JPS6339703Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 本考案は、集積回路の製造工程などで使用され
るマスクあるいはレチクル（以下「マスク」と総
称する）に対する塵埃付着等を防止するマスク保
護装置に関するものである。

〔考案の背景〕 従来のマスク保護装置としては、例えば所定の
基板上に形成されたマスクパターン部分よりも広
い開口部を有するフレームの一方の開口面に、ペ
リクルと称される薄膜を張設し、該フレームの他
方の開口面をパターン部分が含まれるように基板
に対して適宜の接着手段により接着したものがあ
る。この装置によれば、薄膜は、マスク表面から
一定の距離をもつてフレームにより支持される。
なお、必要に応じてマスクの表裏のいずれの面に
対しても薄膜の張設された枠が接着される。この
ような保護装置は、塵埃などのマスクへの付着を
防止してマスクを保護する機能を有しており、集
積回路等の生産性向上に寄与するものである。

例えば、半導体製造用のフオトマスクに塵埃等
が付着すると、フオトリソグラフイの工程中にお
いて該塵埃等のパターンが半導体ウエハに投影さ
れることがあり、これによつて製造された半導体
素子の動作不良などの信頼性の低下を招くことと
なる。上述した保護装置を用いれば、フレームと
このフレームに張設した薄膜とによつてマスク上
の雰囲気と外気とがしや断されることとなり、か
かる不都合が低減される。

ところで、以上のようなマスク保護装置では、
薄膜を張設したフレームを基板に対して接着剤な
どを用いて取り付けていたため、内部は極めて気
密性のよい状態となつている。従つて、航空機に
よる輸送あるいは高所への移動などを行う場合に
おいては、内圧と外気圧との圧力差によりフレー
ムに張設された薄膜が膨出したりあるいは窪んだ
りする。このような薄膜の出没変形は、膜自体の
光学的特性を変化させるのみならず、程度によつ
ては薄膜がマスク面に接触したり、あるいはマス
ク搬送中に、周囲の金物に薄膜が接触して膜が破
損し異物がマスクに付着して使用不能となるなど
の不都合を招く。

〔考案の目的〕

本考案は、かかる点に鑑みてなされたものであ
り、上述した不都合を解消し、気圧変動を原因と
する薄膜の出没変形を防止するマスク保護装置を
提供することをその目的とする。

〔考案の概要〕

本考案によれば、マスク基板１００上に設けら
れたマスク保護装置１０４，２０４，３０４，４
０４の枠部材１０８，２０８，３０８，４０８に
少なくとも１つの通気孔１１６，２１６，３１
６，４１６が設けられ、該通気孔には、塵埃等の
通過を阻止するフイルタ部材１２２，３２２，４
２２が設けられている。

〔実施例〕

以下、本考案にかかるマスク保護装置を添附図
面に示す実施例に基づいて詳細に説明する。

第１図には、本考案の第一実施例が示されてお
り、この図の装置−線に沿つた断面が第２図
に示されている。これら第１図及び第２図におい
て、マスクのガラス基板１００のうち、例えば表
面には、所定のパターンがクロムなどの材料によ
つて形成されている。この部分は、パターン領域
１０２としてハツチングにより図示されている。

マスク保護装置（以下単に「ペリクル」とい
う）１０４は、前述したパターン領域１０２を十
分にカバーできる開口部１０６を有するフレーム
１０８を中心に構成されている。この実施例で
は、ほぼ四角形状にフレーム１０８が形成されて
いる。

フレーム１０８のうち、ガラス基板１００側と
反対側の端部には、薄膜１１０が張設されてお
り、ガラス基板１００側の端部は、接着剤１１２
によつてガラス基板１００に接着されている。す
なわち、ガラス基板１００、フレーム１０８、薄
膜１１０及び接着剤１１２によつて閉空間１１４
が形成されている。

次に、フレーム１０８の各辺には、通気孔１１
６が各々設けられている。詳述すると、通気孔１
１６は、例えば0.5ないし２mm程度の径を有して
おり、フレーム１０８の外側において拡径部１１
８に連続している。また、通気孔１１６と拡径部
１１８との接合部分には、段部１２０が形成され
ている。この段部１２０には、フレーム１０８の
外側からフイルタ１２２が接着剤１２４によつて
通気孔１１６に固定されるように接着されてい
る。このフイルタ１２２は、拡径部１１８と略同
一の径を有しており、段部１２０から剥れても通
気孔１１６の方向に侵入しないように、すなわち
フレーム１０８、ガラス基板１００及び薄膜１１
０で囲まれた空間内に脱落しないよう配慮されて
いる。

フイルタ１２２としては、空気は通すものの塵
埃は通さないものが使用され、メンプランタイプ
のものが好適である。例えば、日本ミリポア・リ
ミテツド社により輸入・販売されているMFミリ
ポアフイルター（商品名）、等が使用される。こ
れらのうち、MFミリポアフイルターは、セルロ
ース混合エステルを材料として通気性のあるフイ
ルターに形成したものである。なお、縮小投影型
露光装置等においてレチクルを装着使用する際に
おいては、投影レンズの縮小倍率と解像力の関係
から、一定以下例えば0.5ないし1μｍ程度の大き
さのゴミはデフオーカスして解像されない。従つ
て、このような露光時にデフオーカスされる程度
の大きさの塵埃を空気とともに通すようなフイル
タであつても実用上は差し支えないこともある。

次に上記実施例の全体的作用について説明す
る。フイルタ１２２は、フレーム１０８の外側す
なわち拡径部１１８側から接着剤１２４により段
部１２０に接着される。上述したようにガラス基
板１００、フレーム１０８、薄膜１１０及び接着
剤１１２によつて閉空間１１４が形成されている
が、この閉空間１１４は、フイルタ１２２を介し
て外部空間と連設されることとなる。このため、
閉空間１１４内の圧力PIと外部空間すなわち外
気の圧力PO（第２図参照）との間に不均衡が生じ
てもフイルタ１２２を空気が通過して圧力の不均
衡が是正され、閉空間１１４内の圧力PIと外部
空間の圧力POとは薄膜１１０の変形を伴うこと
なく均衡することとなる。

従つて、気圧変動等を原因とする薄膜１１０の
出没変形が防止され、薄膜１１０自体の光学的特
性の変化や損傷等が防止されることとなる。

次に、第３図を参照しながら本考案の第２実施
例について説明する。この実施例は、両面ペリク
ルの場合であり、ガラス基板１００の表面には、
前述した第１実施例と同様にペリクル１０４が取
付けられており、またガラス基板１００の裏面に
は、ペリクル１０４と同様のペリクル２０４が取
付けられている。ペリクル１０４が矢印FAの如
くガラス基板１００に取付けられたときに形成さ
れる閉空間１１４と、ペリクル２０４が矢印FB
の如くガラス基板１００に取付けられたときに形
成される閉空間２１４とは、連通していないの
で、ペリクル２０４にも通気孔２１６、拡径部２
１８が形成され、その段部（図示せず）には、フ
イルタ（図示せず）がペリクル１０４と同様に接
着されている。

次に、本考案の第３の実施例について説明す
る。第４図には第３実施例が示されており、この
図の−線に沿つた断面が第５図に示されてい
る。なお、前述した実施例と同様の構成部材につ
いては、同一符号を用いることとする。第４図及
び第５図において、ガラス基板１００の表面に
は、パターン領域１０２を内包するようにペリク
ル３０４が接着剤３１２により接着して取付けら
れている。薄膜３１０が張設されたフレーム３０
８の各辺には、通気孔３１６が各々設けられてい
る。この実施例では、フレーム３０８の各辺の内
角付近に通気孔３１６が設けられており、上述し
た拡径部１１８及び段部１２０は形成されていな
い。

通気孔３１６のうち、フレーム３０８の外側に
は、通気孔３１６の径より大きく通気孔３１６を
十分にカバーできる大きさのフイルタ３２２が接
着剤３２４によつて通気孔３１６をふさぐように
接着されている。すなわち、この実施例では、フ
イルタ３２２がフレーム３０８からはみ出してい
るが、第１ないし第２の実施例では、拡径部１１
８及び段部１２０によりフイルタ１２２がフレー
ム３０８からはみ出すことがないよう考慮されて
いる。

この実施例でもフイルタ３２２の通気性により
薄膜３１０の変形を伴うことなくペリクル３０４
の内部の圧力と、外気の圧力とが均衡する点では
共通する。しかしながら、ペリクル３０４が取付
けられたマスクあるいはレチクルに対応できる露
光装置、検査装置などにおいて適宜の搬送手段に
より自動搬送を行う場合においては、搬送中にフ
イルタ３２２が剥れるおそれがある。しかし、第
１及び第２の実施例ではかかる不都合は生じな
い。

第６図は本考案の第４の実施例である。

本実施例のペリクル４０４においては、薄膜４
１０が張設されたフレーム４０８の一部（又は全
部）を内フレームと外フレームとに分離された構
造とし、内フレームと外フレームとの間にフイル
タ４２２を挾み込むようにする。その内フレーム
と外フレームには対向して通気孔４１６が設けら
れている。それら内フレーム、外フレーム、フイ
ルター４２２はともに接着剤によつて固定され
る。

なお、上記いずれの実施例においても、通気孔
は、フレームの各辺のいずれかに少なくとも１つ
形成すれば目的を達成できる。また、その位置も
適宜でよい。更に、上記実施例は、いずれもペリ
クルが四角形状のフレームにより構成されている
場合であるが、その他の形状であつても本考案は
適用できるものである。

付言するに、ペリクルの内側にフイルタを取付
けるようにしても圧力を均衡させることはでき
る。しかしながら、この場合には、何らかの原因
でフイルタがはずれると、ペリクル全体をマスク
基板から取り外してフイルタを除去しなければな
らないという不都合がある。従つて上記各実施例
のように、フイルタは、ペリクルの内側に落ち込
まないように取付けるようにした方が好ましい。

また、フイルタは、必要に応じて１つの通気孔
に２以上設けるようにしてもよく、２以上のフイ
ルタの通気特性を異ならしめるようにしてもよ
い。

〔考案の効果〕

以上説明したように本考案によるマスク保護装
置によれば、フレームに少なくとも１つの通気孔
を設け、この通気孔にフイルタを設けることとし
たので、塵埃等の装置内への侵入を防止しつつ圧
力の均衡が図られることとなり、これによつて気
圧変動による薄膜の出没変形を防止して薄膜の光
学的特性の低下あるいは薄膜自体の接触、破損等
を防止することができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案にかかるペリクルの第１実施例
を示す斜視図、第２図は第１図の装置の−線
に沿つた断面図、第３図は本考案の第２実施例を
示す分解斜視図、第４図は本考案の第３実施例を
示す斜視図、第５図は第４図の装置の−線に
沿つた断面図、第６図は第４実施例を示す断面図
である。 主要部分の符号の説明、１００……ガラス基
板、１０２……パターン領域、１０４，２０４，
３０４……ペリクル、１０８，２０８，３０８…
…フレーム、１１０，２１０，３１０……薄膜、
１１６，２１６，３１６……通気孔、１１８，２
１８……拡径部、１２０……段部、１２２，３２
２……フイルタ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) マスク基板のパターン領域を含むように枠部
   材の一方の縁部が該マスク基板上に当接すると
   ともに、マスク基板の表面に対して一定の間隔
   を有するように枠部材の他方の縁部に膜手段が
   張設されたマスク保護装置において、 前記枠部材には少なくとも１つの通気孔が形
   成され、該通気孔には塵埃等の通過を阻止する
   フイルタ部材が、前記枠部材、マスク基板及び
   膜手段で囲まれた空間内に脱落しないように設
   けられていることを特徴とするマスク保護装
   置。 (2) 前記フイルタ部材は、前記通気孔の断面より
   も大きな形状を有する実用新案登録請求の範囲
   第１項記載のマスク保護装置。 (3) 前記フイルタ部材は、前記枠部材の外側から
   取付けられる実用新案登録請求の範囲第１項又
   は第２項記載のマスク保護装置。 (4) 前記フイルタ部材は、前記枠部材の中に埋設
   するように取付けられる実用新案登録請求の範
   囲第１項ないし第３項のいずれかに記載のマス
   ク保護装置。