JPS6344988A - 超純水の製造方法 - Google Patents
超純水の製造方法Info
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- JPS6344988A JPS6344988A JP18905086A JP18905086A JPS6344988A JP S6344988 A JPS6344988 A JP S6344988A JP 18905086 A JP18905086 A JP 18905086A JP 18905086 A JP18905086 A JP 18905086A JP S6344988 A JPS6344988 A JP S6344988A
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Landscapes
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、超純水の製造方法に関するものである。
［従来の技術］
従来、超純水の製造方法は次のように二段階で行なわれ
ている。工業用水、市水、井水、水道水および地下水等
の原水を活性炭で処理して遊離塩素を除去し逆浸透装置
を経てイオン交換樹脂に通水し、電気比抵抗１０ＭΩｃ
ｍ程度の水にする。この−次製造装置で得られた水を紫
外線殺菌装置に送り生菌を殺し、次にイオン交換樹脂に
再度通水して比抵抗１８Ｍ０ｃｍ以上の超純水とする。
ている。工業用水、市水、井水、水道水および地下水等
の原水を活性炭で処理して遊離塩素を除去し逆浸透装置
を経てイオン交換樹脂に通水し、電気比抵抗１０ＭΩｃ
ｍ程度の水にする。この−次製造装置で得られた水を紫
外線殺菌装置に送り生菌を殺し、次にイオン交換樹脂に
再度通水して比抵抗１８Ｍ０ｃｍ以上の超純水とする。
これらの方法は多段階に渡るため、複雑であり設備面に
難点があった。
難点があった。
また、ＴＯＣ（全有機炭素）除去に有効とされる活性炭
を工程の前半部に組み込み、なおかつその後の工程が非
常に長いため、配管・ポンプ・チューブ・タンク等から
溶出されるＴＯＣが超純水に多く含まれ、比抵抗は１８
ＭＱｃｍ以上あるが、高ＴＯＣ値の超純水であるという
大きい欠点があった。
を工程の前半部に組み込み、なおかつその後の工程が非
常に長いため、配管・ポンプ・チューブ・タンク等から
溶出されるＴＯＣが超純水に多く含まれ、比抵抗は１８
ＭＱｃｍ以上あるが、高ＴＯＣ値の超純水であるという
大きい欠点があった。
一方、超純水は電子工業分野、医薬品分野、分析分野な
どで広く使用されてあり、装置・工程の小型化・簡易化
が強く望まれている。しかも各分野の飛躍的な技術革新
により現状の超純水の水質では問題が発生している所が
あり、その大部分がＴＯＣの値が高いというものである
。
どで広く使用されてあり、装置・工程の小型化・簡易化
が強く望まれている。しかも各分野の飛躍的な技術革新
により現状の超純水の水質では問題が発生している所が
あり、その大部分がＴＯＣの値が高いというものである
。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明は、超純水の水質（ＴＯＣ値）を現状以上に向上
させると同時に装置を小型化できる超純水の製造方法を
提供するものである。
させると同時に装置を小型化できる超純水の製造方法を
提供するものである。
［問題点を解決するための手段］
すなわち本発明は、次の構成を有する。
（１）原水を巨大網目状イオン交換樹脂とイオン交換繊
維で処理することを特徴とする超純水の製造方法。
維で処理することを特徴とする超純水の製造方法。
（２〉巨大網目状イオン交換樹脂の処理が、イオン交換
繊維の処理前に行なわれるものである特許請求の範囲第
１項に記載の超純水の製造方法。
繊維の処理前に行なわれるものである特許請求の範囲第
１項に記載の超純水の製造方法。
以下、本発明の詳細な説明する。
本発明で用いる巨大網目状イオン交換樹脂とは、ＭＲ型
（ｍａｃｒｏ ｒｅｔｉｃｕｌａｒ）およびＭＰ型（
ｍａｃｒｏ ｐｏｒｏｕｓ）と呼ばれるものである。
（ｍａｃｒｏ ｒｅｔｉｃｕｌａｒ）およびＭＰ型（
ｍａｃｒｏ ｐｏｒｏｕｓ）と呼ばれるものである。
通常のゲル型イオン交換樹脂の内部構造は、分子の架橋
度によって決まる網目の構造（ミクロ多孔性）をもつが
、巨大網目状イオン交換樹脂はこれとは区別される物理
的細孔（マクロ多孔性）とミクロ多孔性を併せて有する
。
度によって決まる網目の構造（ミクロ多孔性）をもつが
、巨大網目状イオン交換樹脂はこれとは区別される物理
的細孔（マクロ多孔性）とミクロ多孔性を併せて有する
。
これはスチレン−ジビニルベンゼンを′共重合させ、イ
オン交換基を導入する際の重合方法を変えることによっ
て製造することができる。
オン交換基を導入する際の重合方法を変えることによっ
て製造することができる。
イオン交換容量は従来のものよりやや小さいが有機物の
除去に優れた性能を有する。 また、機械的強度が大き
く高度に精製可能で、化学的にも安定である。直径が１
００〜１０００μの公知ならびに市販の巨大網目状イオ
ン交換樹脂が用いられる。
除去に優れた性能を有する。 また、機械的強度が大き
く高度に精製可能で、化学的にも安定である。直径が１
００〜１０００μの公知ならびに市販の巨大網目状イオ
ン交換樹脂が用いられる。
例として巨大網目状カチオン交換樹脂としては、オルガ
ノ社製アンバーライト（ＩＲ２５２，ｌＲ２００Ｃ，Ｃ
Ｇ５０） 、三菱化成社製グイヤイイン（ＰＫ２１６．
ＷＫｌｏ） 、巨大網目状アニオン交換樹脂としてはオ
ルガノ社製アンバーライト（ＩＲ△９００．ＩＲＡ９０
４．ＩＲＡ９３８゜ＩＲＡ９１１．ＩＲＡ９３）、三菱
化成社製ダイヤイオン（ＰＡ３０８．ＰΔ３１６． Ｐ
Ａ／１．１６゜ＷＡ ３０ ）等の市販品を挙げること
かできる。
ノ社製アンバーライト（ＩＲ２５２，ｌＲ２００Ｃ，Ｃ
Ｇ５０） 、三菱化成社製グイヤイイン（ＰＫ２１６．
ＷＫｌｏ） 、巨大網目状アニオン交換樹脂としてはオ
ルガノ社製アンバーライト（ＩＲ△９００．ＩＲＡ９０
４．ＩＲＡ９３８゜ＩＲＡ９１１．ＩＲＡ９３）、三菱
化成社製ダイヤイオン（ＰＡ３０８．ＰΔ３１６． Ｐ
Ａ／１．１６゜ＷＡ ３０ ）等の市販品を挙げること
かできる。
本発明において、巨人網目状イオン交換樹脂とイオン交
換Ｉ！！ｉ維で処理する前に原水を限外濾過膜あるいは
逆浸透膜で処理することが好ましい。これは原水をその
ままイオン交換体で処理する方法ではイオン交換体が汚
染され、長期間安定して水質の高い超純水が得られない
からである。
換Ｉ！！ｉ維で処理する前に原水を限外濾過膜あるいは
逆浸透膜で処理することが好ましい。これは原水をその
ままイオン交換体で処理する方法ではイオン交換体が汚
染され、長期間安定して水質の高い超純水が得られない
からである。
限外濾過膜としては、セルロース系、ポリプロピレン系
、ポリメタクリレ−１〜系、ポリエチレン系、ポリスル
ホン系等の有機質膜および無機質膜、逆浸透膜としては
酢酸セルロース系、芳香族ポリアミド系等が挙げられる
。それらの形態は平膜・中空糸膜のいずれでもよい。
、ポリメタクリレ−１〜系、ポリエチレン系、ポリスル
ホン系等の有機質膜および無機質膜、逆浸透膜としては
酢酸セルロース系、芳香族ポリアミド系等が挙げられる
。それらの形態は平膜・中空糸膜のいずれでもよい。
原水を前記の限外濾過膜あるいは逆浸透膜で処理する方
法としては、それらを内臓したモジュールを用いて通水
する。モジュールの濾圧が上昇した時には逆洗すること
により元の濾圧に回復することができる。
法としては、それらを内臓したモジュールを用いて通水
する。モジュールの濾圧が上昇した時には逆洗すること
により元の濾圧に回復することができる。
イオン交換繊維とは通常直径が０．１〜１００μ、好ま
しくは１〜１００μの公知のイオン交換繊維を意味する
。その具体例としては、ポリスチレン系、ポリフェノー
ル系、ポリビニルアルコール系、ポリアクリル系、ポリ
エチレン系、ポリアミド系などの合成有機質ポリマ（イ
オン交換用ボリマ）にイオン交換基を導入した不溶性合
成有機質イオン交換繊維を挙げることができる。そのな
かでもイオン交換用ポリマと補強用ポリマからなる繊維
、好ましくはイオン交換用ポリマを鞘成分の主成分に、
補強用ポリマを芯成分にした多芯型混合および複合繊維
を基材としたイオン交換繊維が操作上の十分な機械的強
度ならびに形態保持性を有しているのでよい。 補強用
ポリマの割合は通常１０〜９０％であるが、あまり少な
すぎると機械的強度が弱くなり、逆にあまり多すぎると
イオン交換量や吸着量が低下するので、２０〜８０％の
範囲が好ましい。イオン交換用ポリマとしてはポリ（モ
ノビニル芳香族化合物）特にポリスチレン系化合物が耐
薬品性、耐熱性に優れ、操作を長期にわたって何回も繰
り返してできるので好ましい。また補強用ポリマとして
はポリ−α−オレフィンが耐薬品性に優れているので好
ましい。
しくは１〜１００μの公知のイオン交換繊維を意味する
。その具体例としては、ポリスチレン系、ポリフェノー
ル系、ポリビニルアルコール系、ポリアクリル系、ポリ
エチレン系、ポリアミド系などの合成有機質ポリマ（イ
オン交換用ボリマ）にイオン交換基を導入した不溶性合
成有機質イオン交換繊維を挙げることができる。そのな
かでもイオン交換用ポリマと補強用ポリマからなる繊維
、好ましくはイオン交換用ポリマを鞘成分の主成分に、
補強用ポリマを芯成分にした多芯型混合および複合繊維
を基材としたイオン交換繊維が操作上の十分な機械的強
度ならびに形態保持性を有しているのでよい。 補強用
ポリマの割合は通常１０〜９０％であるが、あまり少な
すぎると機械的強度が弱くなり、逆にあまり多すぎると
イオン交換量や吸着量が低下するので、２０〜８０％の
範囲が好ましい。イオン交換用ポリマとしてはポリ（モ
ノビニル芳香族化合物）特にポリスチレン系化合物が耐
薬品性、耐熱性に優れ、操作を長期にわたって何回も繰
り返してできるので好ましい。また補強用ポリマとして
はポリ−α−オレフィンが耐薬品性に優れているので好
ましい。
イオン交換繊維の含水度は通常０．５〜１ｏであるが、
あまり小さすぎると高度にイオン交換や吸着を行なうの
が難しくなり、逆にあまり大きすぎると通液抵抗が大き
くなるので、１〜５の範囲が好ましい。ここで含水度と
はＮａ型（ＣｆＪ型）のカチオン（アニオン）交換繊維
を蒸溜水に浸した後、家庭用の遠心脱水機で５分間遠心
脱水して表面の水分を除去し、ただちに重ｉ （Ｗ＞を
測定し、さらに絶乾して重さを測り（Ｗｄ＞、次式より
求めた値である。
あまり小さすぎると高度にイオン交換や吸着を行なうの
が難しくなり、逆にあまり大きすぎると通液抵抗が大き
くなるので、１〜５の範囲が好ましい。ここで含水度と
はＮａ型（ＣｆＪ型）のカチオン（アニオン）交換繊維
を蒸溜水に浸した後、家庭用の遠心脱水機で５分間遠心
脱水して表面の水分を除去し、ただちに重ｉ （Ｗ＞を
測定し、さらに絶乾して重さを測り（Ｗｄ＞、次式より
求めた値である。
含水度−Ｗ−Ｗｄ／Ｗｄ
繊維の形態としては、短繊維、フィラメン１〜糸、フェ
ルト、織物、不織布、編物、繊維束、ひも状物、紙など
の公知の任意の形態、集合体もしくはそれらの裁断物を
挙げることができる。そのなかでも特に０．１〜３ｍｍ
、望ましくは０．３〜１ｍｍの短繊維が充填しやすく、
また異種繊維同志の混合が容易なので好ましく用いられ
る。
ルト、織物、不織布、編物、繊維束、ひも状物、紙など
の公知の任意の形態、集合体もしくはそれらの裁断物を
挙げることができる。そのなかでも特に０．１〜３ｍｍ
、望ましくは０．３〜１ｍｍの短繊維が充填しやすく、
また異種繊維同志の混合が容易なので好ましく用いられ
る。
本発明にお（プる原水の処理方法としては、限外濾過膜
あるいは逆浸透膜を通した水をイオン交換体の層を通し
てイオン交換や吸着を行なう固定床式法が操作を容易に
行なえるので好ましい。
あるいは逆浸透膜を通した水をイオン交換体の層を通し
てイオン交換や吸着を行なう固定床式法が操作を容易に
行なえるので好ましい。
本発明で用いるイオン交換樹脂に対するイオン交換繊維
の使用交換容量の割合は通常０．０１〜５０％であるが
、あまり小さすぎると短時間に高度にイオン交換や吸着
を行なうことが難しくなり、また逆にあまり大きすぎる
と固定床容量当りの処理容量が低下するので好ましくは
０．０５〜３０％、特に好ましくは０．１〜２０％がよ
い。
の使用交換容量の割合は通常０．０１〜５０％であるが
、あまり小さすぎると短時間に高度にイオン交換や吸着
を行なうことが難しくなり、また逆にあまり大きすぎる
と固定床容量当りの処理容量が低下するので好ましくは
０．０５〜３０％、特に好ましくは０．１〜２０％がよ
い。
処理法の具体例としては、ＫＦＡＲ、ＫＲＡＦ。
ＫＲＡＲ−ＫＦ ＡＦ、ＫＲＡＦ −ＫＦ ＡＦ 、Ｋ
Ｒ−Ｋ「−八１−△［、ＫＲ−△Ｒ−ＫＦ−△１、ＫＲ
−→ＡＲ−＞ＫＦ ＡＦ 、ＫＲＡＲ−＞ＫＦ ＡＦ
、ＫＲ→ＡＲ→ＫＲΔＲ→ＫＦ Ａ「、などを挙げるこ
とができるがこれに限定されるものではない。
Ｒ−Ｋ「−八１−△［、ＫＲ−△Ｒ−ＫＦ−△１、ＫＲ
−→ＡＲ−＞ＫＦ ＡＦ 、ＫＲＡＲ−＞ＫＦ ＡＦ
、ＫＲ→ＡＲ→ＫＲΔＲ→ＫＦ Ａ「、などを挙げるこ
とができるがこれに限定されるものではない。
ここで、ＫＲｌＡＲはそれぞれ巨人網目状カチオン交換
樹脂、巨大網目状アニオン交換樹脂、ＫしＡ「はそれぞ
れカチオン交換繊維、アニオン交換、ｍ維である。ＫＲ
ＡＲは、巨大網目状カチオンおよび巨大網目状アニオン
交換樹脂の混合体、Ｋ、Ａ「は、カチオンおよびアニオ
ン交換繊維の混合体である。Ｋ、ＡＲはカチオン交換繊
維と巨大網目状アニオン交換樹脂の混合体である。
樹脂、巨大網目状アニオン交換樹脂、ＫしＡ「はそれぞ
れカチオン交換繊維、アニオン交換、ｍ維である。ＫＲ
ＡＲは、巨大網目状カチオンおよび巨大網目状アニオン
交換樹脂の混合体、Ｋ、Ａ「は、カチオンおよびアニオ
ン交換繊維の混合体である。Ｋ、ＡＲはカチオン交換繊
維と巨大網目状アニオン交換樹脂の混合体である。
ＫＲＡ［は巨大網目状カチオン交換樹脂とアニオン交換
繊維の混合体を意味する。カチオンおよびアニオン交換
繊維の混合体のかわりにカチオン交換繊維と粉末アニオ
ン交換樹脂の混合体もしくはアニオン交換繊維と粉末カ
チオン交換樹脂の混合体を用いてもよい。
繊維の混合体を意味する。カチオンおよびアニオン交換
繊維の混合体のかわりにカチオン交換繊維と粉末アニオ
ン交換樹脂の混合体もしくはアニオン交換繊維と粉末カ
チオン交換樹脂の混合体を用いてもよい。
しかし、電気比抵抗１８ＭΩｃｍ以上でかつ低下ＯＣの
超純水を製造するには、イオン交換繊維による処理が巨
大網目上イオン交換樹脂で処理した後に行なわれる方法
が好ましく、特に巨大網目状イオン交換樹脂で処理した
後、少なくともカチオンおよびアニオン交換繊維の混合
体で処理するのが最も好ましい。
超純水を製造するには、イオン交換繊維による処理が巨
大網目上イオン交換樹脂で処理した後に行なわれる方法
が好ましく、特に巨大網目状イオン交換樹脂で処理した
後、少なくともカチオンおよびアニオン交換繊維の混合
体で処理するのが最も好ましい。
処理する順序の具体例としては、前記したＫＦＡＲ−＋
Ｋ「ＡＦ 、ＫＲＡＦ→ＫＦＡ［、ＫＲ→ＡＲ″ＫＦ八
「・ＫＲＡＲ″ＫＦＡＦ、ＫＲ″ＡＲ→ＫＲＡＲ−＋Ｋ
ＦＡＦなどを挙げることができる。
Ｋ「ＡＦ 、ＫＲＡＦ→ＫＦＡ［、ＫＲ→ＡＲ″ＫＦ八
「・ＫＲＡＲ″ＫＦＡＦ、ＫＲ″ＡＲ→ＫＲＡＲ−＋Ｋ
ＦＡＦなどを挙げることができる。
ここでカチオン交換体とアニオン交換体、特に繊維の混
合（当量）比率としては、通常１０：１〜１：１０であ
るが、好ましくは６：１〜１：６がよい。
合（当量）比率としては、通常１０：１〜１：１０であ
るが、好ましくは６：１〜１：６がよい。
通常カチオン交換基好ましくはスルホン酸基を有するカ
チオン交換体は、酸で活性化し、アニオン交換基好まし
くは四級アンモニウム基を有するアニオン交換体は、ア
ルカリで活性化して用いられる。
チオン交換体は、酸で活性化し、アニオン交換基好まし
くは四級アンモニウム基を有するアニオン交換体は、ア
ルカリで活性化して用いられる。
原水としては、通常工業用水、市水、井水、水道水、地
下水などが用いられるが１、蒸溜水、イオン交換水など
を用いても何ら差支えはない、２さらに、無菌の超純水
を製）告するには、イオン交換処理の前後で紫外線殺菌
処理を行なうこと、また最後にメンブレンフィルタ処理
を行なうことが望ましい。
下水などが用いられるが１、蒸溜水、イオン交換水など
を用いても何ら差支えはない、２さらに、無菌の超純水
を製）告するには、イオン交換処理の前後で紫外線殺菌
処理を行なうこと、また最後にメンブレンフィルタ処理
を行なうことが望ましい。
本発明は、巨人網目状イオン交換樹脂（ＭＲ型およびＭ
Ｐ型樹脂）とイオン交換繊維で処理することによって、
その吸着・イオン交換性能の高さから、電気比抵抗１８
ＭΩｃｍ以上の超純水か安定して、高流速で得られるこ
とにより従来法のような多段階処理を不要にした。その
ため装置は、小型化・簡易化されチコーブ・タンク等が
減少し、配管系でのＴＯＣ溶出が大幅に減少した。
Ｐ型樹脂）とイオン交換繊維で処理することによって、
その吸着・イオン交換性能の高さから、電気比抵抗１８
ＭΩｃｍ以上の超純水か安定して、高流速で得られるこ
とにより従来法のような多段階処理を不要にした。その
ため装置は、小型化・簡易化されチコーブ・タンク等が
減少し、配管系でのＴＯＣ溶出が大幅に減少した。
また、通常のゲル型イオン交換樹脂では吸着できないＴ
ＯＣが、巨大網目状イオン交換樹脂およびイオン交換繊
維の併用処理で吸着可能なことを児い出し、これらのこ
とによって非常に低ＴＯＣ値（現在、一般に超純水のＴ
ＯＣの実用的基準は５０ｐｐｉ）以下と言われている）
の超純水製造を可能にした。
ＯＣが、巨大網目状イオン交換樹脂およびイオン交換繊
維の併用処理で吸着可能なことを児い出し、これらのこ
とによって非常に低ＴＯＣ値（現在、一般に超純水のＴ
ＯＣの実用的基準は５０ｐｐｉ）以下と言われている）
の超純水製造を可能にした。
以下に実施例を示すが、これに限定されるものではない
。
。
［実施例］
実施例１
逆浸透膜を内蔵したモジュールを設置し、その後に市販
の巨大網目状イオン交換樹脂アンバーライ１〜ＦＧ−２
９０，［アンバーライトｌＲ２００Ｃ／アンバーライト
ＩＲＡ９００ ： １／１混合品］１．８．ｆｌ（カチ
オン１．７モル当量、アニオン１゜２モル当量）を前段
に設置し、Ｑ、５ｍｍカットファイバー状の繊維混合体
０．２．Ｑ（カチオン２８ミリ当量、アニオン２４ミリ
当量）を後段に設置したイオン交換カートリッジ、さら
に水質計および市販の０．２２μｍメンブレンフィルタ
（ミリボア社製ＭＩ ＬＬＩＳＴＡＫ−ＧＳ）からなる
超純水装置を作製した。
の巨大網目状イオン交換樹脂アンバーライ１〜ＦＧ−２
９０，［アンバーライトｌＲ２００Ｃ／アンバーライト
ＩＲＡ９００ ： １／１混合品］１．８．ｆｌ（カチ
オン１．７モル当量、アニオン１゜２モル当量）を前段
に設置し、Ｑ、５ｍｍカットファイバー状の繊維混合体
０．２．Ｑ（カチオン２８ミリ当量、アニオン２４ミリ
当量）を後段に設置したイオン交換カートリッジ、さら
に水質計および市販の０．２２μｍメンブレンフィルタ
（ミリボア社製ＭＩ ＬＬＩＳＴＡＫ−ＧＳ）からなる
超純水装置を作製した。
この装置に水道水く電気比抵抗０．０１ＭＱｃｍ）を１
００．ｆｌ／ｈｒの流速で通水して超純水を製造したと
ころ、電気比抵抗１８ＭΩｃｍ以上の超純水が２５００
．１）得られ、その後比抵抗が急速に低下した。超純水
（原水）の水質分析を行なったところ、ナトリウム１
ｐｐｂ以下（７２ｏｏｐｐｂ ） 、シリカ５ ｐｐｂ
以下（８５０ｔ）Ｉ）ｂ）、生菌Ｏ３Ｏ個／ｍｌ以下（
０，６個／ｍｌ）、パイロジエン０．０１Ｆｇ／ｍ１以
下（７，１ＦＭｍｌ） 、０．２μｍ以上の微粒子２５
個／ｄ（６３５００個／ｍ１）でおッた。
００．ｆｌ／ｈｒの流速で通水して超純水を製造したと
ころ、電気比抵抗１８ＭΩｃｍ以上の超純水が２５００
．１）得られ、その後比抵抗が急速に低下した。超純水
（原水）の水質分析を行なったところ、ナトリウム１
ｐｐｂ以下（７２ｏｏｐｐｂ ） 、シリカ５ ｐｐｂ
以下（８５０ｔ）Ｉ）ｂ）、生菌Ｏ３Ｏ個／ｍｌ以下（
０，６個／ｍｌ）、パイロジエン０．０１Ｆｇ／ｍ１以
下（７，１ＦＭｍｌ） 、０．２μｍ以上の微粒子２５
個／ｄ（６３５００個／ｍ１）でおッた。
また、ＴＯＣ計（アメトロ社製。モデル１８００ｐｐｂ
）で測定したＴＯＣは、２０１）Ｉ）ｂ （６８０［
）Ｉ）ｂ ）であった。
）で測定したＴＯＣは、２０１）Ｉ）ｂ （６８０［
）Ｉ）ｂ ）であった。
比較例１
イオン交換カートリッジに前記のイオン交換樹脂アンバ
ーライトＥＧ−２９０，２，０を入れて。
ーライトＥＧ−２９０，２，０を入れて。
イオン交換繊維を用いない以外は実施例１と全く同様の
装置を設置し、同様の手順で超純水を製造しようとした
ところ、電気比抵抗は最高１６．４ＭΩｃｍまでしか上
がらず、又１６．４ＭΩｃｍの水が１６００．ｆ）得ら
れた後、電気比抵抗が徐々に低下した。
装置を設置し、同様の手順で超純水を製造しようとした
ところ、電気比抵抗は最高１６．４ＭΩｃｍまでしか上
がらず、又１６．４ＭΩｃｍの水が１６００．ｆ）得ら
れた後、電気比抵抗が徐々に低下した。
比較例２
イオン交換カートリッジに通常のゲル型イオン交換樹脂
アンバーライトＭＢ−２［アンバーライトｌＲ１２０Ｂ
／アンバーライ１〜ＩＲＡ４１０：１／２混合体］ （
カチオン１．１モル当量、アニオン１．６モル等量）を
１．８ｆ入れ、前記の０゜５ｍｍカットファイバーのイ
オン交換繊維混合体０゜２Ｆを後段に入れたカートリッ
ジを用意し、実施例１と全く同様に超純水を製造した。
アンバーライトＭＢ−２［アンバーライトｌＲ１２０Ｂ
／アンバーライ１〜ＩＲＡ４１０：１／２混合体］ （
カチオン１．１モル当量、アニオン１．６モル等量）を
１．８ｆ入れ、前記の０゜５ｍｍカットファイバーのイ
オン交換繊維混合体０゜２Ｆを後段に入れたカートリッ
ジを用意し、実施例１と全く同様に超純水を製造した。
電気比抵抗１８ＭΩｃｍの超純水が４０００９得られ、
その後電気比抵抗は急激に低下した。
その後電気比抵抗は急激に低下した。
超純水（原水）の水質分析を行なったところ、ナトリウ
ム１１）ｌ）ｂ以下（７５００ｐｐｂ）、シリカ５ ｐ
ｐｂ以下（８５０ｆ）ｔ）ｂ）、生菌０．０（１，５個
／ｍｌ〉、パイロジエン０．０１１（］／ｄ以下（２゜
６ＦＭｍ！り、０．２μ以下の微粒子２７個／ｄ（１０
００００個／７２）であった。
ム１１）ｌ）ｂ以下（７５００ｐｐｂ）、シリカ５ ｐ
ｐｂ以下（８５０ｆ）ｔ）ｂ）、生菌０．０（１，５個
／ｍｌ〉、パイロジエン０．０１１（］／ｄ以下（２゜
６ＦＭｍ！り、０．２μ以下の微粒子２７個／ｄ（１０
００００個／７２）であった。
しかし、前記のＴＯＣ計で測定したところ１３９ｐｐｂ
（６３０ｐｐｂ ）と高い値を示した。
（６３０ｐｐｂ ）と高い値を示した。
なお前記実施例および比較例で用いたカチオンならびに
アニオン交換繊維は次の方法で製造したものである。
アニオン交換繊維は次の方法で製造したものである。
多芯海島型複合Ｉｌｉ維（未延伸糸） （海成分（ポリ
スチレン／ポリプロピレン〉／島成分（ポリプロピレン
）＝ （４７／４）／４９ （席数１６、繊維直径３４
μ）〕を長さ１ｍｍに切断してカットファイバーを得た
。該カットファイバー１重量部を市販の１級硫酸７．５
容量部とパヒド０．１５重量部からなる架橋・スルホン
化液に加え８０’Ｃで４時間反応処理した後、水洗した
。次にアルカリで処理してから水洗することによってス
ルホン酸基を有するカチオン交換繊維を得たく交換容量
２゜８ミリ当量／Ｃｌ−Ｎａ 、含水度１．５）。
スチレン／ポリプロピレン〉／島成分（ポリプロピレン
）＝ （４７／４）／４９ （席数１６、繊維直径３４
μ）〕を長さ１ｍｍに切断してカットファイバーを得た
。該カットファイバー１重量部を市販の１級硫酸７．５
容量部とパヒド０．１５重量部からなる架橋・スルホン
化液に加え８０’Ｃで４時間反応処理した後、水洗した
。次にアルカリで処理してから水洗することによってス
ルホン酸基を有するカチオン交換繊維を得たく交換容量
２゜８ミリ当量／Ｃｌ−Ｎａ 、含水度１．５）。
上記カットファイバー１重量部を市販の１吸硫酸５容量
部、水０．５容量部とパラホルムアルデヒド０．２重量
部からなる架橋液に加え８０’Ｃで４時間架橋反応を行
なった。次にクロルメチルエーテル８．５容量部と塩化
第２スズ１．５容量部からなる溶液に架橋糸を加え、３
０’Ｃで１時間反応した。反応終了後、１０％塩酸、蒸
溜水、アセトンで洗浄した。クロルメチル化系を３０％
トリメデルアミン水溶液１０容量部に加え、３０’Ｃで
１時間アミン化して水洗した。さらに塩酸で処理してか
ら水洗することによってトリメチルアンモニウムメチル
基を有するアニオン交換繊維を得た（交換容量２．４ミ
リ当量／ｇ−Ｃβ、含水度１゜８）。
部、水０．５容量部とパラホルムアルデヒド０．２重量
部からなる架橋液に加え８０’Ｃで４時間架橋反応を行
なった。次にクロルメチルエーテル８．５容量部と塩化
第２スズ１．５容量部からなる溶液に架橋糸を加え、３
０’Ｃで１時間反応した。反応終了後、１０％塩酸、蒸
溜水、アセトンで洗浄した。クロルメチル化系を３０％
トリメデルアミン水溶液１０容量部に加え、３０’Ｃで
１時間アミン化して水洗した。さらに塩酸で処理してか
ら水洗することによってトリメチルアンモニウムメチル
基を有するアニオン交換繊維を得た（交換容量２．４ミ
リ当量／ｇ−Ｃβ、含水度１゜８）。
繊維混合体はカヂオン交換繊維およびアニオン交換繊維
をそれぞれ酸、アルカリで活性化した後、両者を所定の
割合で攪拌混合したものを用いた。
をそれぞれ酸、アルカリで活性化した後、両者を所定の
割合で攪拌混合したものを用いた。
［発明の効果］
本発明の超純水の製造方法は、現在多分野で要望されて
いる低ＴＯＣで水質の極めて高い超純水が得られるだけ
でなく、装置の小型化に適した方法であり、電子工業分
野、医薬品分野、分析分野などでの広い適用が考えられ
る。特に、電子工業分野には非常に有効に用いられる。
いる低ＴＯＣで水質の極めて高い超純水が得られるだけ
でなく、装置の小型化に適した方法であり、電子工業分
野、医薬品分野、分析分野などでの広い適用が考えられ
る。特に、電子工業分野には非常に有効に用いられる。
Claims (2)
- （１）原水を巨大網目状イオン交換樹脂とイオン交換繊
維で処理することを特徴とする超純水の製造方法。 - （２）巨大網目状イオン交換樹脂の処理が、イオン交換
繊維の処理前に行なわれるものである特許請求の範囲第
１項に記載の超純水の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18905086A JPS6344988A (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | 超純水の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18905086A JPS6344988A (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | 超純水の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6344988A true JPS6344988A (ja) | 1988-02-25 |
| JPH039798B2 JPH039798B2 (ja) | 1991-02-12 |
Family
ID=16234451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18905086A Granted JPS6344988A (ja) | 1986-08-12 | 1986-08-12 | 超純水の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6344988A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0356188A (ja) * | 1989-07-25 | 1991-03-11 | Toray Ind Inc | 水溶液の浄化方法 |
| US5722442A (en) * | 1994-01-07 | 1998-03-03 | Startec Ventures, Inc. | On-site generation of ultra-high-purity buffered-HF for semiconductor processing |
| JP2012240029A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-10 | Nippon Rensui Co Ltd | 脱イオン装置 |
| WO2018146309A1 (en) * | 2017-02-13 | 2018-08-16 | Merck Patent Gmbh | A method for producing ultrapure water |
| US11629071B2 (en) | 2017-02-13 | 2023-04-18 | Merck Patent Gmbh | Method for producing ultrapure water |
| US11807556B2 (en) | 2017-02-13 | 2023-11-07 | Merck Patent Gmbh | Method for producing ultrapure water |
| US11820676B2 (en) | 2017-02-13 | 2023-11-21 | Merck Patent Gmbh | Method for producing ultrapure water |
-
1986
- 1986-08-12 JP JP18905086A patent/JPS6344988A/ja active Granted
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0356188A (ja) * | 1989-07-25 | 1991-03-11 | Toray Ind Inc | 水溶液の浄化方法 |
| US5722442A (en) * | 1994-01-07 | 1998-03-03 | Startec Ventures, Inc. | On-site generation of ultra-high-purity buffered-HF for semiconductor processing |
| JP2012240029A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-10 | Nippon Rensui Co Ltd | 脱イオン装置 |
| WO2018146309A1 (en) * | 2017-02-13 | 2018-08-16 | Merck Patent Gmbh | A method for producing ultrapure water |
| CN110248899A (zh) * | 2017-02-13 | 2019-09-17 | 默克专利股份公司 | 用于生产超纯水的方法 |
| JP2020507466A (ja) * | 2017-02-13 | 2020-03-12 | メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＭｅｒｃｋ Ｐａｔｅｎｔ Ｇｅｓｅｌｌｓｃｈａｆｔ ｍｉｔ ｂｅｓｃｈｒａｅｎｋｔｅｒ Ｈａｆｔｕｎｇ | 超純水を製造するための方法 |
| US11629071B2 (en) | 2017-02-13 | 2023-04-18 | Merck Patent Gmbh | Method for producing ultrapure water |
| US11807556B2 (en) | 2017-02-13 | 2023-11-07 | Merck Patent Gmbh | Method for producing ultrapure water |
| US11820676B2 (en) | 2017-02-13 | 2023-11-21 | Merck Patent Gmbh | Method for producing ultrapure water |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH039798B2 (ja) | 1991-02-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |