JPS63500936A - 形のそろった、特にプレ−ト状部材の積層装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ／のそ　った、　にプレート　部　の　、ヨ装置技術分野 ら個々に搬送ベルトに載せ、１つあるいは複数の処理ステーションを通過させた 後、容器内に積層させることが知られている。例えば小型の回路は、連続生産過 程において、比較的大面積で薄い金属プレート上において所定の形状を有する多 数の小さな区画がまず絶縁物質、例えばガラスやセラミックで被膜されることに よって製造される。続いてこのプレート状に例えばタンタルから成る導体層が形 成される。これは通常真空にすることが可能な容器内において被膜材料を蒸着さ せることによって行なわれる。この方法は被膜材からなるターゲットを有する真 空室にプレートを挿入し、圧力を減少させて噴霧ガス、例えばアルゴンを真空室 に導入し、電圧をターゲットに印加し、ターゲットとプレート間にプラズマを発 生させることにより、ターゲットとなる材料の被膜をプレートに形成させること に基づいている。プレートは搬送ベルトに与えられている速度で連続的に被膜ス テーションを通過する。続いて一面が全部に渡って被膜されたプレートが真空室 内に配置された容器に積層され、プレートはこの容器内に充分冷却されるまで留 まる。搬送装置によって運ばれたプレートは容器内で積層され、隣接した２つの プレートの層側と裏面側が互いに重ねられる。

容器から取り出されたプレートは更に真空室でエツチングされ、導体模様が形成 される。続いてプレートから区画が打□ち抜きされ、端子線が設けられる。

上述したように真空室に積層されたプレートは、続くエツチング工程で絶縁層の 領域で種々のエツチング特性を示す。

導体層は被膜された区画の２．３の箇所でエツチングが極めて困難であり、従っ て他の箇所でアンダーカットとなる。この原因は積層されたプレートが互いに相 対移動することにより、プレートの被膜が形成されていない裏面が摩耗し、更に 積層の重量により絶縁層の隆起した部分に圧力箇所が生じ、その内部で被膜材料 が濃厚になってしまうことにある。

発明の利点 これに対し、請求の範囲の特徴の項の部分に記載された本発明による積層装置で は、上述したような現象、特にそれぞれ上に位置するプレートの層面においてプ レートの裏面が摩耗したり、また変形したりする現象が生じなくなるという利点 が得られる。それにより、極めて薄い導体層のエツチング特性が向上し、不良率 が減少する。スペーサは薄い滑らかな面の材料から構成することができるので、 スペーサを用いても部材容器の収納能力が顕著に減少することはない。上述した 種類の導体基板を保護する他に、スペーサは表面が傷つき易い材料あるいは構造 特性を有する形のそろった他の積層可能な部材を保護することもできる。ドイツ 特許公開公報第２２２９２５４号には、その形状あるいは破損性があるため直接 積層することができないような場合、枠に積層可能な部材を収納することが述べ られている。このような部材は積層する前に枠に組み込まれ、それによって初め てこれらの部材の積層が可能になる。

従属項に記載された手段により、独立請求項に記載された積層装置の好ましい変 形例並びに改良例が可能になる。スペーサは特に好ましくは積層された部材の表 面と裏面の周辺領域に当接する、形状が不変の枠として構成される。この場合、 枠の幅は保護すべき有効領域の外側でプレートに当接するように選ばれる。それ により隣接した２つのプレート間にはプレートがすでに加熱されている場合に均 一にそれを冷却させる空間が得られることになる。スペーサをマガジンに積層し 、このマガジン内に積層した２つの部材間にそれぞれスペーサを搬送ないし挿入 する装置を設けるようにすると、自動的に動作する積層装置に対して特に好まし い構造が得られることになる。マガジン並びにスペーサを搬送ないし挿入する装 置を部材の積層に用いられる容器内に配置させることにより、空間を節約した構 造が得られる。また本発明の特徴に従い、積層された部材を収納する容器がスペ ーサを収容するマガジンとして構成される時には、特別なスペーサ用マガジンを 省略することができる。容器が搬送方向に開放しており、積層中積層方向と逆の 方向に移動可能であり、またスペーサがそれぞれ部材を積層させる空間を残して 容器内に配置された場合には１重力で動作し、スペーサを挿入させる装器だけが 必要となるだけであり、特に好ましい構成となる。

図面の簡単な説明 本発明の実施例が図面に図示されており、以下の説明で利点を述べて詳細に説明 する。第１図は被膜装置と一体化された積層装置の概略図、第２図は第１図の積 層装置の詳細を示した拡大図、第３図は第１図に図示した積層容器の一部を示す 縦断面図、第４図は第３図装置の横断面図である。

実施例の説明 第１図において符号１で示すものは真空密閉可能な筐体であり、この筐体にレー ル２ａ上を二重矢印線３の方向に移動可能な棒状マガジン４を挿入する挿入口２ が固定されている。マガジン４には金属プレート５が充填されており、このプレ ートの一面は例えばタンタルのような導体基板で被膜される。マガジン４上で筐 体１内に垂直方向に昇降可能なりランプ部材６が配置され、このクランプ部材は プレート５を個々にマガジン４から取り出し、プレートが搬送装置のアングル付 き基板収納部７の縁に捕捉されるまでプレートを持ち上げる。搬送装置はエンド レス搬送ベルト９を有し、このベルトは、少なくとも１つが付勢力を与えられて いる方向変換ローラ１０を介して駆動される。搬送ベルト９は矢印１１の方向に 駆動される。それ自体堅固な基板収納部は、その形状を変化させることなく方向 が変わるように搬送ベルト９上に固定される。搬送ベルト９は斜め上方に延びる 領域１２を有し、この領域１２は水平部１３に連続する。この部分に続いて斜め 下方に延びる領域１４が続く。方向変換ローラ１０で示した領域１４の終了部に 基板収納部７が傾くことによって部材５が搬送ベルト９から投げ出される部分が 設けられる。

搬送ベルトは好ましくは方向変換ローラの歯部と噛み合い、基板収納部７が固定 される平行な２つの連続チェーンを有する。

搬送ベルト９の領域１２に基板の被膜形成部が配置されており、そのうち第１図 には蒸着すべき材料を有する水冷で高周波発振器に接続されたカソード１５が図 示されている。

基板収納部７を傾けることにより、搬送ベルト９から投げ出された被膜されたプ レート５は、その層面を下にして搬送ベルト９の方向に開放した縦穴状積層容器 １６内に倒れる。

この容器は平行な２つの側壁１７，１８．底部１９並びに結合部２０から構成さ れる。容器１６は、複数のローラ２２を介し筐体ｌに固定されたレール２３に沿 って垂直方向に移動可能に案内される支持アングル２１上に支持される。支持ア ングル２１にはネジ軸２５と噛み合うナツト２４が固定されている。このネジ軸 ２５の一端は案内レール２３に軸承されており、またその他端は軸２６と堅固に 結合されている。この軸２６は、２つの傘歯車２７．２８から成るＶ字部動機構 並びに着脱可能なりラッチ２９を介して、不図示のモータにより駆動される。ナ ツト２４は分割されており、開放した状態で支持アングル２１をネジ軸２５に対 して変位させる２つのネジ半休から構成されている。

容器１６に積層されるプレート５の傷つき易い層面を保護するために、スペーサ ３０が用いられており、このスペーサは積層時、Ｍ続する２つのプレート５間に それぞれ挿入される。このスペーサは、第４図から明らかなように、積層したプ レート５の層面及び裏面の周辺領域のみに当接する枠として構成される。搬送ベ ルト９の方向に開放した枠は、平行な２つの脚部３１とこれらを結合する横断部 ３２から構成される。横断部の後方領域に軸３３が固定され、この軸は容器１６ の平行な側壁１７．１８に形成された穴３４に嵌合される。穴３４は垂直方向に 互いに重なり合って配置される。

枠の平行な脚部３１の自由端は折り曲げられており、この折曲部３５によって、 枠は容器内で容器の移動方向に延びる２つの平行な枠縁３６．３７に支持される 。この枠縁３６゜３７は、装置の駆動中それぞれ枠を放出させる装置となってい る。枠縁３６．３７の自由端と容器１６の底部間には、被膜されたプレート５を 搬送ベルト９から容器１６に倒すための空間３８が形成される。

容器１６と枠縁３６．３７は、ネジ３９により着脱可能に結合される。他のネジ ３９ａは、枠縁３６．３７をマガジン装置の基板４０に着脱可能に固定させるの に用いられる。

ネジ軸２５は、容器２６が満たされてはいるが駆動部のクラッチがまだ外れてい ないような場合に、ナツト２４が止まってしまうのを避けるために、その下方軸 承部４１上で自由に回転できるようになっている。さらにネジ軸２５が充填され た容器１６によって最後のネジ山に荷重がかかるのを減少させるために、積層工 程終了時容器が全部下方部に降下した時支持アングル２１が当たる垂直方向に付 勢された受部４２が設けられている。

次に、このような装置の動作を説明する。

筐体ｌから取り出された容器１６は空になった後、倒され、スペーサ３０が容器 の側壁１７．１８に形勢された縦溝にほぼ平行になるように位置が調節される。

その後横断部４３により端部が互いに結合された枠縁３６．３７が結合部２０に 形成された２つの切欠部を介して容器１６に挿入され、ネジ３９により容器に固 定される。容器１６を正立させ、傾けることにより、スペーサ３０はその折曲部 ３５が枠縁３６．３７に支持され、斜めの位置となる第３図の位置に移動される 。ここで容器１６は筐体ｌ内の支持アングル２１に取り付けられる。続いてナツ ト２４が開放され、支持アングル２１はネジ３９ａにより枠縁３６．３７がマガ ジン装置のプレー）４０に固定されるまで容器１６と共に上方に移動される。ナ ツト２４が閉じられ、ネジ３９が除去される。それにより容器１６はネジ軸２５ により保持された支持アングル２１に着座し、−裏枠縁３６．３７はマガジン装 Ｈのプレート４０により保持される。

クラッチ２９をはずし、ネジ軸２５を回転することにより、支持アングル２１は 、枠縁３６，３７が最も下方のスペーサ３０を解き放ち、重力によりこれを容器 １６の底部１９に落下させるまで、容器１６と共に下方に降される。その後、貯 蔵マガジン４が被膜されていないプレート５と共に挿入され、筐体ｌが閉じられ 真空にされる。被膜条件が設定された後、搬送ベルト９が作動される。所定の時 点でマガジン４の送り装置並びにネジ軸２５の駆動装置がそれぞれクラッチを介 して搬送装置９の駆動機構と結合される。しかし、ネジ軸は最初の被膜プレート ５が搬送ベルト９から容器１６に挿入された時に初めて作動される。ネジ軸２５ は搬送ベルト９と同期運転され、それぞれ被膜プレート５が容器１６に挿入され た後、枠縁３６．３７からスペーサ３０が解き放され、このスペーサが挿入され たプレートの面に落下し、それによって統いて積層されるプレートの層面が分離 される。この工程は、容器が連続的に加工する間、ローラ案内の支持アングル２ １がバネ付勢された受部４２に当たるまで継続される。受部４２は充填された容 器の重量により、ナツト２４がネジ軸２５の自由回転部に位置するまで撓むこと になる。ここで駆動装置が遮断され、充填された容器１６が冷却された後、筐体 １かも取り出される。

第４図から明らかなように、プレート５は導体材料で被膜する前、絶縁層が設け られた多数の平坦な領域４４を有する。プレートを容器１６から取り出した後、 回路パターンが塗布され、エツチングされ、続いて上述の領域がプレートから打 ち抜きされ、ここに処理が施される。ここで重要なことは、傷つき易い領域４４ が積層工程中、その下にあるプレートの裏面からスペーサ３０により分離されて 、その間に空間が形成され、スペーサそれ自体が枠状に構成されていることによ り、有効領域外でプレート５に当接していることである。

本実施例の場合、被膜されたプレート５を収納する容器１６は、同時にスペーサ ３０のマガジンとしても構成されている、これと異なり、スペーサを収納するた めに容器１６内、あるいはその外に配置された容器１６と分離したマガジンを設 けるようにすることもできる。また、分離したスペーサを用いる代わりに、一端 が互いにつながっており、ジグザグ状に折り畳んでその間にプレートを挿入する ことができるスペーサを用いることもできる。

国ｗＡ調査報告 ＡＮＮＥＸ　Ｔｏ　、Ｆ、Ｅ　ＩＮＴＥＲＮＡＴＩＯＮＡＬ　５ＥＡＲＣＨＲＥ ＰＯＲＴ　ＯＮ−ク ０発　明　者　シェラトル・ベーター　ドづベー ツｌ共和国デー７０１６　ゲーリンゲン・ミツセンハルターヴ工′２４ ′ソ連邦共和国デー７０００　シュトウットガルト　８０・クナツペンーク　６ ベー

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）搬送装置と容器とを備え、その容器内に搬送装置により搬送された部材が表 面と裏面を合わせて積層される、形がそろった、特にブレート状部材の積層装置 において、積層される部材（５）が別に供給されるスペーサ（３０）により互い に分離されることを特徴とする、形がそろった、特にブレート状部材の積層装置 。 ２）前記スぺーサ（３０）は積層された部材（５）の表面と裏面の周辺領域に当 接する形状が不変の枠として構成される請求の範囲第１項に記載の積層装置。 ３）前記スペーサ（３０）はマガジン内に配置され、前記マガジン内に互いに重 なりあって積層される２つの部材間にそれぞれスペーサを搬送ないし挿入する装 置が設けられる請求の範囲第１項または第２項に記載の積層装置。 ４）前記マガジン及びスペーサ（３０）を搬送ないし挿入する装置は、部材（５ ）の積層に用いられる容器内に配置される請求の範囲第３項に記載の積層装置。 ５）積層された部材（５）を収納する容器（１６）がスペーサ（３０）のマガジ ンとして構成される請求の範囲第４項に記載の積層装置。 ６）前記容器（１６）は搬送方向（８）の方向に開放しており、積層中、積層方 向と逆方向に移動でき、スペーサ（３０）ほそれぞれ部材（５）を積層させる空 間（３８）を残して容器内に配置される請求の範囲第５項に記載の積層装置。 ７）前記スペーサ（３０）ほその後端部近くで平行な２つの側壁（１７，１８） に揺動自在に支持されており、その搬送方向（８）に対向した端部は、容器（１ ６）の移動方向に延び、かつ装置に固定された枠縁（３６，３７）に支持され、 前記スペーサが斜めに保持される請求の範囲第６項に記載の積層装置。 ８）前記容器（１６）には好ましくはアングル部材（２１）として構成された支 持体が設けられ、この支持体は容器の移動方向に連続して摺動可能に案内される 請求の範囲第６項または第７項に記載の積層装置。 ８）前記容器（１６）を連続して移動させるために駆動機構が設けられ、この移 動速度が搬送装置（８）の移動速度に合わされる請求の範囲第８項に記載の積層 装置。 １０）前記駆動機構は、装置に取り付けられたネジ軸（２５）を有し、このネジ 軸は回動する２つのネジ半体から成る支持体（２１）に固定されたナット（２４ ）と噛み合わされる請求の範囲第９項に記載の積層装置。 １１）前記ねじ軸（２５）とこれを駆動するモータ間に着脱可能なクラッチ（２ ８）が配置される請求の範囲第１０項に記載の積層装置。