JPH01132350U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01132350U JPH01132350U JP2897288U JP2897288U JPH01132350U JP H01132350 U JPH01132350 U JP H01132350U JP 2897288 U JP2897288 U JP 2897288U JP 2897288 U JP2897288 U JP 2897288U JP H01132350 U JPH01132350 U JP H01132350U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- small holes
- suction pipe
- polishing jig
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- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の一実施例を示す側面図。第2
図は基板および切断後の薄板の斜視図。第3図は
ヘツド部の拡大平面図。 1:真空吸引用治具、2:薄板、3:研磨用治
具、4:小孔、5:真空吸引用管路、6:ホース
、7a:研磨用治具の接着面、7b:薄板の接着
面、8a:真空吸引用治具の面、8b:薄板のポ
ール側切断面、9:ポール、10:押付治具、1
1:押付面、12:押付力。
図は基板および切断後の薄板の斜視図。第3図は
ヘツド部の拡大平面図。 1:真空吸引用治具、2:薄板、3:研磨用治
具、4:小孔、5:真空吸引用管路、6:ホース
、7a:研磨用治具の接着面、7b:薄板の接着
面、8a:真空吸引用治具の面、8b:薄板のポ
ール側切断面、9:ポール、10:押付治具、1
1:押付面、12:押付力。
Claims (1)
- 容器の片面に複数の所定間隔をもつて設けられ
た小孔と、該小孔に連結させ前記容器内に設けら
れている吸引管と、該吸引管に連結させ吸引用動
力を送給するホースを備えた精密研磨用治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2897288U JPH01132350U (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2897288U JPH01132350U (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01132350U true JPH01132350U (ja) | 1989-09-08 |
Family
ID=31252771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2897288U Pending JPH01132350U (ja) | 1988-03-04 | 1988-03-04 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01132350U (ja) |
-
1988
- 1988-03-04 JP JP2897288U patent/JPH01132350U/ja active Pending