JPS63312158A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
インクジェット記録ヘッドInfo
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- JPS63312158A JPS63312158A JP14720087A JP14720087A JPS63312158A JP S63312158 A JPS63312158 A JP S63312158A JP 14720087 A JP14720087 A JP 14720087A JP 14720087 A JP14720087 A JP 14720087A JP S63312158 A JPS63312158 A JP S63312158A
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- Japan
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- ink
- cover plate
- piezoelectric
- nozzles
- recording head
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Links
- 230000004927 fusion Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14209—Structure of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14379—Edge shooter
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、圧電効果を利用してインクキャビティ内の
インクをインクノズルから液滴状に噴射させるインクジ
ェット記録ヘッドに関し、特にインクノズルを横一列に
多数配置したマルチノズル式のインクジェット記録ヘッ
ドに関する。
インクをインクノズルから液滴状に噴射させるインクジ
ェット記録ヘッドに関し、特にインクノズルを横一列に
多数配置したマルチノズル式のインクジェット記録ヘッ
ドに関する。
この種のインクジェット記録ヘッドにおいて解像度を高
めるためには、多数のインクノズルをきわめて微小な間
隔で高精度に形成するこぶが必要となる。 本出願人は先に、圧電材料からなる平板状の圧電体プレ
ート自体に複数列のインクキャビティ溝を形成し、この
圧電体にカバープレートを接合して複数列のインクキャ
ビティを構成したインクジェット記録ヘッドを出願した
(特開昭62−56150号公報参照)。
めるためには、多数のインクノズルをきわめて微小な間
隔で高精度に形成するこぶが必要となる。 本出願人は先に、圧電材料からなる平板状の圧電体プレ
ート自体に複数列のインクキャビティ溝を形成し、この
圧電体にカバープレートを接合して複数列のインクキャ
ビティを構成したインクジェット記録ヘッドを出願した
(特開昭62−56150号公報参照)。
上記出願のインクジェット記録ヘッドは、個々にインク
キャビティを持つ圧電体をノズルの数だけ集合した形を
とっており、小形でかつ製作が容易であるという特徴を
有している。 この発明は、上記出願に係る発明をさらに発展させたも
のであって、ノズル間隔を縮小してより解像度を高めた
インクジェット記録ヘッドを堤供することを目的とする
ものである。
キャビティを持つ圧電体をノズルの数だけ集合した形を
とっており、小形でかつ製作が容易であるという特徴を
有している。 この発明は、上記出願に係る発明をさらに発展させたも
のであって、ノズル間隔を縮小してより解像度を高めた
インクジェット記録ヘッドを堤供することを目的とする
ものである。
この目的を達成するために、複数列のインクキャビティ
溝が形成された圧電体プレートにカバープレートが接合
され、前記インクキャビティ溝と前記カバープレートと
で複数列のインクキャビティが構成されたインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、2枚の圧電体プレートをカバー
プレートの両面に接合し、かつ前記カバープレートの両
側のインクキャビティにそれぞれ通じるインクノズルを
前記カバープレートを挟んで千鳥状に配置するものとす
る。
溝が形成された圧電体プレートにカバープレートが接合
され、前記インクキャビティ溝と前記カバープレートと
で複数列のインクキャビティが構成されたインクジェッ
ト記録ヘッドにおいて、2枚の圧電体プレートをカバー
プレートの両面に接合し、かつ前記カバープレートの両
側のインクキャビティにそれぞれ通じるインクノズルを
前記カバープレートを挟んで千鳥状に配置するものとす
る。
この発明においては、カバープレートを挟んでノズルを
千鳥状に配置したので、互いに隣接するノズルの間隔は
、カバープレートの各々の側のノズル間隔の半分に縮小
される。
千鳥状に配置したので、互いに隣接するノズルの間隔は
、カバープレートの各々の側のノズル間隔の半分に縮小
される。
以下、図示実施例に基づいてこの発明を説明する。
第1図ないし第4図において、1は圧電材料により平板
状に形成された圧電体プレート、2はガラスで作られた
カバープレートである。 第3図に示すように、圧電体プレートlにはその一方の
面に、複数列のインクキャビティ溝3a、並びにこのイ
ンクキャビティ溝3aに通じるインク供給路溝4aおよ
びインクノズル溝5aが等間隔に形成されている。イン
クノズル溝5aはインクキャビティ溝4a側と反対の側
が圧電体プレート1の前面に開放されているのに対し、
インク供給路溝4aは圧電体プレートl内で閉塞されて
いる。さらにこの圧電体プレー+−iにはその両面に電
極8が設けられている。 また、カバープレート2には、第4図に示すように、一
方の側面から切込み7が形成されている。 この切込み7は、後述するようにカバープレート2に圧
電体プレートlを接合したとき、圧電体プレート1のイ
ンク供給路溝4aにまたがって重なるようになっている
。 さて、このようなカバープレート2の両面に、第1図な
いし第2図に示すように、2枚の圧電体プレート1.1
が接着、融着その他の手段により接合されるが、その際
、圧電体プレート1,1は各圧電体プレート1における
インクノズル溝5a間の間隔の半分だけ横方向(第11
図ないし第2図の左右方向)に互いに位置をずらせて接
合される。 上記接合により、カバープレート2の両側には、圧電体
プレート1のインクキャビティ溝3a、インク供給路溝
4aおよびインクノズル溝5aとカバープレート2とで
それぞれインクキャビティ3゜3、インク供給路4.4
およびインクノズル5゜5が構成される。また、カバー
プレート2の切込み6aと圧電体プレート1.1とで各
インク供給路4に共通のインク通路6が構成される。 なお、9は圧電体を各インクキャビティ3ごとに独立さ
せるために圧電体プレート1に設けられたスリットで、
圧電体プレート1の前面からインク通路6の手前まで形
成されている。 カバープレート2の両面に接合する圧電体プレート1の
位置を上記の通りずらせた結果、インクノズル5は、第
1図ないし第2図から分かるように、カバープレート2
を挟んだ千鳥状の配置となっている。そのため、カバー
プレート2を跨いで隣接するインクノズル5間の間隔は
、カバープレート2の各々の側のノズル間隔の半分にな
っている。 このように構成されたインクジェット記録ヘッドにおい
て、インクキャビティ3内にインクが充満している状態
で、電極8.8間に駆動用パルス電圧が印加されると、
インクキャビティ3の内容積が変化し、インクがインク
ノズル5から図示しない記録担体上に液滴状に噴射され
る。 この発明のインクジェット記録ヘッドの寸法の一例を第
2図を参照しながら示すと、インクノズル5の断面は4
0u11×40uIIl、圧電体プレート1に形成され
たインクノズル5の間隔Aは0.5mm、圧電体プレー
ト1およびカバープレート2の厚さり、およびLtはと
もに0.5mn+、スリット9の幅Bは50μm1スリ
ツト9間の圧電体の幅C1は0゜4++n、インクキャ
ビティ30幅C2は0.2mmである。 二の場合、千鳥状に配置されたインクノズル5間の間隔
りは0.25mmとなり、1mm当たり4本のインクノ
ズル5を形成することができる。すなわち、この場合の
解像度は4本/閤となる。 このように非常に微細な加工には、例えば半導体ウェハ
の切断に使用されているグイシングツ−を用いることが
できる。この種のダイシングソーにおいては、すでに1
5μmの厚さの切刃が開発されており、したがってこの
ダイシングソーを用いれば、インクキャビティ溝、イン
クノズル溝、インク供給路溝などを十分に切削可能であ
る。 上記の例では、インクノズルの間隔Aを0.5閣とした
が、切刃の薄いグイシングツ−を用いればこれを0.2
5amとすることも可能である。そして、その場合には
、1閣当たり8本のインクノズル5を形成することが可
能である。
状に形成された圧電体プレート、2はガラスで作られた
カバープレートである。 第3図に示すように、圧電体プレートlにはその一方の
面に、複数列のインクキャビティ溝3a、並びにこのイ
ンクキャビティ溝3aに通じるインク供給路溝4aおよ
びインクノズル溝5aが等間隔に形成されている。イン
クノズル溝5aはインクキャビティ溝4a側と反対の側
が圧電体プレート1の前面に開放されているのに対し、
インク供給路溝4aは圧電体プレートl内で閉塞されて
いる。さらにこの圧電体プレー+−iにはその両面に電
極8が設けられている。 また、カバープレート2には、第4図に示すように、一
方の側面から切込み7が形成されている。 この切込み7は、後述するようにカバープレート2に圧
電体プレートlを接合したとき、圧電体プレート1のイ
ンク供給路溝4aにまたがって重なるようになっている
。 さて、このようなカバープレート2の両面に、第1図な
いし第2図に示すように、2枚の圧電体プレート1.1
が接着、融着その他の手段により接合されるが、その際
、圧電体プレート1,1は各圧電体プレート1における
インクノズル溝5a間の間隔の半分だけ横方向(第11
図ないし第2図の左右方向)に互いに位置をずらせて接
合される。 上記接合により、カバープレート2の両側には、圧電体
プレート1のインクキャビティ溝3a、インク供給路溝
4aおよびインクノズル溝5aとカバープレート2とで
それぞれインクキャビティ3゜3、インク供給路4.4
およびインクノズル5゜5が構成される。また、カバー
プレート2の切込み6aと圧電体プレート1.1とで各
インク供給路4に共通のインク通路6が構成される。 なお、9は圧電体を各インクキャビティ3ごとに独立さ
せるために圧電体プレート1に設けられたスリットで、
圧電体プレート1の前面からインク通路6の手前まで形
成されている。 カバープレート2の両面に接合する圧電体プレート1の
位置を上記の通りずらせた結果、インクノズル5は、第
1図ないし第2図から分かるように、カバープレート2
を挟んだ千鳥状の配置となっている。そのため、カバー
プレート2を跨いで隣接するインクノズル5間の間隔は
、カバープレート2の各々の側のノズル間隔の半分にな
っている。 このように構成されたインクジェット記録ヘッドにおい
て、インクキャビティ3内にインクが充満している状態
で、電極8.8間に駆動用パルス電圧が印加されると、
インクキャビティ3の内容積が変化し、インクがインク
ノズル5から図示しない記録担体上に液滴状に噴射され
る。 この発明のインクジェット記録ヘッドの寸法の一例を第
2図を参照しながら示すと、インクノズル5の断面は4
0u11×40uIIl、圧電体プレート1に形成され
たインクノズル5の間隔Aは0.5mm、圧電体プレー
ト1およびカバープレート2の厚さり、およびLtはと
もに0.5mn+、スリット9の幅Bは50μm1スリ
ツト9間の圧電体の幅C1は0゜4++n、インクキャ
ビティ30幅C2は0.2mmである。 二の場合、千鳥状に配置されたインクノズル5間の間隔
りは0.25mmとなり、1mm当たり4本のインクノ
ズル5を形成することができる。すなわち、この場合の
解像度は4本/閤となる。 このように非常に微細な加工には、例えば半導体ウェハ
の切断に使用されているグイシングツ−を用いることが
できる。この種のダイシングソーにおいては、すでに1
5μmの厚さの切刃が開発されており、したがってこの
ダイシングソーを用いれば、インクキャビティ溝、イン
クノズル溝、インク供給路溝などを十分に切削可能であ
る。 上記の例では、インクノズルの間隔Aを0.5閣とした
が、切刃の薄いグイシングツ−を用いればこれを0.2
5amとすることも可能である。そして、その場合には
、1閣当たり8本のインクノズル5を形成することが可
能である。
以上説明したとおり、この発明は、複数列のインクキャ
ビティ溝が形成された圧電体プレートにカバープレート
が接合され、前記インクキャビティ溝と前記カバープレ
ートとで複数列のインクキャビティが構成されたインク
ジェット記録ヘッドにおいて、2枚の圧電体プレートを
カバープレートの両面に接合し、かつ前記カバープレー
トの両側のインクキャビティにそれぞれ通じるインクノ
ズルを前記カバープレートを挟んで千鳥状に配置するよ
うにしたので、隣接するインクノズルの間隔をカバープ
レートの各々の側のインクノズルの間隔の半分に縮小す
ることができ、インクジェット記録ヘッドの解像度の向
上と小形化に効果がある。
ビティ溝が形成された圧電体プレートにカバープレート
が接合され、前記インクキャビティ溝と前記カバープレ
ートとで複数列のインクキャビティが構成されたインク
ジェット記録ヘッドにおいて、2枚の圧電体プレートを
カバープレートの両面に接合し、かつ前記カバープレー
トの両側のインクキャビティにそれぞれ通じるインクノ
ズルを前記カバープレートを挟んで千鳥状に配置するよ
うにしたので、隣接するインクノズルの間隔をカバープ
レートの各々の側のインクノズルの間隔の半分に縮小す
ることができ、インクジェット記録ヘッドの解像度の向
上と小形化に効果がある。
第1図はこの発明の実施例を示す一部分を断面にした要
部斜視図である。 第2図は第1図の■−■線に沿う断面図である。 第3図は第1図における圧電体プレートを示し、(A)
は平面図、(B)は(A)のB−B線に沿う断面図、(
C)は(A)のC−C線に沿う断面図である。 第4図は第1図におけるカバープレートを示し、(A)
は平面図、(B)は(A)のB−B線に沿う断面図であ
る。 l:圧電体プレート、2:カバープレート、3:インク
キャビティ、3a;インクノズル溝、4:インク供給路
、4a:インク供給路溝、5:インクノズル、5a:イ
ンクノズル溝、8:電極。 第2図 第3図 (B) 第4図
部斜視図である。 第2図は第1図の■−■線に沿う断面図である。 第3図は第1図における圧電体プレートを示し、(A)
は平面図、(B)は(A)のB−B線に沿う断面図、(
C)は(A)のC−C線に沿う断面図である。 第4図は第1図におけるカバープレートを示し、(A)
は平面図、(B)は(A)のB−B線に沿う断面図であ
る。 l:圧電体プレート、2:カバープレート、3:インク
キャビティ、3a;インクノズル溝、4:インク供給路
、4a:インク供給路溝、5:インクノズル、5a:イ
ンクノズル溝、8:電極。 第2図 第3図 (B) 第4図
Claims (1)
- 1)複数列のインクキャビティ溝が形成された圧電体プ
レートにカバープレートが接合され、前記インクキャビ
ティ溝と前記カバープレートとで複数列のインクキャビ
ティが構成されたインクジェット記録ヘッドにおいて、
2枚の圧電体プレートをカバープレートの両面に接合し
、かつ前記カバープレートの両側のインクキャビティに
それぞれ通じるインクノズルを前記カバープレートを挟
んで千鳥状に配置したことを特徴とするインクジェット
記録ヘッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14720087A JPS63312158A (ja) | 1987-06-13 | 1987-06-13 | インクジェット記録ヘッド |
DE19883820082 DE3820082A1 (de) | 1987-06-13 | 1988-06-13 | Tintenstrahl-schreibkopf |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14720087A JPS63312158A (ja) | 1987-06-13 | 1987-06-13 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63312158A true JPS63312158A (ja) | 1988-12-20 |
Family
ID=15424821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14720087A Pending JPS63312158A (ja) | 1987-06-13 | 1987-06-13 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63312158A (ja) |
DE (1) | DE3820082A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104908421A (zh) * | 2014-03-12 | 2015-09-16 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头及液体喷射装置 |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3139511B2 (ja) * | 1990-11-09 | 2001-03-05 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
WO1992010367A1 (en) * | 1990-12-06 | 1992-06-25 | Markpoint Development Ab | Drop-on-demand liquid ejector arrangement |
US5410341A (en) * | 1991-05-28 | 1995-04-25 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Droplet jet device |
US5400064A (en) * | 1991-08-16 | 1995-03-21 | Compaq Computer Corporation | High density ink jet printhead with double-U channel actuator |
US5461403A (en) * | 1991-08-16 | 1995-10-24 | Compaq Computer Corporation | Droplet volume modulation techniques for ink jet printheads |
US5521618A (en) * | 1991-08-16 | 1996-05-28 | Compaq Computer Corporation | Dual element switched digital drive system for an ink jet printhead |
US5235352A (en) * | 1991-08-16 | 1993-08-10 | Compaq Computer Corporation | High density ink jet printhead |
CA2075786A1 (en) * | 1991-08-16 | 1993-02-17 | John R. Pies | Method of manufacturing a high density ink jet printhead array |
US5436648A (en) * | 1991-08-16 | 1995-07-25 | Compaq Computer Corporation | Switched digital drive system for an ink jet printhead |
US5406319A (en) * | 1991-08-16 | 1995-04-11 | Compaq Computer Corporation | Enhanced U type ink jet printheads |
US5402162A (en) * | 1991-08-16 | 1995-03-28 | Compaq Computer Corporation | Integrated multi-color ink jet printhead |
US5227813A (en) * | 1991-08-16 | 1993-07-13 | Compaq Computer Corporation | Sidewall actuator for a high density ink jet printhead |
US5444467A (en) * | 1993-05-10 | 1995-08-22 | Compaq Computer Corporation | Differential drive system for an ink jet printhead |
US5426455A (en) * | 1993-05-10 | 1995-06-20 | Compaq Computer Corporation | Three element switched digital drive system for an ink jet printhead |
US5557304A (en) * | 1993-05-10 | 1996-09-17 | Compaq Computer Corporation | Spot size modulatable ink jet printhead |
SG114543A1 (en) * | 1997-07-15 | 2005-09-28 | Silverbrook Res Pty Ltd | Pseudo-3d stereoscopic images & output device |
JP2000211138A (ja) * | 1999-01-22 | 2000-08-02 | Oce Technol Bv | インクジェット・プリントヘッド、及びその製造方法 |
GB0322590D0 (en) * | 2003-09-26 | 2003-10-29 | Xaar Technology Ltd | Droplet deposition apparatus |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3222133A1 (de) * | 1981-06-13 | 1982-12-30 | Konishiroku Photo Industry Co., Ltd., Tokyo | Schreibkopf fuer einen tintenstrahlschreiber |
DE3630206A1 (de) * | 1985-09-06 | 1987-03-19 | Fuji Electric Co Ltd | Tintenstrahldruckkopf |
-
1987
- 1987-06-13 JP JP14720087A patent/JPS63312158A/ja active Pending
-
1988
- 1988-06-13 DE DE19883820082 patent/DE3820082A1/de not_active Ceased
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104908421A (zh) * | 2014-03-12 | 2015-09-16 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头及液体喷射装置 |
CN104908421B (zh) * | 2014-03-12 | 2017-07-28 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头及液体喷射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3820082A1 (de) | 1988-12-29 |
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