JPS6214732U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6214732U JPS6214732U JP10544585U JP10544585U JPS6214732U JP S6214732 U JPS6214732 U JP S6214732U JP 10544585 U JP10544585 U JP 10544585U JP 10544585 U JP10544585 U JP 10544585U JP S6214732 U JPS6214732 U JP S6214732U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- suction
- negative pressure
- concave portion
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図はこの考案の実施例を示す断面図、第２
図Ａは従来の半導体基板吸着装置の全体を示す斜
視図、第２図Ｂは第２図Ａの従来の半導体基板吸
着装置のＢ−Ｂ線上の断面を主として示す断面図
である。 １１……半導体基板、１５……真空吸引孔、１
７……支持構体、１８……凹部、２９……吸着板
、３１……微細な凹凸部。
図Ａは従来の半導体基板吸着装置の全体を示す斜
視図、第２図Ｂは第２図Ａの従来の半導体基板吸
着装置のＢ−Ｂ線上の断面を主として示す断面図
である。 １１……半導体基板、１５……真空吸引孔、１
７……支持構体、１８……凹部、２９……吸着板
、３１……微細な凹凸部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空吸引口を有する吸着板と、 凹部を有すると共に該吸着板を支える支持構体
とを具え、前記凹部を真空ポンプにより真空排気
を行つて負圧とすることにより、該吸着板上に載
置した半導体基板を前記真空吸引口孔を介して支
持固定するように構成した半導体基板吸着装置に
おいて、 前記吸着板を、その半導体基板載置面の表面粗
さが真空吸引孔以外の領域で負圧を形成出来る粗
さとしたガラス板とすることを特徴とする半導体
基板吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10544585U JPS6214732U (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10544585U JPS6214732U (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6214732U true JPS6214732U (ja) | 1987-01-29 |
Family
ID=30979882
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10544585U Pending JPS6214732U (ja) | 1985-07-12 | 1985-07-12 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6214732U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0230159A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-01-31 | Nikon Corp | 基板吸着装置 |
| KR100331165B1 (ko) * | 1999-08-05 | 2002-04-01 | 김도열 | 소자 일괄 제조용 지그 및 이를 이용한 소자 일괄 제조방법 |
-
1985
- 1985-07-12 JP JP10544585U patent/JPS6214732U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0230159A (ja) * | 1988-07-20 | 1990-01-31 | Nikon Corp | 基板吸着装置 |
| KR100331165B1 (ko) * | 1999-08-05 | 2002-04-01 | 김도열 | 소자 일괄 제조용 지그 및 이를 이용한 소자 일괄 제조방법 |