JPH01112050U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01112050U JPH01112050U JP618888U JP618888U JPH01112050U JP H01112050 U JPH01112050 U JP H01112050U JP 618888 U JP618888 U JP 618888U JP 618888 U JP618888 U JP 618888U JP H01112050 U JPH01112050 U JP H01112050U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- horizontal
- wafer carrier
- liquid
- degrees
- angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Weting (AREA)
Description
第1図a〜cは本考案によるウエハーキヤリア
の概略を示す図であり、また第2図a〜cは従来
のウエハーキヤリアの概略を示す図である。第1
図、第2図ともa:正面図、b:側面図、c:斜
視図であり、また101,102……従来のウエ
ハーキヤリアにおける欠陥、及び本考案による改
良を加えた部分、102,202……従来のウエ
ハーキヤリアにおける欠陥、及び本考案による改
良を加えた部分、103,203……従来のウエ
ハーキヤリアにおける欠陥、及び本考案による改
良を加えた部分、104,204……従来のウエ
ハーキヤリアにおける欠陥、及び本考案による改
良を加えた部分、105,205……ウエハー固
定用スリツトである。
の概略を示す図であり、また第2図a〜cは従来
のウエハーキヤリアの概略を示す図である。第1
図、第2図ともa:正面図、b:側面図、c:斜
視図であり、また101,102……従来のウエ
ハーキヤリアにおける欠陥、及び本考案による改
良を加えた部分、102,202……従来のウエ
ハーキヤリアにおける欠陥、及び本考案による改
良を加えた部分、103,203……従来のウエ
ハーキヤリアにおける欠陥、及び本考案による改
良を加えた部分、104,204……従来のウエ
ハーキヤリアにおける欠陥、及び本考案による改
良を加えた部分、105,205……ウエハー固
定用スリツトである。
Claims (1)
- 薬液、水洗処理時において、液面に対して水平
、あるいは水平から15度以内の角度を有する面
を持たない構成とした事を特徴とするウエハーキ
ヤリア。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP618888U JPH01112050U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP618888U JPH01112050U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01112050U true JPH01112050U (ja) | 1989-07-27 |
Family
ID=31509865
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP618888U Pending JPH01112050U (ja) | 1988-01-21 | 1988-01-21 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01112050U (ja) |
-
1988
- 1988-01-21 JP JP618888U patent/JPH01112050U/ja active Pending