JPS63310745A - ガラス母材の製造装置 - Google Patents
ガラス母材の製造装置Info
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- JPS63310745A JPS63310745A JP14713887A JP14713887A JPS63310745A JP S63310745 A JPS63310745 A JP S63310745A JP 14713887 A JP14713887 A JP 14713887A JP 14713887 A JP14713887 A JP 14713887A JP S63310745 A JPS63310745 A JP S63310745A
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、ガラス母材、特に光通信用のガラ〈従来の
技術〉 ガラス母材の製造装置、中でも光フアイバ製造装置には
、いわゆるＭＣＶＤ法、外付は法、ｖＡＯ法用の装置な
どがあシ、それぞれの特徴を活かして使い分けられてい
る。しかしながら例えばガラス棒の外周にガラス層を高
速で、しかも大量に堆積させる場合、第５図に示すよう
な装置が用いられている。図において１００は回転する
ターゲットとなる石英ガラスＩＩ、１２０は大量のガラ
スを発生させるために複数個例えば一対、互いに所定間
隔をもって位置されて前記ターゲットの中心軸に平行に
一体となってトラバースされるガラス発生装置としての
バーナで、各バーナは、同心多重管構造をなしていて、
各層には例えば内側からガラス原料としてのＳｉＣ’１
４とＡｒ、シール用のＡｒガス、Ｈ，ガス、０．ガスが
１１１次供給され、火炎加水分解および熱酸化反応によ
ってＳｉｎ、からなるスートを発生させる。１４０は、
この発生したＳ１０．スートを堆積させてなるプリフォ
ームである。しかしてこのように大量にスートな生成さ
せるために複数の火炎を用いた場合にはその間隔次第で
は第６図に示すように火炎同士の干渉が生じて互いのバ
ーナによる安定なガラスの堆積を妨げ合う。或はまたト
ラバースが複数回往復して行われるとトラパース区間の
両端部における堆積層の厚さに差が生じてテーバ状とな
ったシ、不均一なガラススート密度の頭載が発生し、こ
れがガラスの残留歪を起こし、この部分からガラスが割
れてしまう等の問題があった。
技術〉 ガラス母材の製造装置、中でも光フアイバ製造装置には
、いわゆるＭＣＶＤ法、外付は法、ｖＡＯ法用の装置な
どがあシ、それぞれの特徴を活かして使い分けられてい
る。しかしながら例えばガラス棒の外周にガラス層を高
速で、しかも大量に堆積させる場合、第５図に示すよう
な装置が用いられている。図において１００は回転する
ターゲットとなる石英ガラスＩＩ、１２０は大量のガラ
スを発生させるために複数個例えば一対、互いに所定間
隔をもって位置されて前記ターゲットの中心軸に平行に
一体となってトラバースされるガラス発生装置としての
バーナで、各バーナは、同心多重管構造をなしていて、
各層には例えば内側からガラス原料としてのＳｉＣ’１
４とＡｒ、シール用のＡｒガス、Ｈ，ガス、０．ガスが
１１１次供給され、火炎加水分解および熱酸化反応によ
ってＳｉｎ、からなるスートを発生させる。１４０は、
この発生したＳ１０．スートを堆積させてなるプリフォ
ームである。しかしてこのように大量にスートな生成さ
せるために複数の火炎を用いた場合にはその間隔次第で
は第６図に示すように火炎同士の干渉が生じて互いのバ
ーナによる安定なガラスの堆積を妨げ合う。或はまたト
ラバースが複数回往復して行われるとトラパース区間の
両端部における堆積層の厚さに差が生じてテーバ状とな
ったシ、不均一なガラススート密度の頭載が発生し、こ
れがガラスの残留歪を起こし、この部分からガラスが割
れてしまう等の問題があった。
〈問題点を解決するための手段〉
この発明は、以上の観点から複数個のガラス発生源を用
いる際に予め堆積されるターゲットの２点に標点を付し
ておき、トラバースされる複数個のガラス発生源のうち
標点な通シ過ぎたものは直に検出手段が作動してガラス
原料の供給を停止させるようにしたものである。
いる際に予め堆積されるターゲットの２点に標点を付し
ておき、トラバースされる複数個のガラス発生源のうち
標点な通シ過ぎたものは直に検出手段が作動してガラス
原料の供給を停止させるようにしたものである。
〈作用〉
以上の構成とすることにより、標点間以外のターゲット
上には実質的にガラス層が堆積されることがないので均
一な厚さの堆積Ｉ諺が得られることとな）従来問題であ
ったガラス微粒子密度の不均一性をなくしてガラス破損
のない高品質のものを大量生産することが可能となる。
上には実質的にガラス層が堆積されることがないので均
一な厚さの堆積Ｉ諺が得られることとな）従来問題であ
ったガラス微粒子密度の不均一性をなくしてガラス破損
のない高品質のものを大量生産することが可能となる。
〈実施例〉
第１図は、この発明の実施例を示す装置の説明図である
。図において１は、直径２０ｆｌの石英ガラス棒からな
るターゲットでその軸のまわシに４５ ｒ、ｐ、ｍで回
転される。
。図において１は、直径２０ｆｌの石英ガラス棒からな
るターゲットでその軸のまわシに４５ ｒ、ｐ、ｍで回
転される。
Ａ、Ｂはこのターゲット１に距離７００ｕをおいて付さ
れた標点て、この標点間のみにガラス層を堆積させるた
めに付されている。
れた標点て、この標点間のみにガラス層を堆積させるた
めに付されている。
２は、ターゲット１のまわりにガラス層を堆積させるた
めのガラス発生装置で、６本の酸水素バーナからなり、
お互いに干渉しない程度の間隔をおいて取９つけられて
おり、５５０Ｍ１／分のトラバース速度でターゲット１
に平行に移動される。
めのガラス発生装置で、６本の酸水素バーナからなり、
お互いに干渉しない程度の間隔をおいて取９つけられて
おり、５５０Ｍ１／分のトラバース速度でターゲット１
に平行に移動される。
下表は各バーナ内に供給されるガスの供給量を示すＯ
表
なお図中１〜４は６本の酸水素炎バーナからなるガラス
発生装置２の各位置における状態を示したもので、標点
Ａ−，，Ｂ間から外れたバーナには直に検知手段が作動
しガラス原料ガスとしての５ｉｃｋ。
発生装置２の各位置における状態を示したもので、標点
Ａ−，，Ｂ間から外れたバーナには直に検知手段が作動
しガラス原料ガスとしての５ｉｃｋ。
がしゃ断されてガラスの発生が阻止される。すなわちガ
ラス発生装置２が１の位置にあるときには３本のバーナ
のうち左側２本のバーナには原料ガスが供給されておら
ず右側の１本だけ供給されている。４におい又は全ての
バーナ内への原料ガスがしゃ断される。
ラス発生装置２が１の位置にあるときには３本のバーナ
のうち左側２本のバーナには原料ガスが供給されておら
ず右側の１本だけ供給されている。４におい又は全ての
バーナ内への原料ガスがしゃ断される。
以上の構成において、３時間、表１の条件の下にガラス
スートの堆積を行なったところ、直径１２Ｃ１ｗ均一部
の長さ６６０ｔｍのスートプリフォーム３が破損するこ
となく得られた。これは従来に比して５０％の高速化を
果たしたことになった。
スートの堆積を行なったところ、直径１２Ｃ１ｗ均一部
の長さ６６０ｔｍのスートプリフォーム３が破損するこ
となく得られた。これは従来に比して５０％の高速化を
果たしたことになった。
次に、ターゲットとして２０モルチのＧｅＯ，ヲ含むＳ
１０．透明ガラス棒を用い、上記条件と同一条件でその
上にスーＨＱｔを堆積させて、プリフォームとなし脱水
、透明ガラス化し、これをファイバ化したところ、屈折
率差２チ、外径１２５μｍ１コア径約８０μ肩のファイ
バが得られた。この場合にも従来に比して３０％の製造
時間の短縮化が図れた。
１０．透明ガラス棒を用い、上記条件と同一条件でその
上にスーＨＱｔを堆積させて、プリフォームとなし脱水
、透明ガラス化し、これをファイバ化したところ、屈折
率差２チ、外径１２５μｍ１コア径約８０μ肩のファイ
バが得られた。この場合にも従来に比して３０％の製造
時間の短縮化が図れた。
なお、標点を通シ過ぎたときに原料ガスのバーナへの供
給をしゃ断する手段としては、例えば第２図に示すよう
に電磁弁、空気弁１０等の開閉によシ原料供給系１１か
らの原料をしゃ断するとか、第３図に示すように弁１０
、１０’の切換えによシネ要な原料を廃ガス処理系１
２へ流してしまうとか、第４図に示すようにいわゆるマ
スフロコントローラ１３を用いて原料流量を制御してい
る場合には制御電圧を下げることでその流量を定常状態
と比べて低下させる等が考えられる。なお第２〜Ａ図に
おいて同一符号は同一物を示し、１４はバーナを示す。
給をしゃ断する手段としては、例えば第２図に示すよう
に電磁弁、空気弁１０等の開閉によシ原料供給系１１か
らの原料をしゃ断するとか、第３図に示すように弁１０
、１０’の切換えによシネ要な原料を廃ガス処理系１
２へ流してしまうとか、第４図に示すようにいわゆるマ
スフロコントローラ１３を用いて原料流量を制御してい
る場合には制御電圧を下げることでその流量を定常状態
と比べて低下させる等が考えられる。なお第２〜Ａ図に
おいて同一符号は同一物を示し、１４はバーナを示す。
〈発明の効果〉
この発明によると、予め設定した必要な長さ分だけ均一
な安定したガラスを堆積することができ、熱歪によるス
ートプリフォームの破損がなく高品質のものを短時間に
大量に得ることができる。
な安定したガラスを堆積することができ、熱歪によるス
ートプリフォームの破損がなく高品質のものを短時間に
大量に得ることができる。
またこの得られたプリフォームをもとに光ファイバを得
ることにより長尺のファイバを大量生産しうるという利
点がある。
ることにより長尺のファイバを大量生産しうるという利
点がある。
第１図は、この発明の実施例を示すガラス母材の製造装
置を示す説明図。 第２〜４図は、この発明装置に用いられる原料供給しゃ
断手段を示す説明図。 第５図及び第６図は従来装置を示す説明図である。 図において１−・・ターゲット Ａ、Ｂ・・・ターゲットに設けられた標点 ２・・・３本のバーナからなるガラス発生装置 代理人 弁理士 竹 内 守 鑓１ 区 （１） （２） （３）
Ｇ４）第２図 Ｉ 第３図 第４図 ［
置を示す説明図。 第２〜４図は、この発明装置に用いられる原料供給しゃ
断手段を示す説明図。 第５図及び第６図は従来装置を示す説明図である。 図において１−・・ターゲット Ａ、Ｂ・・・ターゲットに設けられた標点 ２・・・３本のバーナからなるガラス発生装置 代理人 弁理士 竹 内 守 鑓１ 区 （１） （２） （３）
Ｇ４）第２図 Ｉ 第３図 第４図 ［
Claims (5)
- （１）ガラス堆積用であつて、所定間隔をおいた２点に
標点が付されてなる棒状のターゲットと、このターゲッ
トの中心軸に平行にトラバースされ、その外周部にガラ
スを堆積させるガラス発生装置と、 トラバースされたガラス発生装置が前記ターゲットの標
点の外側に至つたときにガラスの発生を停止させる手段
と からなることを特徴とするガラス母材の製造装置。 - （２）ガラス発生装置が、所定間隔をおいて位置される
複数の可燃性ガスを熱源とするバーナであることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載のガラス母材の製造装
置。 - （３）堆積するガラスが微粉末の酸化ガラスであること
を特徴とする特許請求の範囲第１〜２項記載のガラス母
材の製造装置。 - （４）ターゲットが、アルミナ棒、石英系ガラス棒、石
英系ガラスパイプであることを特徴とする特許請求の範
囲第１〜３項記載のガラス母材の製造装置。 - （５）ターゲットに堆積されるガラスが光通信用ガラス
材であることを特徴とする特許請求の範囲第１〜３項記
載のガラス母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14713887A JPS63310745A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | ガラス母材の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14713887A JPS63310745A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | ガラス母材の製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63310745A true JPS63310745A (ja) | 1988-12-19 |
| JPH0579614B2 JPH0579614B2 (ja) | 1993-11-04 |
Family
ID=15423434
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14713887A Granted JPS63310745A (ja) | 1987-06-15 | 1987-06-15 | ガラス母材の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63310745A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002024591A1 (de) * | 2000-09-21 | 2002-03-28 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines zylinders aus dotiertem quarzglas |
| WO2002042231A1 (fr) * | 2000-11-24 | 2002-05-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Procede et dispositif de fabrication d'un corps constitue de particules de verre |
| EP1295854A3 (en) * | 2001-09-20 | 2004-01-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method for producing a glass soot preform for optical fibres by vapour phase deposition |
| WO2019239705A1 (ja) * | 2018-06-12 | 2019-12-19 | 株式会社フジクラ | 多孔質ガラス微粒子体の製造方法および光ファイバ母材の製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS593943A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-10 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
-
1987
- 1987-06-15 JP JP14713887A patent/JPS63310745A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS593943A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-10 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2002024591A1 (de) * | 2000-09-21 | 2002-03-28 | Heraeus Tenevo Ag | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines zylinders aus dotiertem quarzglas |
| WO2002042231A1 (fr) * | 2000-11-24 | 2002-05-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Procede et dispositif de fabrication d'un corps constitue de particules de verre |
| EP1295854A3 (en) * | 2001-09-20 | 2004-01-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method for producing a glass soot preform for optical fibres by vapour phase deposition |
| US6837077B2 (en) * | 2001-09-20 | 2005-01-04 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method for producing soot body |
| WO2019239705A1 (ja) * | 2018-06-12 | 2019-12-19 | 株式会社フジクラ | 多孔質ガラス微粒子体の製造方法および光ファイバ母材の製造方法 |
| US11780761B2 (en) | 2018-06-12 | 2023-10-10 | Fujikura Ltd. | Method for producing porous glass fine particle body and method for producing optical fiber preform |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0579614B2 (ja) | 1993-11-04 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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