JPS6355762B2 - - Google Patents
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- JPS6355762B2 JPS6355762B2 JP56156672A JP15667281A JPS6355762B2 JP S6355762 B2 JPS6355762 B2 JP S6355762B2 JP 56156672 A JP56156672 A JP 56156672A JP 15667281 A JP15667281 A JP 15667281A JP S6355762 B2 JPS6355762 B2 JP S6355762B2
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- Japan
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- resistor
- green sheet
- insulating
- resistors
- resistor array
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- Expired
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Landscapes
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
本発明は抵抗アレーの構造に関する。
最近、抵抗器の実装密度を大きくすることを目
的に数個の抵抗体を１つの絶縁基板上に一体化し
た抵抗アレーが幅広く電子機器に活用されてい
る。一般に抵抗アレーの殆どは純度95〜99％のア
ルミナからなるセラミツク基板上に形成されてお
り、その基板上に２酸化ルテニウムを主成分とす
る抵抗ペーストをスクリーン印刷法を用いて被着
し、温度800〜1000℃の空気雰囲気中で約１時間
焼成して抵抗体を形成している。この抵抗体をレ
ーザートリミング法などにより所望の抵抗値に修
正している。これらの通常市販されている抵抗ア
レーの抵抗体は通常平面的に構成されている。 しかし電子機器の小型化が進行している現在、
より多くの抵抗体を多層状に一体化した抵抗アレ
ーが必要になつて来ている。この要求に対して従
来用いられてきた抵抗アレーの上述した製造手段
では次に述べる理由により多層化は困難であつ
た。 従来抵抗体の２層化まで試みられた手段を用い
て、より多層化した抵抗アレーの断面図を第１図
に示す。（実際には多層化のメリツトが出ないの
で市販品としては出廻つていない。）この構造を
有する抵抗アレーの製造を簡単に説明すると、ア
ルミナセラミツク基板１上にサーメツト抵抗体２
が印刷、焼成される。同時に電極３も形成され
る。次いで抵抗体２とほぼ同一の温度で焼成でき
る絶縁ペーストを用い、印刷、焼成して絶縁膜４
を形成する。多層化は抵抗体２及び絶縁膜４を繰
返して形成して行う。この場合第１図にも示して
あるように最後に行う抵抗値のトリミング用の窓
５を設けておかなければならないので、抵抗体は
ほとんどそれよりも下層に設けられた抵抗体と重
畳することはできない。抵抗体を重畳することが
できなければ、多層化して小形化するという目的
を満足させることは出来ない。この原因の主たる
ものはこのように多層化された抵抗アレーを製造
する上で、焼成後抵抗値のトリミングが必要であ
るからである。 発明者らは特願昭55−156369に於いて開示した
抵抗グリーンシートを用いて抵抗値偏差のきわめ
て小さい抵抗器の製造方法を提案しており、この
製造方法を抵抗アレーの製造方法に適用すること
により、まつたく新規な構造をもつ抵抗アレーが
可能であることが発明できた。 本発明の目的は多層状の抵抗アレーを提供する
ことにある。 本発明によれば均一組成からなる絶縁物内に層
状にかつ、絶縁物と一体化形成された複数の抵抗
体と、前記各抵抗体に接続した３本以上の導体と
を有することを特徴とする抵抗アレーが得られ
る。 以下、本発明を第２図〜第４図を参照して詳細
に説明する。 第２図ａは本発明の一実施例の抵抗アレーの断
面図を示す。絶縁層６はアルミナ−ガラスセラミ
ツク複合物（絶縁層６ａ，…，６ｎは均一組成）
であり、内装化した抵抗体７は２酸化ルテニウム
を主成分としてガラスフリツトを混合した組成に
なつている。外部電極８および外部電極８と内装
抵抗体７とを電気的に接続する内部配線９は各抵
抗体７に対して４本設けてある。内部配線９は絶
縁層６に設けられた数百ミクロンメーターの細孔
を金、銀、、銀−パラジウムなどの金属で埋める
ことにより形成する。 第２図ｂに示すように抵抗値の調整は外部電極
８のＡ，Ｂ，A′，B′，A″，B″の個所をレーザー
ビーム等の手段により切断することにより行なわ
れている。 本発明実施例で示した抵抗アレーは複数の抵抗
体および均一組成を持つ複数の絶縁層を多層化し
て焼結した一体物であり、その抵抗強度は2000
Kg／mm2という大きな値を示している。 第３図ａ，ｂ，ｃは本発明抵抗アレーの一実施
例の製造工程の一部を示すものである。 第２図に示した絶縁層および抵抗体はそれぞれ
厚さ0.1mm〜0.03mmの未焼成膜（以下グリーンシ
ートと呼ぶ）の形で予め準備される。 絶縁グリーンシートおよび抵抗グリーンシート
の組成比は第１表および第２表の通りである。
的に数個の抵抗体を１つの絶縁基板上に一体化し
た抵抗アレーが幅広く電子機器に活用されてい
る。一般に抵抗アレーの殆どは純度95〜99％のア
ルミナからなるセラミツク基板上に形成されてお
り、その基板上に２酸化ルテニウムを主成分とす
る抵抗ペーストをスクリーン印刷法を用いて被着
し、温度800〜1000℃の空気雰囲気中で約１時間
焼成して抵抗体を形成している。この抵抗体をレ
ーザートリミング法などにより所望の抵抗値に修
正している。これらの通常市販されている抵抗ア
レーの抵抗体は通常平面的に構成されている。 しかし電子機器の小型化が進行している現在、
より多くの抵抗体を多層状に一体化した抵抗アレ
ーが必要になつて来ている。この要求に対して従
来用いられてきた抵抗アレーの上述した製造手段
では次に述べる理由により多層化は困難であつ
た。 従来抵抗体の２層化まで試みられた手段を用い
て、より多層化した抵抗アレーの断面図を第１図
に示す。（実際には多層化のメリツトが出ないの
で市販品としては出廻つていない。）この構造を
有する抵抗アレーの製造を簡単に説明すると、ア
ルミナセラミツク基板１上にサーメツト抵抗体２
が印刷、焼成される。同時に電極３も形成され
る。次いで抵抗体２とほぼ同一の温度で焼成でき
る絶縁ペーストを用い、印刷、焼成して絶縁膜４
を形成する。多層化は抵抗体２及び絶縁膜４を繰
返して形成して行う。この場合第１図にも示して
あるように最後に行う抵抗値のトリミング用の窓
５を設けておかなければならないので、抵抗体は
ほとんどそれよりも下層に設けられた抵抗体と重
畳することはできない。抵抗体を重畳することが
できなければ、多層化して小形化するという目的
を満足させることは出来ない。この原因の主たる
ものはこのように多層化された抵抗アレーを製造
する上で、焼成後抵抗値のトリミングが必要であ
るからである。 発明者らは特願昭55−156369に於いて開示した
抵抗グリーンシートを用いて抵抗値偏差のきわめ
て小さい抵抗器の製造方法を提案しており、この
製造方法を抵抗アレーの製造方法に適用すること
により、まつたく新規な構造をもつ抵抗アレーが
可能であることが発明できた。 本発明の目的は多層状の抵抗アレーを提供する
ことにある。 本発明によれば均一組成からなる絶縁物内に層
状にかつ、絶縁物と一体化形成された複数の抵抗
体と、前記各抵抗体に接続した３本以上の導体と
を有することを特徴とする抵抗アレーが得られ
る。 以下、本発明を第２図〜第４図を参照して詳細
に説明する。 第２図ａは本発明の一実施例の抵抗アレーの断
面図を示す。絶縁層６はアルミナ−ガラスセラミ
ツク複合物（絶縁層６ａ，…，６ｎは均一組成）
であり、内装化した抵抗体７は２酸化ルテニウム
を主成分としてガラスフリツトを混合した組成に
なつている。外部電極８および外部電極８と内装
抵抗体７とを電気的に接続する内部配線９は各抵
抗体７に対して４本設けてある。内部配線９は絶
縁層６に設けられた数百ミクロンメーターの細孔
を金、銀、、銀−パラジウムなどの金属で埋める
ことにより形成する。 第２図ｂに示すように抵抗値の調整は外部電極
８のＡ，Ｂ，A′，B′，A″，B″の個所をレーザー
ビーム等の手段により切断することにより行なわ
れている。 本発明実施例で示した抵抗アレーは複数の抵抗
体および均一組成を持つ複数の絶縁層を多層化し
て焼結した一体物であり、その抵抗強度は2000
Kg／mm2という大きな値を示している。 第３図ａ，ｂ，ｃは本発明抵抗アレーの一実施
例の製造工程の一部を示すものである。 第２図に示した絶縁層および抵抗体はそれぞれ
厚さ0.1mm〜0.03mmの未焼成膜（以下グリーンシ
ートと呼ぶ）の形で予め準備される。 絶縁グリーンシートおよび抵抗グリーンシート
の組成比は第１表および第２表の通りである。
【表】
【表】
それぞれのグリーンシートの特性は第３表の通
りであつた。
りであつた。
【表】
この２種類のグリーンシートを多層化して抵抗
アレーを製造する。 第３図ａは絶縁グリーンシート１０に金型を用
いて直径約150ミクロンメータの複数の細孔１１
を形成した状態を示す。この細孔１１の位置は、
後述するように多層化した時に抵抗体と接続する
位置にそれぞれ形成されている。本実施例の抵抗
アレーは20個の抵抗体を各層毎に配置したもので
ある。 １枚の絶縁グリーンシート５の外形寸法は50mm
×50mmであり、抵抗アレー１個の外形寸法は10mm
×５mmである。従つて１枚の絶縁グリーンシート
から50個分の抵抗アレーが製造できる。 本実施例では抵抗グリーンシートの目標抵抗値
を1kΩ１種類に設定し、この抵抗グリーンシー
トを予め長さ３mm、幅１mmに切断して抵抗グリー
ンシートの個片１２（図示省略）を形成してお
く。次に細孔１１を形成した絶縁グリーンシート
１０の細孔１１および細孔１１が抵抗体と外接す
る位置、すなわち細孔６の近傍上面に銀−パラジ
ウムペーストをスクリーン印刷法を用いて矩形に
被着させ、内部電極を形成する。この時、細孔１
１内には銀−パラジウムペーストが充填され絶縁
グリーンシート１０の表裏が電気的に導通され
る。このような方法で内部電極が形成された絶縁
グリーンシート１０上に予め形成しておいた抵抗
グリーンシートの個片１２を第２図ｂに示すよう
に隣接する４個の内部電極に外接するように配置
し、熱プレス機で温度115℃、圧力50Kg／cm2、１
分間熱圧着を行う。このようにして抵抗グリーン
シートの個片８を圧着した絶縁グリーンシート５
を銀−パラジウムペーストが充填されている細孔
１１の上面と下面とが互に接続するように位置合
せして21枚積層し、熱プレス機で温度115℃、圧
力250Kg／cm2、20分間熱圧着を行い第２図ｃに示
す多層体１３にする。次にこの多層体１３の上部
表面に内部の配線（第１図参照）に接続するよう
に外部電極１４をスクリーン印刷方法を用いて形
成する。 次に第２図ｃに示すように切断線Ｃ−Ｃ，Ｄ−
Ｄに沿つてナイフなどにより多層体１３を切断し
て個片１３ａとする。 次いでこの個片１３ａを第４図に示す温度曲線
を有する焼成炉（図示省略）中で焼成した。 このようにして製作した抵抗アレーは第２図に
示す断面形状を有し、その特性は第４表に示す結
果であつた。しかし、この段階では抵抗値偏差の
絶対精度が2.5％以内であり、絶対精度を向上す
るために配線８のＡまたはＢの個所をレーザビー
ムで切断して抵抗値を調整する。この調整の行な
われた抵抗アレーの特性は第４表の修正後の欄に
示してある。
アレーを製造する。 第３図ａは絶縁グリーンシート１０に金型を用
いて直径約150ミクロンメータの複数の細孔１１
を形成した状態を示す。この細孔１１の位置は、
後述するように多層化した時に抵抗体と接続する
位置にそれぞれ形成されている。本実施例の抵抗
アレーは20個の抵抗体を各層毎に配置したもので
ある。 １枚の絶縁グリーンシート５の外形寸法は50mm
×50mmであり、抵抗アレー１個の外形寸法は10mm
×５mmである。従つて１枚の絶縁グリーンシート
から50個分の抵抗アレーが製造できる。 本実施例では抵抗グリーンシートの目標抵抗値
を1kΩ１種類に設定し、この抵抗グリーンシー
トを予め長さ３mm、幅１mmに切断して抵抗グリー
ンシートの個片１２（図示省略）を形成してお
く。次に細孔１１を形成した絶縁グリーンシート
１０の細孔１１および細孔１１が抵抗体と外接す
る位置、すなわち細孔６の近傍上面に銀−パラジ
ウムペーストをスクリーン印刷法を用いて矩形に
被着させ、内部電極を形成する。この時、細孔１
１内には銀−パラジウムペーストが充填され絶縁
グリーンシート１０の表裏が電気的に導通され
る。このような方法で内部電極が形成された絶縁
グリーンシート１０上に予め形成しておいた抵抗
グリーンシートの個片１２を第２図ｂに示すよう
に隣接する４個の内部電極に外接するように配置
し、熱プレス機で温度115℃、圧力50Kg／cm2、１
分間熱圧着を行う。このようにして抵抗グリーン
シートの個片８を圧着した絶縁グリーンシート５
を銀−パラジウムペーストが充填されている細孔
１１の上面と下面とが互に接続するように位置合
せして21枚積層し、熱プレス機で温度115℃、圧
力250Kg／cm2、20分間熱圧着を行い第２図ｃに示
す多層体１３にする。次にこの多層体１３の上部
表面に内部の配線（第１図参照）に接続するよう
に外部電極１４をスクリーン印刷方法を用いて形
成する。 次に第２図ｃに示すように切断線Ｃ−Ｃ，Ｄ−
Ｄに沿つてナイフなどにより多層体１３を切断し
て個片１３ａとする。 次いでこの個片１３ａを第４図に示す温度曲線
を有する焼成炉（図示省略）中で焼成した。 このようにして製作した抵抗アレーは第２図に
示す断面形状を有し、その特性は第４表に示す結
果であつた。しかし、この段階では抵抗値偏差の
絶対精度が2.5％以内であり、絶対精度を向上す
るために配線８のＡまたはＢの個所をレーザビー
ムで切断して抵抗値を調整する。この調整の行な
われた抵抗アレーの特性は第４表の修正後の欄に
示してある。
【表】
この特性は現在市販されている抵抗アレーの特
性に匹敵する。 以上、本発明による抵抗アレーは特性面は従来
品と同等であり、かつ外形寸法は約1/4以下とき
わめて小型化された効果は大きい。
性に匹敵する。 以上、本発明による抵抗アレーは特性面は従来
品と同等であり、かつ外形寸法は約1/4以下とき
わめて小型化された効果は大きい。
第１図は従来品の抵抗アレーの縦断面図、第２
図ａは本発明の一実施例の抵抗アレーの縦断面
図、第２図ｂは第２図ａで示した抵抗アレーの外
形図、第３図ａは絶縁グリーンシートに細孔を形
成した状態を示す斜視図、第３図ｂは第３図ａの
絶縁グリーンシート上に内部電極および抵抗グリ
ーンシートの個片を被着した状態を示す斜視図、
第３図ｃは第３図ｂの絶縁グリーンシートを積層
し多層体とした斜視図、第４図は本発明の一実施
例で使用した焼成炉の温度曲線図。 １……アルミナ基板、２……抵抗体、３……電
極、４……絶縁膜、５……トリミング用の窓、６
……絶縁層、７……抵抗体、８……外部電極、９
……内部配線、１０……絶縁グリーンシート、１
１……細孔、１２……抵抗グリーンシートの個
片、１３……多層体、１４……外部電極。
図ａは本発明の一実施例の抵抗アレーの縦断面
図、第２図ｂは第２図ａで示した抵抗アレーの外
形図、第３図ａは絶縁グリーンシートに細孔を形
成した状態を示す斜視図、第３図ｂは第３図ａの
絶縁グリーンシート上に内部電極および抵抗グリ
ーンシートの個片を被着した状態を示す斜視図、
第３図ｃは第３図ｂの絶縁グリーンシートを積層
し多層体とした斜視図、第４図は本発明の一実施
例で使用した焼成炉の温度曲線図。 １……アルミナ基板、２……抵抗体、３……電
極、４……絶縁膜、５……トリミング用の窓、６
……絶縁層、７……抵抗体、８……外部電極、９
……内部配線、１０……絶縁グリーンシート、１
１……細孔、１２……抵抗グリーンシートの個
片、１３……多層体、１４……外部電極。
Claims (1)
- １ 均一組成からなる絶縁物内に層状に、かつ絶
縁物と一体化形成された複数の抵抗体と、前記各
抵抗体に接続した３本以上の導体とを有すること
を特徴とする抵抗アレー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56156672A JPS5857704A (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | 抵抗アレ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56156672A JPS5857704A (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | 抵抗アレ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5857704A JPS5857704A (ja) | 1983-04-06 |
| JPS6355762B2 true JPS6355762B2 (ja) | 1988-11-04 |
Family
ID=15632779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56156672A Granted JPS5857704A (ja) | 1981-10-01 | 1981-10-01 | 抵抗アレ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5857704A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS519142A (en) * | 1974-07-15 | 1976-01-24 | Matsushita Electric Works Ltd | Ototsumoyono renzokukeiseihoho |
-
1981
- 1981-10-01 JP JP56156672A patent/JPS5857704A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS519142A (en) * | 1974-07-15 | 1976-01-24 | Matsushita Electric Works Ltd | Ototsumoyono renzokukeiseihoho |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5857704A (ja) | 1983-04-06 |
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