JPS6336045Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案はエツチング液を用いて、各種材料の
エツチングをおこなうのに使用されるエツチング
装置に関する。

この種エツチング装置は従来、半導体集積回
路、数字電極その他複雑で寸法精度の要求される
ものの蝕刻に使用されている。

（従来例） 第３図はこのようなエツチング装置の従来例を
示すものである。

図中２１はエツチング槽であつて、その断面形
状が楕円状の曲面からなり、降下するエツチング
雑渣を含むエツチング液を排出口へ円滑に導び
く。

エツチング槽２１の内部には被エツチング材料
２５をエツチング槽２１内に供給し移送するため
の搬送手段２６例えばローラコンベアが設けら
れ、更に搬送手段２６の上方および下方には搬送
された被エツチング材料２５の上・下面にそれぞ
れ対向するようにしてエツチング液の噴射手段２
７，２７′が設けられている。更に噴射手段の下
方、すなわちエツチング槽２１の下部には、エツ
チング液の排出口３０が形成されている。エツチ
ング残渣を含むエツチング液は、エツチング残渣
を含むエツチング液の流れとともに排出口３０を
経てスクリーン部材３１へ流れる。

そして排出口３０より整流となつて排出される
エツチング残渣を含むエツチング液を、エツチン
グ残渣とエツチング液とに分離する。エツチング
残渣はスクリーン部材３１に沿つてエツチング残
渣回収手段３３へ落下するが、大部分のエツチン
グ液はスクリーン部材３１を通過してそのままエ
ツチング液貯溜槽３６へ落下する。

エツチング残渣回収手段３３はスクリーン部材
３１と貯溜槽３６の間に棚状に設けられ、その底
部はエツチング液のみを通過させるメツシユ３５
が設けられている。従つてスクリーン部材３１よ
り落下したエツチング残渣はメツシユ３５上に回
収され適当な手段で外部に排出される。貯溜槽３
６は、スクリーン部材３１及びエツチング残渣回
収手段３３から落下するエツチング液が該槽内へ
流入するように一部が開放された槽である。

貯溜槽３６に貯溜されたエツチング液は循環手
段（図示せず）によつて再び噴射手段２７，２
７′，３２，３４へ送られる。

このような構成に係るエツチング装置において
は、噴射手段２７，２７′から噴射され、被エツ
チング材料２５と接触した後降下するエツチング
液は排出口３０に流れスクリーン部材３１上を通
過するが、その際、エツチング液の大部分がスク
リーン部材３１を透過して貯溜槽３６に降下する
が、小量のエツチング液とともにエツチング残渣
はこのスクリーン部材３１上を搬送され、回収手
段３３に落下蓄積される。またこのエツチング残
渣と同時に回収手段３３に落下する少量のエツチ
ング液はメツシユ３５を通過してエツチング液貯
溜槽３６に導入される。

（発明が解決しようとする問題点） 従来のエツチング装置に於いては、被エツチン
グ材料の搬送手段は一条であつた為に一度に一つ
のラインで一回分しか被エツチング材料をエツチ
ングする事が出来なかつた。また、このとき被エ
ツチング材料の搬送手段を複数条設けると一度に
一つのラインで複数回分被エツチング材料をエツ
チングする事が出来るが、そうすると各々のライ
ンのエツチング槽内に於ける位置によりエツチン
グすらを生じ、それを解消する為の調整は事実上
困難であり、またラインを上下に分けて設けた場
合には上のラインのエツチング残渣が下のライン
に流れるということと、ラインを左右に分けて設
けた場合は各々のラインにおいて外側と内側でエ
ツチングの差異が生じ、実用には向かなかつた。
また、エツチング槽の大きさについても大きいと
エツチングむらを生じ、小さいと互いのエツチン
グ残渣の影響を受け、両方の条件を両立させるエ
ツチング槽はなかつた。

（問題を解決する為の手段） 被エツチング材料の搬送手段と被エツチング材
料に対するエツチング液の噴射手段とエツチング
液の排出口とを持つエツチング槽と、排出口より
排出されたエツチング残渣を含むエツチング液が
送られ、エツチング残渣を収容し且つエツチング
液を通過させるメツシユを設けたエツチング残渣
回収手段を設け、エツチング液貯溜槽よりなるエ
ツチング装置に於いて、上記被エツチング材料の
搬送手段を複数条設け、かつ各々の被エツチング
材料の搬送手段の数に対応してエツチング液の噴
射手段とエツチング液の排出口を持つエツチング
槽を各々に設け、かつエツチング残渣回収手段を
共通に設けたエツチング装置とする。

（作用） 本考案により、被エツチング材料の搬送手段を
複数条設け、かつ各々の被エツチング材料の搬送
手段の数に対応してエツチング液の噴射手段とエ
ツチング液の排出口を持つエツチング槽を各々に
設けることにより、被エツチング材料の搬送手段
の条数に応じただけエツチングできる被エツチン
グ材料の数を増やす事が出来、しかも従来のエツ
チングに劣らない品質で被エツチング材料にエツ
チングを施す事が出来る。

（実施例） 以下本考案の実施例を示す第１図および第２図
に基いて説明する。

図中２１，４１は各々別なエツチング槽であつ
て、縦に二段重ねに設けられており、その断面形
状が楕円状の曲面からなり、降下するエツチング
残渣を含むエツチング液を排出口へ円滑に導びく
とともに該筒状側壁に薄片等が附着するのを防止
している。叙上の目的を達するものであれば断面
形状は円形であつてもよく、又その他の形状であ
つてもよい。

各々のエツチング槽２１，４１の内部には被エ
ツチング材料２５，４５をエツチング槽２１，４
１内に供給し移送するための搬送手段２６，４６
例えばローラコンベアが設けられ、更に搬送手段
２６，４６の上方および下方には搬送された被エ
ツチング材料２５，４５の上・下面にそれぞれ対
向するようにしてエツチング液の噴射手段２７，
２７′，４７，４７′が設けられている。更に該噴
射手段の下方、すなわち、エツチング槽２１，４
１の下部には、エツチング液の排出口３０，５０
が形成されている。

エツチング残渣を含むエツチング液は、エツチ
ング残渣を含むエツチング液の流れとともに排出
口３０，５０各々が合流しスクリーン部材３１へ
流れる。

ただし、このとき排出口３０，５０へエツチン
グ残渣やエツチング液の回収方法は、本例の様に
片流しに限らず、エツチング槽の筒状側壁の左右
両端部を互いに段違いにして排出口へ導くならど
の様な方法でもよい。

そして排出口３０，５０より整流となつて排出
されるエツチング残渣を含み、合流したエツチン
グ液を、エツチング残渣とエツチング液とに分離
する。エツチング残渣はスクリーン部材３１に沿
つてエツチング残渣回収手段３３へ落下するが、
大部分のエツチング液はスクリーン部材３１を通
過してそのままエツチング液貯溜槽３６へ落下す
る。スクリーン部材３１の上方には、必要ならば
噴射手段を設け、エツチング残渣がスクリーン部
材３１の傾斜面に沿つて円滑に落下するのを補助
してもよい。

更にスクリーン部材３１は耐蝕性材料例えばチ
タン部材３１及びエツチング残渣回収手段３３か
ら落下するエツチング液が該槽内へ流入するよう
に一部が開放された槽である。

このような構成に係るエツチング装置において
は噴射手段２７，２７′，４７，４７′から噴射さ
れ、被エツチング材料２５，４５と接触した後降
下するエツチング液は排出口３０，５０に流れて
パイプ３２を通過し、さらにスクリーン部材３１
上を通過するが、その際、エツチング液の大部分
がスクリーン部材３１を透過して貯溜槽３６に降
下するが、小量のエツチング液とともにエツチン
グ残渣はこのスクリーン部材３１上を搬送され、
回収手段３３に落下蓄積される。なお、このとき
パイプ３２にはガス抜き３４が設けられている。
またこのエツチング残渣と同時に回収手段３３に
落下する少量のエツチング液はメツシユ３５を通
過してエツチング液貯溜槽３６に導入される。

しかし、上述のようなエツチング残渣分離手段
は貯溜槽に設ける必然性がなく、もし別途エツチ
ング残渣とエツチング液を分離してからエツチン
グ液を貯溜槽にもどす構成であつてもよい。

また、この様なエツチング残渣分離手段として
は固液分離装置を用いてエツチング液と小量のエ
ツチング液およびエツチング残渣との混合物に分
離する方法でもよい。このときは直接貯溜槽へも
どされるエツチング液は90％ほどで、残りのエツ
チング液を回収する手段を持つ。

この様なエツチング液の循環手段は、第２図に
示す様にエツチング液貯溜槽３６にポンプ３７が
２台設けられ、各々別々に噴射手段２７，２７′，
４７，４７′にエツチング液が送られ再びエツチ
ングに供される。また、このエツチング液の循環
過程で徐々に失なわれるエツチング液を補充する
為に僅かずつポンプ３８によりエツチング液貯溜
槽３６へエツチング液が送られる。

また、一方回収手段３３に落下蓄積され、もし
くは固液分離装置により分離された小量のエツチ
ング液とエツチング残渣は貯留タンク（図示せ
ず）やフイルタープレス（図示せず）によつて分
離され、分離されたエツチング液は補充エツチン
グ液の一部としてポンプ３８によりエツチング液
貯溜槽３６へもどされる。

（考案の効果） 本考案で搬送手段を複数条にするとともにエツ
チング液の噴射手段とエツチング液の排出口を持
つエツチング槽を各々に設けることにより、エツ
チングの処理を条数に応じて増やす事が出来、し
かも従来のエツチングに比べて劣らない精度のエ
ツチングを被エツチング材料に施す事が出来、一
つのラインの長さが非常に長いエツチングライン
においては特にラインの増設が困難であるが、本
例の様な場合は簡易な改造によりエツチング処理
能力を向上する事が出来、しかも合理化する事が
出来る。

また、エツチング残渣回収手段をラインの全て
の条の搬送手段において共通にしたのでエツチン
グ装置のエツチング能力が数倍になつたとしても
装置自体は比較的コンパクトに納まる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の一実施例のエツチング装
置の断面図、第２図は第１図の別方向よりの断面
図を各々示す。第３図は、従来のエツチング装置
の断面図を示す。 ２１，４１……エツチング槽、２６，４６……
搬送手段、２７，２７′，４７，４７′……噴射手
段、３０，５０……排出口、３１……スクリーン
部材、３２……パイプ、３３……エツチング残渣
回収手段、３５……メツシユ、３６……エツチン
グ液貯溜槽、３７，３８……ポンプ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 被エツチング材料の搬送手段と被エツチング材
   料に対するエツチング液の噴射手段とエツチング
   液の排出口とを持つエツチング槽と、排出口より
   排出されたエツチング残渣を含むエツチング液が
   送られ、エツチング残渣を収容し且つエツチング
   液を通過させるエツチング残渣回収手段を設け、
   エツチング液貯溜槽よりなるエツチング装置に於
   いて、上記被エツチング材料の搬送手段を複数条
   設け、かつ各々の被エツチング材料の搬送手段の
   数に対応してエツチング液の噴射手段とエツチン
   グ液の排出口を持つエツチング槽を各々に設け、
   かつエツチング残渣回収手段を共通に設けた事を
   特徴とするエツチング装置。