JPS6360092A - レ−ザ加工機 - Google Patents
レ−ザ加工機Info
- Publication number
- JPS6360092A JPS6360092A JP61203740A JP20374086A JPS6360092A JP S6360092 A JPS6360092 A JP S6360092A JP 61203740 A JP61203740 A JP 61203740A JP 20374086 A JP20374086 A JP 20374086A JP S6360092 A JPS6360092 A JP S6360092A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- laser
- beam diameter
- diameter correction
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 16
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000005021 gait Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、レーザ加工機、すなわち、溶接、切断又は
表面改質などに用いられるレーザ加工機に関するもので
ある。
表面改質などに用いられるレーザ加工機に関するもので
ある。
第３図は、例えば、特願昭１．０−７’Ｉｂ７’ＩＯ号
に示されている従来の不安定形共振器を用いたレーザ加
工機を示すものである。
に示されている従来の不安定形共振器を用いたレーザ加
工機を示すものである。
図において、符号【ハは発振器筐体、（コ）は電極、（
，７１は電極【λ）にはさまれている放電励起空間をは
さむように設置されている不安定形共振器で、（，３ａ
）は凹面鏡、Ｃ３ｂ）は凸面鏡、 （、ｉｃ）はビー
ム取出し鏡、（４ｔａ１．（ｌｌｂ）はレーザビームの
方向を変更するためのビーム方向切換用ミラー、（Ｓ）
は発振器筐体Ｃハに取り付けられているビーム取出し用
のウィンドウ、（６１けレーザビーム、（７）はウィン
ドウ＋５１より取り出されたレーザビーム（６）のビー
ム径を補正するだめのビーム径補正用レンズ、（ざ）は
集光レンズ、（９）は被加工物である。
，７１は電極【λ）にはさまれている放電励起空間をは
さむように設置されている不安定形共振器で、（，３ａ
）は凹面鏡、Ｃ３ｂ）は凸面鏡、 （、ｉｃ）はビー
ム取出し鏡、（４ｔａ１．（ｌｌｂ）はレーザビームの
方向を変更するためのビーム方向切換用ミラー、（Ｓ）
は発振器筐体Ｃハに取り付けられているビーム取出し用
のウィンドウ、（６１けレーザビーム、（７）はウィン
ドウ＋５１より取り出されたレーザビーム（６）のビー
ム径を補正するだめのビーム径補正用レンズ、（ざ）は
集光レンズ、（９）は被加工物である。
通常、不安定形共振器に限らず、すべてのレーザ発振器
から取り出されるレーザビームは発散角を持っており、
遠方へ行（程、レーザビームは外側へ拡がり、第３図の
点線で示したように、ビーム方向切換用ミラー（ｌｂ”
ｌの有効径よりも大きくなってし１つ。そのため、従来
は、ウィンドウ（５）とビーム方向切換用ミラーｒ ＆
ｂ）との間に、通常は凸レンズで構成されているビーム
径補正用レンズ（７）を設けて、それ以降のビーム方向
切換用ミラー（ダｂ）および集光レンズ（ｇ）の有効径
内にビーム径が収するように構成されている。
から取り出されるレーザビームは発散角を持っており、
遠方へ行（程、レーザビームは外側へ拡がり、第３図の
点線で示したように、ビーム方向切換用ミラー（ｌｂ”
ｌの有効径よりも大きくなってし１つ。そのため、従来
は、ウィンドウ（５）とビーム方向切換用ミラーｒ ＆
ｂ）との間に、通常は凸レンズで構成されているビーム
径補正用レンズ（７）を設けて、それ以降のビーム方向
切換用ミラー（ダｂ）および集光レンズ（ｇ）の有効径
内にビーム径が収するように構成されている。
従来のレーザ加工機は、以上のように構成されているの
で、レーザビームの光路途中に、ビーム径補正用レンズ
を設ける必要が有り、また、レンズによるレーザビーム
の吸収のため、パワーロスを生じたり、更には、レンズ
の取付けに特に注意を要するため、光学系の設計が複雑
が困難になるという問題点を有していた。
で、レーザビームの光路途中に、ビーム径補正用レンズ
を設ける必要が有り、また、レンズによるレーザビーム
の吸収のため、パワーロスを生じたり、更には、レンズ
の取付けに特に注意を要するため、光学系の設計が複雑
が困難になるという問題点を有していた。
この発明は、上記のような問題点を解決するためになさ
れたもので、パワーロスが少なく、かつ、光学系の設計
も容易であるレーザ加工機を得ることを目的とする。
れたもので、パワーロスが少なく、かつ、光学系の設計
も容易であるレーザ加工機を得ることを目的とする。
この発明に係るレーザ加工１幾は、不安定形共振器を構
成するレーザ発振器内部に、レーザビーム径補正機構を
設けたものである。
成するレーザ発振器内部に、レーザビーム径補正機構を
設けたものである。
この発明においては、レーザ発薇器内部にビーム径補正
機構を設けたことにより、光路途中にビーム径補正用レ
ンズを設ける必要が無くなり、使用する光学部品が少な
（なるとともに、光学系の設けも容易で精度も向上する
。
機構を設けたことにより、光路途中にビーム径補正用レ
ンズを設ける必要が無くなり、使用する光学部品が少な
（なるとともに、光学系の設けも容易で精度も向上する
。
以下、この発明をその実施例を示す図に基づいて説明す
る。
る。
なお、符号（７）を除く（ハ〜（９）で示すものは、従
来装置を示した第３図に示す同一符号のものと同等のも
のである。
来装置を示した第３図に示す同一符号のものと同等のも
のである。
第７実施例を示す第１図において、符号（／／）は、レ
ーザビーム径補正機構であるウィンドウの機能を兼ね備
えているビーム径補正用レンズである。
ーザビーム径補正機構であるウィンドウの機能を兼ね備
えているビーム径補正用レンズである。
この発明に係るレーザ加工機は、上記のように構成され
ているので、従来は第３図に示すようにウィンドウ（ｓ
ｌとビーム径補正用レンズ（７）トの一個の光学部品が
必要であってものが、この発明では、レーザ発振器内部
に、ウィンドウの機能を兼ねたビーム径補正用レンズ（
／／）７個のみを設けることにより、従来機能を満足さ
せ、かつ、レンズの吸収によるパワーロスの低下も減少
し、また、光学系もノンプルになって、その設計および
保守を容易に行なうことができる。
ているので、従来は第３図に示すようにウィンドウ（ｓ
ｌとビーム径補正用レンズ（７）トの一個の光学部品が
必要であってものが、この発明では、レーザ発振器内部
に、ウィンドウの機能を兼ねたビーム径補正用レンズ（
／／）７個のみを設けることにより、従来機能を満足さ
せ、かつ、レンズの吸収によるパワーロスの低下も減少
し、また、光学系もノンプルになって、その設計および
保守を容易に行なうことができる。
また、上記第７実施例では、ウィンドウを兼ねたビーム
径補正用レンズを設けて光学部品の数量を少なくしたも
のを示したが、第一図に示す第コ実施例では、ウィンド
ウ（５）は従来と同様に設けるとともに、ビーム取出し
Ｎ （３ｃ ’）とウィンドウ（ｒｌとの間に、レーザ
ビーム補正機構として、ビーム径補正用ミラー（／、２
）と、このビーム径補正用ミラー（／コ）から出射され
たレーザビーム（６）をビーム方向切換用ミラー（ｔｌ
ｂ）に向けるためのビーム方向切換用ミラー（／Ｊ）と
を設けてレーザビーム径補正機構を構成しているが、こ
の場合も、上記第１実施例と同様の効果を奏する。
径補正用レンズを設けて光学部品の数量を少なくしたも
のを示したが、第一図に示す第コ実施例では、ウィンド
ウ（５）は従来と同様に設けるとともに、ビーム取出し
Ｎ （３ｃ ’）とウィンドウ（ｒｌとの間に、レーザ
ビーム補正機構として、ビーム径補正用ミラー（／、２
）と、このビーム径補正用ミラー（／コ）から出射され
たレーザビーム（６）をビーム方向切換用ミラー（ｔｌ
ｂ）に向けるためのビーム方向切換用ミラー（／Ｊ）と
を設けてレーザビーム径補正機構を構成しているが、こ
の場合も、上記第１実施例と同様の効果を奏する。
以上のように、この発明によれば、不安定形共振器内部
にビーム径補正機構を設けているので。
にビーム径補正機構を設けているので。
パワーロスが減少するとともに、光学系の設計、製作お
よびその保守が容易となるレーザ加工機が得られる効果
がある。
よびその保守が容易となるレーザ加工機が得られる効果
がある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の第１実施例によるレーザ加工機の構
成説明図、第一図はこの発明の第２実施例の構成説明図
、第３図は従来のレーザ加工機の構成説明図である。 （ハ・・発振器ＩＩ体、（、？）・・不安定形共振器ｃ
ノーザ発掘器）、 （ｊ＋−−ウィンドウ、（６）・・
レーザビーム、（ｔ）・拳集光レンズ、（９）・・被加
工物、（／／）・・レーザビーム径補正機構（ビーム径
補正用レンズ１． （／２’ｌ・・レーザビーム径補
正ｔ＊構（ビーム径補正用レンズ）、（／、？）φ・レ
ーザビーム径補正機構（ビーム方向９洟用ミラー）。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 １７Ｆ）１図 １ ： そ退路奮伴 ３ 斤４Ｐ定訃六撮豚（Ｌ−アを坂路）６ ：
Ｌ−’ｒ’ビー４ ８ ： 集光Ｌシス０
成説明図、第一図はこの発明の第２実施例の構成説明図
、第３図は従来のレーザ加工機の構成説明図である。 （ハ・・発振器ＩＩ体、（、？）・・不安定形共振器ｃ
ノーザ発掘器）、 （ｊ＋−−ウィンドウ、（６）・・
レーザビーム、（ｔ）・拳集光レンズ、（９）・・被加
工物、（／／）・・レーザビーム径補正機構（ビーム径
補正用レンズ１． （／２’ｌ・・レーザビーム径補
正ｔ＊構（ビーム径補正用レンズ）、（／、？）φ・レ
ーザビーム径補正機構（ビーム方向９洟用ミラー）。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 １７Ｆ）１図 １ ： そ退路奮伴 ３ 斤４Ｐ定訃六撮豚（Ｌ−アを坂路）６ ：
Ｌ−’ｒ’ビー４ ８ ： 集光Ｌシス０
Claims (3)
- （１）不安定形共振器を構成するレーザ発振器と、この
レーザ発振器から取り出されたレーザビームを、集光レ
ンズを通して被加工物上に照射し、加工を行なうレーザ
加工機において、上記レーザ発振器内部にレーザビーム
径補正機構を設けていることを特徴とするレーザ加工機
。 - （２）レーザビーム径補正機構が、不安定形共振器内の
ウィンドウと代替して設けられているビーム径補正用レ
ンズである特許請求の範囲第１項記載のレーザ加工機。 - （３）レーザビーム径補正機構が、不安定形共振器内の
ビーム取出し鏡とウィンドウとの間の光路に設けられて
いるビーム径補正用ミラーである特許請求の範囲第１項
記載のレーザ加工機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203740A JPS6360092A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | レ−ザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61203740A JPS6360092A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | レ−ザ加工機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6360092A true JPS6360092A (ja) | 1988-03-16 |
| JPH0534117B2 JPH0534117B2 (ja) | 1993-05-21 |
Family
ID=16479066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61203740A Granted JPS6360092A (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | レ−ザ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6360092A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0631654A (ja) * | 1992-07-10 | 1994-02-08 | Shibuya Kogyo Co Ltd | レーザマーキング装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6037185A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-02-26 | Agency Of Ind Science & Technol | ガスレ−ザ発振器 |
-
1986
- 1986-09-01 JP JP61203740A patent/JPS6360092A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6037185A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-02-26 | Agency Of Ind Science & Technol | ガスレ−ザ発振器 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0631654A (ja) * | 1992-07-10 | 1994-02-08 | Shibuya Kogyo Co Ltd | レーザマーキング装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0534117B2 (ja) | 1993-05-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS57177115A (en) | Projection lens device | |
| JPS6360092A (ja) | レ−ザ加工機 | |
| JP2577638B2 (ja) | レーザマーキング方法及び装置 | |
| JPH0391283A (ja) | レーザーユニット | |
| JPS62186219A (ja) | 半導体レ−ザ−装置 | |
| JPS6037628B2 (ja) | ガスレ−ザ発振器 | |
| JP2002283083A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP2783890B2 (ja) | レーザ発振器 | |
| JP2597499B2 (ja) | レーザ装置 | |
| EP1681749A1 (en) | Laser oscillator | |
| JPH01152777A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH01207983A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JPH0241607Y2 (ja) | ||
| Joenathan et al. | Enhancement of sensitivity in in-plane measurement in speckle photography | |
| JP2673303B2 (ja) | ネガテイブブランチ不安定型レーザ共振器 | |
| JP3458668B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH0439647B2 (ja) | ||
| JPH08155666A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JPH0575185A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH021192A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JPH033379A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JPH05110174A (ja) | ダイオード励起固体レーザ | |
| JPH0575186A (ja) | レーザ装置 | |
| JPH0780673A (ja) | レーザ加工機 | |
| JPH01270372A (ja) | レーザ装置 |