JPS61198269U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61198269U JPS61198269U JP8028485U JP8028485U JPS61198269U JP S61198269 U JPS61198269 U JP S61198269U JP 8028485 U JP8028485 U JP 8028485U JP 8028485 U JP8028485 U JP 8028485U JP S61198269 U JPS61198269 U JP S61198269U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- etched
- etching liquid
- tank
- conveying
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 17
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 4
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Weting (AREA)
Description
第１図は、この考案の一実施例のエツチング装
置の断面図、第２図は第１図の別方向よりの断面
図を各々示す。第３図は、従来のエツチング装置
の断面図を示す。 ２１，４１……エツチング槽、２６，４６……
搬送手段、２７，２７′，４７，４７′……噴射
手段、３０，５０……排出口、３１……スクリー
ン部材、３２……パイプ、３３……エツチング残
渣回収手段、３５……メツシユ、３６……エツチ
ング液貯溜槽、３７，３８……ポンプ。
置の断面図、第２図は第１図の別方向よりの断面
図を各々示す。第３図は、従来のエツチング装置
の断面図を示す。 ２１，４１……エツチング槽、２６，４６……
搬送手段、２７，２７′，４７，４７′……噴射
手段、３０，５０……排出口、３１……スクリー
ン部材、３２……パイプ、３３……エツチング残
渣回収手段、３５……メツシユ、３６……エツチ
ング液貯溜槽、３７，３８……ポンプ。
Claims (1)
- 被エツチング材料の搬送手段と被エツチング材
料に対するエツチング液の噴射手段とエツチング
液の排出口とを持つエツチング槽と、排出口より
排出されたエツチング残渣を含むエツチング液が
送られ、エツチング残渣を収容し且つエツチング
液を通過させるエツチング残渣回収手段を設け、
エツチング液貯溜槽よりなるエツチング装置に於
いて、上記被エツチング材料の搬送手段を複数条
設け、かつ各々の被エツチング材料の搬送手段の
数に対応してエツチング液の噴射手段とエツチン
グ液の排出口を持つエツチング槽を各々に設け、
かつエツチング残渣回収手段を共通に設けた事を
特徴とするエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8028485U JPS6336045Y2 (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8028485U JPS6336045Y2 (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61198269U true JPS61198269U (ja) | 1986-12-11 |
| JPS6336045Y2 JPS6336045Y2 (ja) | 1988-09-26 |
Family
ID=30625989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8028485U Expired JPS6336045Y2 (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6336045Y2 (ja) |
-
1985
- 1985-05-29 JP JP8028485U patent/JPS6336045Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6336045Y2 (ja) | 1988-09-26 |
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