品搬送機構は、テストヘッドの下側に配
置されることになり、テストヘッド側の位置が固定され
ている関係から」一部のスペースが大きく採れない。そ
のため部品供給機構を大きくすることには制限があって
、部品チャック、ピックアップアーム等を用いることが
難しい。

また、同一の田９品ハンドラにおいて、サイズ（幅）の
相違する部品それぞれを測定部に供給するような場合に
あっては、チャック機構、ピックアップ機構等を検査す
る部品のサイズに応じて交換することが必要となり、作
業性が悪いという問題も生じる。

［発明の目的］従って、本発明の目的は、このような従来技術の問題点
を解決するものであって、簡単な機構でサイズの相違す
る部品を搬送機構部から測定部に供給する部品供給機構
を有する部品のハンドラを提供することにある。

［問題点を解決するための手段コこのような目的を達成するためのこの発明の部品のハン
ドラは、複数の部品を収納したローダ部と、部品の測定
部と、ローダ部から供給された部品を測定部まで搬送す
る搬送機構部とを備えていて、搬送機構部は無端巻掛は
伝動機構を有し、間欠送り動作をするものであり、測定
部は部品端子と接触するコンタクトを有し、このコンタ
クトは電気的な接続面が搬送機構部に対峙して配置され
、搬送機構部は、その搬送路を挟んでコンタクトと反対
側に部品押出機構を有し、搬送機構部の搬送の停止状態
において部品押出機構によりコンタクトの位置に対応す
る搬送路上の部品を搬送機構部から測定部に押出してコ
ンタクトに部品を挿着又は押付けて電気的に接触させ、
測定部において測定済みの部品が部品押出機構を介して
測定部から搬送機構部に戻されるというものである。

［作用］このように搬送機構の搬送路を挟んで測定部のコンタク
トと部品押出機構とを設けているので、搬送機構から直
接測定対象となる部品をコンタクト側に押付けて測定部
に供給することができ、しかも測定後の部品を同一の搬
送機構に戻すことができる。

その結果、スペースを採ることなく、簡単な機構で測定
部への部品供給ができ、同一の搬送機構により測定後の
部品を搬送することができる。したがって、ガイドレー
ル等を用いる必要がなく。

装置が大型化せず、搬送制御も単純なものとなる。

特に、部品押出機構として、部品のサイズに対応した複
数の部品押上部材のそれぞれに従節を設けて、反対方向
に傾斜した直動カムを用い、これらをシフトするように
すれば、簡単な押出機構で異なるサイズの部品を測定部
に供給することができる。

［実施例コ以下、この発明の一実施例について図面を用いて詳細に
説明する。

第１図（ａ）は、ＩＣを把持してバケット搬送機構から
測定部に供給するＩＣ押−Ｌ機構の押さえピンを中心と
する説明図、第１図（ｂ）は、その押上ピンの説明図、
第１図（Ｃ）は、サイズの相違する部品を把持して測定
部に供給するＩＣ押上機構における直動カム移動機構の
説明図、第１図（ｄ）は、そのシフト機構の説明図、第
２図は、この発明を適用した一実施例のＩＣハンドラの
上部取外し平面図、第３図はその側面断面図、第４図（
ａ）及び（ｂ）はそのＩＣ収納ラックの説明図、第５図
（ａ）及び（ｂ）はそのローダ部の説明図、第６図は、
ローダ部からバケット搬送部へＩＣを供給するハンドリ
ング操作の説明図、第７図（ａ）及び（ｂ）は、この発
明を適用した一実施例のＩＣハンドラのバケット搬送機
構の側面断面図及び正面断面図、第８図（ａ）、（ｂ）
及び（Ｃ）はバケットの説明図、第９図はそのチェーン
の説明図である。

なお、これら各図において同一・のちのは同一・の符号
で示す。

第２図〜第３図において、ＩＯは、ＩＣハンドラであり
、２はそのＩＣローダ部、３はＩＣロー構部からＩＣの
供給を受け、ＩＣを収納して搬送するバケット搬送機構
部、４はバケット搬送機構部３の搬送路を包み込む恒温
槽、５は、バケット搬送機構部３から部品の供給を受け
て、その部品を検査する測定部、６は、検査後のＩＣを
バケット搬送機構部３から受けてほぼ水平搬送し、検査
結果に対応して収納部７のラックに収納する分類部、８
はローダ部２及び収納部７に装着され、検査部品（ここ
ではＩＣ）を収納するラック、そして５ａは、測定部５
に設けられ、ＩＣの電気的特性等を測定するテストヘッ
ドである。

ここで、ローダ部２は、第２図及び第５図（ａ）に見る
ようにラック載置テーブル２１と、リニアフィーダ２２
、ピックアップアーム２３（第６図参照）、ラック載置
テーブル２１の下に設けられ、ラック載置テーブル２１
を上下移動させるエレベータ機構２４とを備えたＩＣロ
ード機構２０が複数並設（図では３個）されていて、各
ＩＣロード機構２０のそれぞれのラック載置テーブル２
１にはラック８がそれぞれ装着されている。

ラック８は、第４図（ａ）、（ｂ）に見るように、上下
方向に複数段積み上げられた複数のＩＣ収納溝８１，８
１．　　・・・が連続的に形成されていて、音溝８１に
個々のＩＣ（ここではその例としてＰＧＡタイプのＩＣ
，ハイブリットＩＣ）９をそのピンが−１−側となるよ
うにして溝方向及びトド方向に連続的に配列した形態で
収納している。

そして、第５図（ｂ）の断面図に見る押出し爪８２が爪
送り機構８３により溝８１に沿って部品−個の幅相当分
だけのピッチで水平方向に移動する。この爪８２が移動
する溝８１は、リニアフィーダ２２のレール２２ａの送
り面に一致する位置に位置付けられている。なお、押出
し爪８２の１ピツチ分の移動制御は、制御部（図示せず
）からの制御信号によりその送出の都度行われる。また
、爪送り機構８３は、第５図（ｂ）に見るように、クラ
ンク状の押出し爪８２を挟持してい′ζ、第５図（ａ）
に見るよに、ベルト８５を介してプーリ８６により駆動
され、水平軸８４−Ｌをスライドして水平移動する。

そこで、バケット搬送部３側に供給されるＩＣ９は、押
出し爪８２の１ピツチ分の移動に従って先端側の１つが
、リニアフィーダ２２のレール２２ａ−１−に押出され
、このリニアフィーダ２２により、その先端のピックア
ップ位置Ｐまで移送される。このことにより送出された
ＩＣ９が先端の部品ピックアンプ待機位置にセットされ
る。

ここで、ラック８は、ラック載置テーブル２１に着脱可
能に装着され、ラック載置テーブル２１がエレベータ機
構２４により上下移動されることによりラック８が上下
移動して、順次下側の溝８１からその底面がリニアフィ
ーダ２２のレール２２ａの送り面に一致する位置に次々
に位置決めされる。なお、２５．２５は、ラック８の両
端を縦に貫通している部品抜は落ち防止のピンであって
、吊り下げ固定（固定手段は図示せず）されていて、そ
の先端側がリニアフィーダ２２のレール２２ａの而に一
致する位置に位置付けられた溝８１を塞がない長さとな
っている。

ＩＣロード機構２０は、このようなラック８及びそのエ
レベータ機構２４、爪送り機構８３、そしてラック装着
状態検出／位置決めガイド機構２６等からなり、ここで
はローダ部２に３個並設されている。初期状態では、Ｉ
Ｃロード機構２０のラック８は、−層下の溝８１の底面
がレール２２ａの上面に一致していて、この溝８１から
ＩＣが送出されて、その溝８１が空になると、溝８１の
積み上げピッチ（１ピツチ）分だけ下げられる。

すなわち、あるラック８の溝８１のＩＣが空になった時
点で、ラック８は、エレベータ機構２４により下へと移
動してその上にある溝８１の底面がレール２２ａの上面
の位置に位置付けられる。

さて、ラック８から送出されてリニアフィーダ２２のレ
ール２２ａの先端で待機しているＩＣ９は、第７図（ａ
）及び第６図に見るようにピンクアップアーム２３の爪
２３１が開かれた状態で降下し、閉じられることにより
把持され、バケット搬送機構部３のバケット３１の各収
納位置までレール２２ａ−ヒを移動して順次運ばれる。

そして爪２３１が開かれてＩＣ９がそれぞれの収納開ｌ
−１部３２にセットされる。ここで収納部１１部３２は
、１つのバケット３１に４つ設けられていて、第７図（
ａ）に示すようにバケット３１の端から順次４個のＩＣ
９が収納開口部３２に収納されて行く。

したがって、ピックアップアーム２３のハンドリング時
間に合わせたタイミングでラック８から４個のＩＣ９が
一個一個間欠的に送出され、リニアフィーダ２２の先端
の待機位置Ｐに搬送されて、ピックアップアーム２３に
より順次リニアフィーダ２２から４個のＩＣ９が一個一
個取り上げられてバケット３１に個々に搬送される。

なお、２３２は、ピックアップアーム２３の爪２３１を
閉じる方向に付勢するばねであり、２３３．２３３及び
２３４，２３４は、爪２３１を開く方向に回動させるカ
ム而及びローラ、そして２３５．２３５は、爪２３１の
２つの各爪片の回動支点である。

このようして１つのバケット３１にＩＣ４個がセントさ
れると、バケット３１が１つ前へと進み、次の空のバケ
ット３１がリニアフィーダ２２に対応するＩＣ供給位置
に位置付けられる。ここで、あるＩＣロード機構２０の
ラック８のＩＣがすべて空になると、制御部からの制御
信号に応じてエレベータ機構２４が上ゲ７制御されてラ
ック８がＬへと移動して元の初期状態に戻り、ピックア
ップアーム２３が次のＩＣロード機構２０の位置へと移
動してそのＩＣロード機構２０のラック８からＩＣが供
給され、空になったラック８は、取り外される。そして
ＩＣが一杯詰まった新しいラック８が、取り外されたＩ
Ｃロード機構２０に新たに装着される。

ところで、このバケット３１は、第７図（ａ）。

（ｂ）に見るように、複数個が所定間隔をおいて両端で
無端のチェーン３２ａ、３２ｂにより連結されている。

そして第３図に見るように、このチェーン３２ａ、３２
ｂがバケット搬送機横部３の両端に設けられたスプロケ
ット３３ａ、３３ｂに咬み合って送られることで順次搬
送される。すなわち、これらはチェーン伝動機構を構成
している。

したがって、バケット３１は、チェーン３２ａ。

３２ｂに架は渡されて支持され、前側のスプロケット３
３ａが間欠的にモータ３４によりタイミングベルト３５
を介して駆動され、各バケット３１が所定のピッチで間
欠送りされる。

ここで、バケット３１は、熱伝導性のよい金属等の部材
、例えばアルミニウム等で構成されていて、その形状は
、第８図（ａ）に見るように、四角棒状のものであって
、４つの収納開口部３２が所定間隔おきに設けられてい
て、その両端には、チェーン３２ａ、３２ｂにねじピン
を介して固定され、そのためのねじ孔３１１，３１１，
３１２゜３１２が両端側面に開けられている。このバケ
ット３１は、これらのねじ孔３１１，３１２において、
第９図に見るチェーン３２ａ　（３２ｂ）を構成する各
リンク３２１に固定されていて、ブラケ７　ト３２２を
介してねじピンにより搬送面に対して収納開口部３２が
市直に位置付けられるように固定される。

収納部［−１部３２は、第８図（ｂ）に見る同図（ａ）
のＩ−Ｉ断面図及び第８図（Ｃ）に見る同図前（ａ）の
■−■断面図に示されるように、二重に設けられた段付
きの（ぼみ３１０と、このくぼみ３１０の両側に部品ハ
ンドリングアームの爪２３１が挿入される十字溝３１５
とが設けられていて、１−字溝３１５はバケット３１を
垂直に貫通している。

そして、くぼみ３１０のうち−Ｅ段のくぼみ３１３と下
段のくぼみ３１４とは異なる大きさの部品の平面形状に
対応する開口をもって形成されていて、それぞれの開口
が表面まで延びていてる。第７図（ｂ）に見るように、
これら開口が上に向くようにチェーン３２ａ、３２ｂに
取付られる。そして上側のくぼみ３１３及び下側のくぼ
み３１４のいずれか一方に異なる種類のＩＣを収納する
。

具体的には、この実施例では、下段のくぼみ３１４がＳ
ＯＪタイプのＩＣを収納するのに対応する大きさとなっ
ていて、［−段のくぼみ３１３がＰＧＡタイプのＩＣ，
特にハイブリットＩＣを収納する大きさの収納部となっ
ている。

なお、これらくぼみ３１３，３１４を貫通している十字
溝３１５は、これらくぼみ３１３，３１４の中心にその
クロス点の中心がほぼ一致するように設けられ、後述す
る押さえピン３７がこのバケットにｋＪ通ずるｌ・字溝
３１５の下から進入して測定対象のＩＣ９を押さえて持
ち上げ、」−へと抜ける。そのための押さえピン通過孔
となる。

さて、第２図、第３図に見るようにバケット搬送機構部
３は、チェーン３２ａ、３２ｂも含めてバケットが恒温
槽４の中に収納され、恒温槽４の底部に設けられたヒー
タ４１により加熱される。

したがって、バケット３１に収納されたＩＣ９は、この
送り過程で所定の温度まで加熱される。

そして、第７図（ｂ）に見るように、測定部５の下まで
送られ、測定部５にバケット３１が位置したときに、間
欠送りの停止した状態に一致してスプロケッ）３３ａの
駆動の停止状態において、この停止ト期間中の初期に測
定部５に対応するバケット３１の一ド側に配置された、
直動カムによるビン押上機構（固定フレーム３８に固定
されていて第７図（ｂ）では隠れて見えない、第１図（
ａ）〜（ｄ）　ｔ−照）によりチャック付き押さえピン
３７（点線で示す）が上へ駆動されて、各収納開口部３
２を貫通して測定部５側へとＩＣ９を把持して押」−げ
押付ける。なお、ＩＣ押上機構は、これらピン押上機構
及び押さえピン３７とにより構成されていて、このＩＣ
押上機構がそれぞれ各収納開口部３２の下側に位置して
４つ並設され、押さえピン３７の先端のチャック部分は
ピックアップアームの爪２３と同様な形状をしている。

ここで、測定部５には、その天井側から下側に向けて固
定されたコンタクトユニット５１（又はソケット５１）
が各収納開口部３２の位置に対応するように設けられて
いて、第７図（ｂ）の点線で示すように前記押さえピン
３７により押上られたＩＣ９がこのコンタクトユニット
のコンタクトに接触して電気的に接続される。そしてコ
ンタクトユニット５１に結合されたテストヘッド５ａに
より押上られ接触したＩＣ９の測定処理がなされる。

第１図（ａ）〜（ｄ）は、ＩＣ押上機構の押さえピン３
７及びピン押上機構の説明図であって、特に、サイズ（
甲面から見た幅）の相違するＩＣを測定部５に供給する
ため種類の相違するＩＣを押さえる押さえピン３７をそ
れぞれ有する２つの従動節機構及びこれを−１−上移動
する直動カム機構の説明図である。

第１図（ａ）に見るように、押さえピン３７は、チャッ
ク３７１と押上ピン３７２及びガイドピン３７３とを備
えていて、チャック３７１は、爪２３と同様な爪で構成
されている。３７１ａ、３７１ａは、それぞれチャック
３７１の爪片であり、支点ビン３７４，３７４を中心と
して回動する。

３７５は、爪片３７１ａ及び３７１ａを閉じる方向に付
勢するためのばねであり、伸張状態でこれらの間に架は
渡されている。

各爪片３７１ａには、支点ピン３７４を挟んでＩＣ把持
側と反対側にローラ３７６．３７Ｂが設けられていて、
これがカム板３７７のカム而３７７ａに係合し、通常は
、爪片３７１ａの先端が開いた１大態となっている。そ
してカム板３７７が−１−昇することにより、ローラ３
７６．３７Ｂが開口部カム面３７７ｂに落込み、支点ピ
ン３７４を中心としてばね３７５により爪片３７１ａが
相互に閉じる方向に回動して一点鎖線で示すようにＩＣ
９ａを把持する。なお、Ｉ　Ｃ９ａは、先に説明したＩ
Ｃ９より幅が小さいＩＣであって、バケット３１の段付
き溝のド段のくぼみ３１４に収納されているものである
。

ここで、カム板３７７が降下したときには、逆の動作と
なり、爪片３７１ａが相互に開く方向に回動して図示の
状態に戻る。

一方、ピン押上機構は、第１図（ｂ）に見る従動節機構
３６１とこの従動節機構３６１のころを従動節にして係
合する第１図（ｃ）、（ｄ）に見る直動カム機構３６０
とからなる。先の押さえピン３７は、この従動節機構３
６１の上品側に設けられていて、先のチャック３７１の
下側に配置されたカム板３７６は、こる３６２ａを有す
る従動節３６２により上下移動される。

３６３は、チャック３７１及び押上ピン３７２を持つ押
さえピン３７を押上げる押上プレートであって、その中
央ｆｆｉ＜には開口部３６３ａが開けられていて、開口
部３６３ａには軸３６３ｂが架は渡され、この軸３６３
ｂに嵌合してこれをガイドとして上下にスライドするス
リーブ３６３Ｃに従動節３６２が結合されている。従動
節３６２は、このスリーブ３６３ｃを介して開口部３６
３ａの範囲で上下移動可能に支承され、その下側に固定
されたこる３６２ａを介して直動カムに係合することに
より、直動カムの往復運動に応じて上下移動する。

一方、第７図（ｂ）に見る固定フレーム３８にはプレー
ト３８２が固定されていて、プレート３８２にブラケッ
ト３８０を介してガイド軸３８１が固定されている。押
」−プレート３６３は、ガイド軸３８１に嵌合するスリ
ーブ３６３ｂと一体的に形成されていて、ガイド軸３８
１をガイドとしてスライドするスリーブ３６３ｂを介し
て上下移動可能に支承され、押上プレート３６３の、ス
リーブ部３６３ｂとは反対側には、従動節３６４が固定
されていて、従動節３６４により押−ヒプレート３６３
が上下移動される。従動節３６４には、その下側にころ
３６４ａが設けられていて、ころ３６４ａを介して直動
カムに係合し、このことにより、直動カムの往復運動に
応じて押上プレート３６３が」ユ下移動する。

第１図（ｂ）に見る従動節機構３６１は、ここでは、第
１．第２の従動節機構３６１として２つ設けられていて
、それぞれＩＣのサイズに応じてそれを把持するサイズ
のチャック３７ｉ及び押上ピン３７２が設けられた押さ
えピン３７が固定されている。３６２ｂ及び３６４ｂと
してカッコで示す符号は、後述する直動カムに対する説
明の都合上、第２の従動節３６１のころを意味している
。

一方、直動カム機構３６０は、第１図（Ｃ）に見るよう
に、第１．第２の２つの従動節機構３６１．３６１を受
ける直動カム機構であって、矩形板の直動カム本体３６
８の上側には、例えば、バケット３１の収納開口部３２
の」二段のくぼみ３１３に収納された大きい幅を持つ第
１のサイズのＩＣ９を把持して測定部５のコンタクトユ
ニット５１に押−ｔｚげる直動カム板群３６５が固定さ
れている。また、１［ｆ動カム本体３６８の下側には、
例えば、バケット３１の収納開口部３２の下段のくぼみ
３１４に収納された、第１のサイズより小さい幅を持つ
第２のサイズのＩＣ９ａを把持して測定部５のコンタク
トユニット５１に押上げる直動カム板群３６６が固定さ
れている。そして矩形板の直動カム本体３６８は、固定
フレーム３８に固定された２本のガイド軸３６７上をほ
ぼカム面の幅対応に往復移動する。

直動カム板群３６５と直動カム板群３６６は、それぞれ
所定ｌ　Ｌ下２段にずれて設けられた２枚の板カム３８
５ａ、３８５ｂ及び３Ｅ３８ａ、３８６ｂを有していて
、」〕段のカム板３６５ａ及び３６６ａは、それぞれ第
１．第２のチャック３７１を作動してバケット３１のＩ
Ｃ９又はＩＣ９ａを把持する動作をさせるためのカムで
あり、下段のカム板３６５ｂ及び３６６ｂは、チャック
３７１とともに押上ピン３７２を一ヒ昇させてバケット
３１のＩＣ９又はＩＣ９ａをコンタクトユニット５１に
押上げ、押付けるためのカムである。　　　−ここに、
板カム３８５ａ、３６５ｂ及び３６６ａ、３６６ｂは、
それぞれ相互に反対方向に傾斜したカム面３６５ｃ、３
６５ｄ及び３８６ｃ、３Ｂｅｄを有していて、第１の従
動節機構３６１のころ３Ｂ２ａ、３６４ａ及び第２の従
動節機構３６１のころ３Ｂ２ｂ、３Ｂ４ｂは、それぞれ
初期状態では、カム面３６５ｃ、３６５ｄ及び３６６ｃ
、３６８ｄの低い側に位置している。そしてこれらは、
直動カム本体３６８の両側に配置されるように、所定圧
ＳＳれて設けられている。

ここで、上側り段の板カム３６５ａは、大きいサイズの
ＩＣ９（第１のサイズとして）を把持する第１のチャッ
ク３７１のころ３６２ａに係合し、これを上下移動させ
る。ド側り段の板カム３６６ａは、小さいサイズのＩＣ
９ａ（第２のサイズとして）を把持する第ゑのチャック
３７１のころ３６２ｂに係合し、これをトド移動させ、
上側ド段の板カム３６５ｂは、大きいサイズのＩＣ９の
押上げに対応する第１の従動節３６４のころ３６４ａに
係合し、これを上下移動させ、下側下段の板カム３６６
ｂは、小さいサイズのＩＣ９ａの押」ユげに対応する第
２の従動節３６４のころ３６４ａに係合し、これを−１
−上移動させる。

ところで、コンタクトユニット５１は、ガイド軸３θ７
の中央位置のこる３６２ａの上部に位置していて、第１
図（Ｃ）に見る状態にあっては、中央部のころ３６２ａ
を有する第１の従動節機構３６１がコンタクトユニット
５１の下側に位置している状態にある。そして直動カム
本体３６８が図の位置を右端として往復移動することに
より、」二側上下段の板カム３６５ａと板カム３６５ｂ
とに係合するころ３６２ａと３６４ａとが直動カム本体
３６８の往復移動に従って上下移動し、直動カム本体３
６８が図の位置から左側へと移動するときに、ころ３６
２ａと３６４ａとが共に直動カム本体３６８の左移動に
従って」ニへ移動する。

このときのころ３６２ａ及び３６４ａの上への移動に従
って第１の従動節機構３６１が上へと移動してそれに伴
って第１図（ｂ）に見る押さえピン３７が一■−昇する
。そして板カム３６５ａ及び仮カム３６５ｂの中央の・
Ｙ用品の位置でチャック３７１がバケット３１の収納開
口部３２に収納された大きいサイズのＩＣ９に位置に位
置付けられる。

さらに直動カム本体３６８が右へ移動すると、第１図（
ａ）の点線で示すチャックに見るように、Ｌ段の板カム
３６５ａの傾斜面にこる３６２ａが押上られることによ
り従動節３６２のみが上昇して板カム３７７を押上げて
チャック３７１を閉じる方向に作用させ、収納開口部３
２内のＩＣ９を把持する。そしてさらに、直動カム本体
３６８が右へ移動することにより、従動節機構３６１全
体がさらに上昇してその押さえピン３７によりＩＣ９を
測定部５のコンタクトユニット５１に電気的に接触させ
るものである。この接触時点の後に、テストへラド５ａ
が接触状態にあるＩＣ９の測定を開始する。

しかし、このとき、ころ３６２ｂ及び３６４ｂが板カム
３６６ａと板カム３６６ｂの左端に位置しているので、
直動カム本体３６８の往復移動に対して下但鴫の板カム
３６６ａと板カム３６６ｂとは、その傾斜面がころ３６
２ｂ及び３６４ｂから外れる方向にある。そのためころ
３６２ｂ及び３６４ｂに対しては何等上下移動の作用は
なく、その動作は停市状態となったままである。

ＩＣ９が測定部５から戻されるときには、直動カム本体
３６８が図面左から右へ前記と逆方向へと移動し、第１
の従動節機構３Ｅ３１は逆の動作をしてバケット３１の
収納開口部３２にＩＣ９を戻して、バケット３１の下側
の初期位置に戻る。

以上が大きいサイズのＩＣ９についての押−Ｅ動作であ
るが、小さいサイズのＩＣ９ａについては、直動カム本
体３６８及び従動節機構３６１をシフトするシフト機構
３６９により直動カム本体３６８及び従動節機構３６１
が第１図（Ｃ）の−点鎖線の位置までシフトされた状態
となる。この状態を基準として直動カム本体３６８が、
ここで往復移動することによりサイズの小さいＩＣ９ａ
の測定部５への供給動作がなされる。

すなわち、−点鎖線の位置に移動した状態にあっては、
今度は、コンタクトユニット５１の下側に対応する中央
部に第２の従動節機構３６１が位置する状態となる。そ
して直動カム本体３６８が図の一点鎖線で示す位置を左
端として往復移動する。その結果、ド側上Ｆ段の板カム
３６６ａと板カム３６６ｂとに係合するころ３６２ｂと
３６４ｂとがガイド軸６３７の中央に位置して直動カム
本体３６８の往復移動に従って上下移動する。

したがって、前記と同様に、今度は直動カム本体３６８
が図の位置から右側へと移動すると、ころ３６２ｂと３
６４ｂとが共に直動カム本体３６８の右移動に従って」
二へ移動することになる。これ以降の移動は、前記ＩＣ
９の測定部５への供給動作と同様であるので割愛する。

なお、このとき、ころ３６２ａ及び３６４ａが板カム３
６５ａと板カム３６５ｂの左端に位置しているので、直
動カム本体３６８の往復移動に対して１−側の板カム３
６５ａと板カム３６５ｂとは、その傾斜面がころ３６２
ａ及び３６４ａから外れる方向にある。そのためころ３
６２ａ及び３６４ａに対しては何等−Ｌ下移動の作用は
なく、その動作は停止状態となったままである。

このようにして、サイズの小さいＩＣに対する第２の従
動節機構３６１のヒ下移動を行うことができ、第２の従
動節機構３６１とサイズの大きいＩＣに対する従動節機
構３６１とを切換で使用することができる。

ところで、この切換を行うシフト機構３６９は、第１図
（Ｃ）では、点線で示すように、直動カム本体３８６の
裏面側に配置されている。この裏面側から見た図が第１
図（ｄ）である。第１図（ｄ）に見るように、直動カム
本体３６８の裏面側にはレール溝３８３が設けられてい
て、このレール溝３８３にローラ３８４を係合させ、ロ
ーラ３８４がその先端に枢佇されたアーム３８５を時計
方向に半回転させることにより第１図（Ｃ）に見る一点
鎖線の位置へと直動力ｌ、本体３６８及び第１゜第２の
従動節機構３６１を一体的に扱い、同時にシフトさせる
ものである。なお、アーム３８５の回転は、アーム３８
５に軸結合したプーリ３８６をタイミングベルト３８７
で回動することによりなされ、反時計方向に半回転させ
ることで第１図（Ｃ）の実線で示す元の初期位置に直動
カム本体３６８及び第１．第２の従動節機構３６１を同
時に戻す。

このようにして、測定部５にサイズの大きなＩＣ９又は
サイズの小さなＩＣ９ａのいずれかが選択的に供給され
、測定部５により各ＩＣ９又はＩＣ９ａの測定が行われ
、測定が終了した時点でピン押上機構の直動カム機構３
８０の戻り移動により下降作動して押さえピン３７が降
下して、コンタクトユニット５１との接続が解かれる。

そして各ＩＣ９又はＩＣ９ａがバケット３１の元の収納
開［１部３２に戻される。なお、この時点では、押さえ
ピン３７の先端部のチャックは、バケット３１の底面よ
りｆ側に位置している。

その後、間欠送りの停止期間が終ｒして、次の送り状態
に入り、バケット３１がチェーン３２ａ。

３２ｂを介して次に送られる。そして次のバケット３１
が測定部５の下に位置してコンタクトユニット５１のコ
ンタクトに次のＩＣ９又はＩＣ９ａを押上げてその端子
を接触させて、同様な測定する。このようにしてＩＣの
測定部５に対する供給処理がなされる。

次に、測定の終了したＩＣ９又はＩＣ９ａは、再びバケ
ット３１に収納されて４つのＩＣがともに搬送され、前
側のスプロケット３３ａの近傍にある部品ピックアップ
位置に来たときに、第３図及び第７図（ｂ）に見るよう
に、分類部６のピックアップアーム６１によりそれぞれ
の４個のＩＣ９がバケット３１から取出されて、ベル）
８２ａ」二に搬送される。なお、ピックアップアーム６
１は、ピックアップアーム２３と同様な構成をしていて
、６１１は、その爪である。

ここで、前記分類部のピックアップ６１がバケット３１
の各収納開口部３２に４つの各ＩＣをセットする作業時
間及びここでのバケット３１の各収納開［１部３２から
４つの各ＩＣ９を取り出す作業時間は、前記測定部５の
ＩＣ／ＩＩＩＩ定時間より短い時間であり、ＩＣ９（以
下ＩＣ９ａはＩＣ９を以て代表する）の測定中であって
バケット３１の送りが停止ｌニジている間に行われる。

分類部６は、ピックアップアーム６１と、ベルト搬送機
構６２、分類数に対応する複数のＩＣ押出機構６３とか
らなり、第２図に見るように、ベルト搬送機構６２は、
搬送方向に対して直角となる横方向に横断する溝６２ｂ
の付いた溝付きのベルト６２ａを有している。そしてこ
のベルト６２ａの溝６２ｂにＩＣ９を収納し、ＩＣ９を
対応するラック８の位置において、分類に対応するＩＣ
押出機構６３を作動してその押込みピン６３ａを伸張さ
せることでベルトの溝８２ｂを案内としてラック８の溝
８１にＩＣ９を押込む。これによりＩＣ９が検査結果に
応じて分類される。この場合、この溝付きのベルｌ−６
２ａに代えて、バケット３１の収納開「１部３２の溝に
対応するような横断溝を持ったバケットを用いて搬送し
てもよい。この場合のバケットは、バケット３１と同様
にチェーンにより連結しても、また、ベルト上に直接固
定してもよい。

なお、先のエレベータ機構２４のエレベータ機構の上下
動の作動制御及びそのタイミング、ピックアップアーム
２３の爪２３１及びピックアップアームの爪の開閉作動
の制御及びそのタイミング、そして分類部のＩＣ押込み
機構の押込みピンの進退作動制御及びそのタイミング、
そしてピン押上機構３６の直動カム３８ａの往復作動制
御及びそのタイミングとは、それぞれマイクロプロセッ
サを内蔵した制御部からの電気信号により決定され、制
御されるものである。

ところで、リニアフィーダ２２のレール２２ａの溝は、
バケット３１の縦断面を示す第８図（Ｃ）と同様な段付
きの溝形状をしていて、その上段の溝がハイブリッ）Ｉ
Ｃ等の部品に対応した開口幅となっており、下段の溝が
ＳＧＯ形ＩＣ等の部品に対応した開口幅となっている。

したがって、ラック８をＩＣロード機横２０に差し換え
るだけで、バケット３１に異なる部品を供給することが
でき、異なる部品を検査することが可能である。なお、
この場合、測定部のコンタクトユニット５１は、これら
異なる部品が接続できるようなものとなっているか、コ
ンタクトユニット５１をその都度測定部品に合わせて差
し換える。

以上説明してきたが、爪におけるフックの形状は種々の
ものが考えられ、実施例に限定されるものではない。ま
た、その開閉機構も種々の構造のものを用いることがで
きる。

実施例では、ＩＣハンドラを中心に説明しているが、こ
の発明は、部品の取扱装置一般の部品搬送アームに適用
することができることはもちろんである。

［発明の効果］以上の説明から理解できるように、この発明にあっては
、搬送機構の搬送路を挟んで測定部のコンタクトと部品
押出機構とを設けているので、搬送機構から直接測定対
象となる部品をコンタクト側に押付けて測定部に供給す
ることができ、しかも測定後の部品を同一の搬送機構に
戻すことができる。

その結渠、スペースを採ることな（、簡単な機構で測定
部への部品供給ができ、同一の搬送機構により測定後の
部品を搬送することができる。したがって、ガイドレー
ル等を用いる必要がなく、装置が大型化せず、搬送制御
も単純なものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は、ＩＣを把持してバケット搬送機構から
測定部に供給するＩＣ押上機横の押さえピンを中心とす
る説明図、第１図（ｂ）は、その押上ピンの説明図、第
１図（Ｃ）は、サイズの相違する部品を把持して測定部
に供給するＩＣＣ１０機構における直動カム移動機構の
説明図、第１図（ｄ）は、そのシフト機構の説明図、第
２図は、この発明を適用した一実施例のＩＣハンドラの
Ｌ部数外し平面図、第３図はその側面断面図、第４図（
ａ）及び（ｂ）はそのＩＣ収納ラックの説明図、第５図
（ａ）及び（ｂ）はそのローダ部の説明図、第６図は、
ローダ部からバケット搬送部へＩＣを供給するハンドリ
ング操作の説明図、第７図（ａ）及び（ｂ）は、この発
明を適用した一実施例のＩＣハンドラのバケット搬送機
構の側面断面図及び正面断面図、第８図（ａ）、（ｂ）
及び（Ｃ）はバケットの説明図、第９図はそのチェーン
の説明図、第１０図は、従来のＩＣハンドラの外観図で
ある。１・・・ＩＣハンドラ、２・・・ＩＣロータ部、３・・
・バケット搬送機構部、４・・・恒温槽、５・・・測定
部、６・・・分類部、７・・・収納部、８・・・測定部、８・・・ラック、９
・・・ＩＣ，１０・・・ＩＣハンドラ、２０・・・ＩＣ
ロード機構、２１・・・ラック載置テーブル、２２・・・リニアフィーダ、２３・・・ピックアップア
ーム、２４・・・エレベータＷ＋Ｌ３１・・・バケット
、３２・・・収納開口部、８１・・・溝。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）複数の部品を収納したローダ部と、前記部品の測
定部と、前記ローダ部から供給された部品を前記測定部
まで搬送する搬送機構部とを備え、前記搬送機構部は無
端巻掛け伝動機構を有し、間欠送り動作をするものであ
り、前記測定部は部品端子と接触するコンタクトを有し
、このコンタクトは電気的な接続面が前記搬送機構部に
対峙して配置され、前記搬送機構部は、その搬送路を挟
んで前記コンタクトと反対側に部品押出機構を有し、前
記搬送機構部の搬送の停止状態において前記部品押出機
構により前記コンタクトの位置に対応する前記搬送路上
の部品を前記搬送機構部から前記測定部に押出して前記
コンタクトに部品を挿着又は押付けて電気的に接触させ
、前記測定部において測定済みの前記部品が前記部品押
出機構を介して前記測定部から前記搬送機構部に戻され
ることを特徴とする部品のハンドラ。
（２）搬送機構部は、両端に配置されたチェーン伝動機
構のチェーンに架橋固定され、連続的に結合された複数
のバケットを備え、部品押出機構は部品押上機構であり
、前記複数の各バケットは複数の収納部を有し、水平方
向に送られるものであり、前記複数の各収納部は異なる
形状の部品を収納する開口部を有し、前記開口部は前記
搬送機構部の送り方向の面に対し垂直方向に貫通してい
て、測定部は前記搬送機構部の上部に位置し、前記部品
押上機構は前記搬送機構部の前記測定部に対応する位置
のバケットの前記開口部の下側に位置していて前記測定
部に部品を押上げることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の部品のハンドラ。
（３）部品はＩＣであり、部品押上機構は、相互に反対
方向に傾斜した第１及び第２のカム面を有する直動カム
と、第１のカム面に係合し、第１の位置では第１のカム
面の傾斜面の低い側に位置している第１の従節を有しか
つコンタクトに対応する下側に位置する第１の押上部材
と、第２のカム面に係合し、第１の位置では第２のカム
面の傾斜面の低い側に位置している第２の従節を有しか
つ第１の押上部材から一定距離離れた位置に位置する第
２の押上部材と、前記直動カム、第１及び第２の押上部
材を一体的に前記一定距離だけ第２の押上部材に対し反
対方向に離れた第２の位置に移動させて第２の押上部材
をコンタクトに対応する下側の位置に位置付け、かつ前
記一定距離だけ戻り前記第１の位置に戻す押上部材移動
機構とを備え、前記直動カムが第１の位置にあるときは
第２の従節が第２のカム面から外れる方向において第１
の従節を上下移動させるように前記直動カムを往復移動
させ、前記直動カム、第１及び第２の押上部材が第２の
位置にあるときには第１の従節が第１のカム面から外れ
る方向において第２の従節を上下移動させるように前記
直動カムを往復移動させることを特徴とする特許請求の
範囲第２項記載の部品のハンドラ。