JPS61195939U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61195939U JPS61195939U JP7969785U JP7969785U JPS61195939U JP S61195939 U JPS61195939 U JP S61195939U JP 7969785 U JP7969785 U JP 7969785U JP 7969785 U JP7969785 U JP 7969785U JP S61195939 U JPS61195939 U JP S61195939U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction
- suction table
- conduction
- utility
- model registration
- Prior art date
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- Granted
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Description
第1図は本考案の一実施例平面図、第2図は第
1図の―線断面図、第3図は従来装置の断面
図。 1:載置物、2:吸着板、3:吸着テーブル、
4:導通孔、5:連通孔。
1図の―線断面図、第3図は従来装置の断面
図。 1:載置物、2:吸着板、3:吸着テーブル、
4:導通孔、5:連通孔。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 吸引作用により載置物を吸着固定する吸着
テーブルにおいて、前記吸着テーブルの吸着面の
外側に近接して、外気に通ずる導通路を設けたこ
とを特徴とする吸着テーブル。 (2) 実用新案登録請求の範囲第1項の記載にお
いて、外気に通ずる導通路は、前記吸着面の外側
円周上に穿孔された複数の導通孔であることを特
徴とする吸着テーブル。 (3) 実用新案登録請求の範囲第1項の記載にお
いて、外気に通ずる導通路は、前記吸着面の外側
円周上に穿孔された複数の導通孔および前記吸着
テーブル上面に前記導通孔の相互間を連通するよ
う形成された連通溝であることを特徴とする吸着
テーブル。 (4) 実用新案登録請求の範囲第1項の記載にお
いて、外気に通ずる導通路は、前記吸着面の外側
に穿孔された単一の導通孔およびこの導通孔に連
通し、前記吸着テーブル上面円周上に形成された
連通構であることを特徴とする吸着テーブル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985079697U JPH0417311Y2 (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985079697U JPH0417311Y2 (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61195939U true JPS61195939U (ja) | 1986-12-06 |
JPH0417311Y2 JPH0417311Y2 (ja) | 1992-04-17 |
Family
ID=30624847
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985079697U Expired JPH0417311Y2 (ja) | 1985-05-28 | 1985-05-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0417311Y2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0950248A (ja) * | 1995-08-09 | 1997-02-18 | Nippon Maikuronikusu:Kk | 表示パネルの吸着テーブル |
JP2015109416A (ja) * | 2013-10-21 | 2015-06-11 | 東芝機械株式会社 | チャック装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5856744A (ja) * | 1981-09-29 | 1983-04-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チヤツク |
-
1985
- 1985-05-28 JP JP1985079697U patent/JPH0417311Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5856744A (ja) * | 1981-09-29 | 1983-04-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チヤツク |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0950248A (ja) * | 1995-08-09 | 1997-02-18 | Nippon Maikuronikusu:Kk | 表示パネルの吸着テーブル |
JP2015109416A (ja) * | 2013-10-21 | 2015-06-11 | 東芝機械株式会社 | チャック装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0417311Y2 (ja) | 1992-04-17 |