JPH02298395A - イオン交換樹脂組成物を用いた超純水の製造法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野１ 本発明は水中の全有機性炭素量（以下ＴＯＣという）を
低減させた純水または超純水の製造方法に関し、より詳
しくはイオン交換樹脂からのＴＯＣの溶出を最少減にさ
せたイオン交換樹脂組成物を用いた純水または超純水の
製造方法に関する。

〔従来の技術および発明が解決しようとする課題〕従来
、電子工業における半導体の洗浄用水、医薬製造工業に
おける工程水、原子力発電所の工程供給水やボイラーに
は、高度に精製された純水または超純水が要求される。

この水の製造法として、例えば逆浸透、イオン交換、限
外濾過、紫外線殺菌等を組み込んだ第１図に示される方
法がある。

第１図において、 イ）前処理の種類は原水水質にしたがって選択され、凝
集沈殿、砂濾過、活性炭処理などが用いられる。

口）ポストフィルターとしては、孔径０．２〜２μｍ程
度のミクロフィルターが用いられる。

ハ）イオン交換樹脂カートリッジは再生型強酸性陽イオ
ン交換樹脂　（１）　と再生型陰イオン交換樹脂　（Ｉ
Ｉ）の部系［混合比（体積割合）：（１）　／　（ＩＩ
）　＝％］カートリッジである。

しかるに、近年これらに用いる水の純度を極度に高めた
ものが要求されるようになってきた。たとえば半導体製
造においては集積度を更に高めた１メガ、４メガ、また
は１６メガビツトのＶＬＳＩ　（超ＬＳＩ　）の時代へ
と突入したため、ウェハーの洗浄水の純度は更に高いも
のが要求され、特にユースポイントでの水のＴＯＣは５
０ρｐｂ以下で、可能な限りＴＯＣの低い純水が求めら
れている。このため、ファイナルフィルターとしては最
近は逆浸透膜（以下ＲＯという）が使用され始めたが、
それでもＴＯＣを完全に除くことはできない。

そこで、純水製造システムを構成する逆浸透膜、イオン
交換樹脂等（配管系を含む）からのＴＯＣの溶出を極限
まで低減させるべく、種々の方法が検討されている。特
にイオン交換樹脂自身からのＴＯＣの溶出は従来より所
謂ＴＯＣスルーとして知られており（これは交換基の自
然分解や樹脂骨格の酸化分解により起る）、強酸性陽イ
オン交換樹脂からはスルホン酸イオンやベンゼンスルホ
ン酸等が、強塩基性陰イオン交換樹脂からは、Ｉ型樹脂
の場合のトリメチルアミン等、ＩＩ型樹脂の場合のエチ
レングリコール、その他メタノール、アセトアルデヒド
、ジオキサン、エチルアルコール等の溶出が知られてい
る。

イオン交換樹脂からのＴＯＣの溶出は、樹脂の使用初期
に特に著しく、樹脂の使用が進むにしたがって低減して
くる。したがって、その解決策としては： ｉ）このイオン交換樹脂の溶出有機物の不溶化を図る目
的で、前処理として自然劣化を強制的に行ったり、 ｉｔ）使用前に予めカチオンとアニオン交換樹脂を長期
間混合状態にしておき、カチオンとアニオンをおびたイ
オン交換樹脂の溶出物の静電的特性を利用して、それら
を−緒に静電的に吸着除去してしまおうとする方法 が提案されている。

ｉ）の方法としては次の２つが知られている。

ａ）強塩基性アニオン交換樹脂の安定化法（特公昭６３
−５９７４３）　、これは樹脂を再生型とし、水の存在
下で加熱処理し、使用前にあらかじめ官能基を適度に分
解劣化せしめることにより不純物の溶出の少ないものに
する方法である。

ｂ）特開昭６０−１６６０４０　：これはイオン交換樹
脂を液化ガスあるいは超臨界ガスと接触させることによ
り、樹脂の表面状態を改質し、溶出量を低減させる方法
である。

ｉｉ）の方法としては種々提案されており、たとえば特
開昭６２−１１４６６２　、同６２−４４４７に示され
る方法がある。また、超純水製造システムにより得られ
た超純水のＴＯＣを低減させる方法として、ユースポイ
ントにおいて活性炭またはそれを内包したマイクロカプ
セルと接触させる方法も提案されている（特開昭６２−
５３７８６および６１６８９）が、活性炭類も微量のＴ
ＯＣを持っており、活性炭類による超純水からのＴＯＣ
の除去は、実質的には活性炭類からのＴＯＣの放出と超
純水中のＴＯＣの吸着の差し引き勘定となっている。こ
れらの方法は、いずれもイオン交換樹脂の本来の機能で
ある水中の各種イオンのイオン交換の定量的関係、すな
わち通常水中のアニオン種、カチオン種は等置台まれて
おり、水のｐＨとしてははソ中性を示すイオン除去を基
本としている関係上、イオン交換樹脂の混合比としては
、イオン交換除去を過不足なく行い、かつイオン交換速
度のことも加味すると、強酸性陽イオン交換樹脂（以下
５ＡＣＥＲという）と強塩基性陰イオン交換樹脂（以下
５ＢＡＥＲという）との体積比が１：！、７を基本とし
ているが、実際には１：２で広く用いられている。たソ
、例外的に原子力発電所の復水処理においては、復水中
のイオン除去、特に系内配管系の腐食を引き起すＣＩ　
−。

ｓｏ、　−の最適除去のため、上記体積比が２：１で使
用されている。これらの比率は、最適とは云えないまで
も、今日まで一応満足できるような結果が得られてきた
実績から行われてきたものであり、換言すれば、前記ｉ
）、ｉｉ）に示されるような樹脂溶出成分低減法は必ず
しも最適とは云い難いにも拘らず、上記伝統的な体積比
によるイオン交換樹脂の使用という既成概念からの飛躍
ができないでいるのが現状である。

元来イオン交換樹脂は、水中の各種イオンの完全除去を
目的として使用されるものである。一方、最近の半導体
製造や原子力発電のような高度な科学技術産業分野で必
要な純水または超純水の製造システムでは、水中のイオ
ン除去は段階的に行なわれている。特に第１図に示すよ
うなサブシステムでのイオンの除去は、水中のイオン濃
度が１）ｌ）ｂレベルあるいはそれ以下であるので、イ
オン交換樹脂の使用量は、そのイオン交換能力から考え
ると大過剰であると云える。したがって、イオン交換樹
脂の溶出物の低減法については、今後はこの使用量の観
点からも検討する必要がある。

従来より、混床のイオン交換樹脂、特にＭＲ型に代表さ
れる、多量に孔を有する樹脂は、水中のイオンの除去以
外に、水中のＴＯＣの吸着を行うことが知られている（
イオン交換樹脂、その技術と応用：オルガノ■編、　Ｐ
２４９〜２５１）が、今日、より精製された純水を作る
上で問題となっているのは、樹脂自身から自然溶出する
極微量ＴＯＣで、このＴＯＣの除去、ならびにこの溶出
ＴＯＣの、より少ない、具体的には５０ｐｐｂ以下の、
極限まで低下させた樹脂を合成ないしは樹脂の後処理に
より作ることが、超純水製造における今日的課題である
。

また、イオン交換樹脂からのＴＯＣの放出は水温の関数
でもある。最近の半導体製造工業において超純水製造装
置内に発生、増殖する生菌の殺菌に、系内の高温処理を
行っているが、できればその後直ちに超純水の製造を再
開したいのであるが、イオン交換樹脂からの溶出物の放
出を避けるため、水温を一旦常温まで下げねばならず、
操作性、コスト等、多くの困難があった。

さらに最新の研究（Ｐｅｆ、　Ｊ、Ｒ，５ｔｏｈｌｋｕ
ｓｈ、　Ｒ，Ｍ。

Ｓｔｒｏｍ、　　Ｊ、Ｂ、Ｈｅｎｒｙ　　ａｎｄ　　Ｎ
、Ｅ、５ｋｅｌｌｙ；　　Ｉｄｅｎｔｉｆｉｃａ−ｔｉ
ｏｎ、　ｐｒｅｄｉｃａｔｉｏｎ　ａｎｄ　ｃｏｎｓｅ
ｑｕｅｎｃｅ　ｏｆ　ｔｈｅ　ｄｅ−ｃｏｍｐｏｓｔｔ
ｉｏｎ　ｐｒｏｄｕｃｔｓ　ｆｒｏｍ　ｃａｔｉｏｎ　
ｅｘｃｈａｎｇｅｒｅｓｉｎｓ、Ｉｏｎ　Ｅｘｃｈａｎ
ｇｅ　ｆｏｒ　Ｉｎｄｕｓｔｒｙ；　ＳＣＩ　ｆｏｒｔ
ｈｅ　　ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ　　ｏｆ　　ｃｈｅｍ
ｉｓｔｒｙ　　ａｎｄ　　ｒｅｌａｔｅｄｓｃｉｅｎｃ
ｅｓ；　　Ｔｈｅ　５ｏｃｉｅｔｙ　ｏｆ　Ｃｈｅｍｉ
ｃａｌ　　Ｉｎｄｕｓｔｒｙ；Ｌｏｎｄｏｎ　（１９８
８）　）によれば、イオン交換樹脂の溶出物中には分子
量数百ないし数十万の高分子量のものが存在しており、
これらは、イオン性の強い各種低分子量溶出物が対電荷
を持つ強塩基性陰イオン交換樹脂に容易に静電的に吸着
除去されるのにくらべると、除去が極めて困難であると
報告されている。

強塩基性陰イオン交換樹脂からの溶出物についても全く
同様なことが推定され、したがって従来のイオン交換樹
脂からの溶出物の低減法ｉ）。

ｉｉ）とは全く異なる低減法が希求されている。

本発明は、上述の問題点に鑑み、イオン交換樹脂から溶
出するＴＯＣが最少となるような樹脂組成物を調整する
こと、およびその組成物を用いた超純水の製造法を提供
することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

イオン交換樹脂からのＴＯＣの溶出挙動、樹脂の効果的
洗浄方法および溶出物の効果的除去方法等に関する本発
明者らの検討の結果、イオン交換樹脂の基準型の粒径す
なわちＨａｒｍｏｎｉｃ　ＭｅａｎＰａｒｔｉｃｌｅ　
５ｉｚｅ　　（以下ＨＭＰＳという）の坏値に基づいた
表面積の値を、強酸性陽イオン交換樹脂（ＳＡＣＥＲ）
と強塩基性陰イオン交換樹脂（ＳＢＡＥＲ）でそれぞれ
ＳＣとＳＡとしたとき、両樹脂の混合割合が、その表面
積比で、再生型５ＡＣＥＲ：再生型５ＢＡＥＲ”　ＩＯ
ｘ　Ｓ　ｃ　：　Ｓ　Ａないし４ＸＳＣ：ＳＡになるよ
うにした混合物とした場合に、樹脂から放出されるＴＯ
Ｃが極小となること、およびこの混合比において、さら
に合成炭素質吸着剤を少量添加すると実質的に溶出物質
量が５０ｐｐｂ以下となることがわかった。

本発明に用いられるイオン交換樹脂および合成炭素質吸
着剤を具体的に例示すれば、イオン交換樹脂は東京有機
化学工業側社製アンバーライト（Ａｍｂｅｒ　１　ｉｔ
ｅ、アンバーライトは米国ローム・アンド・ハース社登
録商標）シリーズで示すと、５ＡＣＥＲテハゲル型（７
）ＩＲ−１２０Ｂ、１２２．１２４．　ＸＴ−１００６
゜１０１３、　Ｍ　Ｒ型のアンバーライト２００Ｃ，２
００ＣＴ、　２００ＣＰ、　ＸＴ−１０２６，１０３１
等であり、５ＢＡＥＲテＧ；ｌ’ｌ’ｊｌ、型（７）　
ＩＲＡ−４００，４０２，４０２ＢＬ、　４１０．　Ｘ
Ｔ−５０１６，５０１７゜ＭＲ型（７）ＩＲＡ−９００
，９１０，ＸＴ−５０２８，５０３０等、テュオライト
（Ｄｕｏｌｉｔｅ、デエオライトは米国ローム・アンド
・ハース社登録商標）シリーズやダイヤイオン（Ｄｉａ
ｉｏｎ、ダイヤイオンは三菱化成■登録商標）シリーズ
等の市販品も挙げられる０合成炭素質板着剤としては天
然の石油ピッチ、れき青炭などを球状に成型し、常法に
従い炭化、賦活した炭素質吸着剤、その商品化されてい
るものとしてはクレハ■製球状活性炭バ・ツタ（ＢＡＣ
）がある。また、東ドイツ特許Ｎｏ、　２７０２２およ
び６３７６８Ｇ：：示されるような実質的に孔のないゲ
ル型イオン交換樹脂を炭化した炭素質吸着剤や、特公昭
６３−１７４８５および特開昭６２−７２０９３に示さ
れる多孔性球状架橋共重合体を炭化し、または必要に応
じて賦活した合成炭素質吸着剤である。このうちでも吸
着剤の疎水性の高いものがより好ましい、商品化されて
いるものとしてはローム・アンド・ハース社製アンバー
ソーブ（Ａｍｂｅｒｓｏｒｂ、アンバーライトは米国ロ
ーム・アンド・ハース社登録商標）シリーズがある。こ
の合成炭素質吸着剤中でも使用条件により通常の活性炭
のような細菌類の温床となる可能性の高い不定形や破砕
形は好ましくなく、また、イオン交換樹脂との混合系で
使用されることから、使用中破砕され、水質を悪化させ
るような微粒子の生成され易い物理強度の著しく弱いも
のであってはならない、すなわち少なくともイオン交換
樹脂と同等以上の押しつぶし強度シャチロン値で５００
ｇ／粒子以上さらに好ましくは１　ｋｇ／粒子以上でな
ければならない、また、この炭素質吸着剤による水中の
微量有機物の吸着は物理吸着および有機物中の疎水基と
吸着剤表面との疎水性結合に起因するので、これらの吸
着効果のさまたげとなる炭素質吸着剤の表面酸性官能基
や灰分は少ないほど望ましい。具体的には、通常のピッ
ツバーグ活性炭のそれらの値、すなわちそれぞれ約５　
ｍｅｑ／ｇおよび約５％であり、少なくともこれらの１
０分の１以下、さらに好ましくはそれぞれ０．２ｍｅｑ
／ｇ以下および０．２％以下が望ましい。また、炭素質
吸着剤の疎水性の度合を示唆する炭素：水素元素比は上
記の活性炭では３０：１以上であるがこの値が２Ｑ：ｌ
以下さらに好ましくはｌＯ；１以下が最適である。

本発明で用いるイオン交換樹脂組成物は、常法により再
生した、または公知の方法により再生後、溶出物低減の
ための各種前処理を施した強酸性陽イオン交換樹脂と、
強塩基性陰イオン交換樹脂との混合物であるが、その混
合割合を前述の如くそれらの表面積比が特定の比率の範
囲内になるようにし、または必要に応じてこれに合成炭
素質吸着剤を少量（使用する全イオン交換樹脂量の２５
％以下で十分）混合して使用する。したがって従来のイ
オン交換樹脂塔またはカートリッジの装置がそのまま使
用でき、きわめて簡単である。もちろん合成炭素質吸着
剤を単独で詰めた塔またはカートリッジを該イオン交換
樹脂混合物の塔またはカートリッジの直後に組み込むこ
とも可能である。

さらに該イオン交換樹脂組成物を用いた純水または超純
水の製造法は、逆浸透膜装置、イオン交換樹脂塔または
カートリッジ、限外濾過膜装置、紫外線殺菌器を組み合
せて成るシステムにおいて、一般にユースポイント直前
に設置されている限外濾過膜装置または逆浸透膜装置の
前でかつイオン交換樹脂塔またはカートリッジの直後に
当該イオン交換樹脂組成物を詰めた塔またはカートリッ
ジを設けることになる。もちろん第１図に示される一次
純水タンク以降のサブシステムにおける水中のイオン濃
度は当然１）Ｉ）ｂレベルのきわめて低いものであるこ
とから、サブシステム内のカートリッジボリッシャーに
代えて当該イオン交換樹脂組成物のカートリッジを組み
込んでもよい。

［発明の効果］ 本発明によれば、■イオン交換樹脂から純水への有機物
の溶出が容易に５０ｐｐｂ以下となり、■このイオン交
換樹脂組成物を塔に、もしくはカートリッジに詰め、既
存の超純水製造システムに組み込むことにより、既存の
イオン交換樹脂のカートリッジボリッシャーから溶出す
るＴＯＣの吸着量が増加するので、ＴＯＣのより低減さ
れた超純水が得られ、■このイオン交換樹脂の混合比に
於いては水温の比較的高い条件下でもＴＯＣの溶出がほ
とんどないので常温以上の高い温度条件下でも超純水の
製造が可能となる。

これらの効果により、現状レベルの半導体製造において
は、製品の信頼性および歩留りの向上が可能であり、さ
らに次世代ＶＬＳ　Ｉの量産を可能なものとする。

試験例１ ＳＡＣＥＲとしてアンバーライト　２００　（Ｍ　Ｒ型
）とデュオライト　Ｃ−２０（ゲル型）各３３　ｍβ、
　　５ＢＡＥＲとしてＩＲＡ−９００（Ｍ　Ｒ型）とデ
ュオライト＾−１ＯＩＤ（ゲル型）各６６　ｍｊ２を用
意した。常法に従い、５ＡＣＥＲはｌｌｌＣｌで１４樹
脂当りｌＯ当量で室温にて５Ｖ＝４で再生し、脱イオン
水でＨＣＩが完全になくなるまで洗浄した。５ＢＡＥＲ
はＩ　Ｎ　ＮａＯＨで１ｆ２樹脂当り２０当量で５０℃
にて５Ｖ＝４で再生し、脱イオン水でＮａ叶が完全にな
くなるまで洗浄した。

この混合物を５００ｍ１２メスフラスコに入れ、純水（
ＴＯＣ１００ｐｐｂ以下、溶存酸素０．ｌｐｐｍ以下）
を加え５００ｍｊ２とした。このメスフラスコを５０℃
の恒温槽中に３０日日間上うしつつ放置し、適時上澄み
液を採取しＴＯＣを測定した。また３０日後の液中の溶
出物をゲルフィルトレージョンクロマトグラフィー（Ｇ
ＦＣ）により分析した。その結果は時間経過に従って増
加しく第２図）、　ＧＦＣ分析の結果より、ＴＯＣ成分
中に見かけ分子量（ポリスチレンスルホン酸ソーダとし
て）　２．２００の高分子物質が検出され（第３図）、
この成分は各５ＢＡＥＲを単独で純水中に放出した場合
の主な高分子量成分であり、見かけ分子量２，２００　
、４，０００　、５，９００のうちの１つと一致した。

なお、低分子量溶出物である硫酸、トリメチルアミンは
３０日後の上澄液　はほとんど存在せず、ｐ−ヒドロキ
シベンゼンスルホン酸とｐ−スルホ安息香酸と推定され
る物質、その他未知物質が微量逆相クロマトクラフィー
（ＲＰＣ）により検出された（第４図）。

ＧＦＣおよびＲＰＣの分析条件は以下の通りである。

検出器　　　　　：　５ＰＤ−６Ａ　（島津製作所（Ｈ
）　；ＵＶ１０ｎｍ ＰＣ カラム　　：　ＰＷＸＬ４０００＋　ＰＷＸＬ２５θ０
（直列つなぎ）（東ソー■） 溶離液　　：　０．２Ｍ−ＮａｚＳＯ４＋　１０％アセ
トニトリル 流速　　　：　０．５ｍｌ　／ｍｉｎ 注入量　　：１００μ２ ＰＣ カラム　　：　５ｉｌｉｃａ　０ＤＳ−８０Ｔ＆１（東
ソーｆｌｌＩ３） 溶離液　　：４５％アセトニトリル 流速　　　；　Ｑ、　５５１１２／ｍｉｎ注入量　　＝
５０μβ 試験例２ 試験例１の樹脂において、下記の基準型）ｉＭＰｓのも
のを、 ）ＩＭＰＳ値 アンバーライト　２００ＣＱ、７６ ／／　　　　ＩＲＡ−９０（１０，７２デュオライトＣ
−２００，７２ ）ｌ　　　　　Ａｌ０ＩＤ　　　Ｏ，６１基準型で全量
５０ｍ２になるようかつその混合比がその表面積比で５
ＡＣＥＲ：　５ＢＡＥＲ＝　１０：０．９：ｌ。

４：ｌ、　２：Ｉ、　１：１．　ｌ：２．１：４．１：
９および０：１０になるように変化させ、これら各樹脂
組成物を試験例１と同様に再生、洗浄し、メスフラスコ
に入れ、５０℃恒温槽中に放置し、適時上澄み液を採取
し、そのＴＯＣを測定した（第５図および第６図）、こ
れより両樹脂の面積比が５ＡＣＥＲ：　５ＢＡＥＲ＝１
０：１〜４：１で溶出ＴＯＣが最小となることが明らか
となった。

試験例３ 試験例２において、表面積比で５ＡＣＥＲ二５ＢＡＥＲ
＝１：１の３０日後の溶出液各２５ｍ１に対して下記表
１の炭素系吸着剤各１ｇを添加し、２５℃にて溶出物の
平衡吸着量とＴＯＣ除去率を求めた（混合比（ＳＡＣＥ
Ｒ：５ＢＡＥＲ）が９／Ｉの場合はＴＯＣ量が低すぎて
実験不能）。結果を表２に示す。

＄　１　：　ＣＡ−１の炭素系吸着剤は以下のように合
成されたものである。

ポリビニルアルコール５．０ｇ、カルボキシメチルセル
ロース２８％ＮａＣ１５６ｇを蒸留水１．５４に溶解し
、スチレン２００ｇ、ジビニルベンゼン（市販品：純度
５９％）　１３２ｇ、ブタノール２４０ｇ、過酸化ベン
ゾイル１．５ｇを混合したものを加え攪拌下８５℃にお
いて６時間反応させた。得られた多孔性架橋重合体４０
ｇを１５％発煙硫酸５００ｇ中で１１０℃にて６時間ス
ルホン化・反応を行い、Ｈ２ＳＯ４で洗浄後水洗いし、
乾燥を行い、ついでＮ２中３００℃／Ｈｒの昇温速度で
９５０℃まで焼成した。見かけ比重は０．５であった。

この多孔性球状炭素を水蒸気雰囲気で８００℃において
２時間賦活を行なった。この合成炭素系吸着剤（ＣＡ−
１）を三日丸底フラスコに入れ、吸着剤５０ｍβに対し
て蒸留水をＩＩ２加え、煮沸条件下で加熱し洗浄した。

デカンテーションにより上澄液を捨て、新たに蒸留水な
加太同様な操作により充分洗浄し、乾燥して試験に供し
た。他の炭素質系吸着剤についても同様な蒸留水による
洗浄を行った。

試験例４ 表３．４．５および６に記載した各混合比での各種イオ
ン交換樹脂組成物（使用した各樹脂は、試験例１　　（
）ＩＭＰＳは試験例２と同じ）で使用したものと同一で
あり、かつ同一条件で再生し、再生後の樹脂について、
その表面積比が表３．４．５および６に記載した割合に
なるように混合したもの）　３００ｍ℃を内径１インチ
高さ１．２ｍのガラスカラムに詰め、実験室用簡易脱イ
オン水製造装置アンバーライト　ＩＲ−１２０Ｂ塔（Ｉ
ｌｌ）、次いでＩＲＡ−４００塔（１０β）、次いでア
ンバーライト　ＩＲ−１２０Ｂ／ＩＲ′Ａ−４ｏｚ　Ｂ
Ｌモノベッド（混合体積比ｌ：１１合計８１２）に通水
して得た脱イオン水（インラインの純度：　１８ＭΩｃ
ｍ以上、ＴＯＣ２２０ｐｐｂ）を、上記各カラムに５Ｖ
＝２０にて室温にて通水し、２０分後の流出液のＴＯＣ
を東し−アストロＴＯＣメーター１８００にて測定した
。結果は以下の通りである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方法を実施するｌ態様を示す工程図であ
る。 第２〜４図は試験例１によって得られた結果を、第５〜
６図は試験例２によって得られた結果をそれぞれ示す図
である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）イオン交換樹脂塔またはカートリッジと、逆浸透装
   置、限外濾過装置、紫外線殺菌器の各単位操作装置もし
   くは器具の単独または組み合せにより純水または超純水
   を製造する方法において、該イオン交換樹脂塔またはカ
   ートリッジに充填する再生型強酸性陽イオン交換樹脂と
   再生型強塩基性陰イオン交換樹脂との混合物における両
   者の混合比が、その各々の基準型の平均粒径値に基いた
   表面積をそれぞれＳ＿ＣとＳ＿Ａとしたとき、両樹脂の
   混合割合が再生型強酸性陽イオン交換樹脂：再生型強塩
   基性陰イオン交換樹脂＝１０×Ｓ＿Ｃ：Ｓ＿Ａないし４
   ×Ｓ＿Ｃ：Ｓ＿Ａとなっていることを特徴とする純水ま
   たは超純水の製造法。 ２）イオン交換樹脂塔またはカートリッジに、イオン交
   換樹脂とともに合成炭素質吸着剤を混合するか、または
   イオン交換樹脂塔またはカートリッジのあとに、該吸着
   剤を充填したカートリッジの組み込まれている請求項１
   記載の製造法。 ３）請求項１または２記載のイオン交換樹脂塔またはカ
   ートリッジの上流側直前に、更に通常のイオン交換樹脂
   塔またはカートリッジが設けられている請求項１または
   ２記載の製造法。 ４）合成炭素質吸着剤が多孔性球状架橋重合体を炭化し
   又は、炭化し賦活した炭素質吸着剤あるいは天然の石油
   ピッチ、またはれき青炭を球状に成形し常法に従い炭化
   、賦活した炭素質吸着剤である請求項２記載の製造方法
   。 ５）合成炭素質吸着剤の混合割合が、全イオン交換樹脂
   量の２５％以下である請求項２記載の製造法。 ６）合成炭素質吸着剤の表面酸性官能基量が０．２ｍｅ
   ｑ／ｇ以下、灰分含有量が０．２％以下、炭素：水素の
   元素比が１０：１以下である請求項２記載の製造法。