JP2960059B1 - 多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置、並びにそれらに使用する同心多重管バーナ - Google Patents
多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置、並びにそれらに使用する同心多重管バーナInfo
- Publication number
- JP2960059B1 JP2960059B1 JP25941298A JP25941298A JP2960059B1 JP 2960059 B1 JP2960059 B1 JP 2960059B1 JP 25941298 A JP25941298 A JP 25941298A JP 25941298 A JP25941298 A JP 25941298A JP 2960059 B1 JP2960059 B1 JP 2960059B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- burner
- gas
- tip
- glass
- cover
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/04—Multi-nested ports
- C03B2207/06—Concentric circular ports
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/20—Specific substances in specified ports, e.g. all gas flows specified
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/36—Fuel or oxidant details, e.g. flow rate, flow rate ratio, fuel additives
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/40—Mechanical flame shields
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2207/00—Glass deposition burners
- C03B2207/42—Assembly details; Material or dimensions of burner; Manifolds or supports
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
【要約】
【課題】 バーナカバーの内側がバーナ火炎により損傷
を受けないようバーナカバーの適切な突き出し量を求
め、それにより外径や屈折率分布等の特性変動のない高
品質の多孔質ガラス母材を安定的に製造する。 【解決手段】 バーナカバーを備えた同心多重管バーナ
に、少なくともガラス原料ガス、可燃性ガスとして水素
ガス、及び可燃性ガスよりも外側流路に助燃性ガスを供
給し、ガラス原料を酸水素火炎中にて加水分解してガラ
ス微粒子を生成し、生成したガラス微粒子を堆積して多
孔質ガラス母材を製造する方法において、バーナ先端か
らバーナカバー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）を、Ｌ＜（−
０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄを満足するよう
にしてガラス微粒子を堆積する多孔質ガラス母材の製造
方法。
を受けないようバーナカバーの適切な突き出し量を求
め、それにより外径や屈折率分布等の特性変動のない高
品質の多孔質ガラス母材を安定的に製造する。 【解決手段】 バーナカバーを備えた同心多重管バーナ
に、少なくともガラス原料ガス、可燃性ガスとして水素
ガス、及び可燃性ガスよりも外側流路に助燃性ガスを供
給し、ガラス原料を酸水素火炎中にて加水分解してガラ
ス微粒子を生成し、生成したガラス微粒子を堆積して多
孔質ガラス母材を製造する方法において、バーナ先端か
らバーナカバー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）を、Ｌ＜（−
０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄを満足するよう
にしてガラス微粒子を堆積する多孔質ガラス母材の製造
方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多孔質ガラス母材
の製造方法及び製造装置、並びにそれらに好適に使用す
ることができる同心多重管バーナに関する。特に本発明
は、ガラス微粒子堆積時にバーナ火炎によりバーナカバ
ーが損傷を受けることがなく、そのため外径変動や屈折
率分布の不整等の特性変動のない優れた光ファイバ用多
孔質ガラス母材を製造することができる多孔質ガラス母
材の製造方法及び製造装置、並びにそれらに好適に使用
することができる同心多重管バーナに関する。
の製造方法及び製造装置、並びにそれらに好適に使用す
ることができる同心多重管バーナに関する。特に本発明
は、ガラス微粒子堆積時にバーナ火炎によりバーナカバ
ーが損傷を受けることがなく、そのため外径変動や屈折
率分布の不整等の特性変動のない優れた光ファイバ用多
孔質ガラス母材を製造することができる多孔質ガラス母
材の製造方法及び製造装置、並びにそれらに好適に使用
することができる同心多重管バーナに関する。
【０００２】
【従来の技術】光ファイバ用多孔質ガラス母材や高純度
石英ガラスを製造する方法として、同心多重管バーナを
使用し、このバーナより発する酸水素火炎中にてガラス
原料を加水分解し、生成したガラス微粒子を堆積する方
法が知られている。図１に、この方法に用いられる同心
多重管バーナの１例を示す。尚、（ａ）はバーナの横断
面構造概略図であり、（ｂ）はバーナの縦断面構造概略
図である。
石英ガラスを製造する方法として、同心多重管バーナを
使用し、このバーナより発する酸水素火炎中にてガラス
原料を加水分解し、生成したガラス微粒子を堆積する方
法が知られている。図１に、この方法に用いられる同心
多重管バーナの１例を示す。尚、（ａ）はバーナの横断
面構造概略図であり、（ｂ）はバーナの縦断面構造概略
図である。
【０００３】一般的には、このような構造を有する同心
多重管バーナには、ガラス原料ガス及び搬送ガス、可燃
性ガス、バーナ先端の焼き付けを防止するシールガス、
更に助燃性ガス等を流す。可燃性ガスとしては、水素ガ
スが用いられることが多い。その際、水素ガスを最外周
流路に流すとバーナ火炎が広がってしまうため、酸素ガ
ス等の助燃性ガスを最外周流路に流すことが多い。
多重管バーナには、ガラス原料ガス及び搬送ガス、可燃
性ガス、バーナ先端の焼き付けを防止するシールガス、
更に助燃性ガス等を流す。可燃性ガスとしては、水素ガ
スが用いられることが多い。その際、水素ガスを最外周
流路に流すとバーナ火炎が広がってしまうため、酸素ガ
ス等の助燃性ガスを最外周流路に流すことが多い。
【０００４】同心多重管バーナ１は、図１に示すよう
に、バーナカバー３を備えることが多い。このバーナカ
バー３は、バーナ火炎のガイドの役割を有し、生成した
バーナ火炎が気流で乱されたり、バーナ火炎の方向が変
わることがないようにしている。
に、バーナカバー３を備えることが多い。このバーナカ
バー３は、バーナ火炎のガイドの役割を有し、生成した
バーナ火炎が気流で乱されたり、バーナ火炎の方向が変
わることがないようにしている。
【０００５】しかし、従来このようなバーナカバーを備
えたバーナを使用するに際し、バーナ火炎をより安定さ
せるためにバーナ先端４からバーナカバー先端５までの
距離（以下、単に「突き出し量」という場合がある。）
を長く採り過ぎるきらいがあった。そのため、バーナカ
バーの内側がバーナ火炎により損傷を受けることがあっ
た。例えば、ＶＡＤ（軸付け）法により光ファイバ用多
孔質ガラス母材を製造する場合、コア用バーナにおける
バーナカバーの突き出し量を長く採り過ぎたためにバー
ナカバーの内側がバーナ火炎により損傷を受け、バーナ
カバー内側の状態が変化することがあった。
えたバーナを使用するに際し、バーナ火炎をより安定さ
せるためにバーナ先端４からバーナカバー先端５までの
距離（以下、単に「突き出し量」という場合がある。）
を長く採り過ぎるきらいがあった。そのため、バーナカ
バーの内側がバーナ火炎により損傷を受けることがあっ
た。例えば、ＶＡＤ（軸付け）法により光ファイバ用多
孔質ガラス母材を製造する場合、コア用バーナにおける
バーナカバーの突き出し量を長く採り過ぎたためにバー
ナカバーの内側がバーナ火炎により損傷を受け、バーナ
カバー内側の状態が変化することがあった。
【０００６】そのため、ガラス微粒子を吹き付けるため
のバーナ火炎の向きが変化し、ガラス微粒子の堆積が不
均一となることがあった。その結果、得られる多孔質ガ
ラス母材においては、他のロット間は勿論、同じロット
内でさえも外径や屈折率分布等の特性変動が起きるとい
う問題があった。このことは、多孔質ガラス母材製造の
歩留り低下を招くこととなる。
のバーナ火炎の向きが変化し、ガラス微粒子の堆積が不
均一となることがあった。その結果、得られる多孔質ガ
ラス母材においては、他のロット間は勿論、同じロット
内でさえも外径や屈折率分布等の特性変動が起きるとい
う問題があった。このことは、多孔質ガラス母材製造の
歩留り低下を招くこととなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、バー
ナカバーの内側がバーナ火炎により損傷を受けないよう
バーナカバーの適切な突き出し量を求め、それにより火
炎の向き等が変わらない安定なバーナ火炎を得ることで
外径や屈折率分布等の特性変動のない高品質の多孔質ガ
ラス母材を安定的に製造することを目的とする。
ナカバーの内側がバーナ火炎により損傷を受けないよう
バーナカバーの適切な突き出し量を求め、それにより火
炎の向き等が変わらない安定なバーナ火炎を得ることで
外径や屈折率分布等の特性変動のない高品質の多孔質ガ
ラス母材を安定的に製造することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明の請求項１
に記載の発明は、バーナカバーを備えた同心多重管バー
ナに、少なくともガラス原料ガス、可燃性ガスとして水
素ガス、及び可燃性ガスよりも外側流路に助燃性ガスを
供給し、ガラス原料を酸水素火炎中にて加水分解してガ
ラス微粒子を生成し、生成したガラス微粒子を堆積して
多孔質ガラス母材を製造する方法において、バーナ先端
からバーナカバー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）を、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ ［式中、Ｖｉは水素ガス及び水素ガスより内側流路を流
れるガスの合計流量（ｃｍ3 ／秒）、Ｖｔは全ガスの合
計流量（ｃｍ3 ／秒）、及びＤはバーナカバーの内径
（ｃｍ）を表わす。］を満足するようにしてガラス微粒
子を堆積する多孔質ガラス母材の製造方法である。
に記載の発明は、バーナカバーを備えた同心多重管バー
ナに、少なくともガラス原料ガス、可燃性ガスとして水
素ガス、及び可燃性ガスよりも外側流路に助燃性ガスを
供給し、ガラス原料を酸水素火炎中にて加水分解してガ
ラス微粒子を生成し、生成したガラス微粒子を堆積して
多孔質ガラス母材を製造する方法において、バーナ先端
からバーナカバー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）を、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ ［式中、Ｖｉは水素ガス及び水素ガスより内側流路を流
れるガスの合計流量（ｃｍ3 ／秒）、Ｖｔは全ガスの合
計流量（ｃｍ3 ／秒）、及びＤはバーナカバーの内径
（ｃｍ）を表わす。］を満足するようにしてガラス微粒
子を堆積する多孔質ガラス母材の製造方法である。
【０００９】このように、バーナカバーの突き出し量Ｌ
を、（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ未満に
することで、バーナカバー内側がバーナ火炎により損傷
を受けるのを防ぐことができる。従って、バーナカバー
内側の状態が変化することがないので、ガラス微粒子堆
積中にバーナ火炎の向き等が変化することがなく、ガラ
ス微粒子を均一に堆積することができる。その結果、外
径や屈折率分布等の特性変動のない高品質の多孔質ガラ
ス母材を安定的に製造することができる。
を、（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ未満に
することで、バーナカバー内側がバーナ火炎により損傷
を受けるのを防ぐことができる。従って、バーナカバー
内側の状態が変化することがないので、ガラス微粒子堆
積中にバーナ火炎の向き等が変化することがなく、ガラ
ス微粒子を均一に堆積することができる。その結果、外
径や屈折率分布等の特性変動のない高品質の多孔質ガラ
ス母材を安定的に製造することができる。
【００１０】また、請求項２記載の発明は、バーナ先端
からバーナカバー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）を、Ｄ＜Ｌ
［式中、Ｄは前記と同義。］を満足するようにしてガラ
ス微粒子を堆積する上記多孔質ガラス母材の製造方法で
ある。このように、バーナカバーの突き出し量ＬをＤよ
り大きくすればバーナ火炎のバタツキもなくなるので、
更にガラス微粒子を均一に堆積することができる。その
結果、より一層の外径や屈折率分布等の特性変動のない
高品質の多孔質ガラス母材を安定的に製造することがで
きる。
からバーナカバー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）を、Ｄ＜Ｌ
［式中、Ｄは前記と同義。］を満足するようにしてガラ
ス微粒子を堆積する上記多孔質ガラス母材の製造方法で
ある。このように、バーナカバーの突き出し量ＬをＤよ
り大きくすればバーナ火炎のバタツキもなくなるので、
更にガラス微粒子を均一に堆積することができる。その
結果、より一層の外径や屈折率分布等の特性変動のない
高品質の多孔質ガラス母材を安定的に製造することがで
きる。
【００１１】また、請求項３記載の発明は、バーナカバ
ーを備えた同心多重管バーナであって、バーナ先端から
バーナカバー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）が、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ ［式中、Ｖｉは水素ガス及び水素ガスより内側流路を流
れるガスの合計流量（ｃｍ3 ／秒）、Ｖｔは全ガスの合
計流量（ｃｍ3 ／秒）、及びＤはバーナカバーの内径
（ｃｍ）を表わす。］を満足する多孔質ガラス母材製造
用同心多重管バーナである。
ーを備えた同心多重管バーナであって、バーナ先端から
バーナカバー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）が、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ ［式中、Ｖｉは水素ガス及び水素ガスより内側流路を流
れるガスの合計流量（ｃｍ3 ／秒）、Ｖｔは全ガスの合
計流量（ｃｍ3 ／秒）、及びＤはバーナカバーの内径
（ｃｍ）を表わす。］を満足する多孔質ガラス母材製造
用同心多重管バーナである。
【００１２】このように、バーナカバーの突き出し量Ｌ
が、（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ未満の
同心多重管バーナは、バーナカバー内側がバーナ火炎に
より損傷を受けることがない。従って、バーナカバー内
側の状態が変化することはないので、ガラス微粒子堆積
中にバーナ火炎の向き等が変化することがない。その結
果、このような同心多重管バーナを多孔質ガラス母材の
製造に使用すれば、ガラス微粒子を均一に堆積すること
ができ、外径や屈折率分布等の特性変動のない高品質の
多孔質ガラス母材を安定的に製造することができる。
が、（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ未満の
同心多重管バーナは、バーナカバー内側がバーナ火炎に
より損傷を受けることがない。従って、バーナカバー内
側の状態が変化することはないので、ガラス微粒子堆積
中にバーナ火炎の向き等が変化することがない。その結
果、このような同心多重管バーナを多孔質ガラス母材の
製造に使用すれば、ガラス微粒子を均一に堆積すること
ができ、外径や屈折率分布等の特性変動のない高品質の
多孔質ガラス母材を安定的に製造することができる。
【００１３】また、請求項４記載の発明は、バーナ先端
からバーナカバー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）が、Ｄ＜Ｌ
［式中、Ｄは前記と同義。］を満足する上記多孔質ガラ
ス母材製造用同心多重管バーナである。このように、バ
ーナカバーの突き出し量ＬがＤより大きい同心多重管バ
ーナは、バーナ火炎のバタツキもない。そのため、この
ような同心多重管バーナを多孔質ガラス母材の製造に使
用すれば、更にガラス微粒子を均一に堆積することがで
きる。その結果、より一層の外径や屈折率分布等の特性
変動のない高品質の多孔質ガラス母材を安定的に製造す
ることができる。
からバーナカバー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）が、Ｄ＜Ｌ
［式中、Ｄは前記と同義。］を満足する上記多孔質ガラ
ス母材製造用同心多重管バーナである。このように、バ
ーナカバーの突き出し量ＬがＤより大きい同心多重管バ
ーナは、バーナ火炎のバタツキもない。そのため、この
ような同心多重管バーナを多孔質ガラス母材の製造に使
用すれば、更にガラス微粒子を均一に堆積することがで
きる。その結果、より一層の外径や屈折率分布等の特性
変動のない高品質の多孔質ガラス母材を安定的に製造す
ることができる。
【００１４】また、請求項５記載の発明は、少なくと
も、バーナカバーを備えた同心多重管バーナ、及び出発
材の回転機構を有する多孔質ガラス母材の製造装置にお
いて、バーナ先端からバーナカバー先端までの距離Ｌ
（ｃｍ）が、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ ［式中、Ｖｉは水素ガス及び水素ガスより内側流路を流
れるガスの合計流量（ｃｍ3 ／秒）、Ｖｔは全ガスの合
計流量（ｃｍ3 ／秒）、及びＤはバーナカバーの内径
（ｃｍ）を表わす。］を満足する多孔質ガラス母材の製
造装置である。
も、バーナカバーを備えた同心多重管バーナ、及び出発
材の回転機構を有する多孔質ガラス母材の製造装置にお
いて、バーナ先端からバーナカバー先端までの距離Ｌ
（ｃｍ）が、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ ［式中、Ｖｉは水素ガス及び水素ガスより内側流路を流
れるガスの合計流量（ｃｍ3 ／秒）、Ｖｔは全ガスの合
計流量（ｃｍ3 ／秒）、及びＤはバーナカバーの内径
（ｃｍ）を表わす。］を満足する多孔質ガラス母材の製
造装置である。
【００１５】このように、従来のバーナの替わりに上記
突き出し量Ｌを有するバーナ、例えば前記本発明の同心
多重管バーナを具備した多孔質ガラス母材製造装置で
は、バーナカバー内側がバーナ火炎により損傷を受ける
ことがなく、従ってガラス微粒子堆積中にバーナ火炎の
向き等が変化することがない。その結果ガラス微粒子を
均一に堆積でき、外径や屈折率分布等の特性変動のない
高品質の多孔質ガラス母材を安定的に製造することがで
きる。
突き出し量Ｌを有するバーナ、例えば前記本発明の同心
多重管バーナを具備した多孔質ガラス母材製造装置で
は、バーナカバー内側がバーナ火炎により損傷を受ける
ことがなく、従ってガラス微粒子堆積中にバーナ火炎の
向き等が変化することがない。その結果ガラス微粒子を
均一に堆積でき、外径や屈折率分布等の特性変動のない
高品質の多孔質ガラス母材を安定的に製造することがで
きる。
【００１６】更に、請求項６記載の発明は、バーナ先端
からバーナカバー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）が、Ｄ＜Ｌ
［式中、Ｄは前記と同義。］を満足する上記多孔質ガラ
ス母材の製造装置である。このように、従来のバーナの
替わりに、突き出し量ＬがＤより大きいバーナ、例えば
前記本発明の同心多重管バーナを具備した多孔質ガラス
母材製造装置は、バーナ火炎のバタツキもなくなるの
で、更にガラス微粒子を均一に堆積することができる装
置となる。その結果、より一層の外径や屈折率分布等の
特性変動のない高品質の多孔質ガラス母材を安定的に製
造することができる。
からバーナカバー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）が、Ｄ＜Ｌ
［式中、Ｄは前記と同義。］を満足する上記多孔質ガラ
ス母材の製造装置である。このように、従来のバーナの
替わりに、突き出し量ＬがＤより大きいバーナ、例えば
前記本発明の同心多重管バーナを具備した多孔質ガラス
母材製造装置は、バーナ火炎のバタツキもなくなるの
で、更にガラス微粒子を均一に堆積することができる装
置となる。その結果、より一層の外径や屈折率分布等の
特性変動のない高品質の多孔質ガラス母材を安定的に製
造することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明するが、本発明はこれらに限定さ
れるものではない。本発明の多孔質ガラス母材８の製造
方法においては、ガラス微粒子を堆積するために、図１
に示すように、同心多重管バーナ部２とそれを覆うバー
ナカバー３からなる同心多重管バーナ１を使用する。そ
して本発明においては、この同心多重管バーナ１の使用
法に特徴がある。即ち、同心多重管バーナ１を使用する
に際し、そのバーナカバー３の突き出し量Ｌ（ｃｍ）
を、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ を満足するように設定する。このようにバーナカバー３
の突き出し量Ｌを設定することにより、バーナカバー３
の内側がバーナ火炎により損傷を受けることがなく、そ
の結果安定したバーナ火炎が得られ、ガラス微粒子を均
一に堆積することができる。
施の形態について説明するが、本発明はこれらに限定さ
れるものではない。本発明の多孔質ガラス母材８の製造
方法においては、ガラス微粒子を堆積するために、図１
に示すように、同心多重管バーナ部２とそれを覆うバー
ナカバー３からなる同心多重管バーナ１を使用する。そ
して本発明においては、この同心多重管バーナ１の使用
法に特徴がある。即ち、同心多重管バーナ１を使用する
に際し、そのバーナカバー３の突き出し量Ｌ（ｃｍ）
を、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ を満足するように設定する。このようにバーナカバー３
の突き出し量Ｌを設定することにより、バーナカバー３
の内側がバーナ火炎により損傷を受けることがなく、そ
の結果安定したバーナ火炎が得られ、ガラス微粒子を均
一に堆積することができる。
【００１８】尚、式中、Ｖｉは水素ガスと、水素ガスよ
り内側流路を流れるガス（例えば、ガラス原料ガス及び
搬送ガス等）との合計流量（ｃｍ3 ／秒）である。ま
た、Ｖｔは全ガスの合計流量（ｃｍ3 ／秒）である。Ｄ
は、バーナカバーの内径（ｃｍ）である。
り内側流路を流れるガス（例えば、ガラス原料ガス及び
搬送ガス等）との合計流量（ｃｍ3 ／秒）である。ま
た、Ｖｔは全ガスの合計流量（ｃｍ3 ／秒）である。Ｄ
は、バーナカバーの内径（ｃｍ）である。
【００１９】本発明者は、バーナカバー３の内側がバー
ナ火炎により損傷を受けることがない突き出し量Ｌを規
定すべく、以下のように種々の要因を調査・検討した。
その結果、上述の設定範囲を求めることができたのであ
る。即ち、先ずバーナ部２に十分に長いバーナカバー３
を装着し、全ガスの流量Ｖｔと、水素ガス及び水素ガス
より内側流路を流れるガスの合計流量Ｖｉを一定とし、
バーナカバー３の内径Ｄを様々に変えてバーナ火炎を形
成させた。そして、バーナ先端４からバーナカバー３の
内側に発生した火炎による損傷部までの距離Ｌｌｉｍ
（ｃｍ）と内径Ｄとの関係を調べたところ、図２に示す
ように、以下の式で表わされる反比例の関係があること
が判った（図２参照）。 Ｌｌｉｍ＝Ｋ／Ｄ（Ｋは比例定数）
ナ火炎により損傷を受けることがない突き出し量Ｌを規
定すべく、以下のように種々の要因を調査・検討した。
その結果、上述の設定範囲を求めることができたのであ
る。即ち、先ずバーナ部２に十分に長いバーナカバー３
を装着し、全ガスの流量Ｖｔと、水素ガス及び水素ガス
より内側流路を流れるガスの合計流量Ｖｉを一定とし、
バーナカバー３の内径Ｄを様々に変えてバーナ火炎を形
成させた。そして、バーナ先端４からバーナカバー３の
内側に発生した火炎による損傷部までの距離Ｌｌｉｍ
（ｃｍ）と内径Ｄとの関係を調べたところ、図２に示す
ように、以下の式で表わされる反比例の関係があること
が判った（図２参照）。 Ｌｌｉｍ＝Ｋ／Ｄ（Ｋは比例定数）
【００２０】更に、比例定数Ｋについて調査したとこ
ろ、ＫはＶｉ及びＶｔに依存していることが判った。そ
こで、Ｄ及びＶｔを固定しＶｉを様々に変化させ、先ず
ＫとＶｉとの関係を調べたところ、図３に示すように、
ほぼ以下の式で表わされる関係があることが判った。 Ｋ＝−０．１２３Ｖｉ＋α（αはＹ切片）
ろ、ＫはＶｉ及びＶｔに依存していることが判った。そ
こで、Ｄ及びＶｔを固定しＶｉを様々に変化させ、先ず
ＫとＶｉとの関係を調べたところ、図３に示すように、
ほぼ以下の式で表わされる関係があることが判った。 Ｋ＝−０．１２３Ｖｉ＋α（αはＹ切片）
【００２１】次に、Ｄ及びＶｉを固定しＶｔを様々に変
化させ、αとＶｔとの関係を調べたところ、図４に示す
ように、以下の式で表わされる関係があることが判っ
た。 α＝０．１１７Ｖｔ 従って、αを上記Ｋを表わす式に代入すると、 Ｋ＝−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ となり、ＫはＶｉ及びＶｔに依存していることが判る。
化させ、αとＶｔとの関係を調べたところ、図４に示す
ように、以下の式で表わされる関係があることが判っ
た。 α＝０．１１７Ｖｔ 従って、αを上記Ｋを表わす式に代入すると、 Ｋ＝−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ となり、ＫはＶｉ及びＶｔに依存していることが判る。
【００２２】このＫを上記Ｌｌｉｍ表わす式に代入する
と、 Ｌｌｉｍ＝（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ の関係式が得られる。この関係式から、バーナカバー３
の内径がＤ、ガスの流量がＶｉ及びＶｔである場合、バ
ーナ先端４から距離Ｌｌｉｍだけ離れた位置に火炎によ
る損傷部が発生することになる。換言すれば、バーナ先
端４から距離Ｌｌｉｍまでは火炎による損傷部は発生し
ていないこととなる。従って、バーナカバー３の突き出
し量ＬをＬｌｉｍ未満（即ちＬ＜Ｌｌｉｍ）にすれば、
バーナカバー３の内側には火炎による損傷部が発生しな
いことになる。
と、 Ｌｌｉｍ＝（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ の関係式が得られる。この関係式から、バーナカバー３
の内径がＤ、ガスの流量がＶｉ及びＶｔである場合、バ
ーナ先端４から距離Ｌｌｉｍだけ離れた位置に火炎によ
る損傷部が発生することになる。換言すれば、バーナ先
端４から距離Ｌｌｉｍまでは火炎による損傷部は発生し
ていないこととなる。従って、バーナカバー３の突き出
し量ＬをＬｌｉｍ未満（即ちＬ＜Ｌｌｉｍ）にすれば、
バーナカバー３の内側には火炎による損傷部が発生しな
いことになる。
【００２３】即ち、バーナカバー３の突き出し量Ｌを、 Ｌ＜Ｌｌｉｍ＝（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）
／Ｄ を満足するように設定することにより、バーナカバー３
の内側がバーナ火炎により損傷を受けることがなく、そ
の結果安定したバーナ火炎が得られ、ガラス微粒子を均
一に堆積することができるのである。
／Ｄ を満足するように設定することにより、バーナカバー３
の内側がバーナ火炎により損傷を受けることがなく、そ
の結果安定したバーナ火炎が得られ、ガラス微粒子を均
一に堆積することができるのである。
【００２４】こうして、バーナカバーに損傷が起こらな
いようにすることができることが判ったが、更に、安定
なバーナ火炎を得るため、バーナカバー３の突き出し量
Ｌを減少しつつバーナ火炎の状態を観察した。その結
果、ＬがＤ未満（即ちＬ＜Ｄ）となると、バーナ火炎の
バタツキが大きくなることが判った。また、このような
条件で実際にＶＡＤ法により光ファイバ用多孔質ガラス
母材を製造したところ、得られた多孔質ガラス母材には
外径変動及び屈折率分布の不整が見られ、品質が低下し
たものであった。それに伴い、多孔質ガラス母材の製造
歩留りも低下することが判った（図５参照）。
いようにすることができることが判ったが、更に、安定
なバーナ火炎を得るため、バーナカバー３の突き出し量
Ｌを減少しつつバーナ火炎の状態を観察した。その結
果、ＬがＤ未満（即ちＬ＜Ｄ）となると、バーナ火炎の
バタツキが大きくなることが判った。また、このような
条件で実際にＶＡＤ法により光ファイバ用多孔質ガラス
母材を製造したところ、得られた多孔質ガラス母材には
外径変動及び屈折率分布の不整が見られ、品質が低下し
たものであった。それに伴い、多孔質ガラス母材の製造
歩留りも低下することが判った（図５参照）。
【００２５】従って、バーナカバー３の突き出し量Ｌ
を、Ｄ＜Ｌを満足するよう設定すれば、バーナカバーに
損傷が生じないとともにバーナ火炎のバタツキもなくな
り更に安定なバーナ火炎が得られ、より一層ガラス微粒
子を均一に堆積することができる。その結果、外径変動
や屈折率分布の不整等の非常に少ない優れた多孔質ガラ
ス母材を製造することができる。
を、Ｄ＜Ｌを満足するよう設定すれば、バーナカバーに
損傷が生じないとともにバーナ火炎のバタツキもなくな
り更に安定なバーナ火炎が得られ、より一層ガラス微粒
子を均一に堆積することができる。その結果、外径変動
や屈折率分布の不整等の非常に少ない優れた多孔質ガラ
ス母材を製造することができる。
【００２６】バーナカバー３の突き出し量Ｌの設定は、
例えば突き出し量が所望値Ｌとなるように、バーナカバ
ー３を同心多重間バーナ部２の外周面上をその軸方向に
ずらすことにより行うことができる。尚、突き出し量Ｌ
の設定は製造を開始する前に予め行っておくのが好まし
いが、製造途中でガス流量Ｖｉ及びＶｔ等が変更した場
合は、製造途中においても突き出し量Ｌの設定を行うこ
ともできる。
例えば突き出し量が所望値Ｌとなるように、バーナカバ
ー３を同心多重間バーナ部２の外周面上をその軸方向に
ずらすことにより行うことができる。尚、突き出し量Ｌ
の設定は製造を開始する前に予め行っておくのが好まし
いが、製造途中でガス流量Ｖｉ及びＶｔ等が変更した場
合は、製造途中においても突き出し量Ｌの設定を行うこ
ともできる。
【００２７】上記突き出し量Ｌを有する同心多重管バー
ナ１に、少なくともガラス原料ガス、可燃性ガスとして
水素ガス、及び助燃性ガスを供給する。ガラス原料ガス
としては、ＳｉＣｌ4 等のハロゲン化珪素化合物が挙げ
られる。尚、多孔質ガラス母材８としてコア部材を製造
する場合は、焼結後のガラス母材に所望の屈折率等を付
与するために、ドーパント等の添加物を含ませてもよ
い。添加物としては、例えばＧｅＣｌ4 等のゲルマニウ
ム化合物が挙げられる。ガラス原料は搬送ガスと共に供
給してもよい。搬送ガスとしては、Ａｒ、Ｎ2 等の不活
性ガス等が挙げられる。可燃性ガスは、水素ガスであ
る。助燃性ガスとしては、Ｏ2 ガス、エアー等が挙げら
れる。その他、必要に応じバーナ先端の焼き付けを防止
するためのシールガス等を供給する。
ナ１に、少なくともガラス原料ガス、可燃性ガスとして
水素ガス、及び助燃性ガスを供給する。ガラス原料ガス
としては、ＳｉＣｌ4 等のハロゲン化珪素化合物が挙げ
られる。尚、多孔質ガラス母材８としてコア部材を製造
する場合は、焼結後のガラス母材に所望の屈折率等を付
与するために、ドーパント等の添加物を含ませてもよ
い。添加物としては、例えばＧｅＣｌ4 等のゲルマニウ
ム化合物が挙げられる。ガラス原料は搬送ガスと共に供
給してもよい。搬送ガスとしては、Ａｒ、Ｎ2 等の不活
性ガス等が挙げられる。可燃性ガスは、水素ガスであ
る。助燃性ガスとしては、Ｏ2 ガス、エアー等が挙げら
れる。その他、必要に応じバーナ先端の焼き付けを防止
するためのシールガス等を供給する。
【００２８】同心多重管バーナ１への各ガスの供給は、
可燃性ガスの水素ガスを最外層流路に流すと火炎が広が
ってしまうので、可燃性ガスよりも外側流路、例えば最
外層流路に助燃性ガスを供給する。また、ガラス原料ガ
スを効率的に酸水素火炎中で加水分解させるために、ガ
ラス原料ガスは中心流路に流すのが好ましい。
可燃性ガスの水素ガスを最外層流路に流すと火炎が広が
ってしまうので、可燃性ガスよりも外側流路、例えば最
外層流路に助燃性ガスを供給する。また、ガラス原料ガ
スを効率的に酸水素火炎中で加水分解させるために、ガ
ラス原料ガスは中心流路に流すのが好ましい。
【００２９】ガス流量としては、例えばＶｉは１００〜
５００ｃｍ3 ／秒、Ｖｔは２００〜１０００ｃｍ3 ／秒
である。より具体的には、例えばガラス原料ガス５〜５
０ｃｍ3 ／秒、可燃性ガス５０〜３００ｃｍ3 ／秒、助
燃性ガス３００〜５００ｃｍ3 ／秒である。
５００ｃｍ3 ／秒、Ｖｔは２００〜１０００ｃｍ3 ／秒
である。より具体的には、例えばガラス原料ガス５〜５
０ｃｍ3 ／秒、可燃性ガス５０〜３００ｃｍ3 ／秒、助
燃性ガス３００〜５００ｃｍ3 ／秒である。
【００３０】ガラス原料を同心多重管バーナ１の酸水素
火炎中にて加水分解することによりガラス微粒子が生成
する。即ち、可燃性ガス及び助燃性ガスにより酸水素火
炎が形成され、この火炎中にハロゲン化珪素やハロゲン
化ゲルマニウム等のガラス原料ガスを導入することによ
り、上記ハロゲン化合物が加水分解され酸化物、即ちガ
ラス微粒子に変換される。
火炎中にて加水分解することによりガラス微粒子が生成
する。即ち、可燃性ガス及び助燃性ガスにより酸水素火
炎が形成され、この火炎中にハロゲン化珪素やハロゲン
化ゲルマニウム等のガラス原料ガスを導入することによ
り、上記ハロゲン化合物が加水分解され酸化物、即ちガ
ラス微粒子に変換される。
【００３１】生成したガラス微粒子を堆積して、多孔質
ガラス母材８を製造する。ガラス微粒子の堆積方法は特
に限定されないが、例えばＶＡＤ法やＯＶＤ法等を好適
に用いることができる。例えば、図６に示すようなＶＡ
Ｄ法の場合は、生成したガラス微粒子を出発材７の軸方
向へ連続的に堆積させ多孔質ガラス母材８を製造する。
即ち、同心多重管バーナ１から生成ガラス微粒子を回転
する出発材７の先端部に吹き付け、これを付着堆積して
多孔質ガラス母材８を成長させる。その際、多孔質ガラ
ス母材８の成長に合わせて出発材７を軸方向に引き上げ
ることにより、連続的にガラス微粒子を軸方向に堆積さ
せることができる。引上げ速度としては、例えば０．５
〜１．５ｍｍ／分である。
ガラス母材８を製造する。ガラス微粒子の堆積方法は特
に限定されないが、例えばＶＡＤ法やＯＶＤ法等を好適
に用いることができる。例えば、図６に示すようなＶＡ
Ｄ法の場合は、生成したガラス微粒子を出発材７の軸方
向へ連続的に堆積させ多孔質ガラス母材８を製造する。
即ち、同心多重管バーナ１から生成ガラス微粒子を回転
する出発材７の先端部に吹き付け、これを付着堆積して
多孔質ガラス母材８を成長させる。その際、多孔質ガラ
ス母材８の成長に合わせて出発材７を軸方向に引き上げ
ることにより、連続的にガラス微粒子を軸方向に堆積さ
せることができる。引上げ速度としては、例えば０．５
〜１．５ｍｍ／分である。
【００３２】また、図７に示すようなＯＶＤ法の場合
は、同心多重管バーナ１を回転する出発材７に沿って平
行に繰り返し往復させてガラス微粒子を出発材７の周辺
上に吹き付け、半径方向にこれを堆積させて、多孔質ガ
ラス母材８を製造する。出発材７の回転速度としては、
例えば１０〜５０ｒｐｍである。本発明の製造方法によ
り、外径変動や屈折率分布の不整等の特性変動のない優
れた光学特性を有する多孔質ガラス母材８を製造するこ
とができる。
は、同心多重管バーナ１を回転する出発材７に沿って平
行に繰り返し往復させてガラス微粒子を出発材７の周辺
上に吹き付け、半径方向にこれを堆積させて、多孔質ガ
ラス母材８を製造する。出発材７の回転速度としては、
例えば１０〜５０ｒｐｍである。本発明の製造方法によ
り、外径変動や屈折率分布の不整等の特性変動のない優
れた光学特性を有する多孔質ガラス母材８を製造するこ
とができる。
【００３３】尚、透明ガラス母材を得るには、常法に従
い、上記本発明の製造方法で製造した多孔質ガラス母材
を焼結すればよい。焼結は、多孔質ガラス母材を例えば
１５００℃以上に加熱することにより行う。その際、必
要に応じ、塩素ガス等のハロゲン化合物の雰囲気下に焼
結することにより、脱水を同時に行うこともできる。本
発明の製造方法で製造した多孔質ガラス母材を使用する
ことにより、光学特性等の変動量の非常に少ない安定し
た光学特性を有する透明ガラス母材を得ることができ
る。
い、上記本発明の製造方法で製造した多孔質ガラス母材
を焼結すればよい。焼結は、多孔質ガラス母材を例えば
１５００℃以上に加熱することにより行う。その際、必
要に応じ、塩素ガス等のハロゲン化合物の雰囲気下に焼
結することにより、脱水を同時に行うこともできる。本
発明の製造方法で製造した多孔質ガラス母材を使用する
ことにより、光学特性等の変動量の非常に少ない安定し
た光学特性を有する透明ガラス母材を得ることができ
る。
【００３４】更に、光ファイバを製造するには、通常の
方法、例えば上述のようにして得た透明ガラス母材を電
気炉等にて２１００℃以上に加熱溶融し、所望の径にな
るように延伸した後、紡糸することにより行えばよい。
本発明の製造方法で製造した多孔質ガラス母材を使用す
ることにより、長手方向全域に亘って光学特性の安定し
た光ファイバを得ることができる。
方法、例えば上述のようにして得た透明ガラス母材を電
気炉等にて２１００℃以上に加熱溶融し、所望の径にな
るように延伸した後、紡糸することにより行えばよい。
本発明の製造方法で製造した多孔質ガラス母材を使用す
ることにより、長手方向全域に亘って光学特性の安定し
た光ファイバを得ることができる。
【００３５】本発明の多孔質ガラス母材製造用同心多重
管バーナ１は、少なくとも同心多重管バーナ部２とそれ
を覆うバーナカバー３からなる。同心多重管バーナ部２
は、少なくともガラス原料ガス、可燃性ガス、及び助燃
性ガスをそれぞれ別々の流路に流すのが好ましいので、
三重管以上有するものが好ましい。
管バーナ１は、少なくとも同心多重管バーナ部２とそれ
を覆うバーナカバー３からなる。同心多重管バーナ部２
は、少なくともガラス原料ガス、可燃性ガス、及び助燃
性ガスをそれぞれ別々の流路に流すのが好ましいので、
三重管以上有するものが好ましい。
【００３６】このバーナ部２の外周上に、バーナカバー
３がバーナ部２の軸方向に摺動することによって移動可
能なように取り付けられている。このような構造によ
り、バーナカバー３の突き出し量Ｌを自由に設定するこ
とができる。バーナカバー３の内径Ｄとしては、例えば
１〜１０ｃｍである。
３がバーナ部２の軸方向に摺動することによって移動可
能なように取り付けられている。このような構造によ
り、バーナカバー３の突き出し量Ｌを自由に設定するこ
とができる。バーナカバー３の内径Ｄとしては、例えば
１〜１０ｃｍである。
【００３７】同心多重管バーナ１は、石英製が好まし
い。金属製では、酸水素火炎との反応によりバーナ１の
先端部が酸化され易く、また破損したときに金属粉が発
生しこれが生成多孔質ガラス母材８を汚染する可能性も
ある。
い。金属製では、酸水素火炎との反応によりバーナ１の
先端部が酸化され易く、また破損したときに金属粉が発
生しこれが生成多孔質ガラス母材８を汚染する可能性も
ある。
【００３８】本発明の多孔質ガラス母材製造用同心多重
管バーナ１は、バーナカバーの突き出し量Ｌが、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ を満足することを特徴とする。バーナ部２とバーナカバ
ー３とが、このような突き出し量Ｌとなるように配置さ
れることにより、バーナカバー３の内側がバーナ火炎に
より損傷を受けるのを防ぐことができる。従って、バー
ナカバー３の内側の状態が変化することがないので、ガ
ラス微粒子堆積中にバーナ火炎の向き等が変化すること
がなく、ガラス微粒子を均一に堆積することができる。
その結果、外径や屈折率分布等の特性変動のない高品質
の多孔質ガラス母材を安定的に製造することができる。
管バーナ１は、バーナカバーの突き出し量Ｌが、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ を満足することを特徴とする。バーナ部２とバーナカバ
ー３とが、このような突き出し量Ｌとなるように配置さ
れることにより、バーナカバー３の内側がバーナ火炎に
より損傷を受けるのを防ぐことができる。従って、バー
ナカバー３の内側の状態が変化することがないので、ガ
ラス微粒子堆積中にバーナ火炎の向き等が変化すること
がなく、ガラス微粒子を均一に堆積することができる。
その結果、外径や屈折率分布等の特性変動のない高品質
の多孔質ガラス母材を安定的に製造することができる。
【００３９】更に、突き出し量ＬがＤ＜Ｌを満足すれ
ば、バーナ火炎のバタツキもなくなるので、より一層ガ
ラス微粒子を均一に堆積することができる。その結果、
更に外径や屈折率分布等の特性変動のない高品質の多孔
質ガラス母材を安定的に製造することができる。
ば、バーナ火炎のバタツキもなくなるので、より一層ガ
ラス微粒子を均一に堆積することができる。その結果、
更に外径や屈折率分布等の特性変動のない高品質の多孔
質ガラス母材を安定的に製造することができる。
【００４０】次に本発明の多孔質ガラス母材の製造装置
を、ＶＡＤ法を用いた光ファイバ用多孔質ガラス母材の
製造装置を例に説明する。図６は、ＶＡＤ法を用いた本
発明の多孔質ガラス母材の製造装置の概略断面構造を示
す。本発明の製造装置においては、バーナカバー３を備
えた同心多重管バーナ１を有する。このバーナ１に前述
のようにガラス原料ガス等の各ガスを供給し、ガラス微
粒子を堆積していく。同心多重管バーナ１は、少なくと
も同心多重管バーナ部２とそれを覆うバーナカバー３か
らなり、バーナカバー３がバーナ部２の軸方向に移動可
能に覆われている。このような構造により、バーナカバ
ー３の突き出し量Ｌを自由に設定することができる。バ
ーナカバー３の内径Ｄとしては、例えば１〜１０ｃｍで
ある。
を、ＶＡＤ法を用いた光ファイバ用多孔質ガラス母材の
製造装置を例に説明する。図６は、ＶＡＤ法を用いた本
発明の多孔質ガラス母材の製造装置の概略断面構造を示
す。本発明の製造装置においては、バーナカバー３を備
えた同心多重管バーナ１を有する。このバーナ１に前述
のようにガラス原料ガス等の各ガスを供給し、ガラス微
粒子を堆積していく。同心多重管バーナ１は、少なくと
も同心多重管バーナ部２とそれを覆うバーナカバー３か
らなり、バーナカバー３がバーナ部２の軸方向に移動可
能に覆われている。このような構造により、バーナカバ
ー３の突き出し量Ｌを自由に設定することができる。バ
ーナカバー３の内径Ｄとしては、例えば１〜１０ｃｍで
ある。
【００４１】本発明の製造装置においては、バーナカバ
ー３の突き出し量Ｌが、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ を満足することを特徴とする。バーナ部２とバーナカバ
ー３とが、このような突き出し量Ｌを有するように配置
されていることにより、バーナカバー３の内側がバーナ
火炎により損傷を受けるのを防ぐことができ、ガラス微
粒子を均一に堆積することができる。その結果、外径や
屈折率分布等の特性変動のない高品質の多孔質ガラス母
材８を安定的に製造することができる。
ー３の突き出し量Ｌが、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ を満足することを特徴とする。バーナ部２とバーナカバ
ー３とが、このような突き出し量Ｌを有するように配置
されていることにより、バーナカバー３の内側がバーナ
火炎により損傷を受けるのを防ぐことができ、ガラス微
粒子を均一に堆積することができる。その結果、外径や
屈折率分布等の特性変動のない高品質の多孔質ガラス母
材８を安定的に製造することができる。
【００４２】更に、突き出し量ＬがＤ＜Ｌを満足すれ
ば、バーナ火炎のバタツキもなくなるので、より一層ガ
ラス微粒子を均一に堆積することができる。その結果、
更に外径や屈折率分布等の特性変動のない高品質の多孔
質ガラス母材８を安定的に製造することができる。その
ような同心多重管バーナ１としては、前述の本発明の多
孔質ガラス母材製造用同心多重管バーナが好適である。
ば、バーナ火炎のバタツキもなくなるので、より一層ガ
ラス微粒子を均一に堆積することができる。その結果、
更に外径や屈折率分布等の特性変動のない高品質の多孔
質ガラス母材８を安定的に製造することができる。その
ような同心多重管バーナ１としては、前述の本発明の多
孔質ガラス母材製造用同心多重管バーナが好適である。
【００４３】本発明の製造装置においては、出発材７の
回転機構６を有する。出発材７としては、例えば石英製
ロッド、石英製ガラスパイプ等が挙げられる。出発材７
の先端部には、ガラス微粒子の付着を容易にし、また製
造した多孔質ガラス母材８を出発材７から引き離すのを
容易にするため、石英製等のターゲット部材を装着して
おいてもよい。
回転機構６を有する。出発材７としては、例えば石英製
ロッド、石英製ガラスパイプ等が挙げられる。出発材７
の先端部には、ガラス微粒子の付着を容易にし、また製
造した多孔質ガラス母材８を出発材７から引き離すのを
容易にするため、石英製等のターゲット部材を装着して
おいてもよい。
【００４４】出発材７が取り付けられる回転機構６は、
出発材７を回転させるものであり、例えば回転モータ等
により構成される。回転機構６にて出発材７を回転させ
ることで、ガラス微粒子を半径方向に均一に堆積させる
ことができる。更に、回転機構６は出発材７をその軸方
向に引き上げることができるように引上げ機構１０によ
り上下動自在とされる。ガラス微粒子が堆積するにつれ
て出発材７を軸方向に引き上げることにより、同心多重
管バーナ１の位置や向きを変えることなく、常に堆積面
の先端部にガラス微粒子を連続的に且つ均等に吹き付け
ることができる。
出発材７を回転させるものであり、例えば回転モータ等
により構成される。回転機構６にて出発材７を回転させ
ることで、ガラス微粒子を半径方向に均一に堆積させる
ことができる。更に、回転機構６は出発材７をその軸方
向に引き上げることができるように引上げ機構１０によ
り上下動自在とされる。ガラス微粒子が堆積するにつれ
て出発材７を軸方向に引き上げることにより、同心多重
管バーナ１の位置や向きを変えることなく、常に堆積面
の先端部にガラス微粒子を連続的に且つ均等に吹き付け
ることができる。
【００４５】同心多重管バーナ１は、出発材７の先端部
にガラス微粒子が堆積するように配向して配置する。
尚、コアとクラッドを同時に形成したい場合は、例えば
同心多重管バーナ１を二本用意し、一本をコア用バー
ナ、もう一本をクラッド用バーナに使用する。そして、
クラッド用バーナを上記コア用バーナにて形成されたコ
アの周辺上にガラス微粒子が堆積するように配向し配置
すればよい。これにより、コア−クラッド構造を有する
多孔質ガラス母材８を一時に製造することができる。
にガラス微粒子が堆積するように配向して配置する。
尚、コアとクラッドを同時に形成したい場合は、例えば
同心多重管バーナ１を二本用意し、一本をコア用バー
ナ、もう一本をクラッド用バーナに使用する。そして、
クラッド用バーナを上記コア用バーナにて形成されたコ
アの周辺上にガラス微粒子が堆積するように配向し配置
すればよい。これにより、コア−クラッド構造を有する
多孔質ガラス母材８を一時に製造することができる。
【００４６】別の本発明の多孔質ガラス母材の製造装置
を、ＯＶＤ法を用いた光ファイバ用多孔質ガラス母材の
製造装置を例に説明する。図７は、ＯＶＤ法を用いた本
発明の多孔質ガラス母材の製造装置の概略断面構造を示
す。この製造装置においては、バーナカバー３を備えた
同心多重管バーナ１が出発材７の軸方向に繰り返し往復
しガラス微粒子を堆積していくようになっている。同心
多重管バーナ１は、前記と同様、バーナカバー３の突き
出し量Ｌが、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ であり、Ｄ＜Ｌも満足していればより好ましい。具体的
には同心多重管バーナ１としては、本発明の多孔質ガラ
ス母材製造用同心多重管バーナが好適である。尚、同心
多重管バーナ１は複数本からなってもよく、これらを出
発材７の軸方向に一列に並べた構造のものであってもよ
い。
を、ＯＶＤ法を用いた光ファイバ用多孔質ガラス母材の
製造装置を例に説明する。図７は、ＯＶＤ法を用いた本
発明の多孔質ガラス母材の製造装置の概略断面構造を示
す。この製造装置においては、バーナカバー３を備えた
同心多重管バーナ１が出発材７の軸方向に繰り返し往復
しガラス微粒子を堆積していくようになっている。同心
多重管バーナ１は、前記と同様、バーナカバー３の突き
出し量Ｌが、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ であり、Ｄ＜Ｌも満足していればより好ましい。具体的
には同心多重管バーナ１としては、本発明の多孔質ガラ
ス母材製造用同心多重管バーナが好適である。尚、同心
多重管バーナ１は複数本からなってもよく、これらを出
発材７の軸方向に一列に並べた構造のものであってもよ
い。
【００４７】この製造装置においては、出発材７の回転
機構６を有する。回転機構６にて出発材７を回転させる
ことで、出発材７の外周面上にガラス微粒子を半径方向
に均一に堆積させることができる。回転機構６として
は、例えばＯＶＤ法に用いられるものを好適に利用する
ことができる。具体的には回転機構としては、出発材７
の両端部を把持し固定するためのチャック部、及び駆動
源としての回転モータ等からなるものが挙げられる。
尚、出発材７としては前述のＶＡＤ法による製造装置の
ところで例示したものが挙げられる。
機構６を有する。回転機構６にて出発材７を回転させる
ことで、出発材７の外周面上にガラス微粒子を半径方向
に均一に堆積させることができる。回転機構６として
は、例えばＯＶＤ法に用いられるものを好適に利用する
ことができる。具体的には回転機構としては、出発材７
の両端部を把持し固定するためのチャック部、及び駆動
源としての回転モータ等からなるものが挙げられる。
尚、出発材７としては前述のＶＡＤ法による製造装置の
ところで例示したものが挙げられる。
【００４８】更にこの製造装置においては、通常同心多
重管バーナ１の移動機構９を有する。移動機構９によ
り、ガラス微粒子を出発材の全長に亘って均一の厚さで
且つ密着性高く堆積することができる。移動機構９とし
ては、例えばＯＶＤ法に用いられるものを好適に利用す
ることができる。具体的には、図７に示すように、同心
多重管バーナ１をレール上で摺動させることによって出
発材７の長手方向に繰り返し往復移動させるものであ
る。その他、本発明の多孔質ガラス母材製造装置におい
ては、通常多孔質ガラス母材の製造装置で使用される各
種装置、例えば排気装置、ガス整流板等を備えてもよ
い。
重管バーナ１の移動機構９を有する。移動機構９によ
り、ガラス微粒子を出発材の全長に亘って均一の厚さで
且つ密着性高く堆積することができる。移動機構９とし
ては、例えばＯＶＤ法に用いられるものを好適に利用す
ることができる。具体的には、図７に示すように、同心
多重管バーナ１をレール上で摺動させることによって出
発材７の長手方向に繰り返し往復移動させるものであ
る。その他、本発明の多孔質ガラス母材製造装置におい
ては、通常多孔質ガラス母材の製造装置で使用される各
種装置、例えば排気装置、ガス整流板等を備えてもよ
い。
【００４９】本発明の多孔質ガラス母材の製造装置によ
り、外径変動や屈折率分布の不整等の特性変動のない優
れた光学特性を有する多孔質ガラス母材を製造すること
ができる。
り、外径変動や屈折率分布の不整等の特性変動のない優
れた光学特性を有する多孔質ガラス母材を製造すること
ができる。
【００５０】
【実施例】以下、図面を参照しながら本発明を実施例に
て更に具体的に説明する。 （実施例１）図１に示す本発明の同心多重管バーナ１を
使用して、ガラス微粒子の堆積を行った。このバーナカ
バー３の内径Ｄは１．８ｃｍ、突き出し量Ｌは、７．５
ｃｍであった。
て更に具体的に説明する。 （実施例１）図１に示す本発明の同心多重管バーナ１を
使用して、ガラス微粒子の堆積を行った。このバーナカ
バー３の内径Ｄは１．８ｃｍ、突き出し量Ｌは、７．５
ｃｍであった。
【００５１】この同心多重管バーナ１に、図１（ｂ）に
示すように、中心流路にガラス原料ガス（ＧｅＣｌ4 を
含むＳｉＣｌ4 ）と搬送ガス（Ａｒ）、その外側流路に
可燃性ガス（Ｈ2 ）、更にその外側流路にシールガス、
そして最外層流路に助燃性ガス（Ｏ2 ）を供給した。ガ
ス流量は、Ｖｉが１５０ｃｍ3 ／秒、及びＶｔが３００
ｃｍ3 ／秒であった。
示すように、中心流路にガラス原料ガス（ＧｅＣｌ4 を
含むＳｉＣｌ4 ）と搬送ガス（Ａｒ）、その外側流路に
可燃性ガス（Ｈ2 ）、更にその外側流路にシールガス、
そして最外層流路に助燃性ガス（Ｏ2 ）を供給した。ガ
ス流量は、Ｖｉが１５０ｃｍ3 ／秒、及びＶｔが３００
ｃｍ3 ／秒であった。
【００５２】従って、Ｄ＝１．８＜Ｌ＝７．５＜Ｌｌｉ
ｍ＝（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ＝（−
０．１２３×１５０＋０．１１７×３００）／１．８＝
８．１を満足する。このような条件下に、本発明の同心
多重管バーナ１にて、１２時間ガラス微粒子の堆積を行
った。その結果、バーナカバー３の内側にはバーナ火炎
による損傷は発生していなかった。また、ガラス微粒子
堆積中、火炎の向きが変わらずバタツキも起こらず安定
したバーナ火炎が得られた。
ｍ＝（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ＝（−
０．１２３×１５０＋０．１１７×３００）／１．８＝
８．１を満足する。このような条件下に、本発明の同心
多重管バーナ１にて、１２時間ガラス微粒子の堆積を行
った。その結果、バーナカバー３の内側にはバーナ火炎
による損傷は発生していなかった。また、ガラス微粒子
堆積中、火炎の向きが変わらずバタツキも起こらず安定
したバーナ火炎が得られた。
【００５３】（実施例２〜６）表１に示す内径Ｄ及び突
き出し量Ｌを有する同心多重管バーナ１を使用し、表１
に示すガス流量Ｖｉ及びＶｔの条件下に、実施例１と同
様にして、１２時間ガラス微粒子の堆積を行った。
き出し量Ｌを有する同心多重管バーナ１を使用し、表１
に示すガス流量Ｖｉ及びＶｔの条件下に、実施例１と同
様にして、１２時間ガラス微粒子の堆積を行った。
【００５４】従って、いずれの場合も、Ｄ＜Ｌ＜Ｌｌｉ
ｍ＝（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄを満足
する。その結果、いずれの場合にもバーナカバー３の内
側には、バーナ火炎による損傷は発生してしなかった。
また、ガラス微粒子堆積中、火炎の向きが変わらずバタ
ツキも起こらず安定したバーナ火炎が得られた。
ｍ＝（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄを満足
する。その結果、いずれの場合にもバーナカバー３の内
側には、バーナ火炎による損傷は発生してしなかった。
また、ガラス微粒子堆積中、火炎の向きが変わらずバタ
ツキも起こらず安定したバーナ火炎が得られた。
【００５５】
【表１】
【００５６】（比較例１〜６）表２に示す内径Ｄ及び突
き出し量Ｌを有する同心多重管バーナを使用し、表２に
示すガス流量Ｖｉ及びＶｔの条件下に、実施例１と同様
にして、１２時間ガラス微粒子の堆積を行った。従っ
て、いずれの場合も、Ｌ＞Ｌｌｉｍ＝（−０．１２３Ｖ
ｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄとなる。その結果、いずれの
場合にもバーナカバーの先端部内側に、バーナ火炎によ
る損傷が発生しており、またガラス微粒子堆積中バーナ
火炎の向きが変わり安定しなかった。
き出し量Ｌを有する同心多重管バーナを使用し、表２に
示すガス流量Ｖｉ及びＶｔの条件下に、実施例１と同様
にして、１２時間ガラス微粒子の堆積を行った。従っ
て、いずれの場合も、Ｌ＞Ｌｌｉｍ＝（−０．１２３Ｖ
ｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄとなる。その結果、いずれの
場合にもバーナカバーの先端部内側に、バーナ火炎によ
る損傷が発生しており、またガラス微粒子堆積中バーナ
火炎の向きが変わり安定しなかった。
【００５７】
【表２】
【００５８】（実施例７）長さ８００ｍｍのシングルモ
ード光ファイバ用多孔質ガラス母材用のコア部材を製造
するために、図６に示す本発明のＶＡＤ法用の多孔質ガ
ラス母材製造装置を使用した。即ち、バーナカバー３の
内径Ｄが１．８ｃｍ、突き出し量Ｌが８．０ｃｍの同心
多重管バーナ１を使用し、出発材７を回転機構６に装着
し、これを３０ｒｐｍにて回転させた。
ード光ファイバ用多孔質ガラス母材用のコア部材を製造
するために、図６に示す本発明のＶＡＤ法用の多孔質ガ
ラス母材製造装置を使用した。即ち、バーナカバー３の
内径Ｄが１．８ｃｍ、突き出し量Ｌが８．０ｃｍの同心
多重管バーナ１を使用し、出発材７を回転機構６に装着
し、これを３０ｒｐｍにて回転させた。
【００５９】同心多重管バーナ１に、図１（ｂ）に示す
ように、中心流路にガラス原料ガス（ＧｅＣｌ4 を含む
ＳｉＣｌ4 ）と搬送ガス（Ａｒ）、その外側流路に可燃
性ガス（Ｈ2 ）、更にその外側流路にシールガス、そし
て最外層流路に助燃性ガス（Ｏ2 ）を供給した。ガス流
量は、Ｖｉが１４０ｃｍ3 ／秒、及びＶｔが３００ｃｍ
3 ／秒であった。
ように、中心流路にガラス原料ガス（ＧｅＣｌ4 を含む
ＳｉＣｌ4 ）と搬送ガス（Ａｒ）、その外側流路に可燃
性ガス（Ｈ2 ）、更にその外側流路にシールガス、そし
て最外層流路に助燃性ガス（Ｏ2 ）を供給した。ガス流
量は、Ｖｉが１４０ｃｍ3 ／秒、及びＶｔが３００ｃｍ
3 ／秒であった。
【００６０】従って、Ｄ＝１．８＜Ｌ＝８．０＜Ｌｌｉ
ｍ＝（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ＝（−
０．１２３×１４０＋０．１１７×３００）／１．８＝
約９．９を満足する。このような条件下に、同心多重管
バーナ１よりガラス微粒子を出発材７の先端部に吹き付
け、ガラス微粒子の堆積に伴い引上げ機構１０により出
発材７を１ｍｍ／分の速度で引上げることで、ガラス微
粒子を出発材７の軸方向に次々と堆積させ、コア部材を
製造した。
ｍ＝（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ＝（−
０．１２３×１４０＋０．１１７×３００）／１．８＝
約９．９を満足する。このような条件下に、同心多重管
バーナ１よりガラス微粒子を出発材７の先端部に吹き付
け、ガラス微粒子の堆積に伴い引上げ機構１０により出
発材７を１ｍｍ／分の速度で引上げることで、ガラス微
粒子を出発材７の軸方向に次々と堆積させ、コア部材を
製造した。
【００６１】コア部材の製造中、バーナカバー３の内側
にはバーナ火炎による損傷は発生しなかった。また、火
炎の向きが変わらずバタツキもない安定したバーナ火炎
であった。更に、得られたコア部材は、カットオフ波長
の長手変動は５ｎｍ以下と非常に小さく、光学特性が非
常に安定していた。また、外径変動も殆どなかった。
にはバーナ火炎による損傷は発生しなかった。また、火
炎の向きが変わらずバタツキもない安定したバーナ火炎
であった。更に、得られたコア部材は、カットオフ波長
の長手変動は５ｎｍ以下と非常に小さく、光学特性が非
常に安定していた。また、外径変動も殆どなかった。
【００６２】（比較例７）突き出し量Ｌを１１．０とし
た以外は、実施例７と同様にして、長さ８００ｍｍのシ
ングルモード光ファイバ用多孔質ガラス母材用のコア部
材を製造した。従って、Ｌ＝１１．０＞Ｌｌｉｍ＝（−
０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ＝（−０．１２
３×１４０＋０．１１７×３００）／１．８＝約９．９
となる。
た以外は、実施例７と同様にして、長さ８００ｍｍのシ
ングルモード光ファイバ用多孔質ガラス母材用のコア部
材を製造した。従って、Ｌ＝１１．０＞Ｌｌｉｍ＝（−
０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ＝（−０．１２
３×１４０＋０．１１７×３００）／１．８＝約９．９
となる。
【００６３】その結果、コア部材の製造中、バーナカバ
ーの内側にはバーナ火炎による損傷が発生し、またバー
ナ火炎の向きも変わり非常に不安定であった。又、得ら
れたコア部材はカットオフ波長の長手変動は５０ｎｍ以
上であり、実施例７のコア部材に比し非常に大きいもの
で光学特性が不安定であった。また、外径変動も大きか
った。
ーの内側にはバーナ火炎による損傷が発生し、またバー
ナ火炎の向きも変わり非常に不安定であった。又、得ら
れたコア部材はカットオフ波長の長手変動は５０ｎｍ以
上であり、実施例７のコア部材に比し非常に大きいもの
で光学特性が不安定であった。また、外径変動も大きか
った。
【００６４】以上、本発明を説明してきたが、本発明は
上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態
は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された
技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効
果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技
術的範囲に包含される。
上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態
は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された
技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効
果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技
術的範囲に包含される。
【００６５】例えば、本発明の多孔質ガラス母材の製造
方法及び製造装置を、主にＶＡＤ法やＯＶＤ法により光
ファイバ用多孔質ガラス母材を製造する場合について説
明してきた。しかし、本発明の製造方法及び製造装置に
おいては、単に従来の同心多重管バーナの替わりに、本
発明に従って同心多重管バーナを使用しさえすればよ
く、従って同心多重管バーナを用いるあらゆる多孔質ガ
ラスの製造方法・製造装置、例えばＶＡＤ法やＯＶＤ法
以外の如何なる製造方法・製造装置にも用いることがで
きる。また製造対象も光ファイバ用多孔質ガラス母材の
みならず、コアまたはクラッド単独、更にはその他高純
度石英ガラスロッド等、同心多重管バーナを用いて製造
されるあらゆる多孔質ガラス材にも、本発明の製造方法
・製造装置を使用することができる。
方法及び製造装置を、主にＶＡＤ法やＯＶＤ法により光
ファイバ用多孔質ガラス母材を製造する場合について説
明してきた。しかし、本発明の製造方法及び製造装置に
おいては、単に従来の同心多重管バーナの替わりに、本
発明に従って同心多重管バーナを使用しさえすればよ
く、従って同心多重管バーナを用いるあらゆる多孔質ガ
ラスの製造方法・製造装置、例えばＶＡＤ法やＯＶＤ法
以外の如何なる製造方法・製造装置にも用いることがで
きる。また製造対象も光ファイバ用多孔質ガラス母材の
みならず、コアまたはクラッド単独、更にはその他高純
度石英ガラスロッド等、同心多重管バーナを用いて製造
されるあらゆる多孔質ガラス材にも、本発明の製造方法
・製造装置を使用することができる。
【００６６】更に、本発明は可燃性ガスとして水素ガス
を使用する場合について主に説明したが、その他のガス
を使用する場合でも本発明と同様の手法を用いれば、あ
らゆるガスにも適用できるよう本発明を容易に改変でき
ることは言うまでもない。
を使用する場合について主に説明したが、その他のガス
を使用する場合でも本発明と同様の手法を用いれば、あ
らゆるガスにも適用できるよう本発明を容易に改変でき
ることは言うまでもない。
【００６７】
【発明の効果】本発明に従って、バーナカバーの突き出
し量を特定範囲内に設定すれば、バーナカバー内側にバ
ーナ火炎による損傷が発生するのを防ぐことができる。
そのため、火炎の方向等が変わることがなく安定したバ
ーナ火炎が得られ、均一にガラス微粒子を堆積すること
ができる。その結果、外径変動や屈折率分布の不整等が
ない優れた多孔質ガラス母材を製造することができる。
し量を特定範囲内に設定すれば、バーナカバー内側にバ
ーナ火炎による損傷が発生するのを防ぐことができる。
そのため、火炎の方向等が変わることがなく安定したバ
ーナ火炎が得られ、均一にガラス微粒子を堆積すること
ができる。その結果、外径変動や屈折率分布の不整等が
ない優れた多孔質ガラス母材を製造することができる。
【図１】多孔質ガラス母材製造用同心多重管バーナの断
面構造を示す。（ａ）は概略横断面構造図であり、
（ｂ）は概略縦断面構造図である。
面構造を示す。（ａ）は概略横断面構造図であり、
（ｂ）は概略縦断面構造図である。
【図２】バーナ先端からバーナカバー内側の火炎により
発生した損傷部までの距離Ｌｌｉｍと、バーナカバーの
内径Ｄの逆数との関係を示す。
発生した損傷部までの距離Ｌｌｉｍと、バーナカバーの
内径Ｄの逆数との関係を示す。
【図３】比例定数Ｋと、水素ガス及び水素ガスより内側
流路を流れるガスの合計流量Ｖｉとの関係を示す。尚、
（ａ）はＶｔ＝３００の場合、（ｂ）はＶｔ＝４００の
場合、（ｃ）はＶｔ＝６００の場合である。
流路を流れるガスの合計流量Ｖｉとの関係を示す。尚、
（ａ）はＶｔ＝３００の場合、（ｂ）はＶｔ＝４００の
場合、（ｃ）はＶｔ＝６００の場合である。
【図４】ｙ切片αと、全ガスの合計流量Ｖｔとの関係を
示す。
示す。
【図５】突き出し量Ｌがバーナカバーの内径Ｄより小さ
くなると、多孔質ガラス母材の製造歩留りが低下するこ
とを示す。
くなると、多孔質ガラス母材の製造歩留りが低下するこ
とを示す。
【図６】ＶＡＤ法による多孔質ガラス母材の製造装置の
概略断面構造を示す。
概略断面構造を示す。
【図７】ＯＶＤ法による多孔質ガラス母材の製造装置の
概略断面構造を示す。
概略断面構造を示す。
１…同心多重管バーナ、 ２…同心多重管バーナ部、３
…バーナカバー、 ４…バーナ先端、 ５…バーナカバ
ー先端、６…出発材の回転機構、 ７…出発材、 ８…
多孔質ガラス母材、９…バーナの移動機構、 １０…引
上げ機構、Ｌ…バーナ先端からバーナカバー先端までの
距離（突き出し量）、Ｄ…バーナカバーの内径。
…バーナカバー、 ４…バーナ先端、 ５…バーナカバ
ー先端、６…出発材の回転機構、 ７…出発材、 ８…
多孔質ガラス母材、９…バーナの移動機構、 １０…引
上げ機構、Ｌ…バーナ先端からバーナカバー先端までの
距離（突き出し量）、Ｄ…バーナカバーの内径。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平沢 秀夫 群馬県安中市磯部２丁目13番１号 信越 化学工業株式会社 精密機能材料研究所 内 (56)参考文献 特開 昭63−123828（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C03B 8/04 C03B 37/018
Claims (6)
- 【請求項１】 バーナカバーを備えた同心多重管バーナ
に、少なくともガラス原料ガス、可燃性ガスとして水素
ガス、及び可燃性ガスよりも外側流路に助燃性ガスを供
給し、ガラス原料を酸水素火炎中にて加水分解してガラ
ス微粒子を生成し、生成したガラス微粒子を堆積して多
孔質ガラス母材を製造する方法において、バーナ先端か
らバーナカバー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）を、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ ［式中、Ｖｉは水素ガス及び水素ガスより内側流路を流
れるガスの合計流量（ｃｍ3 ／秒）、Ｖｔは全ガスの合
計流量（ｃｍ3 ／秒）、及びＤはバーナカバーの内径
（ｃｍ）を表わす。］を満足するようにしてガラス微粒
子を堆積することを特徴とする多孔質ガラス母材の製造
方法。 - 【請求項２】 バーナ先端からバーナカバー先端までの
距離Ｌ（ｃｍ）を、Ｄ＜Ｌ［式中、Ｄは前記と同義。］
を満足するようにしてガラス微粒子を堆積することを特
徴とする請求項１記載の多孔質ガラス母材の製造方法。 - 【請求項３】 バーナカバーを備えた同心多重管バーナ
であって、バーナ先端からバーナカバー先端までの距離
Ｌ（ｃｍ）が、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ ［式中、Ｖｉは水素ガス及び水素ガスより内側流路を流
れるガスの合計流量（ｃｍ3 ／秒）、Ｖｔは全ガスの合
計流量（ｃｍ3 ／秒）、及びＤはバーナカバーの内径
（ｃｍ）を表わす。］を満足することを特徴とする多孔
質ガラス母材製造用同心多重管バーナ。 - 【請求項４】 バーナ先端からバーナカバー先端までの
距離Ｌ（ｃｍ）が、Ｄ＜Ｌ［式中、Ｄは前記と同義。］
を満足することを特徴とする請求項３記載の多孔質ガラ
ス母材製造用同心多重管バーナ。 - 【請求項５】 少なくとも、バーナカバーを備えた同心
多重管バーナ、及び出発材の回転機構を有する多孔質ガ
ラス母材の製造装置において、バーナ先端からバーナカ
バー先端までの距離Ｌ（ｃｍ）が、 Ｌ＜（−０．１２３Ｖｉ＋０．１１７Ｖｔ）／Ｄ ［式中、Ｖｉは水素ガス及び水素ガスより内側流路を流
れるガスの合計流量（ｃｍ3 ／秒）、Ｖｔは全ガスの合
計流量（ｃｍ3 ／秒）、及びＤはバーナカバーの内径
（ｃｍ）を表わす。］を満足することを特徴とする多孔
質ガラス母材の製造装置。 - 【請求項６】 バーナ先端からバーナカバー先端までの
距離Ｌ（ｃｍ）が、Ｄ＜Ｌ［式中、Ｄは前記と同義。］
を満足することを特徴とする請求項５記載の多孔質ガラ
ス母材の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25941298A JP2960059B1 (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置、並びにそれらに使用する同心多重管バーナ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25941298A JP2960059B1 (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置、並びにそれらに使用する同心多重管バーナ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2960059B1 true JP2960059B1 (ja) | 1999-10-06 |
| JP2000072448A JP2000072448A (ja) | 2000-03-07 |
Family
ID=17333762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25941298A Expired - Fee Related JP2960059B1 (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | 多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置、並びにそれらに使用する同心多重管バーナ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2960059B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6756759B2 (ja) * | 2018-03-22 | 2020-09-16 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ母材の製造装置 |
-
1998
- 1998-08-27 JP JP25941298A patent/JP2960059B1/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000072448A (ja) | 2000-03-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4224046A (en) | Method for manufacturing an optical fiber preform | |
| JPH039047B2 (ja) | ||
| GB2128982A (en) | Fabrication method of optical fiber preforms | |
| JPH06305736A (ja) | 合成石英ガラス部材の製造方法 | |
| US7437893B2 (en) | Method for producing optical glass | |
| JP2960059B1 (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法及び製造装置、並びにそれらに使用する同心多重管バーナ | |
| JP3137517B2 (ja) | 合成石英ガラス部材の製造方法および合成石英ガラス製造用バーナー | |
| JPH0761831A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 | |
| JPS6048456B2 (ja) | 光フアイバ用母材の製造方法 | |
| JP4471445B2 (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法及びその装置 | |
| JPH1053429A (ja) | 光ファイバ用母材およびその製造方法 | |
| JP3562545B2 (ja) | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 | |
| JPS6044258B2 (ja) | 合成ト−チ | |
| JP3078590B2 (ja) | 合成石英ガラスの製造方法 | |
| US20210214266A1 (en) | Organic germania and silica sources for making optical fiber preforms | |
| JPH10330129A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス体の製造方法 | |
| JPS6259063B2 (ja) | ||
| JPS6374932A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
| JP2986453B1 (ja) | 光ファイバ用ガラス母材の製造装置および製造方法 | |
| JP3953855B2 (ja) | 多孔質母材の製造方法 | |
| JPS5924097B2 (ja) | ガラス体の製造方法 | |
| JPS62162639A (ja) | Ｗ型シングルモ−ド光フアイバ母材の製造方法 | |
| JP2001199730A (ja) | 多孔質ガラス母材の製造方法及びその装置 | |
| JP3401382B2 (ja) | 分散シフトシングルモード光ファイバ用多孔質母材の製造方法および製造装置 | |
| JPH0733467A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080730 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090730 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090730 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100730 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110730 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120730 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130730 Year of fee payment: 14 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |