JPS63313322A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は金属薄膜からなる記録磁性層を有する磁気記録
媒体の製造方法に関する。

（従来Ｏ技術） 垂直龜気記録方式は高密度記録技術として多くの優れた
特徴金持ち、その実用化に向けて各所で精力的に研究が
なされている。１直磁気記録に用いる配線Ｓ体（以下、
真直＠気記録媒体という）としてはＢａ−フェライトの
ようなマグネトプラムバイト型結晶構造を有する酸化物
ｉ’１ｌｌｉＥを２蹟磁性層とするもＤと、Ｃｏ−Ｃ′
ｒ、　Ｃｏ　−Ｖ、　Ｃｏ−Ｃｒ　−Ｒｈ等Ｏｅ属薄膜
を記録磁性層とするものが最近では主に研究されてｉる
。特に、フロッピーディ゛スク等で１！！弔さ作る可撓
注喬脂フィルム基体を使える＠度下での一債が可能とい
う点から、Ｂａ−７７工ライトｗＩ嘆にくらべ低温での
成膜か可能な浸者の金褐簿Ｉｌ！型媒体が出直＠気記録
媒体として有望視されて＾る。

金属薄膜塁垂直磁気記鎌楳本は、従来から用ｉられてい
る塗布型媒体、すなわちγ−Ｆ　ｅ　＊　ＯｓやＣｏ−
γ−Ｆｅ、ｏ、等の憔磁柱体粒子金バインダ中に外敵し
て基体上に塗布したｆｆｌ気記録媒体とは全く異質の構
成のため、Ｌ相比に当っては塗布製媒体で問題とならな
かった新たな課題が生じる。その代表的なものが、媒体
が高温高湿度等の環境に耐える性質、すなわち耐食性の
維持と、Ｉ気ヘッドＣ）接触走行に耐え得る性質、すな
わち耐久性の確保でおる。

金１４性薄膜聾媒体の耐久性を向上させるために。

記録磁性１−の上に非磁性保護層を形成したり、さらに
液体または固体潤滑剤による潤滑７ｄ　ｋその上に設け
る等の方法が従来考えられてるが、これらの方法による
耐久性の向上は、実用的見地からは未だ不十分であると
言える。それは耐久性評唾の結果にばらつきがみられる
という形であられれる。つまシ耐久性の高い媒体もあろ
が耐久性の低い媒体も存在する結果となった。この問題
解決のための作動な施策として、耐久性を損わせる一つ
の原因となる金属薄膜媒体の表面に存在する突起？除去
する方法があり、具体的には全４Ａ博膜媒体の表面と研
磨テープ等によシ＠磨することによ）制久性のばらつき
倉なくシ、全体の耐久性のレベルの向上が可能となった
。しかし５Ｆｒ磨により突起部分を除去する際に母性層
が剥離し又はｆｉＪＦＭされ。

非磁性基板が娼出し、再生時にミッシングパルスｒ発生
する間鴎が生じた。この問題を解決する手段として基板
ケ研磨したのち、その上に記録磁性１１１　ｋ形成する
方法ｒ実施した。しかしこの方法では、記・録磁性層を
連続的に形成する際、金鴎ロールとＯ接触等により発生
する突起には対処できないため、信頼性ｒ向上させる効
果が不十分であった。従って媒体の信頼性を向上させる
ために、耐久性ｒ向上させ、なおかつミッシングパルス
の発生を伴なわない施′Ｍを講じることが必要である。

（発明が解決しようとする問題点） こＱように従来の金属薄膜型磁気記録媒体の製造技術で
ある保掻層■形式や潤滑層を設ける等の手ｆｆ１ｋ用い
ても媒体の示す耐久性のばらつきが大きい友めに、実用
に供し得る１ａ気記録媒体を得ることは困難であった。

ｉ九耐久性のばらつきｔ抑える九めに有効である媒体の
表面ｔ−研磨する手法Ｏ導入は研磨に伴ないミッシング
パルスを発生させるため信頼性向上という面では未だ不
十分でちり之。従うて本発明はミッシングパルスの発生
ｒ抑えかつ耐久性が高く耐久性のばらつきが小さい、金
属薄膜からなる記録磁性＃を有する磁気記録媒体の製造
方法ｒ提供することを目的とする。

［発明０構成］ （問題点を解決するための手段） 本発明は非磁性基板上に下地１−倉形成し、該下地を一
〇衣面を表面上の突起を除去すべく研磨したのち、金属
１Ｖｉｌ！２からなる記録磁性層を形成するものである
。

（作用） 配分磁性１−の表面ま九は非磁性保護層の表面上に突起
があると、ｆｆｉ気ヘッドが媒体に接触して走行する際
に突起部分Ｏ記録磁性１−や非磁性保護層が削れること
によってダストが発生する。このダストが媒体ヘッド間
に巻込まれると、それがｔＩｉ本の叡ｗ１社もたらし、
耐久性を損なう要因となる。

本発明に基づいて下地層の表面上の突起を前もってｇｆ
磨によシ除去し、しかる麦に記録磁性層を形成すると、
媒体自身からのダスト供給がなくなるため、媒体ヘッド
間へのダスト０巻き込みに起因する媒体の損傷が抑制さ
れ、耐久性の向上が図られる。−また、記録磁性層が剥
離しないため、、研磨に伴なうミッシングパルスの活生
は起こらない。

（実施例） ・君１図は本発明？フロッピーディスク上側として説明
した図である。まず、基板１０の上に下池４１１’ｉ形
成し、表面に存在する突起２１ｉ研磨によって除去する
。しかるのち金ｆｉｄ膜からなる記＠磁性Ｉ＠　１２　
ｉ形成する。これによりヘッドにス よる突起の汲謙が防止され、ダクトの発生がなくなり、
媒体・ヘッド間へのダストの巻き込みに起因する媒体の
損傷が抑制で１、耐久性が向上する。

第２図に本光明■一実施例における研磨工程ｒ説明する
ための図である。下地＋ｆｉｔ形成し、フロノヒーティ
スクの形感ｔし九基板１の中央部にセンターハゲ２が取
ｆ寸けられ、このセンターハフ゛２がモータ３に連結さ
れている。七−夕３により前記蟇仮１が口伝走行させら
れるとき、研磨テープ４の表面に基板ｌがｆなる力で押
付けられる。また該研磨テープ４は矢印５で示すように
定速で送られる。これにより基板１０表面が研磨される
。

また光面上の突起が除去される。研磨テープ４としては
例えばテープ状店体の上に、研磨材としてＡｈＯ８：ｌ
ｌ：１００００粒子ｒ塗布したものが使用される。

一方、この研磨により除去された破片倉取去るべく、ク
リーニングテープ６が研磨テープ４と同様に基板ｌの表
面に接触しつつ、矢印７で示すよりに送られる。なお、
これら６Ｊ＋磨テープ４およびクリーニングテープ６は
、磁気記録媒体１の少なくとも妃碌が行なわれる煩戚全
戚金研磨およびクリー二／グできるように、矢印８．９
で示すように基板ｌの生伍方向にも移動可能となってい
る。

、Ａ３図は＠若テープ４により基板ＩＧＤ表面倉研舊す
る様子ｒ拡大しＣ示したものでｈｖ、基本上０上に下池
１．１ｉ１１が形成されている媒体の表面【研磨する場
曾である。

下地ｊ婦１１は９例えば第４図に示すような連続薄膜形
成装置によって形成することが可能である。

真ｑ３（３４ｏの内部に可撓性ｗ脂フィルム基体４２七
供給する供給ロール４１．加熱ローラ４３ａ。

４３ｂ、および等本４２ｔ−巷取る巻取りロール４４が
設けられている。なお、ガイドローラ等は図では省略し
ている。ｔた、加熱ローラ４３ａ、４３ｂ■周囲に対向
して１例えばＳ１０．ターゲット４５ａ９４５ｂが設け
られており、これらのターゲット４５ａ、４５ｂは外部
の電源４６ｍ、４６ｂから電力が供給される。

上記のような装置【用い、供給ロール４１から送シ出さ
れた可撓性樹脂フィルム基体４２が第１の加熱ローラ４
３１Ｌｖ）周囲を通過する際に、まず基体４２の一方の
面上に８１０．薄膜からなる下地層をスパッタ・リング
により形成し１次いで基本４２が第２の加熱ローラ４３
ｂの局面ｔａ遇する際に。

基本４２の他方の面上に同様にしてｓｉｏ、４ｇからな
る下地７１１形成し友。こりして両面に下地層が形成さ
れた侵、基本４２は巻取シロール４４に巻取られる。

こうして下地層が形成され九基本を３．５インチ棧Ｑデ
ィスク形状に打抜いたもの？６０枚用意しその９５３０
枚については、第２図に示した装置によシ媒体の衣」と
研磨し突起を除去する処理を行なった。残り３０枚はそ
のままとした。これら６０枚θディスクについて、第５
図に示した装置ｒ用いて表面に記録出性層を形成した。

第５図に示す４膜形成長置は真空槽５１の内部に基板ホ
ルダ５２およびそれに対向するターゲット（例えばＣｏ
（：’ｒ）５３が設けられ、を源５４よシ供給されるＲ
Ｆ出力に；り基板ホルダー５２に保持された下地ノーの
形成されたディスク！！ｉ阪５５にスパッタリングを行
なうものである。しかる麦、８ｇ５図に示した畏は■タ
ーゲラ）　５３　ｉ’　５ｉｆｔにかえ、媒体′０表面
に非磁性保護層１０．０２μｍ形成した。

こうして作製した３、５インチのフロッピーディスクＱ
主髪諸元テ４１表に示す。

第　　１　　表 こうして異なった２つのグループ各３０枚Ｏフロッピー
ディスクのうち各２０枚について同一条件で洗浄処理お
よび潤滑処理を行なり九。

これら講なつた２つのグルー１６２０枚のフロンビーデ
ィスクについて同じ磁気ヘッド（Ｍ　ｎ　−Ｚｎ：ｊ、
イライトヘッド、曲率半径５０Ｒ）ｋ用い、同一条件の
もとて耐入試＞Ｊｌｋ　ｋ行った。再生出力が初期出力
の７０％’ｔで低下した時点をもつでディスク寿命とし
、その状態に至るまでのディスク■走行回数（パス）を
耐久性とし友。その耐久試験の結果を第６図に示す。第
６図の横軸は耐久性。

縦軸はそれぞれの耐久性を示す媒体の割合であり。

（ａ）は＠磨処理を施していないディスク、（ｂ）は下
地１４形成侵研磨処理ｔｔ１ｆＡｔ、たディスクについ
ての結果である。

第６図から明らかなように１ａ）Ｃ）研磨処理を施して
いないディスクは、耐久性のばらつきが大きく、耐久性
の低いものが多くみられる。これに対してｔｂ）の研Ｗ
Ｉ？を施し九ディスクは、耐久性のばらつきは小さくな
っている。すなわち、いずれも４００万パス以下０耐久
性のものは全くなく、１０００万パス以上の高い耐久性
ｒ示すものｏｉａｕ曾が高い。

前記の異なった２つのグループ各１０枚のフロッピーデ
ィスクを用意し、そのうち下地層を形成浸研磨処理を行
なり九フロッピーディスクについてはそのまま、研磨処
理を行なわなかつ九媒体について鉱、第２図に示した装
置により媒体の表面【研磨し突起ｒ除去する処理を行な
う次段、同−粂件で洗浄処理および潤滑処理を行なった
。これら異なった２つのグループ各１０枚ずつ計２０枚
のフロッピーディスクについて、ミッシングパルスｋ　
６１１１　’ｆした。トラック幅は１２０μｍでちる。

結果′ｆｒ：第７図に示す。（ａ）は研磨処理全行なっ
た浸、記＠ミ住層および保獲ｌ−金形成し九ディスク、
ｔｂ）は記号磁性層および保ｄｌｊ２形成し九よ、研磨
処理上行なったディスクである。

＠７図から明らかなように本発明に基づき、研磨処理を
行なったｔ！に、記録磁性層および保護層を形成したデ
ィスクは、ミッシングパルスはほとんどみられない。こ
れに対し、記録磁性１−および保護４　ｋ形戎麦研磨し
たディスクは、研磨時の磁性ｌ―の剥離に伴なうミッシ
ングパルスの発生がみられる。

このように本発明に基づき下地１−を形成し之麦研磨処
理し、記録磁性１−および保ｄａｎｋ杉成することｖｃ
↓９ミッシングパルスｋＡ生することなく耐久性が向上
する理由は、研４によってディスク表面上の突起が除去
されるとともに、そのうち記録磁性ｊ―および保ｄ１−
金形成することにぶり、研磨による磁性層の剥離が起こ
らないなめである。

第８１１ａ）に示すようにディスク表面上に突起２１が
あると、同図（ｂ）に示すように磁気へラド２３が換触
して走行する間に突起２１が壊れ、ダスト２２となる。

このようにして生じたダストは、ヘッドが安定に走行し
ている状態においてはディスク・ヘッド間に巻込まれる
ことはないが、ヘッドとディスク半陽方向に＃動させる
ときや、ディスクの熱膨張、装置の撮動といり九非平衡
の状態においてディスク・へｔド間に巻込まれ易い、デ
ィスクヘッド間に巻込まれたダストは、無視できない確
率でディスクの破壊【もたらす。

これに対し本発明のように基板の下地層ｔ−影形成、し
かる決に研磨上行なうことによシ第９図に示すようにデ
ィスク費面の突起が除去され、ダストの発生がなくなる
。さらにその上に記録磁性層【形成することで、突起Ｏ
除去に伴なう磁性層の剥４ｒ！起こらないため、研磨に
伴なうミッシングパルスの発生がない。

本発明は上記した実施例に限定されるものでは。

なく、要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施が可能
である０例えば実施例では打ち抜いた後に＠磨および記
録磁性層、非磁性保護層の形成テ行なり九が、研磨およ
び記録磁性層、非伍性保鏝層の形成をそれぞれ連続的に
行なうことができる。

媒体ｔ−４続的に研磨する装置としては、第１０図に示
すように巻き取りロール１１１．送シ出しロール１１２
お↓び研磨テープ１１３、クリーニングテープ１１４ｖ
ｆ−設けたもの金用いればよい、また研磨鎌の記録磁性
層、非磁性保護ＩｆＪ形成は第４図に示す装置を用いれ
ばよい。

さらｒＣ１前述した耐久試１険は下地層がＳｉｎ、。

記録磁性層がｃｏ−（：ｒ合金薄膜で、記録磁性層の上
に非磁性保護層が形成されている媒体の場会θ例である
が、本発明に基づく真面突起除去のため０研磨処理は、
下地層がＳ　ｉ　Ｏ，以外の酸化物？！膜や窒化物薄膜
、炭化物薄膜、炭素膜や、５ｉｔＧｅ等Ｑ＃−導体＃膜
でおっても良い。

父、下地層が磁気記録層の一部ｔｆｉねる場合、ｔｌｊ
えば２層媒体におけるＦ　ｅ　−Ｎ　ｉ膜、Ｆ　ｅ−８
１膜、　Ｃｏ　−Ｎ　ｂ系非晶質膜、でもよい。又Ｃｏ
−Ｃｒｉ　２又は多）−形成とし最初形成する１が下地
層Ｏ役ＪＦ！ｌ　ｋは九してもよい。

［発明の効果］ 本発明によれば、非磁性基板上に形成された下１１ｔ！
！１−の表面の突起？研磨によシ除去し、そののら記録
磁性；−および非磁性保護＃茫形成することにより、ミ
ッシングパルスの発生を防ぎながら媒体自身からのダス
ト供給ｒなくシ、媒体・ヘッド間のダストの巻込みに起
因する媒体の損傷を防止し。

耐久性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ｒｒ、＊発明における研磨処理および記録磁性噛
杉成ｒ説明する為の図、化２図は本発明Ｏ−実施＠ｖＣ
訃ける研磨工程ケ説明するため■研磨湊喧■Ｗ成ｒ示す
正面図および側面図、礪３図は研磨の様子忙示す拡大図
、第４図に下地噛、記録磁性；脅および非磁性保護層の
成膜に使用する連続薄８ａ形成ｖｃ置の例を示す図、第
５図にフロッピーディスク状に打抜いた媒体の記＠凪性
層および非磁性保護層Ｏ成膜に使用する薄膜形成装置の
例を示す図、第６図は本発明に基づく研磨済媒体０耐久
試験、結果の一例を示す図、箒７図は研磨済媒体のミッ
シングパルス醐定り結果の一例七示す図、第８図は金桟
Ａｆ？Ａからなる記録磁性層を有する磁気記録媒体の表
面突起に起因する耐久性劣化のメカニズムｒ説明するた
めθ図、第９図は本発明における研磨処理お；び記録磁
性Ｆ＃形成を説明するための図、第１０図は＄発明にお
ける＠層処理茫連続的に行なう研磨装置の構成の一例を
示すため０図である。 １・・・磁気記録媒体、４・・・＠磨テープ、５・・・
クリーニングテープ、ｌＯ・・・可撓性ｉｌｔ脂フィル
ム基本。 １１・・・下地１１．１２・・・記録磁性＋ｄ、１３・
・・非磁性保護ＩＪｉ、２１・・・突起％２２・・・ダ
スト、２３・・・磁気ヘラ　ド。 代理人　弁理士　　則　近　Ｗｌ　　右同　　　　　　
　　松　　山　　光　　２篤１図 エータ−第　　２　　図 第３図　　　第５＠ 第　　４　　図 パＸ　　　＜ｘｔＱ″ン　　　　　　　　　７、”１（
ＸＩＯ”）（α）（ｂ） 第　　６　　図 ミッシ〉７＋パルλ　Ｃ”／ｓ；ａｅン　　　　　　　
　　ミッシガパルス（４Ｍ！／ｓ；ｋ）（ｃＬ）　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ｔｂ）纂
　　７　　図 αυ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（ｂ）第
　　８　　図 系　　９　　図

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性基体上に下地層を形成し、しかる後金属薄
   膜から成る記録磁性層を形成する磁気記録媒体の製造方
   法において、前記非磁性基体上に形成した下地層の表面
   を研磨する工程を具備することを特徴とする磁気記録媒
   体の製造方法。
2. （２）前記記録磁性層上に非磁性保護層を形成する工程
   を具備することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の磁気記録媒体の製造方法。
3. （３）最上層上に固体又は液体潤滑剤層を形成する工程
   を具備することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
   の磁気記録媒体の製造方法。
4. （４）前記記録磁性層が、ＣｏとＣｒの少くとも一つを
   主成分とする合金から成ることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の磁気記録媒体の製造方法。