JPS6329934U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6329934U JPS6329934U JP12323986U JP12323986U JPS6329934U JP S6329934 U JPS6329934 U JP S6329934U JP 12323986 U JP12323986 U JP 12323986U JP 12323986 U JP12323986 U JP 12323986U JP S6329934 U JPS6329934 U JP S6329934U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- chemical
- tank
- processing tank
- prescribed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 4
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
第１図は本考案に係る半導体製造装置の一実施
例を示す全体斜視図、第２図及び第３図は本考案
に係る半導体製造装置の他の実施例を示す全体斜
視図及び概略側面図である。第４図は従来の半導
体製造装置の一例を示す縦断側面図である。第５
図は上記従来の半導体製造装置における問題点を
説明するための平面図である。 １……液処理槽、２０……ノズル（衝撃付与手
段）、３０……スピーカ（衝撃付与手段）、Ｗ…
…半導体ウエーハ（ワーク）。
例を示す全体斜視図、第２図及び第３図は本考案
に係る半導体製造装置の他の実施例を示す全体斜
視図及び概略側面図である。第４図は従来の半導
体製造装置の一例を示す縦断側面図である。第５
図は上記従来の半導体製造装置における問題点を
説明するための平面図である。 １……液処理槽、２０……ノズル（衝撃付与手
段）、３０……スピーカ（衝撃付与手段）、Ｗ…
…半導体ウエーハ（ワーク）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 底部から供給された所定の薬液を上縁からオー
バフローさせる型式の液処理槽を備え、上記液処
理槽内の薬液にワークを浸漬して所定の薬液処理
を行なう半導体製造装置において、 上記液処理槽の上方に、液処理槽内の薬液液面
を波立たせる衝撃付与手段を設けたことを特徴と
する半導体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12323986U JPS6329934U (ja) | 1986-08-11 | 1986-08-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12323986U JPS6329934U (ja) | 1986-08-11 | 1986-08-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6329934U true JPS6329934U (ja) | 1988-02-27 |
Family
ID=31014160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12323986U Pending JPS6329934U (ja) | 1986-08-11 | 1986-08-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6329934U (ja) |
-
1986
- 1986-08-11 JP JP12323986U patent/JPS6329934U/ja active Pending