JPS6382941U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6382941U JPS6382941U JP17787686U JP17787686U JPS6382941U JP S6382941 U JPS6382941 U JP S6382941U JP 17787686 U JP17787686 U JP 17787686U JP 17787686 U JP17787686 U JP 17787686U JP S6382941 U JPS6382941 U JP S6382941U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dicing tape
- semiconductor element
- support pin
- peeling
- suction plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案による一実施例の真空吸着板の
詳細図、第２図は本考案による一実施例の半導体
素子吸着の工程順の側断面図、第３図は従来の半
導体素子吸着の工程順の側断面図、である。 図において、１は半導体素子、２はダイシング
テープ、３は支持ピン、４は真空吸着板、４ａは
十字形孔、５はコレツト、６は本体、６ａは孔、
を示す。
詳細図、第２図は本考案による一実施例の半導体
素子吸着の工程順の側断面図、第３図は従来の半
導体素子吸着の工程順の側断面図、である。 図において、１は半導体素子、２はダイシング
テープ、３は支持ピン、４は真空吸着板、４ａは
十字形孔、５はコレツト、６は本体、６ａは孔、
を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 フルカツト用のダイシングテープ２の上面に貼
付けられた半導体素子１を、前記ダイシングテー
プ２を介して下面側から支える支持ピン３と、 前記支持ピン３の周囲のダイシングテープ２を
、その表面のすりばち状の凹面に真空で吸引して
引き下げ、前記半導体素子１を前記ダイシングテ
ープ２から剥離させる真空吸着板４とを有するこ
とを特徴とする半導体素子剥離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17787686U JPH0341470Y2 (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17787686U JPH0341470Y2 (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6382941U true JPS6382941U (ja) | 1988-05-31 |
| JPH0341470Y2 JPH0341470Y2 (ja) | 1991-08-30 |
Family
ID=31119487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17787686U Expired JPH0341470Y2 (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0341470Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-11-18 JP JP17787686U patent/JPH0341470Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0341470Y2 (ja) | 1991-08-30 |