JPS63143577U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63143577U JPS63143577U JP3697487U JP3697487U JPS63143577U JP S63143577 U JPS63143577 U JP S63143577U JP 3697487 U JP3697487 U JP 3697487U JP 3697487 U JP3697487 U JP 3697487U JP S63143577 U JPS63143577 U JP S63143577U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- processing
- treated
- jet
- upper opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 12
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案装置の実施例を示す要部縦断側
面図、第２図は従来装置の要部縦断側面図である
。 １０……メツキ液槽（処理液槽）、１１……メ
ツキ液（処理液）、１２……半導体ウエーハ（液
処理対象物）、１３……ベルヌーイチヤツク。
面図、第２図は従来装置の要部縦断側面図である
。 １０……メツキ液槽（処理液槽）、１１……メ
ツキ液（処理液）、１２……半導体ウエーハ（液
処理対象物）、１３……ベルヌーイチヤツク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 処理液槽の上部開口上の液処理対象物に下面か
ら処理液を噴射する噴流式液処理装置において、 液処理対象物をベルヌーイチヤツクで処理液槽
の上部開口上に位置決め保持させたことを特徴と
する噴流式液処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3697487U JPS63143577U (ja) | 1987-03-12 | 1987-03-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3697487U JPS63143577U (ja) | 1987-03-12 | 1987-03-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63143577U true JPS63143577U (ja) | 1988-09-21 |
Family
ID=30847874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3697487U Pending JPS63143577U (ja) | 1987-03-12 | 1987-03-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63143577U (ja) |
-
1987
- 1987-03-12 JP JP3697487U patent/JPS63143577U/ja active Pending