JPS6353873B2 - - Google Patents
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- JPS6353873B2 JPS6353873B2 JP59063989A JP6398984A JPS6353873B2 JP S6353873 B2 JPS6353873 B2 JP S6353873B2 JP 59063989 A JP59063989 A JP 59063989A JP 6398984 A JP6398984 A JP 6398984A JP S6353873 B2 JPS6353873 B2 JP S6353873B2
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- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 65
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 54
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims description 16
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 28
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 9
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N chloro(fluoro)methane Chemical compound F[C]Cl KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011538 cleaning material Substances 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N trichloroethylene Natural products ClCC(Cl)Cl UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001701 chloroform Drugs 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000013020 steam cleaning Methods 0.000 description 1
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は溶剤を用いた洗浄装置に関するもので
あつて、さらに限定していえば、被洗浄物に付着
した油などの汚染を除去するためのものである。
あつて、さらに限定していえば、被洗浄物に付着
した油などの汚染を除去するためのものである。
従来、油などで汚染された被洗浄物の洗浄方法
は、(1)フロン、トリクレン等の洗浄溶剤に浸漬す
る浸漬洗浄、(2)溶剤中に浸漬し超音波を加える超
音波洗浄、(3)溶剤蒸気雰囲気中に曝す蒸気洗浄、
などが用いられている。これらの方法を、第１図
に示す従来の洗浄装置によつて説明する。
は、(1)フロン、トリクレン等の洗浄溶剤に浸漬す
る浸漬洗浄、(2)溶剤中に浸漬し超音波を加える超
音波洗浄、(3)溶剤蒸気雰囲気中に曝す蒸気洗浄、
などが用いられている。これらの方法を、第１図
に示す従来の洗浄装置によつて説明する。
被洗浄物１は搬送コンベア２により洗浄装置内
を矢印方向に回遊する。洗浄装置内には、温浴槽
３、冷浴槽４および蒸気槽５がある。温浴槽３お
よび蒸気槽５にはそれぞれ加熱源８および１０が
取付けられている。冷浴槽４には超音波発生源９
が取付けられている。蒸発した溶剤蒸気は冷却管
６により凝縮され、凝縮液は水分離器７により水
を分離され、溶剤だけが冷浴槽４に帰される。冷
浴槽４の溶剤のオーバーフローは温浴槽３に入い
り、温浴槽３のオーバーフローは蒸気槽５に入い
る構造になつている。
を矢印方向に回遊する。洗浄装置内には、温浴槽
３、冷浴槽４および蒸気槽５がある。温浴槽３お
よび蒸気槽５にはそれぞれ加熱源８および１０が
取付けられている。冷浴槽４には超音波発生源９
が取付けられている。蒸発した溶剤蒸気は冷却管
６により凝縮され、凝縮液は水分離器７により水
を分離され、溶剤だけが冷浴槽４に帰される。冷
浴槽４の溶剤のオーバーフローは温浴槽３に入い
り、温浴槽３のオーバーフローは蒸気槽５に入い
る構造になつている。
被洗浄物１は搬送コンベア２によつて、まず温
浴槽３に浸漬される。温浴槽３で被洗浄物１に付
着している油等は膨潤し、一部洗浄溶剤中に溶解
する。次に冷浴槽４に運ばれ、超音波により微細
な部分に付着した油等の異物を剥離させると共
に、被洗浄物１の温度を下げる。次いで冷却され
た被洗浄物１は蒸気槽５に運ばれる。溶剤蒸気雰
囲気中に曝されることにより、溶剤蒸気が被洗浄
物１の表面で冷却され凝縮し、被洗浄物１をすす
ぎ洗いする。
浴槽３に浸漬される。温浴槽３で被洗浄物１に付
着している油等は膨潤し、一部洗浄溶剤中に溶解
する。次に冷浴槽４に運ばれ、超音波により微細
な部分に付着した油等の異物を剥離させると共
に、被洗浄物１の温度を下げる。次いで冷却され
た被洗浄物１は蒸気槽５に運ばれる。溶剤蒸気雰
囲気中に曝されることにより、溶剤蒸気が被洗浄
物１の表面で冷却され凝縮し、被洗浄物１をすす
ぎ洗いする。
従来の上記方法では、洗浄効率が悪く、充分な
洗浄度を得るためには、温浴槽３、冷浴槽４およ
び蒸気槽５にそれぞれ数分間浸漬させる必要があ
る。このため作業能率が悪く、大量の被洗浄物を
処理する装置では洗浄装置が非常に大型になると
いう問題点がある。また、従来の上記方法では、
温浴槽３と冷浴槽４と蒸気槽５の上部空間が連続
しているために蒸気と大気の接する面積が大とな
り、発生蒸気が洗浄物出入部より外に放出される
ものもある。
洗浄度を得るためには、温浴槽３、冷浴槽４およ
び蒸気槽５にそれぞれ数分間浸漬させる必要があ
る。このため作業能率が悪く、大量の被洗浄物を
処理する装置では洗浄装置が非常に大型になると
いう問題点がある。また、従来の上記方法では、
温浴槽３と冷浴槽４と蒸気槽５の上部空間が連続
しているために蒸気と大気の接する面積が大とな
り、発生蒸気が洗浄物出入部より外に放出される
ものもある。
なお、実開昭55−159791号公報には、断面略逆
Ｌ字状の仕切り板を浸漬槽に設けることにより、
洗浄物出入部と蒸気槽とを遠ざけて、溶剤蒸気の
拡散防止を図る洗浄装置が開示されているが、仕
切り板の上部の冷却空間を介して蒸気槽と洗浄物
出入部が連通しているので、溶剤蒸気の密封が不
完全であるという問題点がある。また、特開昭51
−135185号公報には、洗浄室の底部のトリクレン
をポンプによりフイルタを通して汲上げて各配管
に供給し、該配管にあけられた穴状のノズルから
トリクレンをシヤワー状に噴出する洗浄装置が開
示されているが、この従来技術では、溶剤を循環
シヤワーする方式であるため、被洗浄物を液状溶
剤の噴出による衝突力と溶剤薬品の溶解力の作用
のみにより洗浄するので、洗浄を高速に行うこと
ができないという問題点がある。
Ｌ字状の仕切り板を浸漬槽に設けることにより、
洗浄物出入部と蒸気槽とを遠ざけて、溶剤蒸気の
拡散防止を図る洗浄装置が開示されているが、仕
切り板の上部の冷却空間を介して蒸気槽と洗浄物
出入部が連通しているので、溶剤蒸気の密封が不
完全であるという問題点がある。また、特開昭51
−135185号公報には、洗浄室の底部のトリクレン
をポンプによりフイルタを通して汲上げて各配管
に供給し、該配管にあけられた穴状のノズルから
トリクレンをシヤワー状に噴出する洗浄装置が開
示されているが、この従来技術では、溶剤を循環
シヤワーする方式であるため、被洗浄物を液状溶
剤の噴出による衝突力と溶剤薬品の溶解力の作用
のみにより洗浄するので、洗浄を高速に行うこと
ができないという問題点がある。
本発明は、上記の点にかんがみ、洗浄効率を飛
躍的に向上させ、短時間の洗浄時間で充分な洗浄
度が得られ、かつ大量の被洗浄物を処理できると
ともに、蒸気およびミストの密封が完全で、しか
も比較的小型な洗浄装置を提供するものである。
躍的に向上させ、短時間の洗浄時間で充分な洗浄
度が得られ、かつ大量の被洗浄物を処理できると
ともに、蒸気およびミストの密封が完全で、しか
も比較的小型な洗浄装置を提供するものである。
本発明に係る装置の基本的な洗浄方式について
説明する。
説明する。
大気圧時と加圧時とで顕著に沸点が変化する溶
剤、たとえば、フロン、トリクロルエチレン、ト
リクロルエタン等の溶剤を加圧し、大気圧時の沸
点以上の温度に、望ましくは加圧時の沸点近くに
まで過加熱する。加圧過加熱された液状溶剤をノ
ズルより噴出させて被洗浄物に散布し洗浄する。
ノズルより噴出された溶剤は大気圧中では沸点以
上の温度を持つ過加熱液体であり、被洗浄物の表
面で突沸状態に沸騰する。溶剤自体が突沸状態で
あるため、溶剤は被洗浄物の表面で単に流れるだ
けではない複雑な動きをし、爆発的な衝突力が付
加されるため、油、フラツクス等の異物の剥離作
用を著しく強めると共に、被洗浄物の極めて微細
な空隙にも浸透し洗浄する。
剤、たとえば、フロン、トリクロルエチレン、ト
リクロルエタン等の溶剤を加圧し、大気圧時の沸
点以上の温度に、望ましくは加圧時の沸点近くに
まで過加熱する。加圧過加熱された液状溶剤をノ
ズルより噴出させて被洗浄物に散布し洗浄する。
ノズルより噴出された溶剤は大気圧中では沸点以
上の温度を持つ過加熱液体であり、被洗浄物の表
面で突沸状態に沸騰する。溶剤自体が突沸状態で
あるため、溶剤は被洗浄物の表面で単に流れるだ
けではない複雑な動きをし、爆発的な衝突力が付
加されるため、油、フラツクス等の異物の剥離作
用を著しく強めると共に、被洗浄物の極めて微細
な空隙にも浸透し洗浄する。
また、本発明装置によれば、洗浄室を外気から
溶剤液によつて隔離し、液封化するため前記噴出
洗浄により発生する蒸気およびミストの密封が完
全である。
溶剤液によつて隔離し、液封化するため前記噴出
洗浄により発生する蒸気およびミストの密封が完
全である。
さらに、本発明装置によれば、洗浄室において
発生した溶剤の蒸気およびミストが、ダクトによ
り蒸留室に導かれたのち蒸留再生されるため、蒸
留により溶剤が大量に洗浄化され、溶剤を加熱す
るに要した熱量が更なる噴出洗浄のための溶剤の
清浄化に有効に活用される。
発生した溶剤の蒸気およびミストが、ダクトによ
り蒸留室に導かれたのち蒸留再生されるため、蒸
留により溶剤が大量に洗浄化され、溶剤を加熱す
るに要した熱量が更なる噴出洗浄のための溶剤の
清浄化に有効に活用される。
本発明に係る洗浄装置の一実施例を第２図によ
り説明する。
り説明する。
被洗浄物１は搬送コンベア２により洗浄装置内
を矢印方向に回遊する。洗浄装置内には、洗浄室
１１および蒸留室１２がある。洗浄室１１と蒸留
室１２はダクト１３により連絡されている。ダク
ト１３の洗浄室１１内の開口部が１３ａであり、
蒸留室１２内の開口部が１３ｂである。洗浄室１
１の下部には溶剤を溜める液槽２１，２２があ
る。洗浄室１１は洗浄室カバー１１ａの端が液槽
２１，２２の溶剤液中に潜入させて液シールさせ
ているので外気から隔離されている。液槽２１，
２２の溶剤は、それぞれ加圧手段であるポンプ１
４，１４′により加圧され、加熱手段である熱交
換器１５，１５′により過加熱され、加圧過加熱
された溶剤は大気圧以上の圧力で開弁するノズル
１６，１６′から洗浄室１１内に噴出される。
を矢印方向に回遊する。洗浄装置内には、洗浄室
１１および蒸留室１２がある。洗浄室１１と蒸留
室１２はダクト１３により連絡されている。ダク
ト１３の洗浄室１１内の開口部が１３ａであり、
蒸留室１２内の開口部が１３ｂである。洗浄室１
１の下部には溶剤を溜める液槽２１，２２があ
る。洗浄室１１は洗浄室カバー１１ａの端が液槽
２１，２２の溶剤液中に潜入させて液シールさせ
ているので外気から隔離されている。液槽２１，
２２の溶剤は、それぞれ加圧手段であるポンプ１
４，１４′により加圧され、加熱手段である熱交
換器１５，１５′により過加熱され、加圧過加熱
された溶剤は大気圧以上の圧力で開弁するノズル
１６，１６′から洗浄室１１内に噴出される。
蒸留室１２の下部には溶剤を溜める液槽２３が
あり、液槽２３内に加熱源１９がある。蒸留室１
２の上部には冷却管１８がある。液槽２１から大
気との接触により蒸発した溶剤蒸気は、冷却管１
７により凝縮され外部に逃がさないようにしてい
る。冷却管１７および１８で凝縮された溶剤は水
分離器２０により水分を除かれ、液槽２１に帰さ
れる。液槽２１の溶剤のオーバーフローは液槽２
２に、液槽２２のオーバーフローは液槽２３に入
る構造になつている。
あり、液槽２３内に加熱源１９がある。蒸留室１
２の上部には冷却管１８がある。液槽２１から大
気との接触により蒸発した溶剤蒸気は、冷却管１
７により凝縮され外部に逃がさないようにしてい
る。冷却管１７および１８で凝縮された溶剤は水
分離器２０により水分を除かれ、液槽２１に帰さ
れる。液槽２１の溶剤のオーバーフローは液槽２
２に、液槽２２のオーバーフローは液槽２３に入
る構造になつている。
作動について説明すれば、被洗浄物１は搬送コ
ンベア２に運ばれ、液槽２２の溶剤中を潜り洗浄
室１１に入る。洗浄室１１の下部にある液槽２
１，２２内の溶剤はポンプ１４，１４′により加
圧され、熱交換器１５，１５′により過加熱され、
大気圧沸点以上に加圧過加熱された液状の溶剤
は、ノズル１６，１６′から噴出され被洗浄物１
に衝突シヤワーされた時、被洗浄物１の表面で突
沸状態に沸騰するため、液状溶剤の衝突力と溶剤
薬品の溶解力に加えて、沸騰による爆発的な衝突
力が付加される。このため、溶剤は被洗浄物１の
表面で単に流れるだけでなく蒸気およびミストを
発生して複雑な動きを示し、油、フラツクス等の
異物の剥離作用を著しく強め、また被洗浄物１の
極めて微細な空隙にも浸透し、強力に被洗浄物１
が洗浄される。被洗浄物１は、さらに液槽２１の
溶剤中を潜つて仕上洗浄され、外部に取出され
る。
ンベア２に運ばれ、液槽２２の溶剤中を潜り洗浄
室１１に入る。洗浄室１１の下部にある液槽２
１，２２内の溶剤はポンプ１４，１４′により加
圧され、熱交換器１５，１５′により過加熱され、
大気圧沸点以上に加圧過加熱された液状の溶剤
は、ノズル１６，１６′から噴出され被洗浄物１
に衝突シヤワーされた時、被洗浄物１の表面で突
沸状態に沸騰するため、液状溶剤の衝突力と溶剤
薬品の溶解力に加えて、沸騰による爆発的な衝突
力が付加される。このため、溶剤は被洗浄物１の
表面で単に流れるだけでなく蒸気およびミストを
発生して複雑な動きを示し、油、フラツクス等の
異物の剥離作用を著しく強め、また被洗浄物１の
極めて微細な空隙にも浸透し、強力に被洗浄物１
が洗浄される。被洗浄物１は、さらに液槽２１の
溶剤中を潜つて仕上洗浄され、外部に取出され
る。
洗浄室１１は液槽２１，２２の溶剤液と洗浄室
カバー１１ａとにより外気から隔離されているた
め、ノズル１６，１６′から噴出した溶剤が外部
に飛散することがない。洗浄室１１と蒸留室１２
とはダクト１３によつて連絡されているため、洗
浄室１１と蒸留室１２の圧力は同じに保たれてい
る。従つてノズル１６，１６′から噴出する加圧
過加熱溶剤から発生するミストおよび蒸発する過
剰な溶剤蒸気は、ダクト１３により蒸留室１２に
導かれ冷却管１８により速やかに凝縮される。こ
のため洗浄室１１の内圧が上昇せず、また溶剤蒸
気が大きな気泡となつて液槽２１，２２の溶剤液
を通り外部に噴出するようなことはない。
カバー１１ａとにより外気から隔離されているた
め、ノズル１６，１６′から噴出した溶剤が外部
に飛散することがない。洗浄室１１と蒸留室１２
とはダクト１３によつて連絡されているため、洗
浄室１１と蒸留室１２の圧力は同じに保たれてい
る。従つてノズル１６，１６′から噴出する加圧
過加熱溶剤から発生するミストおよび蒸発する過
剰な溶剤蒸気は、ダクト１３により蒸留室１２に
導かれ冷却管１８により速やかに凝縮される。こ
のため洗浄室１１の内圧が上昇せず、また溶剤蒸
気が大きな気泡となつて液槽２１，２２の溶剤液
を通り外部に噴出するようなことはない。
従つて、本発明に係る洗浄装置によれば、溶剤
蒸気が洗浄装置外に流失し作業環境を悪化するこ
とがないという効果がある。
蒸気が洗浄装置外に流失し作業環境を悪化するこ
とがないという効果がある。
ダクト１３を通つて多量の溶剤蒸気が蒸留室１
２に導かれ蒸留されるため、結果的に蒸留される
溶剤の量が増加し、被洗浄物１に散布される液槽
２１，２２の溶剤の清浄度を高めることになり、
洗浄効率をより高める効果がある。
２に導かれ蒸留されるため、結果的に蒸留される
溶剤の量が増加し、被洗浄物１に散布される液槽
２１，２２の溶剤の清浄度を高めることになり、
洗浄効率をより高める効果がある。
冷却管１７，１８を通る冷却水と加熱手段であ
る熱交換器１５，１５′および加熱源１９を通る
温水とをヒートポンプで結合し加熱冷却すること
により、エネルギー費を節約できる利点がある。
る熱交換器１５，１５′および加熱源１９を通る
温水とをヒートポンプで結合し加熱冷却すること
により、エネルギー費を節約できる利点がある。
洗浄時間が著しく短縮されるため、小型な洗浄
装置で多量の被洗浄物を処理でき、設備費エネル
ギー費が安価になるという効果がある。
装置で多量の被洗浄物を処理でき、設備費エネル
ギー費が安価になるという効果がある。
次に、特定の溶剤を用いた本発明の実施例を、
第１図に示す従来の装置を用いた場合と、第２図
に示す本発明に係る装置を用いた場合とを比較し
例示する。
第１図に示す従来の装置を用いた場合と、第２図
に示す本発明に係る装置を用いた場合とを比較し
例示する。
例
フロン（Ｒ−113相当品、CCl2F−CClF2）を基
剤とする溶剤、 溶剤の大気量での沸点………47.6℃ 溶剤の２Kg／cm2での沸点……84℃ 上記溶剤を２Kg／cm2に加圧し、さらに大気圧沸
点以上の80℃に加過熱し、ノズルから加圧過加熱
された液状の溶剤として被洗浄物に噴出洗浄し
た。
剤とする溶剤、 溶剤の大気量での沸点………47.6℃ 溶剤の２Kg／cm2での沸点……84℃ 上記溶剤を２Kg／cm2に加圧し、さらに大気圧沸
点以上の80℃に加過熱し、ノズルから加圧過加熱
された液状の溶剤として被洗浄物に噴出洗浄し
た。
油などの汚れが被洗浄物１個当たり70mg付着し
たものを、２mg／個以下の残留油分に30秒で洗浄
することができた。また、100μの幅の微細な空
隙に付着した油も充分に除去できた。
たものを、２mg／個以下の残留油分に30秒で洗浄
することができた。また、100μの幅の微細な空
隙に付着した油も充分に除去できた。
溶剤蒸気の洗浄装置からの流出は、作業環境で
の溶剤蒸気濃度が50ppm以下と非常に良好であつ
た。
の溶剤蒸気濃度が50ppm以下と非常に良好であつ
た。
従来の超音波洗浄などを用いた装置では、油な
どの汚れが被洗浄物１個当たり70mg付着したもの
を、２mg／個以下の残留油分に洗浄するのに540
秒を要した。
どの汚れが被洗浄物１個当たり70mg付着したもの
を、２mg／個以下の残留油分に洗浄するのに540
秒を要した。
この実施例によれば、本発明に係る装置は実に
18倍の洗浄効率を例示するものである。
18倍の洗浄効率を例示するものである。
また溶剤として、トリクロルエチレン、トリク
ロルエタン等を用いた場合も良好な結果を得た。
ロルエタン等を用いた場合も良好な結果を得た。
第１図は従来方法による洗浄装置の断面図、第
２図は本発明に係る洗浄装置の断面図である。 １…被洗浄物、２…搬送コンベア、３…温浴
槽、４…冷浴槽、５…蒸気槽、１１…洗浄室、１
２…蒸留室、１３…ダクト、１４，１４′…ポン
プ、１５，１５′…熱交換器、１６，１６′…ノズ
ル。
２図は本発明に係る洗浄装置の断面図である。 １…被洗浄物、２…搬送コンベア、３…温浴
槽、４…冷浴槽、５…蒸気槽、１１…洗浄室、１
２…蒸留室、１３…ダクト、１４，１４′…ポン
プ、１５，１５′…熱交換器、１６，１６′…ノズ
ル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 溶剤を使用する洗浄装置において、 (a) 外気とは溶剤液によつて隔離されている洗浄
室 (b) 溶剤を蒸留する蒸留室 (c) 洗浄室と蒸留室とを連絡するダクト (d) 溶剤を加圧する加圧手段 (e) 加圧された溶剤を大気圧沸点以上に過加熱す
る加熱手段 (f) 加圧過加熱された溶剤を噴出する、洗浄室内
に設置されたノズル とからなることを特徴とする溶剤による洗浄装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6398984A JPS60206477A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 溶剤による洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6398984A JPS60206477A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 溶剤による洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60206477A JPS60206477A (ja) | 1985-10-18 |
| JPS6353873B2 true JPS6353873B2 (ja) | 1988-10-25 |
Family
ID=13245198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6398984A Granted JPS60206477A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 溶剤による洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60206477A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03293072A (ja) * | 1990-04-11 | 1991-12-24 | Chiyoda Manufacturing Co Ltd | 有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51135185A (en) * | 1975-05-20 | 1976-11-24 | Fujitsu Ltd | Washing device |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55159791U (ja) * | 1979-05-02 | 1980-11-17 |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP6398984A patent/JPS60206477A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51135185A (en) * | 1975-05-20 | 1976-11-24 | Fujitsu Ltd | Washing device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60206477A (ja) | 1985-10-18 |
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