JPS63296002A - 無機コート膜を有する光学物品及びその製造方法 - Google Patents
無機コート膜を有する光学物品及びその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、無機コート模の表面状口の改質法に関する。
真空蒸肴法、イオンブレーティング法、スパッタリング
法などによって得られる、無機コート膜は、眼鏡、レン
ズ、 ディスプレイHF&のパネル等、光学材料の反射
防止膜、バー′ドコート膜、各種機能性膜などに広く用
いられている。特にSiO3膜は、その基板との付着力
、硬度、取扱い易さなどの点で幅広く使用されている。
法などによって得られる、無機コート膜は、眼鏡、レン
ズ、 ディスプレイHF&のパネル等、光学材料の反射
防止膜、バー′ドコート膜、各種機能性膜などに広く用
いられている。特にSiO3膜は、その基板との付着力
、硬度、取扱い易さなどの点で幅広く使用されている。
また、表面改質に関しては、無機コート膜に係わらず、
アルコキシシラン、ハロゲン化シラン、アルキルポリシ
ロキサンを用いた処理方法が開示されている。(例えば
、特公昭35−97801特開昭49−12833、特
公昭50−15473、特開昭81−130り02など
) 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、これら無機コート膜の表面には、表面に付着し
た水滴の乾燥過程において、光学ガラスに発生する千ケ
!2象に似たヤケが発生し、外観、′光学特性などに、
好ましくない影響を及ぼしている。特に眼鏡レンズは、
玉摺加工時及び使用時に水滴が付着しやすく、水滴が付
着した吠能で短時間でも放置すると、ヤケが発生してい
た。一般に光学ガラスに発生するヤケの原因は次の様に
考えられている。先ず、表面に付着した水滴にガラス内
部のイオンであるNa” 、Ba十、Pb’十などが溶
けだし、水滴がアルカリ性の溶液となる。
アルコキシシラン、ハロゲン化シラン、アルキルポリシ
ロキサンを用いた処理方法が開示されている。(例えば
、特公昭35−97801特開昭49−12833、特
公昭50−15473、特開昭81−130り02など
) 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、これら無機コート膜の表面には、表面に付着し
た水滴の乾燥過程において、光学ガラスに発生する千ケ
!2象に似たヤケが発生し、外観、′光学特性などに、
好ましくない影響を及ぼしている。特に眼鏡レンズは、
玉摺加工時及び使用時に水滴が付着しやすく、水滴が付
着した吠能で短時間でも放置すると、ヤケが発生してい
た。一般に光学ガラスに発生するヤケの原因は次の様に
考えられている。先ず、表面に付着した水滴にガラス内
部のイオンであるNa” 、Ba十、Pb’十などが溶
けだし、水滴がアルカリ性の溶液となる。
次に、この溶液と空気中のCO* 、S O*等の酸性
ガスが反応し、Nag COs 、NaHCOs、Na
g SOa 、BaCO5、PbCO5、Ba5o、
、pbso、 、などが化合物として生成して表面に残
りヤケの原因となる。一方、合成樹脂製基板表面に形成
したS i O*膜などの無機コート膜には、陽イオン
が含まれておらず、発生するヤケの原因は、未だ不明の
所が多かった。本発明者らが、実験、分析を行なった□
結果、これらのコート股上に発生するヤケの原因は、付
着した水滴から生ずるSt化合物を中心とした蒸発残留
物が、表面に強固に付口して起こることが判明した。こ
のことは以下に述べる事実から明らかにされたものであ
る。
ガスが反応し、Nag COs 、NaHCOs、Na
g SOa 、BaCO5、PbCO5、Ba5o、
、pbso、 、などが化合物として生成して表面に残
りヤケの原因となる。一方、合成樹脂製基板表面に形成
したS i O*膜などの無機コート膜には、陽イオン
が含まれておらず、発生するヤケの原因は、未だ不明の
所が多かった。本発明者らが、実験、分析を行なった□
結果、これらのコート股上に発生するヤケの原因は、付
着した水滴から生ずるSt化合物を中心とした蒸発残留
物が、表面に強固に付口して起こることが判明した。こ
のことは以下に述べる事実から明らかにされたものであ
る。
■ 超純水をコート膜表面に付着させた場合、ヤケは発
生しない。(光学ガラスに発用するヤケの生成過程では
、超純水に於いてもヤケは発生する。) ■ 透過型電子顕微鏡(TEM)により、ヤケの発生し
たコート膜表面付近を断面観察したところ、表面に付着
物が観察された。
生しない。(光学ガラスに発用するヤケの生成過程では
、超純水に於いてもヤケは発生する。) ■ 透過型電子顕微鏡(TEM)により、ヤケの発生し
たコート膜表面付近を断面観察したところ、表面に付着
物が観察された。
■ ■で観察された付着物の元素分析を行なったところ
、Siが主に検出された。
、Siが主に検出された。
そこで本発明は、このような問題点を解決するもので、
その目的とするところは、無機コート膜の表面状聾を改
質し、この問題を解消できつる機能を表面に持たせると
ころにある。
その目的とするところは、無機コート膜の表面状聾を改
質し、この問題を解消できつる機能を表面に持たせると
ころにある。
すなわち、本発明は、無機コート膜に、下式&で示され
るシラン化合物、あるいは、aのオリゴマー、あるいは
ポリマーを少なくとも1種以上含む混合物よりなる組成
物を反応あるいは吸着させたことを特徴とする。
るシラン化合物、あるいは、aのオリゴマー、あるいは
ポリマーを少なくとも1種以上含む混合物よりなる組成
物を反応あるいは吸着させたことを特徴とする。
(ここで Rtはフッ素を含む育機基、 R1、R”
、R’は、水素または育機基、仇、b、cはそれぞれ次
の範囲である。1≦a≦8.0≦b≦2.1≦C≦3) 前記に示した様に、無機コート膜表面でのヤケの発生原
因は、水滴中の成分が蒸発残留物として表面に付着する
為である。蒸発残留物の成分は、Siを中心としており
、5iotの様な無機コート膜との親和性が大きく、コ
ート膜表面と強固に伸行していると考えられる。ヤケの
発生を防ぐには、無機コート膜表面を改質し、表面と蒸
発残留物との親和性を小さくすることが必要である。
、R’は、水素または育機基、仇、b、cはそれぞれ次
の範囲である。1≦a≦8.0≦b≦2.1≦C≦3) 前記に示した様に、無機コート膜表面でのヤケの発生原
因は、水滴中の成分が蒸発残留物として表面に付着する
為である。蒸発残留物の成分は、Siを中心としており
、5iotの様な無機コート膜との親和性が大きく、コ
ート膜表面と強固に伸行していると考えられる。ヤケの
発生を防ぐには、無機コート膜表面を改質し、表面と蒸
発残留物との親和性を小さくすることが必要である。
鋭意研究の結果、撥水性を表面に持たせることにより、
蒸発残留物の無機コート膜表面との付着強度が弱まり、
たとえ表面に残留物が残っても、布等で軽く拭きとれる
ことが判った。さらに、撥水性を持たせることにより、
水滴自体も表面に付着しに(くなり、ヤケの発生低下に
役立つことも判った。ここで言う撥水性の基準としては
、純水の表面に対する接触角が70°以上あるのが望ま
しい。
蒸発残留物の無機コート膜表面との付着強度が弱まり、
たとえ表面に残留物が残っても、布等で軽く拭きとれる
ことが判った。さらに、撥水性を持たせることにより、
水滴自体も表面に付着しに(くなり、ヤケの発生低下に
役立つことも判った。ここで言う撥水性の基準としては
、純水の表面に対する接触角が70°以上あるのが望ま
しい。
また、無機コート膜に処理を行なうには、すでに、基材
上に存在しているコート膜の性質、密着性、耐久性を低
下させることな(処理を行なう必要がある。特に、合成
樹脂製基板上に設けた無機コー)IIに処理を行う場合
、高温で処理を行なうと、無機コート膜にクラックが発
生し、外観、耐久性が、著しく低下する。従って、処理
前の密着性、耐久性、外観、反射防止膜における分光特
性などに悪影響を与えない程度の処理層の厚み、温度範
囲、環境で処理できることが望ましい。
上に存在しているコート膜の性質、密着性、耐久性を低
下させることな(処理を行なう必要がある。特に、合成
樹脂製基板上に設けた無機コー)IIに処理を行う場合
、高温で処理を行なうと、無機コート膜にクラックが発
生し、外観、耐久性が、著しく低下する。従って、処理
前の密着性、耐久性、外観、反射防止膜における分光特
性などに悪影響を与えない程度の処理層の厚み、温度範
囲、環境で処理できることが望ましい。
本発明で、無機コート膜表面との反応、あるいは吸着に
用いる物質は、処理温度範囲が常温付近から高温までと
広(、上記の条件を清足し、常温に於いても十分な処理
膜が得られる。また、従来使用されているta水処理剤
であるアルフキシシラ/、ハロゲン化シラン、アルキル
ポリシロキサンなどと比較して、瑣扱いも簡単で、液の
寿命も長い。
用いる物質は、処理温度範囲が常温付近から高温までと
広(、上記の条件を清足し、常温に於いても十分な処理
膜が得られる。また、従来使用されているta水処理剤
であるアルフキシシラ/、ハロゲン化シラン、アルキル
ポリシロキサンなどと比較して、瑣扱いも簡単で、液の
寿命も長い。
本発明に使用する物質として、例えば次の様なものがあ
げられる。
げられる。
2.2.2−)リフルオロエチルトリアミノシラ7.3
.3.3−)リフルオロプロピルトリアミ/シラン、2
.2.2.3.3.3−ヘキサフルオロトリアミノシラ
ン、4.4.4−トリフルオロブチルトリアミ/シラン
、2−(パーフルオロエチル)エチルトリアミノシラン
、5.5.5−トリフルオロペンチルトリアミノシラン
、3−(パーフルオロエチル)プロピルトリアミノシラ
ン、2−(パーフルオロプロピル)エチルトリアミノシ
ラン、(パーフルオロプロピルメチル)トリアミノシラ
ン、(パーフルオロブチルメチル゛)トリアミノシラ’
+ 6.8.8−)リフルオロドデシルトリアミノシ
ラン、4−(パーフルオロエチル)ブチルトリアミノシ
ラン、3−(パーフルオロプロピル)プロピルトリアミ
ノシラン、4−(パーフルオロブチル) エチルトリア
ミノンラン、5−(パーフルオロペンチル)メチルトリ
アミノシラン、7.7.7−)リフルオロへブチルトリ
アミノシラン、5−(パーフルオロエチル)ペンチルト
リアミノシラン、4−(パーフルオロプロピル)ブチル
トリアミノシラン、3−(パーフルオロブチル)プロピ
ルトリアミノシラン、2−(パーフルオロペンチル)エ
チルトリアミノシラン、(パーフルオロヘキシルメチル
)トリアミノシラ:/、8.8.8−)リフルオロオク
チルトリアミ7シラ7.8−(パーフルオロエチル)ヘ
キシルトリアミノシラン、5−(パーフルオロプロピル
)ペンチルトリアミノシラン、4−(パーフルオロブチ
ル)ブチルトリアミノシラン、3−(パーフルオロペン
チル)ブチルトリアミ/シラン、2−(パーフルオロヘ
キシル)エチルトリアミノシラン、(バールオロヘプチ
ルメチル)トリアミノシラン、9.9.9−)リフルオ
ロノニルトリアミ/シラン、7−(パーフルオロエチル
)ヘプチルトリアミノシラン、6−(パーフルオロプロ
ピル) ヘキシルトリアミノシラン、 5−(パーフ
ルオロブチル)ベアチルトリアミノシラン、4−(パー
フルオロペンチル)ブチルトリアミノシラン、3−(パ
ーフルオロヘキシル)プロピルトリアミ/シラン、2−
(パーフルオロヘプチル)エチルトリアミノシラン、(
パーフルオロオクチルメチル)トリアミノシラン、
10.10、 10−)リフルオロエチルトリアミノ
シラン、8−(パーフルオロエチル)オクチルトリアミ
ノシラン、7−(パーフルオロプロピル)ヘプチルドリ
アミノシラン、6−(パーフルオロブチル)へキシルト
リアミノシラン、5−(パーフルオロペンチル)ペンチ
ルトリアミノシラン、4−(パーフルオロヘキシル)ブ
チルトリアミノシラン、3−(パーフルオロヘプチル)
プロピルトリアミノシラン、2−(パーフルオロオクチ
ル)エチルトリアミノシラン、(パーフルオロノニルメ
チル)トリアミノシラン、 1ill、11−トリ
フルオロウンデシルトリアミノシラン、8−(パーフル
オロエチル) /ニルトリアミノシラ:/、8−(パー
フルオロプロピル)オクチルトリアミノシラン、7−(
パーフルオロブチル)へブチルトリアミノシラ:/、8
−(パーフルオロペンチル)ヘキシルトリアミノシラン
、5−(パーフルオロヘキシル)ペンチルトリアミノシ
ラン、4−(パーフルオロヘプチル)ブチルトリアミノ
シラy、3−(パーフルオロオクチル)プロピルトリア
ミノシラン、2−(パーフルオロノニル)エチルトリア
ミ/シラ/、(パーフルオロデシルメチル)トリアミノ
シラン、12,12.12−)リフルオロドデシルトリ
アミノシラン、 1〇−(パーフルオロエチル) デ
シルトリアミノシラ:/、9−(パーフルオロプロピル
)/ニルトリアミノシラン、8−(パーフルオロブチル
)オクチルトリアミノシラン、7−(パーフルオロペア
チル)へブチルトリアミノシラン、6−(パーフルオロ
ヘキシル)へキシルトリアミノシラン、5−(パーフル
オロヘプチル)ペンチルトリアミノシラン、4−(パー
フルオロオクチル)ブチルトリアミノシラン、3−(パ
ーフルオロノニル)プロピルトリアミノシラン、2−(
パーフルオロデシル)エチルトリアミノシラン、(パー
フルオロウンデシルメチル)トリアミノシラン、
13.13.13、−)リフルオロトリデシルトリアミ
ノシラン、11−(パーフルオロエチル)ウンデシルト
リアミノシラン、10−(パーフルオロプロピル)デシ
ルトリアミノンラン、 9−(パーフルオロブチル)
ノニルトリアミノシラン、 8−(パーフルオロペン
チル)オクチルトリアミノシラン、7−(パーフルオロ
ヘキシル)へブチルトリアミノシラン、6−(パーフル
オロヘプチル)へキシルトリアミノシラン、 5−(
パーフルオロオクチル)ペンチルトリアミノシラン、
4−(パーフルオロノニル) ブチルトリアミノシラ
ン、3−(パーフルオロデシル)プロピルトリアミノシ
ラン、2−(パーフルオロウンデシル)エチルトリアミ
ノシラン、(パー7ルオロヘキシルメナル)トリアミノ
シラン。
.3.3−)リフルオロプロピルトリアミ/シラン、2
.2.2.3.3.3−ヘキサフルオロトリアミノシラ
ン、4.4.4−トリフルオロブチルトリアミ/シラン
、2−(パーフルオロエチル)エチルトリアミノシラン
、5.5.5−トリフルオロペンチルトリアミノシラン
、3−(パーフルオロエチル)プロピルトリアミノシラ
ン、2−(パーフルオロプロピル)エチルトリアミノシ
ラン、(パーフルオロプロピルメチル)トリアミノシラ
ン、(パーフルオロブチルメチル゛)トリアミノシラ’
+ 6.8.8−)リフルオロドデシルトリアミノシ
ラン、4−(パーフルオロエチル)ブチルトリアミノシ
ラン、3−(パーフルオロプロピル)プロピルトリアミ
ノシラン、4−(パーフルオロブチル) エチルトリア
ミノンラン、5−(パーフルオロペンチル)メチルトリ
アミノシラン、7.7.7−)リフルオロへブチルトリ
アミノシラン、5−(パーフルオロエチル)ペンチルト
リアミノシラン、4−(パーフルオロプロピル)ブチル
トリアミノシラン、3−(パーフルオロブチル)プロピ
ルトリアミノシラン、2−(パーフルオロペンチル)エ
チルトリアミノシラン、(パーフルオロヘキシルメチル
)トリアミノシラ:/、8.8.8−)リフルオロオク
チルトリアミ7シラ7.8−(パーフルオロエチル)ヘ
キシルトリアミノシラン、5−(パーフルオロプロピル
)ペンチルトリアミノシラン、4−(パーフルオロブチ
ル)ブチルトリアミノシラン、3−(パーフルオロペン
チル)ブチルトリアミ/シラン、2−(パーフルオロヘ
キシル)エチルトリアミノシラン、(バールオロヘプチ
ルメチル)トリアミノシラン、9.9.9−)リフルオ
ロノニルトリアミ/シラン、7−(パーフルオロエチル
)ヘプチルトリアミノシラン、6−(パーフルオロプロ
ピル) ヘキシルトリアミノシラン、 5−(パーフ
ルオロブチル)ベアチルトリアミノシラン、4−(パー
フルオロペンチル)ブチルトリアミノシラン、3−(パ
ーフルオロヘキシル)プロピルトリアミ/シラン、2−
(パーフルオロヘプチル)エチルトリアミノシラン、(
パーフルオロオクチルメチル)トリアミノシラン、
10.10、 10−)リフルオロエチルトリアミノ
シラン、8−(パーフルオロエチル)オクチルトリアミ
ノシラン、7−(パーフルオロプロピル)ヘプチルドリ
アミノシラン、6−(パーフルオロブチル)へキシルト
リアミノシラン、5−(パーフルオロペンチル)ペンチ
ルトリアミノシラン、4−(パーフルオロヘキシル)ブ
チルトリアミノシラン、3−(パーフルオロヘプチル)
プロピルトリアミノシラン、2−(パーフルオロオクチ
ル)エチルトリアミノシラン、(パーフルオロノニルメ
チル)トリアミノシラン、 1ill、11−トリ
フルオロウンデシルトリアミノシラン、8−(パーフル
オロエチル) /ニルトリアミノシラ:/、8−(パー
フルオロプロピル)オクチルトリアミノシラン、7−(
パーフルオロブチル)へブチルトリアミノシラ:/、8
−(パーフルオロペンチル)ヘキシルトリアミノシラン
、5−(パーフルオロヘキシル)ペンチルトリアミノシ
ラン、4−(パーフルオロヘプチル)ブチルトリアミノ
シラy、3−(パーフルオロオクチル)プロピルトリア
ミノシラン、2−(パーフルオロノニル)エチルトリア
ミ/シラ/、(パーフルオロデシルメチル)トリアミノ
シラン、12,12.12−)リフルオロドデシルトリ
アミノシラン、 1〇−(パーフルオロエチル) デ
シルトリアミノシラ:/、9−(パーフルオロプロピル
)/ニルトリアミノシラン、8−(パーフルオロブチル
)オクチルトリアミノシラン、7−(パーフルオロペア
チル)へブチルトリアミノシラン、6−(パーフルオロ
ヘキシル)へキシルトリアミノシラン、5−(パーフル
オロヘプチル)ペンチルトリアミノシラン、4−(パー
フルオロオクチル)ブチルトリアミノシラン、3−(パ
ーフルオロノニル)プロピルトリアミノシラン、2−(
パーフルオロデシル)エチルトリアミノシラン、(パー
フルオロウンデシルメチル)トリアミノシラン、
13.13.13、−)リフルオロトリデシルトリアミ
ノシラン、11−(パーフルオロエチル)ウンデシルト
リアミノシラン、10−(パーフルオロプロピル)デシ
ルトリアミノンラン、 9−(パーフルオロブチル)
ノニルトリアミノシラン、 8−(パーフルオロペン
チル)オクチルトリアミノシラン、7−(パーフルオロ
ヘキシル)へブチルトリアミノシラン、6−(パーフル
オロヘプチル)へキシルトリアミノシラン、 5−(
パーフルオロオクチル)ペンチルトリアミノシラン、
4−(パーフルオロノニル) ブチルトリアミノシラ
ン、3−(パーフルオロデシル)プロピルトリアミノシ
ラン、2−(パーフルオロウンデシル)エチルトリアミ
ノシラン、(パー7ルオロヘキシルメナル)トリアミノ
シラン。
ビス(2,2,2−トリフルオロエチル)ジアミノシラ
/、ビス(3,3,3−)リフルオロプロピル)ジアミ
ノシラン、ビス(2,2,2,3,3,3−ヘキサフル
オロ)ジアミンシラン、ビス(4,4,4−)リフルオ
ロノニル)ジアミノシラン、 ビス(2−(パーフル
オロエチル)エチル)ジアミノシラン、ビス(5,5,
5−トリフルオロペンチル)ジアミノシラン、 ビス
(3−(パーフルオロエチル)プロピル)ジアミノシラ
ン、 ビス(2−(パーフルオロプロピル)エチル)
ジアミノシラン、ビス(パーフルオロプロピルメチル)
ジアミノシラン、ビス(パーフルオロブチルメチル)ジ
アミノシラン、ビス(6,6、ロートリフルオロヘキシ
ル)ジアミノシラ/、ビス(4−(パーフルオロエチル
)ブチル)ジアミノシラン、ビス(3−(パーフルオロ
プロピル)プロピル)ジアミノシラン、ビス(4−(パ
ーフルオロブチル)エチル)ジアミノシラン、 ビス
(5−(パーフルオロペンチル)メチル)ジアミノシラ
ン、ビス(7,7,7−)リフルオロヘプチル)ジアミ
ノシラン、ビス(5−(パー7 JL/オロエチル)ペ
ンチル)ジアミノシラン、ビス(4−(パーフルオロプ
ロピル)ブチル)ジアミノシラン、ビス(3−(パーフ
ルオロブチル)プロピル)ジアミノシラン、ビス(2−
(パーフルオロペンチル)エチル)ジアミノシラン、ビ
ス(パーフルオロヘキシルメチル)ジアミノシラン、ビ
ス(8,8,8−トリフルオロオクチル)ジアミノシラ
ン、ビス(e−(パーフルオロエチル)ヘキシル)ジア
ミノシラン、ビス(5−(パーフルオロプロピル)ペン
チル)ジアミノシラン、 ビス(4−(パーフルオロ
ブチル)ブチル)ジアミノシラン、ビス(3−(パーフ
ルオロペンチル)ブチル)ジアミノシラン、 ビス(
2−(パーフルオロヘキシル)エチル)ジアミノシラン
、 ビス(バールオロヘプチルメチル)ジアミノシラ
ン。
/、ビス(3,3,3−)リフルオロプロピル)ジアミ
ノシラン、ビス(2,2,2,3,3,3−ヘキサフル
オロ)ジアミンシラン、ビス(4,4,4−)リフルオ
ロノニル)ジアミノシラン、 ビス(2−(パーフル
オロエチル)エチル)ジアミノシラン、ビス(5,5,
5−トリフルオロペンチル)ジアミノシラン、 ビス
(3−(パーフルオロエチル)プロピル)ジアミノシラ
ン、 ビス(2−(パーフルオロプロピル)エチル)
ジアミノシラン、ビス(パーフルオロプロピルメチル)
ジアミノシラン、ビス(パーフルオロブチルメチル)ジ
アミノシラン、ビス(6,6、ロートリフルオロヘキシ
ル)ジアミノシラ/、ビス(4−(パーフルオロエチル
)ブチル)ジアミノシラン、ビス(3−(パーフルオロ
プロピル)プロピル)ジアミノシラン、ビス(4−(パ
ーフルオロブチル)エチル)ジアミノシラン、 ビス
(5−(パーフルオロペンチル)メチル)ジアミノシラ
ン、ビス(7,7,7−)リフルオロヘプチル)ジアミ
ノシラン、ビス(5−(パー7 JL/オロエチル)ペ
ンチル)ジアミノシラン、ビス(4−(パーフルオロプ
ロピル)ブチル)ジアミノシラン、ビス(3−(パーフ
ルオロブチル)プロピル)ジアミノシラン、ビス(2−
(パーフルオロペンチル)エチル)ジアミノシラン、ビ
ス(パーフルオロヘキシルメチル)ジアミノシラン、ビ
ス(8,8,8−トリフルオロオクチル)ジアミノシラ
ン、ビス(e−(パーフルオロエチル)ヘキシル)ジア
ミノシラン、ビス(5−(パーフルオロプロピル)ペン
チル)ジアミノシラン、 ビス(4−(パーフルオロ
ブチル)ブチル)ジアミノシラン、ビス(3−(パーフ
ルオロペンチル)ブチル)ジアミノシラン、 ビス(
2−(パーフルオロヘキシル)エチル)ジアミノシラン
、 ビス(バールオロヘプチルメチル)ジアミノシラ
ン。
ビス(9,9,9−)リフルオロノニル)ジアミノシラ
ン、ビス(7−(パーフルオロエチル)ヘプチル)ジア
ミノシラン、ビス(6−(パーフルオロプロピル)ヘキ
シル)ジアミノシラン、ビス(5−(パーフルオロブチ
ル)ペンチル)ジアミノシラン、ビス(4−(パーフル
オロペンチル)ブチル)ジアミノシラン、ビス(3−(
パーフルオロヘキシル)プロピル)ジアミノシラ乙 ビ
ス(2−(パーフルオロヘプチル)エチル)ジアミノシ
ラン、ビス(パーフルオロオクチルメチル)ジアミノシ
ラン、ビス(10,10,10−)リアリオロデシル)
ジアミノシラン、 ビス(8−(パーフルオロエチル
)オクチル)ジアミノシラン、ビス(7−(パーフルオ
ロプロピル)ヘプチル)ジアミノシラン、ビス(6−(
パーフルオロブチル)へキシル)ジアミノシラン、ビス
(5−(パーフルオロペンチル)ペンチル)ジアミノシ
ラン、ビス(4−(パー7ルオロヘキシルル)ジアミノ
シラン、ビス(3−(パーフルオロヘプチル)プロピル
)ジアミノシラン、ビス(2−(パーフルオロオクチル
)エチル)ジアミノシラン、ビス(パーフルオロノニル
メチル)ジアミノシラン、 ビス(11、11、11
−トリフルオロウンデシル)ジアミノシラン、 ビス
(9−(パーフル>:°ロエチル)ノニル) ジアミノ
シラン、ビス(8−(パーフルオロプロピル)オクチル
)ジアミノシラン、ビス(7−(パーフルオロブチル)
へブチル)ジアミノシラン、ビス(6−(パーフルオロ
ペンチル)ヘキシル)ジアミノシラン、ビス(5−(パ
ーフルオロヘキシル)ペンチル)ジアミノシラン、ビス
(4−(パーフルオロヘプチル)ブチル)ジアミノシラ
ン、ビス(3−(パーフルオロオクチル)プロピル)ジ
アミノシラン、ビス(2−(パーフルオロノニル)エチ
ル)ジアミノシラン、ビス(パーフルオロデシルメチル
)ジアミノシラン、ビス(12,12,12−トリフル
オロドデシル)ジアミノシラン、ビス(10−(パーフ
ルオロエチル)デシル)ジアミノシラン、 ビス(9
−(パーフルオロプロピル)ノニル)ジアミノシラン、
ビス(8−(パーフルオロブチル)オクチル)ジアミノ
シラン、ビス(7−(パーフルオロペンチル)へブチル
)ジアミノシラン、 ビス(6−(パーフルオロヘキ
シル)ヘキシル)ジアミ・ノシラン、 ビス(5−(
パーフルオロヘプチル)ペンチル)ジアミノシラン、ビ
ス(4−(パーフルオロオクチル)ブチル)ジアミノシ
ラン、ビス(3−(パーフルオロノニル)プロピル)ジ
アミノシラン、ビス(2−(パーフルオロデシル) エ
チル)ジアミノシラン、ビス(パーフルオロウンデシル
メチル)ジアミノシラン、ビス(13,13,13、−
トリフルオロトリデシル)ジアミノシラン、ビス(11
−(パーフルオロエチル)ウンデシル)ジアミノシラン
、ビス(10−(パーフルオロプロピル)デシル)ジア
ミノシラン、ビス(9−(パーフルオロブチル)ノニル
)ジアミノシラン、ビス(8−(パーフルオロペンチル
)オクチル)ジアミノシラン、ビス(7−(パーフルオ
ロヘキシル)ヘプチル)ジアミノシラン、ビス(6−(
パーフルオロヘプチル)ヘキシル)ジアミノシラン、ビ
ス(5−(パーフルオロオクチル)ペンチル)ジアミノ
シラン、ビス(4−(パーフルオロノニル)ブチル)ジ
アミノシラン、ビス(3−(パーフルオロデシル)プロ
ピル)ジアミノシラン、 ビス(2−(パーフルオロ
ウンデシル)エチル)ジアミノシラン、 ビス(パー
フルオロドデシルメチル)ジアミノシラン。
ン、ビス(7−(パーフルオロエチル)ヘプチル)ジア
ミノシラン、ビス(6−(パーフルオロプロピル)ヘキ
シル)ジアミノシラン、ビス(5−(パーフルオロブチ
ル)ペンチル)ジアミノシラン、ビス(4−(パーフル
オロペンチル)ブチル)ジアミノシラン、ビス(3−(
パーフルオロヘキシル)プロピル)ジアミノシラ乙 ビ
ス(2−(パーフルオロヘプチル)エチル)ジアミノシ
ラン、ビス(パーフルオロオクチルメチル)ジアミノシ
ラン、ビス(10,10,10−)リアリオロデシル)
ジアミノシラン、 ビス(8−(パーフルオロエチル
)オクチル)ジアミノシラン、ビス(7−(パーフルオ
ロプロピル)ヘプチル)ジアミノシラン、ビス(6−(
パーフルオロブチル)へキシル)ジアミノシラン、ビス
(5−(パーフルオロペンチル)ペンチル)ジアミノシ
ラン、ビス(4−(パー7ルオロヘキシルル)ジアミノ
シラン、ビス(3−(パーフルオロヘプチル)プロピル
)ジアミノシラン、ビス(2−(パーフルオロオクチル
)エチル)ジアミノシラン、ビス(パーフルオロノニル
メチル)ジアミノシラン、 ビス(11、11、11
−トリフルオロウンデシル)ジアミノシラン、 ビス
(9−(パーフル>:°ロエチル)ノニル) ジアミノ
シラン、ビス(8−(パーフルオロプロピル)オクチル
)ジアミノシラン、ビス(7−(パーフルオロブチル)
へブチル)ジアミノシラン、ビス(6−(パーフルオロ
ペンチル)ヘキシル)ジアミノシラン、ビス(5−(パ
ーフルオロヘキシル)ペンチル)ジアミノシラン、ビス
(4−(パーフルオロヘプチル)ブチル)ジアミノシラ
ン、ビス(3−(パーフルオロオクチル)プロピル)ジ
アミノシラン、ビス(2−(パーフルオロノニル)エチ
ル)ジアミノシラン、ビス(パーフルオロデシルメチル
)ジアミノシラン、ビス(12,12,12−トリフル
オロドデシル)ジアミノシラン、ビス(10−(パーフ
ルオロエチル)デシル)ジアミノシラン、 ビス(9
−(パーフルオロプロピル)ノニル)ジアミノシラン、
ビス(8−(パーフルオロブチル)オクチル)ジアミノ
シラン、ビス(7−(パーフルオロペンチル)へブチル
)ジアミノシラン、 ビス(6−(パーフルオロヘキ
シル)ヘキシル)ジアミ・ノシラン、 ビス(5−(
パーフルオロヘプチル)ペンチル)ジアミノシラン、ビ
ス(4−(パーフルオロオクチル)ブチル)ジアミノシ
ラン、ビス(3−(パーフルオロノニル)プロピル)ジ
アミノシラン、ビス(2−(パーフルオロデシル) エ
チル)ジアミノシラン、ビス(パーフルオロウンデシル
メチル)ジアミノシラン、ビス(13,13,13、−
トリフルオロトリデシル)ジアミノシラン、ビス(11
−(パーフルオロエチル)ウンデシル)ジアミノシラン
、ビス(10−(パーフルオロプロピル)デシル)ジア
ミノシラン、ビス(9−(パーフルオロブチル)ノニル
)ジアミノシラン、ビス(8−(パーフルオロペンチル
)オクチル)ジアミノシラン、ビス(7−(パーフルオ
ロヘキシル)ヘプチル)ジアミノシラン、ビス(6−(
パーフルオロヘプチル)ヘキシル)ジアミノシラン、ビ
ス(5−(パーフルオロオクチル)ペンチル)ジアミノ
シラン、ビス(4−(パーフルオロノニル)ブチル)ジ
アミノシラン、ビス(3−(パーフルオロデシル)プロ
ピル)ジアミノシラン、 ビス(2−(パーフルオロ
ウンデシル)エチル)ジアミノシラン、 ビス(パー
フルオロドデシルメチル)ジアミノシラン。
トリス(2,2,2−)リフルオロノニル)アミノシラ
ン、トリス(3,3,3−)リフルオロプロピル)アミ
ノシラン、 トリス(2,2,2,3,3,3−へキ
サフルオロ)アミノシラン、トリス(4,4,4−)リ
フルオロブチル)アミノシラン、トリス(2−(パーフ
ルオロエチル)エチル)アミノシラン、トリス(5,5
,5−)リフルオロペンチル)アミノシラ/、トリス(
3−(パーフルオロエチル)プロピル) アミノシラン
、トリス(2−(パーフルオロプロピル)エチル)アミ
ノシラン、トリス(パーフルオロプロピルメチル)アミ
ノシラン、トリス(パーフルオロブチルメチル)アミノ
シラン、トリス(6,6、ロートリフルオロヘキシル)
アミノシラン、トリス(4−(パーフルオロエチル)ブ
チル)アミノシラン、トリス(3−パーフルオロプロピ
ル)プロピル)アミノシラン、トリス(4−(パーフル
オロブチル)エチル)アミノシラン、トリス(5−(パ
ーフルオロペンチル)メチル)アミノシラ/、トリス(
7,7、フートリフルオロヘプチル)アミノシラン、ト
リス(5−(パーフルオロエチル)ペンチル)アミノシ
ラン、トリス(4−(パーフルオロプロピル)ブチルア
ミノシラン。
ン、トリス(3,3,3−)リフルオロプロピル)アミ
ノシラン、 トリス(2,2,2,3,3,3−へキ
サフルオロ)アミノシラン、トリス(4,4,4−)リ
フルオロブチル)アミノシラン、トリス(2−(パーフ
ルオロエチル)エチル)アミノシラン、トリス(5,5
,5−)リフルオロペンチル)アミノシラ/、トリス(
3−(パーフルオロエチル)プロピル) アミノシラン
、トリス(2−(パーフルオロプロピル)エチル)アミ
ノシラン、トリス(パーフルオロプロピルメチル)アミ
ノシラン、トリス(パーフルオロブチルメチル)アミノ
シラン、トリス(6,6、ロートリフルオロヘキシル)
アミノシラン、トリス(4−(パーフルオロエチル)ブ
チル)アミノシラン、トリス(3−パーフルオロプロピ
ル)プロピル)アミノシラン、トリス(4−(パーフル
オロブチル)エチル)アミノシラン、トリス(5−(パ
ーフルオロペンチル)メチル)アミノシラ/、トリス(
7,7、フートリフルオロヘプチル)アミノシラン、ト
リス(5−(パーフルオロエチル)ペンチル)アミノシ
ラン、トリス(4−(パーフルオロプロピル)ブチルア
ミノシラン。
トリス(3−(パーフルオロブチル)プロピル)アミノ
シラン、トリス(2−(パーフルオロペンチル)エチル
)アミノシラン、 トリス(パーフルオロヘキシルメ
チル)アミノシラン、 トリス(8,8,8−)リフ
ルオロオクチル)アミノシラン、トリス(6−(パーフ
ルオロエチル)ヘキシル)アミノシラン、トリス(5−
(パーフルオロプロピル)ペンチル)アミノシラン、
トリス(4−(パーフルオロブチル)ブチル)アミノ
シラン、トリス(3−(パーフルオロペンチル)ブチル
)アミノシラン、トリス(2−(パーフルオロヘキシル
)エチルアミノシラン、トリス(パーフオロエチルメチ
ル)アミノシラ7、 )リス(9,9,9−)リフ
ルオロノニル)アミノシラン、トリス(7−(パーフル
オロエチル)へブチル)アミノシラ/、トリス(6−(
パーフルオロプロピル)ヘキシル)アミノシラン、トリ
ス(5−(パーフルオロブチル)ペンチル)アミノシラ
ン、トリス(4−(パーフルオロペンチル)ブチル)ア
ミノシラ/、トリス(3−(パーフルオロヘキシル)プ
ロピル)アミノシラン、トリス(2−(パーフルオロヘ
プチル)エチル)アミノシラノ、トリス(パーフルオロ
オクチルメチル)トリアミノンラン、トリス(10,1
0,10−)リフルオロデシル)アミノシラン、 ト
リス(8−(パーフルオロエチル)オクチル) アミノ
シラノ、トリス(7−(パーフルオロプロピル)ヘプチ
ル)アミノシラン、トリス(6−(パーフルオロブチル
)ヘキシル)アミノシラン、トリス(5−(パーフルオ
ロヘプチル)ペンチル)アミノシラン、トリス(4−(
パーフルオロへキシル)ブチル)アミノシラン、トリス
(3−(パーフルオロヘプチル)プロピル)アミノシラ
ン、 トリス(2−(パーフルオロオクチル)エチル
)アミノシラン、トリス(パーフルオロノニルメチル)
アミノシラン、トリス(11,11,11−)リフルオ
ロラフデシル)アミノシラン、トリス(9−(パーフル
オロエチル)ノニル)アミノシラン。
シラン、トリス(2−(パーフルオロペンチル)エチル
)アミノシラン、 トリス(パーフルオロヘキシルメ
チル)アミノシラン、 トリス(8,8,8−)リフ
ルオロオクチル)アミノシラン、トリス(6−(パーフ
ルオロエチル)ヘキシル)アミノシラン、トリス(5−
(パーフルオロプロピル)ペンチル)アミノシラン、
トリス(4−(パーフルオロブチル)ブチル)アミノ
シラン、トリス(3−(パーフルオロペンチル)ブチル
)アミノシラン、トリス(2−(パーフルオロヘキシル
)エチルアミノシラン、トリス(パーフオロエチルメチ
ル)アミノシラ7、 )リス(9,9,9−)リフ
ルオロノニル)アミノシラン、トリス(7−(パーフル
オロエチル)へブチル)アミノシラ/、トリス(6−(
パーフルオロプロピル)ヘキシル)アミノシラン、トリ
ス(5−(パーフルオロブチル)ペンチル)アミノシラ
ン、トリス(4−(パーフルオロペンチル)ブチル)ア
ミノシラ/、トリス(3−(パーフルオロヘキシル)プ
ロピル)アミノシラン、トリス(2−(パーフルオロヘ
プチル)エチル)アミノシラノ、トリス(パーフルオロ
オクチルメチル)トリアミノンラン、トリス(10,1
0,10−)リフルオロデシル)アミノシラン、 ト
リス(8−(パーフルオロエチル)オクチル) アミノ
シラノ、トリス(7−(パーフルオロプロピル)ヘプチ
ル)アミノシラン、トリス(6−(パーフルオロブチル
)ヘキシル)アミノシラン、トリス(5−(パーフルオ
ロヘプチル)ペンチル)アミノシラン、トリス(4−(
パーフルオロへキシル)ブチル)アミノシラン、トリス
(3−(パーフルオロヘプチル)プロピル)アミノシラ
ン、 トリス(2−(パーフルオロオクチル)エチル
)アミノシラン、トリス(パーフルオロノニルメチル)
アミノシラン、トリス(11,11,11−)リフルオ
ロラフデシル)アミノシラン、トリス(9−(パーフル
オロエチル)ノニル)アミノシラン。
トリス(8−(パーフルオロプロピル) オクチル)ア
ミノシラン、トリス(7−(パーフルオロブチル)ヘプ
チル)アミノシラン、トリス(6−(パーフルオロペン
チル)ヘキシル)アミノシラン、トリス(5−(パーフ
ルオロヘキシル)ペンチル)アミノシラン、トリス(4
−(パーフルオロヘプチル)ブチル)アミノシラン、ト
リス(3−(パーフルオロオクチル)プロピル)アミノ
シラン、トリス(2−(パーフルオロノニルル)アミノ
シラン、トリス(パーフルオロデシルメチル)アミノシ
ラン、トリス(12、12、12−トリフルオロドデシ
ル)アミノシラン、トリス(10−(パーフルオロエチ
ル)デシル)アミノシラン、 トリス(8−(パーフ
ルオロプロピル)ノニル)アミノシラン、トリス(8−
(パーフルオロブチル)オクチル)アミノシラン、トリ
ス(7−(パーフルオロペンチル)ヘプチル)アミノシ
ラン、 トリス(6−(パーフルオロヘキシ;シ)ヘ
キシル)アミノシラン、 トリス(5−(パーフルオ
ロヘプチル)ペンチル)アミノシラン、トリス(4−(
パーフルオロオクチル)ブチル)アミノシラン、トリス
(3−(パーフルオロ/ニル)プロピル)アミノシラン
、トリス(2−(パーフルオロデシル)エチル)アミノ
シラン。
ミノシラン、トリス(7−(パーフルオロブチル)ヘプ
チル)アミノシラン、トリス(6−(パーフルオロペン
チル)ヘキシル)アミノシラン、トリス(5−(パーフ
ルオロヘキシル)ペンチル)アミノシラン、トリス(4
−(パーフルオロヘプチル)ブチル)アミノシラン、ト
リス(3−(パーフルオロオクチル)プロピル)アミノ
シラン、トリス(2−(パーフルオロノニルル)アミノ
シラン、トリス(パーフルオロデシルメチル)アミノシ
ラン、トリス(12、12、12−トリフルオロドデシ
ル)アミノシラン、トリス(10−(パーフルオロエチ
ル)デシル)アミノシラン、 トリス(8−(パーフ
ルオロプロピル)ノニル)アミノシラン、トリス(8−
(パーフルオロブチル)オクチル)アミノシラン、トリ
ス(7−(パーフルオロペンチル)ヘプチル)アミノシ
ラン、 トリス(6−(パーフルオロヘキシ;シ)ヘ
キシル)アミノシラン、 トリス(5−(パーフルオ
ロヘプチル)ペンチル)アミノシラン、トリス(4−(
パーフルオロオクチル)ブチル)アミノシラン、トリス
(3−(パーフルオロ/ニル)プロピル)アミノシラン
、トリス(2−(パーフルオロデシル)エチル)アミノ
シラン。
トリス(パー7ルオロウンデシルメチル)アミノシラン
、トリス(13、13,13、−)リフルオロトリデシ
ル)アミノシラン、トリス(11−(パーフルオロエチ
ル)ウンデシル)アミノシラン、トリス(10−(パー
フルオロプロピル)デシル)アミノシラン、トリス(9
−(パーフルオロブチル)ノニル)アミノシラン、トリ
ス(8−(パーフルオロペンチル)オクチル)アミノシ
ラン、トリス(7−(パーフルオロヘキシル)ヘプチル
)アミノシラン、)リス(8− (パーフルオロヘプチ
ル)ヘキシル)アミノシラン、 トリス(5−(パー
フルオロオクチル)ペンチル)アミノシラン、トリス(
4−(パーフルオロノニル)ブチル)アミノシラ/,ト
リス(3−(パーフルオロデシル)プロピル)アミノシ
ラン、 トリス(2−(パーフルオロラフデシル)エ
チル)アミノシラン、 トリス(パーフルオロドデシ
ルメチル)アミノシラン。
、トリス(13、13,13、−)リフルオロトリデシ
ル)アミノシラン、トリス(11−(パーフルオロエチ
ル)ウンデシル)アミノシラン、トリス(10−(パー
フルオロプロピル)デシル)アミノシラン、トリス(9
−(パーフルオロブチル)ノニル)アミノシラン、トリ
ス(8−(パーフルオロペンチル)オクチル)アミノシ
ラン、トリス(7−(パーフルオロヘキシル)ヘプチル
)アミノシラン、)リス(8− (パーフルオロヘプチ
ル)ヘキシル)アミノシラン、 トリス(5−(パー
フルオロオクチル)ペンチル)アミノシラン、トリス(
4−(パーフルオロノニル)ブチル)アミノシラ/,ト
リス(3−(パーフルオロデシル)プロピル)アミノシ
ラン、 トリス(2−(パーフルオロラフデシル)エ
チル)アミノシラン、 トリス(パーフルオロドデシ
ルメチル)アミノシラン。
2−(パーフルオロヘプチル)エチルジアミノシラン、
2−(パーフルオロヘプチル)エチル−メチル−ジアミ
ノシラン、2−(パーフルオロヘプチル)エチル−プロ
ピル−ジアミノシラン、2−(パーフルオロヘプチル)
エチル−ブチル−ジアミノシラン、2−(パーフルオロ
ヘプチル)エチル−ベンチルージアミノシラン、2−(
パーフルオロヘプチル)エチル−ヘキシル−ジアミノシ
ラ乙 ビス− (2−(パーフルオロヘプチル)エチル)−ア
ミノシラン、ビス−(2−(パーフルオロヘプチル)エ
チル−メチル−アミノシラン、ビス−(2−(/f−フ
ルオロヘプチル)エチル)ーエチルジアミノシラン,ビ
ス−(2−(パー7 )Ltオロヘプチル)エチル)
−プチルーアミノシラン、ビス−(2−(パーフルオロ
ヘプチル)エチル)−プロピル−アミノシラン、 ビ
ス−(2−(パーフルオロヘプチル)エチル)−ペンチ
ル−アミノシラ/、ビス−(2−(パーフルオロヘプチ
ル)エチル−ヘキシル−アミノシラン。
2−(パーフルオロヘプチル)エチル−メチル−ジアミ
ノシラン、2−(パーフルオロヘプチル)エチル−プロ
ピル−ジアミノシラン、2−(パーフルオロヘプチル)
エチル−ブチル−ジアミノシラン、2−(パーフルオロ
ヘプチル)エチル−ベンチルージアミノシラン、2−(
パーフルオロヘプチル)エチル−ヘキシル−ジアミノシ
ラ乙 ビス− (2−(パーフルオロヘプチル)エチル)−ア
ミノシラン、ビス−(2−(パーフルオロヘプチル)エ
チル−メチル−アミノシラン、ビス−(2−(/f−フ
ルオロヘプチル)エチル)ーエチルジアミノシラン,ビ
ス−(2−(パー7 )Ltオロヘプチル)エチル)
−プチルーアミノシラン、ビス−(2−(パーフルオロ
ヘプチル)エチル)−プロピル−アミノシラン、 ビ
ス−(2−(パーフルオロヘプチル)エチル)−ペンチ
ル−アミノシラ/、ビス−(2−(パーフルオロヘプチ
ル)エチル−ヘキシル−アミノシラン。
2−(パーフルオロヘプチル)エチルジメチルアミノシ
ラン、2−(パーフルオロヘプチル)エチルメチルエチ
ルアミノシラン、2−(パーフルオロへブチル)エチル
メチルプロピルアミノシラン、2−(パーフルオロヘプ
チル)エチルジエチルアミ/シラン、2−(パーフルオ
ロヘプチル)エチルエチルプロピルアミノシラン、2−
(パーフルオロヘプチル)エチルジプロピルアミノシラ
乙 2−(パーフルオロヘプチル)エチル−メチルアミノ−
ジアミノシラン、2−(パーフルオロヘプチル)エチル
−ビス(メチルアミノ)−アミノシラン、2−(パーフ
ルオロヘプチル)エチル−トリス(メチルアミノ)シラ
ン、2−(パーフルオロヘプチル)エチル−エチルアミ
ノ−ジアミノシラ:/、2−(パーフルオロヘプチル)
エチル−ビス (エチルアミノ)−アミノンラン、
2−(パーフルオロヘプチル)エチル−トリス(エチル
アミノ)シラン。
ラン、2−(パーフルオロヘプチル)エチルメチルエチ
ルアミノシラン、2−(パーフルオロへブチル)エチル
メチルプロピルアミノシラン、2−(パーフルオロヘプ
チル)エチルジエチルアミ/シラン、2−(パーフルオ
ロヘプチル)エチルエチルプロピルアミノシラン、2−
(パーフルオロヘプチル)エチルジプロピルアミノシラ
乙 2−(パーフルオロヘプチル)エチル−メチルアミノ−
ジアミノシラン、2−(パーフルオロヘプチル)エチル
−ビス(メチルアミノ)−アミノシラン、2−(パーフ
ルオロヘプチル)エチル−トリス(メチルアミノ)シラ
ン、2−(パーフルオロヘプチル)エチル−エチルアミ
ノ−ジアミノシラ:/、2−(パーフルオロヘプチル)
エチル−ビス (エチルアミノ)−アミノンラン、
2−(パーフルオロヘプチル)エチル−トリス(エチル
アミノ)シラン。
2−(パーフルオロオクチル)エチルジアミノシラン、
2−(パーフルオロオクチル)エチル−メチル−ジアミ
ノシラン、2−(パーフルオロオクチル)エチル−プロ
ピル−ジアミノシラン、2−(パーフルオロオクチル)
エチル−ブチル−ジアミノシラン、2−(パーフルオロ
オクチル)エチル−ペンチル−ジアミノシラン、2−(
パーフルオロオクチル)エチル−ヘキシル−ジアミノシ
ラン。
2−(パーフルオロオクチル)エチル−メチル−ジアミ
ノシラン、2−(パーフルオロオクチル)エチル−プロ
ピル−ジアミノシラン、2−(パーフルオロオクチル)
エチル−ブチル−ジアミノシラン、2−(パーフルオロ
オクチル)エチル−ペンチル−ジアミノシラン、2−(
パーフルオロオクチル)エチル−ヘキシル−ジアミノシ
ラン。
ビス−(2−(パーフルオロオクチル)エチル)−アミ
ノシラン、ビス−(2−(パーフルオロオクチル)エチ
ル−メチル−アミノシラン、ビス−(2−(パーフルオ
ロオクチル)エチル)−エチルジアミノシラン、ビス−
(2−(パーフルオロオクチル)エチル) −ブチル−
アミノシラ化 ビス−(2−(パーフルオロオクチル)
エチル)−プロピル−アミノシラン、 ビス−(2−
(パーフルオロオクチル)エチル)−ペンチル−アミノ
シラ化 ビス−(2−(パーフルオロオクチル)エチル
−ヘキシル−アミノシラン。
ノシラン、ビス−(2−(パーフルオロオクチル)エチ
ル−メチル−アミノシラン、ビス−(2−(パーフルオ
ロオクチル)エチル)−エチルジアミノシラン、ビス−
(2−(パーフルオロオクチル)エチル) −ブチル−
アミノシラ化 ビス−(2−(パーフルオロオクチル)
エチル)−プロピル−アミノシラン、 ビス−(2−
(パーフルオロオクチル)エチル)−ペンチル−アミノ
シラ化 ビス−(2−(パーフルオロオクチル)エチル
−ヘキシル−アミノシラン。
2−(パーフルオロオクチル)エチルジメチルアミノシ
ラン、2−(パーフルオロオクチル)エチルメチルエチ
ルアミノシラン、2−(パーフルオロオクチル)エチル
メチルプロピルアミノシラ:/、2−(パーフルオロオ
クチル)エチルジエチルアミ/シラン、2−(パーフル
オロオクチル)エチルエチルプロピルアミノシラン、2
−(パーフルオロオクチル)エチルジプロピルアミノシ
ラン。
ラン、2−(パーフルオロオクチル)エチルメチルエチ
ルアミノシラン、2−(パーフルオロオクチル)エチル
メチルプロピルアミノシラ:/、2−(パーフルオロオ
クチル)エチルジエチルアミ/シラン、2−(パーフル
オロオクチル)エチルエチルプロピルアミノシラン、2
−(パーフルオロオクチル)エチルジプロピルアミノシ
ラン。
2−(パーフルオロオクチル)エチル−メチルアミノ−
ジアミノシラン、2−(パーフルオロオクチル)エチル
−ビス(メチルアミノ)−7ミノシラン、2−(パーフ
ルオロオクチル)エチル−トリス(メチルアミノ)シラ
ン、2−(パーフルオロオクチル)エチル−エチルアミ
ノ−ジアミノシラン、2−(パーフルオロオクチル)エ
チル−ビス (エチルアミノ)−アミノシラン、 2
−(パーフルオロオクチル)エチル−トリス(エチルア
ミノ)シラン。
ジアミノシラン、2−(パーフルオロオクチル)エチル
−ビス(メチルアミノ)−7ミノシラン、2−(パーフ
ルオロオクチル)エチル−トリス(メチルアミノ)シラ
ン、2−(パーフルオロオクチル)エチル−エチルアミ
ノ−ジアミノシラン、2−(パーフルオロオクチル)エ
チル−ビス (エチルアミノ)−アミノシラン、 2
−(パーフルオロオクチル)エチル−トリス(エチルア
ミノ)シラン。
2−(パーフルオロノニル)エチルジアミノシラン、2
−(パーフルオロノニル)エチル−メチル−ジアミノシ
ラy、2−(パーフルオロノニル)エチル−プロピル−
ジアミノシラン、2−(パーフルオロノニル)エチル−
ブチル−ジアミノシラン、2−(パーフルオロノニル)
エチル−ベンチルージアミノシラン、 2−(パーフ
ルオロノニル)エチル−ヘキシル−ジアミノシラン。
−(パーフルオロノニル)エチル−メチル−ジアミノシ
ラy、2−(パーフルオロノニル)エチル−プロピル−
ジアミノシラン、2−(パーフルオロノニル)エチル−
ブチル−ジアミノシラン、2−(パーフルオロノニル)
エチル−ベンチルージアミノシラン、 2−(パーフ
ルオロノニル)エチル−ヘキシル−ジアミノシラン。
ビス−(2−(パーフルオロノニル)エチル)−アミノ
シラン、ビス−(2−(パーフルオロノニル)エチル−
メチル−アミノシラン、 ビス−(2−(パーフルオ
ロノニル)エチル)−エチル−アミノシラン、ビス−(
2−(パーフルオロノニル)エチル)−ブチル−アミノ
シラン、ビス−(2−(パーフルオロノニル)エチル)
−プロピル−アミノシラン、ビス−(2−(パーフルオ
ロノニル)エチル)−ベンチルーアミノシラン、ビスー
(2−(パーフルオロノニル)エチル−ヘキシル−アミ
ノシラン。
シラン、ビス−(2−(パーフルオロノニル)エチル−
メチル−アミノシラン、 ビス−(2−(パーフルオ
ロノニル)エチル)−エチル−アミノシラン、ビス−(
2−(パーフルオロノニル)エチル)−ブチル−アミノ
シラン、ビス−(2−(パーフルオロノニル)エチル)
−プロピル−アミノシラン、ビス−(2−(パーフルオ
ロノニル)エチル)−ベンチルーアミノシラン、ビスー
(2−(パーフルオロノニル)エチル−ヘキシル−アミ
ノシラン。
2−(パーフルオロノニル)エチルジメチルアミノシラ
ン、2−(パーフルオロノニルメチルエチルアミノシラ
ン、2−(パーフルオロノニル)エチルメチルプロピル
アミノシラン、2−(パーフルオロノニル)エチルジエ
チルアミノシラン、2−(パーフルオロノニル)エチル
エチルプロピルアミノシラン、2−(パーフルオロノニ
ル)エチルジプロピルアミノシラン。
ン、2−(パーフルオロノニルメチルエチルアミノシラ
ン、2−(パーフルオロノニル)エチルメチルプロピル
アミノシラン、2−(パーフルオロノニル)エチルジエ
チルアミノシラン、2−(パーフルオロノニル)エチル
エチルプロピルアミノシラン、2−(パーフルオロノニ
ル)エチルジプロピルアミノシラン。
2−(パーフルオロノニル)エチル−メチルアミノ−ジ
アミノシラン、2−(パーフルオロノニル)エチル−ビ
ス(メチルアミノ)−アミノシラン、2−(パーフルオ
ロノニル)エチル−トリス(メチルアミノ)シラン、2
−(パーフルオロノニル)エチル−エチルアミ゛ノージ
アミノシラン。
アミノシラン、2−(パーフルオロノニル)エチル−ビ
ス(メチルアミノ)−アミノシラン、2−(パーフルオ
ロノニル)エチル−トリス(メチルアミノ)シラン、2
−(パーフルオロノニル)エチル−エチルアミ゛ノージ
アミノシラン。
2−(パーフルオロノニル)エチル−ビス(エチルアミ
ノ)−アミノシラン、2−(パーフルオロノニル)エチ
ル−トリス(エチルアミノ)シラン本発明では、これら
に限定されるのではな(、特許請求範囲に示される一般
式のものであれば、本発明の目的を、達成できることは
言うまでもない。また、本発明において、使用するシラ
ン化合物同士が無機コート膜との反応前、もしくは反応
後結合し、ポリマー化することがありえるが、本発明の
目的とするところの、重合度を得るように11!i−す
ればなんら問題はない.また、目的に応じて、1!1以
上のシラン化合物を混合して用いても良い。
ノ)−アミノシラン、2−(パーフルオロノニル)エチ
ル−トリス(エチルアミノ)シラン本発明では、これら
に限定されるのではな(、特許請求範囲に示される一般
式のものであれば、本発明の目的を、達成できることは
言うまでもない。また、本発明において、使用するシラ
ン化合物同士が無機コート膜との反応前、もしくは反応
後結合し、ポリマー化することがありえるが、本発明の
目的とするところの、重合度を得るように11!i−す
ればなんら問題はない.また、目的に応じて、1!1以
上のシラン化合物を混合して用いても良い。
上記に示した物質を無機コート膜に反応あるいは吸着さ
せるには、DiP法、スピンナー法、スプレー法等によ
り表面に塗布し、反応、吸着させる方法、または真空雰
囲気中あるいは大気中でガスとして反応、吸着させる方
法など用いることができる。
せるには、DiP法、スピンナー法、スプレー法等によ
り表面に塗布し、反応、吸着させる方法、または真空雰
囲気中あるいは大気中でガスとして反応、吸着させる方
法など用いることができる。
前者の場合、塗布中の雰囲気、例えば、湿度、温度をコ
ントロールすることにより反応速度が制御出来、また浸
漬時間、液温、シラン化合物の濃度を11節することに
より所望の処理膜を得ることが出来る。さらに、塗布後
、コート膜の特性に影響を与えない程度の加熱や光照射
を行うことにより、反応を促進すればより効果的である
。後者の場合、真空槽内で無機コート膜を形成中、ある
いは形成後にシラン化合物のガスを導入し、反応させて
もよい。また、アルゴンや酸素等のプラズマ雰囲気中に
シラン化合物のガスを導入し、反応性蒸着、反応性イオ
ンブレーティング等を行うことも可能である。
ントロールすることにより反応速度が制御出来、また浸
漬時間、液温、シラン化合物の濃度を11節することに
より所望の処理膜を得ることが出来る。さらに、塗布後
、コート膜の特性に影響を与えない程度の加熱や光照射
を行うことにより、反応を促進すればより効果的である
。後者の場合、真空槽内で無機コート膜を形成中、ある
いは形成後にシラン化合物のガスを導入し、反応させて
もよい。また、アルゴンや酸素等のプラズマ雰囲気中に
シラン化合物のガスを導入し、反応性蒸着、反応性イオ
ンブレーティング等を行うことも可能である。
シラン化合物との反応性を高める為に前処理として、無
機コート膜表面を、洗浄、薬品処理、プラズマ処理等行
うことはより効果的である。
機コート膜表面を、洗浄、薬品処理、プラズマ処理等行
うことはより効果的である。
反応に用いるシラン化合物は、単体もしくは混合で用い
てもよく、溶媒で希釈したり、酸や塩基で前処理して使
用することも可能である。
てもよく、溶媒で希釈したり、酸や塩基で前処理して使
用することも可能である。
反応が終了後、大気中の水分子と反応したシラン化合物
、コート膜表面付近との反応、吸着に寄与できなかった
シラン化合物を洗浄により洗い流すことにより、処理前
の反射防止特性などの外観が変わらない処理を行うこと
ができる。
、コート膜表面付近との反応、吸着に寄与できなかった
シラン化合物を洗浄により洗い流すことにより、処理前
の反射防止特性などの外観が変わらない処理を行うこと
ができる。
無機コート膜、たとえば% S i O *膜などで
は、その表面に極性の大きな一〇HMが露出して右り、
これが、水滴中に含まれる不純物を吸着し易いため、ヤ
ケが起こると説明できる.したがって、無機コート膜表
面を極性の小さな、あるいは撥水性の基で置換すること
により、ヤケの防止ができる。
は、その表面に極性の大きな一〇HMが露出して右り、
これが、水滴中に含まれる不純物を吸着し易いため、ヤ
ケが起こると説明できる.したがって、無機コート膜表
面を極性の小さな、あるいは撥水性の基で置換すること
により、ヤケの防止ができる。
以下、実施例に基づき本発明の詳細な説明するが、本発
明はこれらに限定されるものではない。
明はこれらに限定されるものではない。
〔実施例1〕
ジエチレングリコールビス(アリルカーボネート)製樹
脂からなる合成樹脂製レンズを、アセトンで洗浄し、室
温で5分間、5%水酸化ナトリウム水溶液を用いて表面
処理を行い、以下に述べるコーテイング液をディッピン
グ法により、液温5℃、引き上げ速度40cm/min
の条件で塗布した。次に熱風乾燥炉中で80℃、30分
間、130℃で2時間加熱硬化させた。
脂からなる合成樹脂製レンズを、アセトンで洗浄し、室
温で5分間、5%水酸化ナトリウム水溶液を用いて表面
処理を行い、以下に述べるコーテイング液をディッピン
グ法により、液温5℃、引き上げ速度40cm/min
の条件で塗布した。次に熱風乾燥炉中で80℃、30分
間、130℃で2時間加熱硬化させた。
コーテイング液は次の様にして作成した。
撹拌装置を備えた反応容器中にエタノール206部、エ
タノール分散コロイダルシリカ396部(触媒化成工業
株式会社製“オスカル1232”固形分30%)、γ−
グルシドキシプロビルトリメトキシシランの部分加水分
解物、312部、フローコントロール剤0.2部(日本
ユニカーー製”L−7804”)及び0.05N酢酸水
溶液86部を加え、室温で3時間撹拌をし、コーテイン
グ液とした。
タノール分散コロイダルシリカ396部(触媒化成工業
株式会社製“オスカル1232”固形分30%)、γ−
グルシドキシプロビルトリメトキシシランの部分加水分
解物、312部、フローコントロール剤0.2部(日本
ユニカーー製”L−7804”)及び0.05N酢酸水
溶液86部を加え、室温で3時間撹拌をし、コーテイン
グ液とした。
上記の様にして得られたレンズを真空槽内にセットし、
真空蒸着法により、基板温度50”Cで、樹脂表面に反
射防止処理を行なった。膜構成はレンズ側から、5in
s!21がλ/ 4 % Z r O! Hと5ins
層の合成膜厚がλ/4、Z r Os層がλ/4、最上
層のSiO,llがλ/4とした(ここでλ= 520
n m ) 6次にこのレンズをア七トンで洗浄し、
十分乾燥させた後、液温20”Cの2−(パーフルオロ
オクチル) エチルトリアミノシラン、を1wt%含む
1.1.2−)リクロロー1.2.2−)リフルオロエ
タン溶液に5分間浸漬した。浸漬後、相対湿度50%、
温度50”C雰囲気中に取り出し、10分間放置した。
真空蒸着法により、基板温度50”Cで、樹脂表面に反
射防止処理を行なった。膜構成はレンズ側から、5in
s!21がλ/ 4 % Z r O! Hと5ins
層の合成膜厚がλ/4、Z r Os層がλ/4、最上
層のSiO,llがλ/4とした(ここでλ= 520
n m ) 6次にこのレンズをア七トンで洗浄し、
十分乾燥させた後、液温20”Cの2−(パーフルオロ
オクチル) エチルトリアミノシラン、を1wt%含む
1.1.2−)リクロロー1.2.2−)リフルオロエ
タン溶液に5分間浸漬した。浸漬後、相対湿度50%、
温度50”C雰囲気中に取り出し、10分間放置した。
その後、1.1.2−トリクロロ−1,2,2−トリフ
ルオロエタンにより洗浄を行なった。
ルオロエタンにより洗浄を行なった。
洗浄後のレンズの外観、反射防止の特性に大きな変化は
みられなかった。
みられなかった。
得られたコート膜の評価方法は以下に示す方法を用いた
。
。
■ ヤケ性:水道水をコート膜表面にたらし乾燥させた
のち、布で残留物を拭き取った。残留物が残ればC1完
全に拭きとれればA1一部残ればBと評価した。
のち、布で残留物を拭き取った。残留物が残ればC1完
全に拭きとれればA1一部残ればBと評価した。
■ 接触角:接触角計 (t8和科学■製CA−D)を
用いて液滴法(純水)により測定した。
用いて液滴法(純水)により測定した。
■ 温水試験:80℃の温度に5時間浸漬後■と同様に
ヤケ性の試験を行なった。
ヤケ性の試験を行なった。
〔実施例2〕
ジエチレングリコールビス(アリルカーボネート)製樹
脂からなる合成樹脂製レンズをアセト/で洗浄し、その
後、真空蒸着法により基板温度50℃で、樹脂表面に反
射防止処理を行なった。反射防止処理は実施例1と同様
の処理を行ない、処理後イソプロピルアルコールで洗浄
を行なった。
脂からなる合成樹脂製レンズをアセト/で洗浄し、その
後、真空蒸着法により基板温度50℃で、樹脂表面に反
射防止処理を行なった。反射防止処理は実施例1と同様
の処理を行ない、処理後イソプロピルアルコールで洗浄
を行なった。
次にこのレンズを実施例1で用いた処理液で実施例1と
同様に処理した。
同様に処理した。
洗浄後のレンズの外観、反射防止の特性に大きな変化は
みられなかった。
みられなかった。
〔実施例3〕
実施例1で用いた反射防止層の最上層であるSi Os
届を、次の様にして形成した。電子銃を用いて、si
o*を溶解しながら、アルゴンとビス(パーフルオロプ
ロピルメチル)ジアミノシランを9:1に混合した気体
を真空度が0.01T。
届を、次の様にして形成した。電子銃を用いて、si
o*を溶解しながら、アルゴンとビス(パーフルオロプ
ロピルメチル)ジアミノシランを9:1に混合した気体
を真空度が0.01T。
rrになる様、真空槽内に導入し、13.56MHzの
高周波電場により、雰囲気をプラズマ化した。、基板に
は300V直流電圧を印加し、高周波出力300wで反
応性イオンブレーティングを行ないながらSiO*Je
lを形成した。
高周波電場により、雰囲気をプラズマ化した。、基板に
は300V直流電圧を印加し、高周波出力300wで反
応性イオンブレーティングを行ないながらSiO*Je
lを形成した。
〔実施例4〕
実施例1で得られたレンズに、実施例1と同様に反射防
止処理を行ない、その後、ビス−(2−パーフルオロヘ
プチル)エチル)−ブチル−アミノシランを5wt%含
む1.1.2、−トリクロロ−1,2、j−)リフルオ
ロエタン溶液に1分間浸漬した。浸漬後、相対湿度70
%、温度60℃雰囲気中に取り出し、5分間放置した。
止処理を行ない、その後、ビス−(2−パーフルオロヘ
プチル)エチル)−ブチル−アミノシランを5wt%含
む1.1.2、−トリクロロ−1,2、j−)リフルオ
ロエタン溶液に1分間浸漬した。浸漬後、相対湿度70
%、温度60℃雰囲気中に取り出し、5分間放置した。
放置後テトラヒドロフランにより洗浄を行なった。洗浄
後の外観は処理前とほとんど変化がなかった。
後の外観は処理前とほとんど変化がなかった。
〔実施例5〕
クラウンガラスからなるレンズ表面に、レンズ側から、
5iotを1μm厚にアルゴンプラズマ中でイオンブレ
ーティングした。この様にして得られたレンズを、純水
で洗浄後、十分に水を切り乾燥させた。次に液温20℃
の2−(パーフルオロノニル)エチル−ブチル−ジアミ
ノシランを10wt%含む1.1.2−トリクロロ−1
,2,2トリフルオロエタン溶液に2分間浸漬した。浸
漬後、相対湿度20%、温度50”C中に15分間放置
した。その後1.1.2−)リクロロ−1,2,2−)
リフルオロエタンにより洗浄を行なった。
5iotを1μm厚にアルゴンプラズマ中でイオンブレ
ーティングした。この様にして得られたレンズを、純水
で洗浄後、十分に水を切り乾燥させた。次に液温20℃
の2−(パーフルオロノニル)エチル−ブチル−ジアミ
ノシランを10wt%含む1.1.2−トリクロロ−1
,2,2トリフルオロエタン溶液に2分間浸漬した。浸
漬後、相対湿度20%、温度50”C中に15分間放置
した。その後1.1.2−)リクロロ−1,2,2−)
リフルオロエタンにより洗浄を行なった。
洗浄後のレンズの外観に大きな変化はみられなかった。
〔比較例1〕
実施例1で用いた処理前の反射防止膜付レンズを液温1
5℃のジメチルジクロロシラン98%溶液に、1分間浸
漬した。浸漬後、湿度60%、温度25°Cの雰囲気中
で、10cm/秒の速度でレンズを引き上げた。引き上
げ後、トリクロロエチレンにより洗浄を行なった。
5℃のジメチルジクロロシラン98%溶液に、1分間浸
漬した。浸漬後、湿度60%、温度25°Cの雰囲気中
で、10cm/秒の速度でレンズを引き上げた。引き上
げ後、トリクロロエチレンにより洗浄を行なった。
〔比較例2〕
実施例1で用いた処理前の反射防止膜付レンズを、ジメ
チルジェトキシシラ750gとインプロピルアルコール
450 g s及び0.05N塩酸20gを混合した液
温10℃の溶液に3分間浸漬した。浸漬後、湿度75%
、温度50℃の雰囲気中で15分間放置し、その後アセ
トンにより洗浄を行なった。
チルジェトキシシラ750gとインプロピルアルコール
450 g s及び0.05N塩酸20gを混合した液
温10℃の溶液に3分間浸漬した。浸漬後、湿度75%
、温度50℃の雰囲気中で15分間放置し、その後アセ
トンにより洗浄を行なった。
〔比較例3〕
実施例1で得られたシラン化合物による処理をする前の
反射防止膜つきの合成樹脂製レンズを比較例1とした。
反射防止膜つきの合成樹脂製レンズを比較例1とした。
上記実施例1〜5、比較例1〜3の評価結果をまとめて
表1に示す。
表1に示す。
表1
〔発明の効果〕
無機コート膜表面に撥水性を侍たせたことにより、表面
エネルギーが低下し、水及び水中の不純物との親和性が
低下し、ヤケ現象を防止することができた。さらに表面
エネルギー低下に伴い、人体から分泌される汗、脂肪ま
たは食用油などの育機物による汚れも、ティッシュペー
パーなどで拭くだけで簡単に取り除くことができた。ま
た本発明で用いる物質は、他の表面処理剤と比較して低
温での反応性も十分で、表面処理の持続性も良い事が判
った。
エネルギーが低下し、水及び水中の不純物との親和性が
低下し、ヤケ現象を防止することができた。さらに表面
エネルギー低下に伴い、人体から分泌される汗、脂肪ま
たは食用油などの育機物による汚れも、ティッシュペー
パーなどで拭くだけで簡単に取り除くことができた。ま
た本発明で用いる物質は、他の表面処理剤と比較して低
温での反応性も十分で、表面処理の持続性も良い事が判
った。
本発明は、合成樹脂製およびガラス製眼鏡レンズ、精密
機器用光学レンズ、表示パネル、時計用カバーガラス、
窓ガラス等無機コート膜を使用した製品に広く適用でき
る方法であり、その用途はさらに拡大されるであろう。
機器用光学レンズ、表示パネル、時計用カバーガラス、
窓ガラス等無機コート膜を使用した製品に広く適用でき
る方法であり、その用途はさらに拡大されるであろう。
以 上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 無機コート膜に、下式aで示されるシラン化合物、ある
いはaのオルゴマー、あるいはポリマーを少なくとも1
種以上含む混合物よりなる組成物を反応あるいは吸着さ
せたことを特徴とする無機コート膜の表面改質法。 a、▲数式、化学式、表等があります▼ (ここで、R^1はフッ素を含む有機基、R^2、R^
3、R^4は水素または有機基、a、b、cはそれぞれ
次の範囲である。 1≦a≦3、0≦b≦2、1≦c≦3)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62132630A JPH07119842B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 無機コート膜を有する光学物品及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62132630A JPH07119842B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 無機コート膜を有する光学物品及びその製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9004163A Division JPH09311201A (ja) | 1997-01-13 | 1997-01-13 | 光学物品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63296002A true JPS63296002A (ja) | 1988-12-02 |
JPH07119842B2 JPH07119842B2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=15085817
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62132630A Expired - Lifetime JPH07119842B2 (ja) | 1987-05-28 | 1987-05-28 | 無機コート膜を有する光学物品及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07119842B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05215905A (ja) * | 1991-02-27 | 1993-08-27 | Hoya Corp | 撥水性薄膜を有する光学部材及びその製造方法 |
US5360869A (en) * | 1992-10-30 | 1994-11-01 | University Of North Carolina At Chapel Hill | Method of making fluorinated copolymers |
US5851674A (en) * | 1997-07-30 | 1998-12-22 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Antisoiling coatings for antireflective surfaces and methods of preparation |
US6119626A (en) * | 1996-11-14 | 2000-09-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Vacuum apparatus for forming a thin-film and method for forming thin-film |
US6277485B1 (en) | 1998-01-27 | 2001-08-21 | 3M Innovative Properties Company | Antisoiling coatings for antireflective surfaces and methods of preparation |
JP5262722B2 (ja) * | 2006-11-14 | 2013-08-14 | 日産化学工業株式会社 | 低屈折率被膜形成用塗布液、その製造方法及び反射防止材 |
JP2015085692A (ja) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド | エピラム被覆された耐性が高い製品 |
JP2020030247A (ja) * | 2018-08-20 | 2020-02-27 | 株式会社タムロン | 防汚層付光学素子 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004070033A (ja) | 2002-08-07 | 2004-03-04 | Topcon Corp | 反射防止膜を成膜した光ファイバーと、その製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58213653A (ja) * | 1982-06-01 | 1983-12-12 | Asahi Glass Co Ltd | 低反射率ガラス |
-
1987
- 1987-05-28 JP JP62132630A patent/JPH07119842B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58213653A (ja) * | 1982-06-01 | 1983-12-12 | Asahi Glass Co Ltd | 低反射率ガラス |
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---|---|---|---|---|
JPH05215905A (ja) * | 1991-02-27 | 1993-08-27 | Hoya Corp | 撥水性薄膜を有する光学部材及びその製造方法 |
US5360869A (en) * | 1992-10-30 | 1994-11-01 | University Of North Carolina At Chapel Hill | Method of making fluorinated copolymers |
US6119626A (en) * | 1996-11-14 | 2000-09-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Vacuum apparatus for forming a thin-film and method for forming thin-film |
US5851674A (en) * | 1997-07-30 | 1998-12-22 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Antisoiling coatings for antireflective surfaces and methods of preparation |
US6277485B1 (en) | 1998-01-27 | 2001-08-21 | 3M Innovative Properties Company | Antisoiling coatings for antireflective surfaces and methods of preparation |
JP5262722B2 (ja) * | 2006-11-14 | 2013-08-14 | 日産化学工業株式会社 | 低屈折率被膜形成用塗布液、その製造方法及び反射防止材 |
JP2015085692A (ja) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | ザ・スウォッチ・グループ・リサーチ・アンド・ディベロップメント・リミテッド | エピラム被覆された耐性が高い製品 |
JP2020030247A (ja) * | 2018-08-20 | 2020-02-27 | 株式会社タムロン | 防汚層付光学素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07119842B2 (ja) | 1995-12-20 |
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