JPS6124011A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

垂直磁気記録媒体

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Publication number
JPS6124011A
JPS6124011A JP14467784A JP14467784A JPS6124011A JP S6124011 A JPS6124011 A JP S6124011A JP 14467784 A JP14467784 A JP 14467784A JP 14467784 A JP14467784 A JP 14467784A JP S6124011 A JPS6124011 A JP S6124011A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
film layer
recording medium
alloy
thin film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14467784A
Other languages
English (en)
Inventor
Masayuki Sunai
正之 砂井
Mikiaki Genba
玄場 幹朗
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Toshiba Computer Engineering Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Computer Engineering Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba Computer Engineering Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP14467784A priority Critical patent/JPS6124011A/ja
Publication of JPS6124011A publication Critical patent/JPS6124011A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は垂直磁気記録のための磁気記録媒体に係り、特
にGo−Cr系磁性11層を記録層とする垂直磁気記録
媒体に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
近年、磁気記録媒体の磁性薄膜層に垂直方向に残留磁化
を形成して高密度記録を行なう垂直磁化記録方式が注目
されている。垂直磁化記録方式は良く知られているよう
に、記録密度が増加するほど記録媒体内の減磁界が減少
するという特徴を持っており、高密度記録に極めて適し
た方式である。
このような垂直磁化記録用の磁気記録媒体、すなわち垂
直磁気記録媒体として、膜面に垂直な方向に磁化容易軸
を持つCo−Cr系合金からなる磁性薄膜層を記録磁性
層とするものが知られている。この垂直磁気記録媒体は
、ポリイミドやポリエステル等の可撓性を有するフィル
ム上の高分子基体上にCo−Cr系合金薄膜をスパッタ
リングにより形成す、ることによって作製されるもので
あり、磁気テープやディスク上媒体、特にフロッピーデ
ィスクへの適用が考えられている。
ところで、’Co−Or系合金薄膜層の磁気特性のうち
、特に膜面に垂直な方向(以下、単に垂直方向という)
の抗磁力(保磁力)HC上が垂直磁気記録媒体では重要
である。この垂直方向の抗磁力HC工がC0−Cr合金
薄膜層の形成時の基体温度に依存することは良く知られ
ている。しかし、高いHC上を得るために基体温度を高
くすると、基体表面に熱損傷を生じたり、基体そ−のも
のが変質をきたす結果、媒体表面の表面性(平坦性)が
劣化する。このような媒体の表面性劣化は再生出力エン
ベローブの劣化および再生出力レベルの低下を招き、高
密度記録の大きな妨げとなる。
このように、従来のC0−Cr系合金薄膜層を記録層と
する垂直磁気記録媒体では、大きい再生出力を得るため
に垂直方向の抗磁力Hc上を上げようとすると、媒体の
表面性が劣化して、垂直磁化記録の持つ高密度記録とい
う特長が損なわれる問題があった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、Co−Cr系合金からなる磁性薄膜層
の垂直方向の抗磁力が高く、しかも表面性の良好な垂直
磁気記録媒体を提供することにある。
〔発明の概要〕
本発明は可撓性高分子基体上に膜面に垂直方向に磁化容
易軸を有するQo−Cr合金からなる磁性薄膜層を有す
る垂直磁気記録媒体において、基体と磁性薄膜層との間
に非磁性化合物を介在させたことを特徴とする。
〔発明の効果〕
本発明によれば、基体とGo−Cr系合金からなる磁性
薄膜層との間に介在させた非磁性化合物置によって、磁
性薄膜層をスパッタリング等により形成する際の基体の
耐熱温度が見掛は上高くなるとともに、表面性の劣化も
抑制される。従って、磁性薄膜層の形成時の基体温度を
上げることにより、磁性薄膜層の垂直方向抗磁力を高め
て、再生出力レベルを大きくすることができる。また、
このように垂直方向抗磁力の向上が図られると同時に、
表面性の向上によって記録密度を高くとることが可能と
なり、垂直磁化記録の特長が最大限に発揮されるという
利点がある。
さらに、本発明においては基体と磁性薄膜層との間に介
在される層が非磁性化合物であるため、記録層、である
磁性薄膜層に特性上なんら悪影響を与えることがなく、
また膜厚が例えばi oooÅ以下程度と非常に薄くと
も十分な効果が得られるので、媒体のフレキシビリティ
が低下するおそれもない。
〔発明の実施例〕
図はこの発明の一実施例に係る垂直磁気記録媒−体の構
造を示す断面図であり、可撓性高分子基体1上に非磁性
化合物置2を介して、膜面に垂直方向に磁化容易軸を有
するQo−Cr系合金からなる磁性薄膜層3を形成した
構造である。
可撓性高分子基体1は例えばポリイミド、ポリエステル
等のフィルムからなる。また、非磁性化合物置2は例え
ば、SiO2,Al2O3゜S ia 04 、ZrO
2等からなり、スパッタリングにより厚さd=1000
Å以下の厚さに形成される。さらに、磁性薄膜層3は例
えば5 mtorrのAr雰囲気中で基体1の温度を7
0℃〜160’C程度に保った状態でスパッタリングに
より形成される。
第1表はこうして作製される本発明の垂直磁気記録媒体
における磁性薄膜層3の垂直方向抗磁力Hc土と媒・体
の表面粗さとの関係を、非磁性化合物置2のない従来構
造の媒体と対比して示したものである。
−1上し ただし、可撓性高分子基体1としてポリエステル・フィ
ルムを用い、また非磁性化合物置2としては5i02膜
を厚さd=500人形成し、さらに磁性薄膜層3として
はCo −21at%Cr合金膜を基体温度を種々変え
て5000人の厚さに形成した。
この第1表に示されるように、本発明による垂直磁気記
録媒体は非磁性化合物置2を有しない従来構造の媒体と
比較して、高い垂直方向抗磁力Hcユを有すると同時に
表面性が良好であり、垂直磁化記録に適した基本特性を
備えていることが明らかである。
本発明の垂直磁気記録媒体においては、同じ垂直方向抗
磁力1−IC工に対して非磁性化合物置2の厚さdおよ
び非磁性化合物置2の材質によって表面粗さが異なって
くる。この様子を第2表および第3表にそれぞれ示す。
iL 髪IL 但し、第2表においては非磁性化合物置2としてAl2
O3を用い、また第3表においては非磁性化合物置2の
厚さdを300人とした。また、垂直方向抗磁力Hc工
は第2表および第3表とも1000(Oe)とした。第
2表より非磁性化合物置2の厚さdを厚くする程、表面
性は向上する。
しかし、dをあまり厚くすると媒体のフレキシビリティ
が悪くなる。この点を考慮すると厚さdは1000Å以
下が適当であり、この範囲内であれば表面性向上の効果
も実用上十分である。また、第3表より非磁性化合物置
2の材料のよらずほぼ同じ効果が得られるが、特に81
02が表面性向上に最も効果があることがわかる。
さらに、可撓性高分子基体1とCo−Cr系合金からな
る磁性薄膜層3との間に介在させる層(中間層)として
、この発明の如く非磁性化合物を用いた場合と、金属単
体を用いた場合との垂直方向抗磁力Hc土および垂直異
方性磁界Hkを比較した結果を第4表に示す。
i この第4表から中間層は金属単体の場合より、その化合
物の場合の方が垂直異方性磁界Hkが大きく、垂直磁化
記録に適していることがわかる。
この傾向は金属とその化合物が異なる組合せの場合でも
同様である。
この発明は上述した実施例に限定されるものではなく、
例えば実施例では磁性薄膜層としてC。
−Cr合金膜を用いたが、Co、Cr以外の元素を含ん
でいてもよく、要するにGo、 Crを主成分としたも
のであればよい。また、非磁性化合物置の材料も前記説
明で例示したもの以外の材料を選択することができる。
その他、この発明は要旨を逸脱しない範囲で種々変形実
施が可能である。
以上説明したように、この発明によれば可撓性高分子基
体とCo−Cr系合金からなる磁性薄膜層との間に非磁
性化合物置を介在させたことにより、高い垂直方向抗磁
力と良好な平坦性とを同時に実現することが可能な垂直
磁気記録媒体を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
図はこの発明の一実施例に係る垂直磁気記録媒体の断面
図である。 1・・・可撓性高分子基体、2・・・非磁性化合物置、
3・・・Qo−Cr系合金からなる磁性薄膜層。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)可撓性高分子基体上に膜面に垂直方向に磁化容易
    軸を有するCo−Cr系合金からなる磁性薄膜層を有す
    る垂直磁気記録媒体において、前記基体と磁性薄膜層と
    の間に非磁性化合物置を介在させたことを特徴とする垂
    直磁気記録媒体。
  2. (2)非磁性化合物置の膜厚が1000Å以下であるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の垂直磁気記
    録媒体。
JP14467784A 1984-07-12 1984-07-12 垂直磁気記録媒体 Pending JPS6124011A (ja)

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JP14467784A JPS6124011A (ja) 1984-07-12 1984-07-12 垂直磁気記録媒体

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JPS6124011A true JPS6124011A (ja) 1986-02-01

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ID=15367681

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JP (1) JPS6124011A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63313322A (ja) * 1987-06-17 1988-12-21 Toshiba Corp 磁気記録媒体の製造方法

Cited By (1)

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