JPS63307134A - 光ファイバ母材の製造方法 - Google Patents
光ファイバ母材の製造方法Info
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- JPS63307134A JPS63307134A JP14001887A JP14001887A JPS63307134A JP S63307134 A JPS63307134 A JP S63307134A JP 14001887 A JP14001887 A JP 14001887A JP 14001887 A JP14001887 A JP 14001887A JP S63307134 A JPS63307134 A JP S63307134A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は光ファイバ母材の製造方法に係り、特に低損失
化を達成することができる製造方法に関する。
化を達成することができる製造方法に関する。
[従来の技術]
一般に、コアを純粋SiO2から形成すると共にクラッ
ドをF添加5i02から形成した光ファイバはレーレ散
乱係数が小さく、低損失化が可能である。
ドをF添加5i02から形成した光ファイバはレーレ散
乱係数が小さく、低損失化が可能である。
従来、このような光ファイバは次の■あるいは■の方法
により製造されていた。
により製造されていた。
■ 第7図のように純粋SiO2ガラス棒71の外周部
にバーナ72を用いてVAD法により SiO2微粒子
73を堆積し、焼結時にフッ素処理を行なった後透明ガ
ラス化する。
にバーナ72を用いてVAD法により SiO2微粒子
73を堆積し、焼結時にフッ素処理を行なった後透明ガ
ラス化する。
■ 第8図のようにコア用バーナ81及びクラッド用バ
ーナ82を用いてVAD法によりかさ密度I Q /
ci以上のコア部83とかさ密度0.2〜0.3g/c
Iiのクラッド部84からなるスート母材を形成し、焼
結時にフッ素処理を行なった後透明ガラス化する。
ーナ82を用いてVAD法によりかさ密度I Q /
ci以上のコア部83とかさ密度0.2〜0.3g/c
Iiのクラッド部84からなるスート母材を形成し、焼
結時にフッ素処理を行なった後透明ガラス化する。
この■の方法はコア部83のかさ密度を高く設定してこ
こにフッ素が添加されないようにしたものである。
こにフッ素が添加されないようにしたものである。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、■の方法ではガラス棒71に無水・高純
度の5i02ガラス棒を用いてもSiO2微粒子の外付
時にH2−02火炎からの囲碁がガラス棒71内に混入
するためファイバ化後の囲碁吸収損失が増加してしまう
という問題があった。
度の5i02ガラス棒を用いてもSiO2微粒子の外付
時にH2−02火炎からの囲碁がガラス棒71内に混入
するためファイバ化後の囲碁吸収損失が増加してしまう
という問題があった。
これに対しで、■の方法ではコア部81がスート状態で
あるのでC12等を用いた脱水処理により囲碁を除去す
ることが可能であるが、かさ密度が高いために通常20
0時間以上もの長時間にわたって脱水処理を行なわなけ
ればならなかった。
あるのでC12等を用いた脱水処理により囲碁を除去す
ることが可能であるが、かさ密度が高いために通常20
0時間以上もの長時間にわたって脱水処理を行なわなけ
ればならなかった。
また、純粋5i02からなる中空円筒状のスート母材を
形成してこれを炉内で焼結する際にスート母材の中空部
はフッ素ガスを含まない雰囲気とし、炉内全体はフッ素
ガスを含む雰囲気として加熱することにより5i(hコ
ア及びF添加5i02クラッドの母材を製造する方法が
特開昭60−239335号公報に開示されているが、
この場合には焼結時の2つの雰囲気ガスが炉内で混合す
るためこれらの雰囲気ガスを高精麿で流量制御しても所
望の組成の母材を再現性よく得ることは困難である。
形成してこれを炉内で焼結する際にスート母材の中空部
はフッ素ガスを含まない雰囲気とし、炉内全体はフッ素
ガスを含む雰囲気として加熱することにより5i(hコ
ア及びF添加5i02クラッドの母材を製造する方法が
特開昭60−239335号公報に開示されているが、
この場合には焼結時の2つの雰囲気ガスが炉内で混合す
るためこれらの雰囲気ガスを高精麿で流量制御しても所
望の組成の母材を再現性よく得ることは困難である。
かくして、本発明の目的は上記従来技術の問題点を解消
し、長時間の脱水処理を施さなくても伝送損失の低減化
を図ることができる光ファイバ母材の製造方法を提供す
ることにある。
し、長時間の脱水処理を施さなくても伝送損失の低減化
を図ることができる光ファイバ母材の製造方法を提供す
ることにある。
[問題点を解決するための手段]
本発明の光ファイバ母材の製造方法は上記目的を達成す
るために、ガラス微粒子を堆積させて円筒状のスート母
材を形成すると共に該スート母材に脱水処理を施した後
、上記スート母材の内周面を加熱して該内周面近傍のス
ートのかさ密度を高め、さらに上記スート母材をフッ素
含有雰囲気中で加熱処理した後これを透明ガラス化する
と共に中実化する方法である。
るために、ガラス微粒子を堆積させて円筒状のスート母
材を形成すると共に該スート母材に脱水処理を施した後
、上記スート母材の内周面を加熱して該内周面近傍のス
ートのかさ密度を高め、さらに上記スート母材をフッ素
含有雰囲気中で加熱処理した後これを透明ガラス化する
と共に中実化する方法である。
[作 用]
すなわち、本発明は円筒状スート母材のかさ密度が低い
状態でこれに脱水処理を施した後、スート母材の内周面
近傍のかさ密度を高めてからフッ素処理を行なうもので
ある。
状態でこれに脱水処理を施した後、スート母材の内周面
近傍のかさ密度を高めてからフッ素処理を行なうもので
ある。
従って、脱水処理に長時間を要することなく残留囲碁の
少ない純粋SiO2コア及びF添加5102クラッドの
光ファイバ母材が得られる。
少ない純粋SiO2コア及びF添加5102クラッドの
光ファイバ母材が得られる。
[実施例]
以下、本発明の実施例を添付図面に従って説明する。
実施例1
第1図及び第2図は実施例1に係る光ファイバ母材の製
造方法を示す工程図である。
造方法を示す工程図である。
まず、第1図のように直径5#1IIIのカーボン製出
発材1を回転上昇させると共にその外周部にバーナ2を
用いてVAD法によりSiO2微粒子を堆積しスート母
材3を形成する。このスート母材3を出発材1と共に電
気炉(図示せず)内にセットし、温度1200℃、流量
5.9/minのHe及び流量1.R/minのIJ2
の雰囲気中で3時間の脱水処理を施した。
発材1を回転上昇させると共にその外周部にバーナ2を
用いてVAD法によりSiO2微粒子を堆積しスート母
材3を形成する。このスート母材3を出発材1と共に電
気炉(図示せず)内にセットし、温度1200℃、流量
5.9/minのHe及び流量1.R/minのIJ2
の雰囲気中で3時間の脱水処理を施した。
次に、この脱水処理時と同一の雰囲気下で第2図の如く
出発棒1の両端に取り付けた電極4及び5間に通電し、
出発棒1を1500℃に昇温させて5分間放置した。こ
れにより、スート母材3の内周面(出発材1との界面)
が加熱され、その近傍に位置するスートのかさ密度が高
められる。
出発棒1の両端に取り付けた電極4及び5間に通電し、
出発棒1を1500℃に昇温させて5分間放置した。こ
れにより、スート母材3の内周面(出発材1との界面)
が加熱され、その近傍に位置するスートのかさ密度が高
められる。
その後、スート母材3から出発材1を抜き去り、スート
母材3を温度1300℃で且つSiF4をSiF4/
tle+ SiF+ = 0.1の濃度で供給しつ91
時間のフッ素添加処理を行なった。さらに、炉内温度を
1500℃にまで上昇させた状態で流110.F/wi
nのHeを供給し、透明ガラス化すると共に中実化した
。
母材3を温度1300℃で且つSiF4をSiF4/
tle+ SiF+ = 0.1の濃度で供給しつ91
時間のフッ素添加処理を行なった。さらに、炉内温度を
1500℃にまで上昇させた状態で流110.F/wi
nのHeを供給し、透明ガラス化すると共に中実化した
。
このようにして得られたファイバ母材の屈折率分布を測
定したところ第3図のような分布となり、中心部はFを
含まない純粋5i02であり、周辺部は比屈折率差0.
35%低下したF添加5i02であった。
定したところ第3図のような分布となり、中心部はFを
含まない純粋5i02であり、周辺部は比屈折率差0.
35%低下したF添加5i02であった。
さらに、このファイバ母材を直径20.に延伸した後、
その外周部にVAD法によりSiO2スートを外付けし
てフッ素処理及び透明ガラス化し、これにより所定のコ
ア/クラツド比の母材を作成した。
その外周部にVAD法によりSiO2スートを外付けし
てフッ素処理及び透明ガラス化し、これにより所定のコ
ア/クラツド比の母材を作成した。
そして、これを線引ファイバ化してその伝送特性を測定
したところ、波長1.39μsでの叶吸収損失が1dB
/b以下であり、残留011基の極めて少ない光ファイ
バが得られた。
したところ、波長1.39μsでの叶吸収損失が1dB
/b以下であり、残留011基の極めて少ない光ファイ
バが得られた。
実施例2
第4図及び第5図に実施例2に係る光ファイバ母材の製
造方法の工程図を示す。
造方法の工程図を示す。
まず、第4図のように引抜き可能な直径20#Iの8棒
41を有する出発母材42の外周部にバーナ43を用い
てVAD法によりかさ密度0.3ghiのSiO2微粒
子44を堆積させた後、8棒41を引抜いて内径20#
III、外径140#IIl+の円筒状スート母材45
を形成した。
41を有する出発母材42の外周部にバーナ43を用い
てVAD法によりかさ密度0.3ghiのSiO2微粒
子44を堆積させた後、8棒41を引抜いて内径20#
III、外径140#IIl+の円筒状スート母材45
を形成した。
次に、この円筒状スート母材45を電気炉(図示せず)
内にセットし、温度1200℃、Wtm 5.11/1
nのHe及び流f1111 /minのClhの雰囲気
中で3時間の脱水処理を施した。
内にセットし、温度1200℃、Wtm 5.11/1
nのHe及び流f1111 /minのClhの雰囲気
中で3時間の脱水処理を施した。
次に、第5図の如くスート母材45の中空部に直径10
#Iのカーボン棒からなる発熱体46を挿入し、He雰
囲気中でこの発熱体46を温度1600℃に通電加熱さ
せて10分間放置した。これにより、スート母材45の
内周面が透明ガラス化された。
#Iのカーボン棒からなる発熱体46を挿入し、He雰
囲気中でこの発熱体46を温度1600℃に通電加熱さ
せて10分間放置した。これにより、スート母材45の
内周面が透明ガラス化された。
その後、発熱体46を取り去りスート母材45を温度1
200℃で流1104!/minのlle及び0.5f
!/n+inの81[4を供給しつつフッ素添加処理を
行なった。
200℃で流1104!/minのlle及び0.5f
!/n+inの81[4を供給しつつフッ素添加処理を
行なった。
さらに、SiF4の供給を止めると共に炉内を1650
℃に昇温させて透明ガラス化及び中実化を行なった。
℃に昇温させて透明ガラス化及び中実化を行なった。
このようにして得られたファイバ母材の屈折率分布を測
定したところ、中心部はFを含まない純粋SiO2であ
り、周辺部は比屈折率差0.3低下したF添加5102
であった。
定したところ、中心部はFを含まない純粋SiO2であ
り、周辺部は比屈折率差0.3低下したF添加5102
であった。
さらに、このファイバ母材を線引ファイバ化してその伝
送特性を測定したところ、波長1.39jJ!RでのO
H吸収損失が1dB/1CIn以下であり、残留0■基
の極めて少ない光ファイバを得ることができた。
送特性を測定したところ、波長1.39jJ!RでのO
H吸収損失が1dB/1CIn以下であり、残留0■基
の極めて少ない光ファイバを得ることができた。
実施例3
実施例2において、発熱体46を用いてスート母材45
の内周面の透明ガラス化を行なう代わりに、第6図のよ
うにスート母材45の中空部内に上方から流量10.p
/n+inの02及び10.1Illinの^rを供給
すると共にスート母材45の外周部に母材を非接触で巻
き付けた高周波誘導コイル61に通電し中空部内にプラ
ズマ62を発生させた。このプラズマ62の熱によりス
ート母材45の内周面が透明ガラス化された。
の内周面の透明ガラス化を行なう代わりに、第6図のよ
うにスート母材45の中空部内に上方から流量10.p
/n+inの02及び10.1Illinの^rを供給
すると共にスート母材45の外周部に母材を非接触で巻
き付けた高周波誘導コイル61に通電し中空部内にプラ
ズマ62を発生させた。このプラズマ62の熱によりス
ート母材45の内周面が透明ガラス化された。
このようにして製造されたファイバ母材及びその母材か
ら得られた光ファイバはそれぞれ実施例2により得られ
たファイバ母材及び光ファイバと同様の屈折率分布及び
伝送特性を有することが確認された。
ら得られた光ファイバはそれぞれ実施例2により得られ
たファイバ母材及び光ファイバと同様の屈折率分布及び
伝送特性を有することが確認された。
なお、実施例1及び2においてそれぞれ用いられた出発
材1及び発熱体46はカーボン製に限るものではなく、
通電して発熱する材質であればよい。また、出発材1や
発熱体46に通電させる代わりに実施例3で用いたよう
な高周波誘導コイルを設けてこれにより出発材1あるい
は発熱体46を発熱させることもできる。
材1及び発熱体46はカーボン製に限るものではなく、
通電して発熱する材質であればよい。また、出発材1や
発熱体46に通電させる代わりに実施例3で用いたよう
な高周波誘導コイルを設けてこれにより出発材1あるい
は発熱体46を発熱させることもできる。
[発明の効果]
以上説明したように本発明によれば、次の如き優れた効
果が発揮される。
果が発揮される。
(1) 円筒状スート母材のかさ密度が低い状態でこ
れに脱水処理を施すので、短時間での脱水処理が可能と
なり、囲碁混入のない純粋SiO2クラッドの光ファイ
バ母材を製造することができる。
れに脱水処理を施すので、短時間での脱水処理が可能と
なり、囲碁混入のない純粋SiO2クラッドの光ファイ
バ母材を製造することができる。
(2) 従って、低損失の光ファイバを得ることが可
能となる。
能となる。
第1図及び第2図はそれぞれ本発明の一実施例に係る光
ファイバ母材の製造方法を示す工程図、第3図は実施例
で製造された母材の屈折率分布図、第4図ないし第6図
は他の実施例を示す工程図、第7図及び第8図はそれぞ
れ従来例を示す説明図である。 図中、1は出発材、2はバーナ、3はスート母材である
。
ファイバ母材の製造方法を示す工程図、第3図は実施例
で製造された母材の屈折率分布図、第4図ないし第6図
は他の実施例を示す工程図、第7図及び第8図はそれぞ
れ従来例を示す説明図である。 図中、1は出発材、2はバーナ、3はスート母材である
。
Claims (5)
- (1)ガラス微粒子を堆積させて円筒状のスート母材を
形成すると共に該スート母材に脱水処理を施した後、上
記スート母材の内周面を加熱して該内周面近傍のスート
のかさ密度を高め、さらに上記スート母材をフッ素含有
雰囲気中で加熱処理した後これを透明ガラス化すると共
に中実化することを特徴とする光ファイバ母材の製造方
法。 - (2)上記円筒状のスート母材が出発材の外周部にガラ
ス微粒子を堆積させることにより形成されることを特徴
とする特許請求の範囲第1項記載の製造方法。 - (3)上記出発材が棒状発熱体からなると共に上記スー
ト母材内周面の加熱が上記棒状発熱体を通電あるいは高
周波誘導することによりなされることを特徴とする特許
請求の範囲第2項記載の製造方法。 - (4)上記スート母材内周面の加熱が、上記スート母材
から上記出発材を抜き去り、その中空部に棒状発熱体を
挿入し且つ該棒状発熱体を通電あるいは高周波誘導する
ことによりなされることを特徴とする特許請求の範囲第
2項記載の製造方法。 - (5)上記スート母材内周面の加熱が、上記スート母材
から上記出発材を抜き去り、その中空部内にH_2を含
まないガスのプラズマを発生させることによりなされる
ことを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の製造方法
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14001887A JPS63307134A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14001887A JPS63307134A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63307134A true JPS63307134A (ja) | 1988-12-14 |
Family
ID=15259023
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14001887A Pending JPS63307134A (ja) | 1987-06-05 | 1987-06-05 | 光ファイバ母材の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63307134A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04321530A (ja) * | 1990-12-21 | 1992-11-11 | Alcatel Nv | 光導波路プレフォームの製造方法 |
-
1987
- 1987-06-05 JP JP14001887A patent/JPS63307134A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04321530A (ja) * | 1990-12-21 | 1992-11-11 | Alcatel Nv | 光導波路プレフォームの製造方法 |
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