JPH0636278A - 金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、磁性層やダイヤモンド状炭素保護
膜層への傷つきを抑えてＤＯを低減させる、金属薄膜型
磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。 【構成】 非磁性支持体上の一面に、金属薄膜よりなる
磁性層、ダイヤモンド状炭素薄膜よりなる保護膜層およ
び潤滑層を形成した金属薄膜型磁気記録媒体において、
磁性層を形成した後、その表面を平均粒径が０．５μｍ
以下の砥粒を用いた研磨層がベースフィルム上に形成さ
れた研磨テープでバニッシングし、この上より保護膜層
を形成させ、さらにその表面をバフ研磨部材でバニッシ
ングする金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法である。 【効果】 磁性層および保護膜層の傷が抑えられるた
め、磁性層の錆の発生やＶＴＲ走行時のテープダメージ
が抑えられ、且ＤＯを低減させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ビデオテープ、オーデ
ィオテープあるいはコンピュータ用テープ等として用い
られる金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ビデオテープ、オーディオテープあるい
はコンピュータ用テープ等の磁気記録媒体は、現在多量
に生産販売されている。中でもビデオテープは、ビデオ
テープレコーダ（以下ＶＴＲと略す）の普及とともに一
般に広く使用されている。最近のＶＴＲの開発は、高画
質化の方向にあり、これを実現させるためのテープとし
て、記録密度の向上が容易な金属薄膜を磁性層としたビ
デオテープ（以下金属薄膜テープと云う）が開発されて
いる。この金属薄膜テープは、このままでは金属薄膜が
錆てしまうため、ダイヤモンド状炭素保護膜層を設けて
防錆し、さらにこの上より潤滑層を設けてＶＴＲ等での
走行安定性を確保している。しかしながら、記録密度を
向上させると、今まで問題とならなかったテープ表面の
付着物や突起がドロップアウト（以下ＤＯと略す）とし
て現われてくる。したがって、高画質化を実現させるた
めのテープとしては、記録密度を向上させることと併せ
てＤＯを低下させることが必要である。この点より、磁
気記録媒体をバニッシング部材と接触走行させてその表
面をバニッシングすることにより、付着物や突起を除去
してＤＯを低下させることが検討されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】金属薄膜テープの表面
を、砥粒を結着材で固めた研磨層をベースフィルム上に
形成させた研磨テープでバニッシングすると、研磨テー
プの大きな研磨力によりテープ表面の付着物や突起が除
去でき、大きなＤＯ低減効果が得られる。しかし、突起
と一緒にその上に形成されたダイヤモンド状炭素保護膜
層も取り除かれるため、その部分の磁性層に錆が発生し
たり、テープの正常部分に多数の傷をつけたりしてしま
う。上記保護膜層は、スペーシングロスを少なくして電
磁変換特性を確保するために０．０５μｍ程度以下の厚
さで形成されいてる。したがって、上記のテープ正常部
分の傷は、保護膜層の厚さがこのように薄いために磁性
層まで到達してその部分の磁性層に錆を発生させたり、
さらに保護膜層だけでなく磁性層にも大きな深い傷をつ
けてしまい、ＶＴＲで走行時にこの傷を起点に磁性層に
クラックが入ったりテープが折れ曲がったりする等のテ
ープダメージを与えてしまう。研磨テープの研磨層の砥
粒の大きさを小さくしたり、またテープ走行時の張力を
低くして金属薄膜テープと研磨テープとの接触力を小さ
くしていくと、それにしたがってテープ正常部分の磁性
層まで到達する傷は少なくなっていく。しかし、研磨テ
ープを使用する上では、この傷を全てなくすことはでき
ず、またＤＯを低下させるために突起を除去する限り、
その部分の磁性層の錆の発生を抑えることはできない。

【０００４】一方、バフ研磨部材をバニッシング部材と
して用いると、保護膜層にほとんど傷をつけずに表面の
付着物を除去することはできるが、研磨力が非常に小さ
いため突起を除去することはできない。したがって、テ
ープ表面を研磨力の小さなバフ研磨部材でバニッシング
しても、ＤＯの大幅な低減は期待できない。ここで、バ
フ研磨部材とは、周知のように不織布、綿布、フェル
ト、サイザル麻等の比較的軟らかい材質よりなる研磨部
材でシート状で用いられる。

【０００５】本発明は、上記課題を解決するもので、磁
性層やダイヤモンド状炭素保護膜層への傷つきを抑えて
ＤＯを低減させるための、金属薄膜型磁気記録媒体の製
造方法を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の金属薄膜型磁気
記録媒体の製造方法は、上記課題を解決するために、非
磁性支持体上に金属薄膜よりなる磁性層を形成させ、そ
の表面を平均粒径が０．５μｍ以下の砥粒を用いた研磨
層がベースフィルム上に形成された研磨テープでバニッ
シングし、この上よりダイヤモンド状炭素保護膜層を形
成させ、さらにその表面をバフ研磨部材でバニッシング
するものである。

【０００７】

【作用】金属薄膜テープのＤＯの主な原因は、非磁性支
持体上に磁性材料を蒸着して磁性層を形成する時、溶融
した磁性材料の突沸により飛散した磁性材料が磁性層表
面に融着してできる突起、および磁性層やダイヤモンド
状炭素保護膜層表面へ付着した原反端面からの脱落粉や
浮遊塵埃（以下付着物と云う）等である。このようにＤ
Ｏの原因は、その内容や状態が各製造工程で異なってい
る。したがって、その内容や状態に合った方法で除去す
ることが重要である。

【０００８】磁性層表面の付着物は、磁性層上の突起の
ように磁性層と一体となったものではないため、小さな
研磨力のバニッシング部材であっても磁気記録媒体と接
触走行させることにより比較的容易に除去することがで
きる。しかし、磁性層に融着した突起を除去するには、
研磨力の大きいバニッシング部材でバニッシングする必
要がある。この時、磁性層表面に大きく深い傷が入る
と、ＶＴＲで走行時にこの傷を起点に磁性層にクラック
が入ったり、あるいはテープが折れ曲がったりして実用
できなくなる。したがって、突起の高さをＤＯに影響し
ない程度に低下させる研磨力があり、且つ磁性層表面傷
が抑えられる部材でバニッシングすることが必要であ
る。磁性層表面傷は、研磨テープの研磨層に用いる砥粒
の大きさや磁気記録媒体走行時の張力（磁気記録媒体と
研磨テープとの接触力）に関係する。しかし、磁気記録
媒体走行時の張力は、媒体にダメージが入らず、媒体を
安定に走行させるため一定の範囲に制御されている。し
たがって、磁気記録媒体走行時の張力を低くして磁性層
表面傷を抑えるには限度があり、大幅に低減させること
は難しい。一方、砥粒の大きさは、容易に変えることが
でき、粒径が小さくなるにしたがって研磨層表の面粗さ
が小さくなるため磁性層表面傷が小さく浅くなってい
き、平均粒径が０．５μｍ以下となると、実用上問題と
ならない程度に表面傷を抑えることができる。砥粒の粒
径が小さくなると研磨力も少し小さくなるが、テープ表
面に突起があるとその部分の研磨テープとの接触力は他
の部分より高くなるため、突起部分が優先的に研磨され
て突起の高さをＤＯに影響しない程度に低下させること
ができる。

【０００９】この後、磁性層上にダイヤモンド状炭素保
護膜層を形成させる。保護膜層上のＤＯの主な原因は付
着物であり、保護膜層に傷をつけずに付着物を除去する
には、研磨力の小さな部材でバニッシングすればよい。
したがって、磁気記録媒体を研磨力の小さなバフ研磨部
材と接触走行させてその表面をバニッシングすることに
より、保護膜層に傷をつけずに付着物を除去することが
できる。

【００１０】以上のように、磁性層表面を研磨層に平均
粒径が０．５μｍ以下の砥粒を用いた研磨テープでバニ
ッシングし、その上より設けたダイヤモンド状炭素保護
膜層表面をバフ研磨部材でバニッシングする工程を設け
ることにより、磁気記録媒体の傷つきを抑えてＤＯを低
減させることができ、本発明の目的を達成することがで
きる。

【００１１】

【実施例】本発明の一実施例について、以下に詳述す
る。

【００１２】図１に、バニッシング装置の概略図を示
す。金属薄膜型磁気記録媒体１は、繰り出しロール２か
ら繰り出され、ガイドローラ３、バッキングローラ４、
ガイドローラ３上を走行し、巻取りロール５で巻取られ
る。一方、バニッシング部材６は、繰り出しロール７か
ら繰り出され、バッキングローラ４上を走行し、巻取り
ロール８で巻取られる。この時、磁気記録媒体１は、バ
ッキングローラ４上でバニッシング部材６と接触走行し
てその表面がバニッシングされる。尚、磁気記録媒体１
およびバニッシング部材６は、図中の矢印の方向に走行
している。

【００１３】また、図２に、本実施例に用いた金属薄膜
型磁気記録媒体の概略図を示す。９は、厚さが１０μｍ
のポリエチレンテレフタレートフィルムよりなる非磁性
支持体、１０は、Ｃｏ−Ｎｉ（Ｎｉ１５ｗｔ％）を４〜
７×１０^-5（Ｔｏｒｒ）の酸素中で非磁性支持体９上に
蒸着して約０．２μｍの厚さに形成した磁性層、１１
は、磁性層１０上にメタンガスのプラズマ重合により約
０．０１μｍの厚さに形成したダイヤモンド状炭素薄膜
よりなる保護膜層、１２は、パーフルオロカルボン酸系
潤滑剤を５ｍｇ／ｍ²の条件で保護膜層１１上に塗布し
乾燥させて形成した潤滑層、１３は、非磁性支持体９の
磁性層１０と反対面に設けた結合樹脂中にカーボンブラ
ックを分散させた厚さが約０．５μｍのバックコート層
である。実施例には、幅が２００ｍｍの原反を用いた。

【００１４】まず、金属薄膜型磁気記録媒体の製造工程
で、非磁性支持体９上に磁性層１０を形成した後、その
表面を、Ｃｒ₂Ｏ₃、Ｆｅ₂Ｏ₃を研磨層の砥粒とし、平均
粒径をかえた全厚が３０μｍ、幅が２５０ｍｍの研磨テ
ープでバニッシングした。バニッシング後、この上にダ
イヤモンド状炭素保護膜層１１を形成し、その表面を綿
１００％の不織布でバニッシングした。この後この上に
潤滑層を形成し、８ｍｍ幅にスリットして試験用試料を
作成した。尚、磁性層および保護膜層表面のバニッシン
グは、原反の速度６０ｍ／分、張力１．５ｋｇ、ラップ
角２５度、バニッシング部材の速度２０ｍｍ／分でおこ
なった。

【００１５】比較例として、上記で磁性層表面を平均粒
径が大きな研磨テープでバニッシングしたもの、保護膜
層表面を媒体走行時の張力を１／３（０．７５ｋｇ）に
低下させて研磨テープでバニッシングしたものを試作し
た。また保護膜層表面だけを綿１００％の不織布でバニ
ッシングしたもの、同様に研磨テープでバニッシングし
たもの、および磁性層および保護膜層両面ともバニッシ
ングしないものを試作した。

【００１６】以上の試作テープを、次に示した項目につ
いて評価した。 この結果を（表１）に示す。 （１）ドロップアウト（ＤＯ） ８ｍｍＶＴＲ（ＳＯＮＹ製、ＥＶ−Ｓ９００）を用い、
幅が１５μｓ、深さが１６ｄＢ以上の信号欠落をＤＯと
して測定した。 （２）錆の発生 ４０℃、８０％ＲＨの環境に１月間保存させた後のテー
プ表面の錆の発生状態を調べた。錆がほとんど発生して
いないものを◎、僅かに発生しているが実用上問題とな
らないものを○、錆の発生が多く実用上問題となるもの
を×、として評価した。 （３）テープダメージ ４０℃、８０％ＲＨの環境で上記ＶＴＲで１００回繰り
返し走行させた後のテープのダメージを調べた。。ダメ
ージがないものを◎、少しあるが実用上問題とならない
ものを○、クラックや折れ曲がり等のダメージが発生し
実用上問題となるものを×、として評価した。

【００１７】

【表１】

【００１８】以上の結果のように、本発明の製造方法に
よる金属薄膜型磁気記録媒体は、錆の発生やＶＴＲ走行
時のテープダメージが抑えられ、且ＤＯが低減する。

【００１９】本発明において、磁性層表面のバニッシン
グに、Ｃｒ₂Ｏ₃、Ｆｅ₂Ｏ₃を砥粒とした研磨テープを使
用したが、ＳｉＣ、Ａｌ₂Ｏ₃等を砥粒とした、研磨力の
大きなものであれば同様の効果が得られる。また、保護
膜層のバニッシングに、綿１００％の不織布を使用した
が、綿布、フェルト、サイザル麻等研磨力の小さなバフ
研磨部材であれば同様の効果が得られる。

【００２０】本発明において、バニッシング部材の走行
は、磁気記録媒体の走行と逆方向であったが、同一方向
としても同様の効果が得られる。

【００２１】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、磁性層表
面を平均粒径が０．５μｍ以下の砥粒を用いた研磨テー
プでバニッシングし、さらにその上に設けた保護膜層表
面をバフ研磨部材でバニッシングすることにより、磁性
層および保護膜層の傷が抑えられるため磁性層の錆の発
生や実使用時のテープダメージを抑えることができ、且
ＤＯを低減させることができて、高画質化に対応した金
属薄膜型磁気記録媒体の製造方法を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】磁気記録媒体のバニッシング装置の概略図

【図２】金属薄膜型磁気記録媒体の概略図

【符号の説明】

１ 金属薄膜型磁気記録媒体 ２ 繰り出しロール ３ ガイドローラ ４ バッキングローラ ５ 巻取りロール ６ バニッシング部材 ７ 繰り出しロール ８ 巻取りロール ９ 非磁性支持体 １０ 磁性層 １１ ダイヤモンド状炭素保護膜層 １２ 潤滑層 １３ バックコート層

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】非磁性支持体の一面に金属薄膜よりなる磁
   性層が形成され、この上よりダイヤモンド状炭素保護膜
   層および潤滑層が形成された金属薄膜型磁気記録媒体に
   おいて、非磁性支持体上に磁性層を形成させ、その表面
   を平均粒径が０．５μｍ以下の砥粒を用いた研磨層がベ
   ースフィルム上に形成された研磨テープでバニッシング
   する工程と、この上よりダイヤモンド状炭素保護膜層を
   形成させ、その表面をバフ研磨部材でバニッシングする
   工程とを有する金属薄膜型磁気記録媒体の製造方法。