JPH09311201A - 光学物品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】無機コート膜を有する光学物品においてヤケの
発生を抑制する。 【解決手段】基板上方に設けられた最表層が主として二
酸化珪素からなる単層または多層の無機コート膜に、下
記（１）式で示されるシラン化合物あるいはそのオリゴ
マー、もしくはポリマーを少なくとも１種以上含む組成
物を反応あるいは吸着させ、かつ前記組成物を反応ある
いは吸着させた前記無機コート膜の表面の水に対する静
止接触角が１０１度以上であることを特徴とする無機コ
ート膜を有する光学物品。 【化４】 （ここでＲ¹ はフッ素を含む有機基、Ｒ² 、Ｒ³ 、Ｒ⁴
は水素または有機基、ａ、ｂ、ｃはそれぞれ次の範囲で
ある。１≦ａ≦３、０≦ｂ≦２、１≦ｃ≦３）

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、無機コート膜を有
する光学物品及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空蒸着法、イオンプレーティング法、
スパッタリング法などによって得られる無機コート膜
は、眼鏡、レンズ、ディスプレイ装置のパネル等、光学
材料の反射防止膜、ハードコート膜、各種機能性膜等に
広く用いられている。特に二酸化珪素膜は、その基板と
の付着力、硬度、取扱い易さ等の点で幅広く使用されて
いる。 また、表面改質に関しては、無機コート膜に係わ
らず、アルコキシシラン、ハロゲン化シラン、アルキル
ポリシロキサンを用いた処理方法が開示されている。
（例えば、特公昭３５−９７６０号公報、特開昭４９−
１２８３３号公報、特公昭５０−１５４７３号公報、特
開昭６１−１３０９０２号公報など）

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、これら無機コ
ート膜の表面には、表面に付着した水滴の乾燥過程にお
いて、光学ガラスに発生するヤケ現象に似たヤケが発生
し、外観、光学特性などに好ましくない影響を及ぼして
いる。特に眼鏡レンズは、玉摺加工時及び使用時に水滴
が付着し易く、水滴が付着した状能で短時間でも放置す
ると、ヤケが発生していた。一般に光学ガラスに発生す
るヤケの原因は次の様に考えられている。先ず、表面に
付着した水滴にガラス内部のイオンであるＮａ⁺ 、Ｂａ
²⁺、Ｐｂ²⁺などが溶け出し、水滴がアルカリ性の溶液と
なる。次に、この溶液と空気中のＣＯ₂ 、ＳＯ₂ 等の酸
性ガスが反応し、Ｎａ₂ＣＯ₃、ＢａＣＯ₃ 、ＰｂＣ
Ｏ₃ 、ＢａＳＯ₄ 等が化合物として生成し、表面に残り
ヤケの原因となる。一方、合成樹脂製基板表面に形成し
た二酸化珪素膜などの無機コート膜には、陽イオンが含
まれておらず、発生するヤケの原因は、未だ不明の所が
多かった。本発明者らが、実験、分析を行なった結果、
これらのコート膜上に発生するヤケの原因は、付着した
水滴から生ずる珪素化合物を中心とした蒸発残留物が、
表面に強固に付着して起こることが判明した。このこと
は以下に述べる事実から明らかにされたものである。 超純水をコート膜表面に付着させた場合、ヤケは発
生しない。（光学ガラスに発用するヤケの生成過程で
は、超純水に於いてもヤケは発生する。） 透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により、ヤケの発生し
たコート膜表面付近を断面観察したところ、表面に付着
物が観察された。 で観察された付着物の元素分析を行なったとこ
ろ、Ｓｉが主に検出された。そこで本発明は、このよう
な問題点を解決するもので、その目的とするところは、
無機コート膜の表面状態を改質し、この問題を解消でき
うる機能を表面に持たせるところにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の無機
コート膜を有する光学物品及びその製造方法は、最表層
が主として二酸化珪素からなる単層または多層の無機コ
ート膜に、下記式（１）で示されるシラン化合物、ある
いはそのオリゴマー、もしくはポリマーを少なくとも１
種以上含む混合物よりなる組成物を反応あるいは吸着さ
せ、かつ処理した表面の水に対する静止接触角が１０１
度以上であることを特徴とする。さらには、最表層が主
として二酸化珪素からなる無機コート膜に、下記（１）
式で表されるシラン化合物、あるいはそのオリゴマー、
もしくはポリマーを少なくとも１種以上含む組成物を塗
布し、しかる後乾燥することを特徴とする。さらに、最
表層が主として二酸化珪素からなる無機コート膜に、真
空中或いは大気中で気体の下記（１）式で表されるシラ
ン化合物、あるいはそのオリゴマー、もしくはポリマー
を少なくとも１種以上含む組成物を反応あるいは吸着さ
せたことを特徴とする。

【０００５】

【化２】

【０００６】（ここでＲ¹ はフッ素を含む有機基、
Ｒ² 、Ｒ³ 、Ｒ⁴ は水素または有機基、ａ、ｂ、ｃはそ
れぞれ次の範囲である。１≦ａ≦３、０≦ｂ≦２、１≦
ｃ≦３） 前記に示した様に、無機コート膜の表面でのヤケの発生
原因は、水滴中の成分が蒸発残留物として表面に付着す
るためである。蒸発残留物の成分は、Ｓｉを中心として
おり、二酸化珪素のような無機コート膜との親和性が大
きく、コート膜表面と強固に付着していると考えられ
る。ヤケの発生を防ぐには、無機コート膜表面を改質
し、表面と蒸発残留物との親和性を小さくすることが必
要である。鋭意研究の結果、撥水性を表面に持たせるこ
とにより、蒸発残留物の無機コート膜表面との付着強度
が弱まり、たとえ表面に残留物が残っても、布等で軽く
拭き取れることが判った。さらに、撥水性を持たせるこ
とにより、水滴自体も表面に付着しにくくなり、ヤケの
発生低下に役立つことも判った。ここで言う撥水性の基
準としては、純水の表面に対する接触角が１０１°以上
あるのが望ましい。また、無機コート膜に処理を行なう
には、すでに、基材上に存在しているコート膜の性質、
密着性、耐久性を低下させることなく処理を行なう必要
がある。特に、合成樹脂性基板上に設けた無機コート膜
に処理を行う場合、高温で処理を行なうと、無機コート
膜にクラックが発生し、外観、耐久性が著しく低下す
る。従って、処理前の密着性、耐久性、外観、反射防止
膜における分光特性などに悪影響を与えない程度の処理
層の厚み、温度範囲、環境で処理できることが望まし
い。

【０００７】基板表面に撥水性を付与するには、従来か
ら用いられているシリコンオイルを薄く塗布したり、四
フッ化エチレンを基材表面に形成させて表面の撥水性を
高める方法が知られている。しかし、これらの方法は、
処理剤が、表面と反応するわけではなく化学的には表面
と結合しているとは言えない。そのため、拭きや溶剤で
容易に表面から処理剤が脱落していた。一方、本発明
で、無機コート膜表面との反応、あるいは吸着に用いる
物質は、処理温度範囲が常温付近から高温までと広く、
上記の条件を満足し、常温においても十分な処理膜が得
られる。また、従来使用されている撥水処理剤であるア
ルコキシシラン、ハロゲン化シラン、アルキルポリシロ
キサンなどと比較して、取扱いも簡単で、液の寿命も長
い。本発明に使用する物質として、次のような物が挙げ
られる。２、２、２−トリフルオロエチルトリアミノシ
ラン，３、３、３−トリフルオロプロピルトリアミノシ
ラン，２、２、２、３、３、３−へキサフルオロトリア
ミノシラン，４、４、４−トリフルオロブチルトリアミ
ノシラン，２−（パーフルオロエチル）エチルトリアミ
ノシラン，５、５、５−トリフルオロペンチルトリアミ
ノシラン，３−（パーフルオロエチル）プロピルトリア
ミノシラン。２−（パーフルオロプロピル）エチルトリ
アミノシラン，（パーフルオロプロピルメチル）トリア
ミノシラン，（パーフルオロブチルメチル）トリアミノ
シラン，６、６、６−トリフルオロへキシルトリアミノ
シラン，４−（パーフルオロエチル）ブチルトリアミノ
シラン，３−（パーフルオロプロピル）プロピルトリア
ミノシラン，４−（パーフルオロブチル）エチルトリア
ミノシラン，５−（パーフルオロペンチル）メチルトリ
アミノシラン，７、７、７−トリフルオロへブチルトリ
アミノシラン，５−（パーフルオロエチル）ペンチルト
リアミノシラン，４−（パーフルオロプロピル）ブチル
トリアミノシラン。３−（パーフルオロブチル）プロピ
ルトリアミノシラン，２−（パーフルオロぺンチル）エ
チルトリアミノシラン，（パーフルオロへキシルメチ
ル）トリアミノシラン，８、８、８−トリフルオロオク
チルトリアミノシラン，６−（パーフルオロエチル）へ
キシルトリアミノシラン，５−（バーフルオロプロピ
ル）ペンチルトリアミノシラン，４−（パーフルオロブ
チル）ブチルトリアミノシラノ，３−（パーフルオロペ
ンチル）ブチルトリアミノシラン，２−（パーフルオロ
へキシル）エチルトリアミノシラン，（パールオロへブ
チルメチル）トリアミノシラン，９、９、９−トリフル
オロノニルトリアミノシラン，７−（パーフルオロエチ
ル）へプチルトリアミノシラン，６−（パーフルオロプ
ロピル）へキシルトリアミノシラン，５−（パーフルオ
ロブチル）ヘ゜ンチルトリアミノシラン，４−（パーフル
オロペンチル）ブチルトリアミノシラン，３−（パーフ
ルオロへキシル）プロピルトリアミノシラン，２−（パ
ーフルオロへプチル）エチルトリアミノシラン，（パー
フルオロオクチルメチル）トリアミノシラン，１０、１
０、１０−トリフリオロデシルトリアミノシラン，８−
（パーフルオロエチル）オクチルトリアミノシラン，７
−（パーフルオロプロピル）へプチルトリアミノシラ
ン，６−（パーフルオロブチル）へキシルトリアミノシ
ラン，５−（パーフルオロペンチル）ペンチルトリアミ
ノシラン，４−（パーフルオロへキシル）ブチルトリア
ミノシラン，３−（パーフルオロへプチル）プロピルト
リアミノシラン，２−（パーフルオロオクチル）エチル
トリアミノシラン，（パーフルオロノニルメチル）トリ
アミノシラン，１１、１１、１１−トリフルオロウンデ
シルトリアミノシラン，９−（パーフルオロエチル）ノ
ニルトリアミノシラン，８−（パーフルオロプロピル）
オクチルトリアミノシラン，７−（パーフルオロブチ
ル）へプチルトリアミノシラン，６−（パーフルオロペ
ンチル）へキシルトリアミノシラン，５−（パーフルオ
ロへキシル）ペンチルトリアミノシラン，４−（パーフ
ルオロへプチル）ブチルトリアミノシラン，３−（パー
フルオロオクチル）プロピルトリアミノシラン，２−
（パーフルオロノニル）エチルトリアミノシラン。（パ
ーフルオロデシルメチル）トリアミノシラン，１２、１
２、１２−トリフルオロドデシルトリアミノシラン，１
０−（パーフルオロエチル）デシルトリアミノシラン，
９−（パーフルオロプロピル）ノニルトリアミノシラ
ン，８−（パーフルオロブチル）オクチルトリアミノシ
ラン，７−（パーフルオロペンチル）へプチルトリアミ
ノシラン，６−（パーフルオロへキシル）へキシルトリ
アミノシラン，５−（パーフルオロへプチル）ペンチル
トリアミノシラン，４−（パープルオロオクチル）ブチ
ルトリアミノシラン，３−（パーフルオロノニル）プロ
ピルトリアミノシラン，２−（パーフルオロデシル）エ
チルトリアミノシラン，（パーフルオロウンデシルメチ
ル）トリアミノシラン，１３、１３、１３、−トリフル
オロトリデシルトリアミノシラン，１１−（パーフルオ
ロエチル）ウンデシルトリアミノシラン，１０−（パー
フルオロプロピル）デシルトリアミノンラン，９−（パ
ーフルオロブチル）ノニルトリアミノシラン，８−（パ
ーフルオロペンチル）オクチルトリアミノシラン、７−
（パーフルオロへキシル）へプチルトリアミノシラン，
６−（パーフルオロへプチル）へキシルトリアミノシラ
ン，５−（パーフルオロオクチル）ペンチルトリアミノ
シラン，４−（パーフルオロノニル）ブチルトリアミノ
シラン，３−（パーフルオロデシル）プロピルトリアミ
ノシラン，２−（パーフルオロウンデシル）エチルトリ
アミノシラン，（パーフルオロドデシルメチル）トリア
ミノシラン，ビス（２、２、２−トリフルオロエチル）
ジアミノシラン，ビス（３、３、３−トリフルオロプロ
ピル）ジアミノシラン。ビス（２、２、２、３、３、３
−へキサフルオロ）ジアミノシラン，ビス（４、４、４
−トリフリオロブチル）ジアミノシラン，ビス（２−
（パーフルオロエチル）エチル）ジアミノシラン，ビス
（５、５、５−トリフルオロペンチル）ジアミノシラ
ン，ビス（３−（パーフルオロエチル）プロピル）ジア
ミノシラン，ビス（２−（パーフルオロプロピル）エチ
ル）ジアミノシラン，ビス（パーフルオロプロピルメチ
ル）ジアミノシラン，ビス（パーフルオロブチルメチ
ル）ジアミノシラン，ビス（６、６、６−トリフルオロ
へキシル）ジアミノシラン，ビス（４−（パーフルオロ
エチル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（３−（パーフ
ルオロプロピル）プロピル）ジアミノシラン，ビス（４
−（パーフルオロブチル）エチル）ジアミノシラン，ビ
ス（５−（パーフルオロペンチル）メチル）ジアミノシ
ラン，ビス（７、７、７−トリフルオロへプチル）ジア
ミノシラン，ビス（５−（パーフルオロエチル）ペンチ
ル）ジアミノシラン。ビス（４−（パーフルオロプロピ
ル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（３−（パーフルオ
ロブチル）プロピル）ジアミノシラン，ビス（２−（パ
ーフルオロペンチル）エチル）ジアミノシラン，ビス
（パーフルオロへキシルメチル）ジアミノシラン，ビス
（８、８、８−トリフルオロオクチル）ジアミノシラ
ン，ビス（６−（パーフルオロエチル）へキシル）ジア
ミノシラン，ビス（５−（パーフルオロプロピル）ペン
チル）ジアミノシラン，ビス（４−（パーフルオロブチ
ル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（３−（パーフルオ
ロペンチル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（２−（パ
ーフルオロへキシル）エチル）ジアミノシラン，ビス
（パールオロへプチルメチル）ジアミノシラン，ビス
（９、９、９−トリフルオロノニル）ジアミノシラン，
ビス（７−（パフルオロエチル）へプチル）ジアミノシ
ラン，ビス（６−（パーフルオロプロピル）へキシル）
ジアミノシラン，ビス（５−（パーフルオロブチル）ペ
ンチル）ジアミノシラン，ビス（４−（パーフルオロペ
ンチル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（３−（パーフ
ルオロへキシル）プロピル）ジアミノシラン，ビス（２
−（パーフルオロへプチル）エチル）ジアミノシラン，
ビス（パーフルオロオクチルメチル）ジアミノシラン，
ビス（１０、１０、１０−トリフリオロデシル）ジアミ
ノシラン，ビス（８−（パーフルオロエチル）オクチ
ル）ジアミノシラン，ビス（７−（パーフルオロプロピ
ル）へプチル）ジアミノシラン，ビス（６−（パーフル
オロブチル）へキシル）ジアミノシラン，ビス（５−
（パーフルオロペンチル）ペンチル）ジアミノシラン，
ビス（４−（パーフルオロへキシル）ブチル）ジアミノ
シラン，ビス（３−（パーフルオロへプチル）プロピ
ル）ジアミノシラン，ビス（２−（パーフルオロオクチ
ル）エチル）ジアミノシラン，ビス（パーフルオロノニ
ルメチル）ジアミノシラン，ビス（１１、１１、１１−
トリフルオロウンデシル）ジアミノシラン，ビス（９−
（パーフルオロエチル）ノニル）ジアミノシラン，ビス
（８−（パーフルオロプロピル）オクチル）ジアミノシ
ラン，ビス（７−（パーフルオロブチル）ヘプチル）ジ
アノシラン，ビス（６−（パーフルオロペンチル）ヘキ
シル）ジアミノシラン，ビス（５−（パーフルオロヘキ
シル）ペンチル）ジアミノシラン，ビス（４−（パーフ
ルオロへプチル）ブチルジアミノシラン，ビス（３−
（パーフルオロオクチル）プロピル）ジアミノシラン，
ビス（２−（パーフルオロノニル）エチル）ジアミノシ
ラン，ビス（パーフルオルデシル）メチル）ジアミノシ
ラン，ビス（１２，１２，１２−トリフルオロドデシ
ル）ジアミノシラン，ビス（１０−（パーフルオロメチ
ル）デシル）ジアミノシラン，ビス（９−（パーフルオ
ロプロピル）ノニル）ジアミノシラン，ビス（８−（パ
ーフルオロブチル）オクチル）ジアミノシラン，ビス
（７−（パーフルオロペンチル）ヘプチル）ジアミノシ
ラン，ビス（６−（パーフルオロヘキシル）ヘキシル）
ジアミノシラン，ビス（５−（パーフルオロヘプチル）
ペンチル）ジアミノシラン，ビス（４−（パーフルオロ
オクチル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（３−（パー
フルオロノニル）プロピル）ジアミノシラン，ビス（２
−（パーフルオロデシル）エチル）ジアミノンラン，ビ
ス（パーフルオロウンデシルメチル）ジアミノシラン，
ビス（１３、１３、１３、−トリフルオロトリデシル）
ジアミノシラン，ビス（１１−（パーフルオロエチル）
ウンデシル）ジアミノシラン，ビス（１０−（パーフル
オロプロピル）デシル）ジアミノシラン，ビス（９−
（パーフルオロブチル）ノニル）ジアミノシラン，ビス
（８−（パーフルオロペンチル）オクチル）ジアミノシ
ラン，ビス（７−（パーフルオロへキシル）へプチル）
ジアミノシラン，ビス（６−（パーフルオロへプチル）
へキシル）ジアミノシラン，ビス（５−（パーフルオロ
オクチル）ペンチル）ジアミノシラン，ビス（４−（パ
ーフルオロノニル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（３
−（パーフルオロデシル）プロビル）ジアミノシラン，
ビス（２−（パーフルオロウンデシル）エチル）ジアミ
ノシラン，ビス（パーフルオロウンデシルメチル）ジア
ミノシラン，トリス（２、２、２−トリフリオロエチ
ル）アミノシラン，トリス（３、３、３−トリフルオロ
プロピル）アミノシラン、トリス（２、２、２、３、
３、３−へキサフルオロ）アミノシラン，トリス（４、
４、４−トリフルオロブチル）アミノシラン，トリス
（２−（パーフルオロエチル）エチル）アミノシラン，
トリス（５、５、５−トリフルオロペンチル）アミノシ
ラン，トリス（３−（パーフルオロエチル）プロピル）
アミノシラン，トリス（２−（パーフルオロプロピル）
エチル）アミノシラン，トリス（パーフルオロプロピル
メチル）アミノシラン，トリス（パーフルオロブチルメ
チル）アミノシラン，トリス（６、６、６−トリフルオ
ロへキシル）アミノシラン，トリス（４−（パーフルオ
ロエチル）ブチル）アミノシラン，トリス（３−パーフ
ルオロプロピル）プロピル）アミノシラン，トリス（４
−（パーフルオロブチル）エチル）アミノシラン，トリ
ス（５−（パーフルオロぺンチル）メチル）アミノシラ
ン，トリス（７、７、７−トリフルオロへプチル）アミ
ノシラン，トリス（５−（パーフルオロエチル）ペンチ
ル）アミノシラン，トリス（４−（パーフルオロプロピ
ル）ブチルアミノシラン，トリス（３−（パーフルオロ
ブチル）プロピル）アミノシラン，トリス（２−（パー
フルオロペンチル）エチル）アミノシラン，トリス（パ
ーフルオロへキシルメチル）アミノシラン，トリス
（８、８、８−トリフルオロオクチル）アミノシラン，
トリス（６−（パーフルオロエチル）へキシル）アミノ
シラン，トリス（５−（パーフルオロプロピル）ペンチ
ル）アミノシラン，トリス（４−（パーフルオロブチ
ル）ブチル）アミノシラン，トリス（３−（パーフルオ
ロペンチル）ブチル）アミノシラン，トリス（２−（パ
ーフルオロへキシル）エチルアミノシラン，トリス（パ
ールオロへプチルメチル）アミノシラン，トリス（９、
９、９−トリフルオロノニル）アミノシラン，トリス
（７−（パーフルオロエチル）へプチル）アミノシラ
ン。トリス（６−（パーフルオロプロピル）へキシル）
アミノシラン，トリス（５−（パーフルオロブチル）ペ
ンチル）アミノシラン，トリス（４−（パーフルオロペ
ンチル）ブチル）アミノシラン、トリス（３−（パーフ
ルオロへキシル）プロピル）アミノシラン，トリス（２
−（パーフルオロへプチル）エチル）アミノシラン，ト
リス（パーフルオロオクチルメチル）トリアミノシラ
ン，トリス（１０、１０、１０−トリフルオロデシル）
アミノシラン。トリス（８−（パーフルオロエチル）オ
クチル）アミノシラン，トリス（７−（パーフルオロプ
ロピル）へプチル）アミノシラン，トリス（６−（パー
フルオロブチル）へキシル）アミノシラン，トリス（５
−（パーフルオロペンチル）ペンチル）アミノシラン，
トリス（４−（パーフルオロへキシル）ブチル）アミノ
シラン，トリス（３−（パーフルオロへプチル）プロピ
ル）アミノシラン，トリス（２−（パーフルオロオクチ
ル）エチル）アミノシラン，トリス（パーフルオロノニ
ルメチル）アミノシラン，トリス（１１、１１、１１−
トリフルオロウンデシル）アミノシラン，トリス（９−
（パーフルオロエチル）ノニル）アミノシラン，トリス
（８−（パーフルオロプロピル）オクチル）アミノシラ
ン、トリス（７−（パーフルオロブチル）へプチル）ア
ミノシラン，トリス（６−（パーフルオロペンチル）へ
キシル）アミノシラン，トリス（５−（パーフルオロへ
キシル）ペンチル）アミノシラン，トリス（４−（パー
フルオロへプチル）ブチル）アミノシラン，トリス（３
−（パーフルオロオクチル）プロビル）アミノシラン，
トリス（２−（パーフルオロノニル）エチル）アミノシ
ラン，トリス（パーフルオロデシルメチル）アミノシラ
ン，トリス（１２、１２、１２−トリフルオロドデシ
ル）アミノシラン，トリス（１０−（パーフルオロエチ
ル）デシル）アミノシラン，トリス（９−（パーフルオ
ロプロピル）ノニル）アミノシラン，トリス（８−（パ
ーフルオロブチル）オクチル）アミノシラン，トリス
（７−（パーフルオロペンチル）へプチル）アミノシラ
ン，トリス（６−（パーフルオロへキシル）へキシル）
アミノシラン，トリス（５−（ハーフルオロヘプチル）
ペンチル）アミノシラン，トリス（４−（パーフルオロ
オクチル）ブチル）アミノシラン，トリス（３−（パー
フルオロノニル）プロピル）アミノシラン，トリス（２
−（パーフルオロデシル）エチル）アミノシラン，トリ
ス（パーフルオロウンデシルメチル）アミノシラン，ト
リス（１３、１３、１３、−トリフルオロトリデシン）
アミノシラン，トリス（１１−（パーフルオロエチル）
ウンデシル）アミノシラン，トリス（１０−（パーフル
オロプロピル）デシル）アミノシラン，トリス（９−
（パーフルオロブチル）ノニル）アミノシラン，トリス
（８−（パーフルオロペンチル）オクチル）アミノシラ
ン，トリス（７−（パーフルオロヘキシル）ヘプチル）
アミノシラン，トリス（６−（パーフルオロヘプチル）
ヘキシル）アミノシラン，トリス（５−（パーフルオロ
オクチル）ペンチル）アミノシラン，トリス（４−（パ
ーフルオロノニル）ブチル）アミノシラン，トリス（３
−（パーフルオロデシル）ブロピル）アミノシラン，ト
リス（２−（パーフルオロウンデシル）エチル）アミノ
シラン，トリス（パーフルオロドデシルメチル）アミノ
シラン，２−（パーフルオロへブチル）エチルジアミノ
シラン，２−（パーフルオロへブチル）エチル−メチル
−ジアミノシラン，２−（パーフルオロへブチル）エチ
ル−ブロピル−ジアミノシラン，２−（パーフルオロへ
ブチル）エチル−ブチル−ジアミノシラン，２−（パー
フルオロへブチル）エチル−ペンチル−ジアミノシラ
ン，２−（パーフルオロへブチル）エチル−へキシル−
ジアミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロへプチ
ル）エチル）−アミノシラン，ビス−（２−（パーフル
オロへプチル）エチル−メチル−アミノシラン，ビス−
（２−（パーフルオロへプチル）エチル）−エチル−ア
ミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロへプチル）エ
チル）−ブチル−アミノシラン，ビス−（２−（パーフ
ルオロへプチル）エチル）−プロピル−アミノシラン，
ビス−（２−（パーフルオロへプチル）エチル）−ペン
チル−アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロへプ
チル）エチル−へキシル−アミノシラン，２−（パーフ
ルオロへプチル）エチルジメチルアミノシラン，２−
（パーフルオロへプチル）エチルメチルエチルアミノシ
ラン，２−（パーフルオロへプチル）エチルメチルプロ
ピルアミノシラン，２−（パーフルオロへプチル）エチ
ルジエチルアミノシラン，２−（パーフルオロへプチ
ル）エチルエチルプロピルアミノシラン，２−（パーフ
ルオロへプチル）エチルジプロピルアミノシラン，２−
（パーフルオロへプチル）エチル−メチルアミノ−ジア
ミノシラン，２−（パーフルオロへプチル）エチル−ビ
ス（メチルアミノ）−アミノシラン，２−（パーフルオ
ロへプチル）エチル−トリス（メチルアミノ）シラン，
２−（パフルオロへプチル）エチル−エチルアミノ−ジ
アミノシラン，２−（パーフルオロへプチル）エチル−
ビス（エチルアミノ）−アミノシラン，２−（パーフル
オロへプチル）エチル−トリス（エチルアミノ）シラ
ン，２−（パーフルオロオクチル）エチルジアミノシラ
ン，２−（パーフルオロオクチル）エチル−メチル−ジ
アミノシラン，２−（パーフルオロオクチル）エチル−
プロピル−ジアミノシラン，２−（パーフルオロオクチ
ル）エチル−ブチル−ジアミノシラン，２−（パーフル
オロオクチル）エチル−ペンチル−ジアミノシラン。２
−（パーフルオロオクチル）エチル−へキシル−ジアミ
ノシラン，ビス−（２−（パーフルオロオクチル）エチ
ル）−アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロオク
チル）エチル−メチル−アミノシラン，ビス−（２−
（パーフルオロオクチル）エチル）−エチル−アミノシ
ラン，ビス−（２−（パーフルオロオクチル）エチル）
−ブチル−アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロ
オクチル）エチル）−プロピル−アミノシラン，ビス−
（２−（パーフルオロオクチル）エチル）−ぺンチル−
アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロオクチ
ル）エチル−へキシル−アミノシラン，２−（パーフル
オロオタチル）エチルジメチルアミノシラン，２−（パ
ーフルオロオクチル）エチルメチルエチルアミノシラ
ン，２−（パーフルオロオクチル）エチルメチルプロピ
ルアミノシラン，２−（パーフルオロオクチル）エチル
ジエチルアミノシラン，２−（パーフルオロオクチル）
エチルエチルプロピルアミノシラン，２−（パーフルオ
ロオクチル）エチルジプロピルアミノシラン，２−（パ
ーフルオロオクチル）エチル−メチルアミノ−ジアミノ
シラン，２−（パーフルオロオクチル）エチル−ビス
（メチルアミノ）−アミノシラン，２−（パーフルオロ
オクチル）エチル−トリス（メチルアミノ）シラン，２
−（パーフルオロオクチル）エチル−エチルアミノ−ジ
アミノシラン，２−（パーフルオロオクチル）エチル−
ビス（エチルアミノ）−アミノシラン，２−（パーフル
オロオクチル）エチル−トリス（エチルアミノ）シラ
ン，２−（パーフルオロノニル）エチルジアミノシラ
ン，２−（パーフルオロノニル）エチル−メチル−ジア
ミノシラン，２−（パーフルオロノニル）エチル−プロ
ピル−ジアミノシラン，２−（パーフルオロノニル）エ
チル−ブチル−ジアミノシラン，２−（パーフルオロノ
ニル）エチル−ペンチル−ジアミノシラン，２−（パー
フルオロノニル）エチル−へキシル−ジアミノシラン，
ビス−（２−（パーフルオロノニル）エチル）−アミノ
シラン，ビス−（２−（パーフルオロノニル）エチル−
メチル−アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロノ
ニル）エチル）−エチル−アミノシラン，ビス−（２−
（パーフルオロノニル）エチル）−ブチル−アミノシラ
ン，ビス−（２−（パーフルオロノニル）エチル）−プ
ロピル−アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロノ
ニル）エチル）−ペンチル−アミノシラン，ビス−（２
−（パーフルオロノニル）エチル−へキシル−アミノシ
ラン，２−（パーフルオロノニル）エチルジメチルアミ
ノシラン，２−（パーフルオロノニル）エチルメチルエ
チルアミノシラン，２−（パーフルオロノニル）エチル
メチルプロピルアミノシラン，２−（パーフルオロノニ
ル）エチルジエチルアミノシラン，２−（パーフルオロ
ノニル）エチルエチルプロピルアミノシラン，２−（パ
ーフルオロノニル）エチルジプロピルアミノシラン，２
−（パーフルオロノニル）エチル−メチルアミノ−ジア
ミノシラン，２−（パーフルオロノニル）エチル−ビス
（メチルアミノ）−アミノシラン，２−（パーフルオロ
ノニル）エチル−トリス（メチルアミノ）シラン，２−
（パーフルオロノニル）エチル−エチルアミノ−ジアミ
ノシラン，２−（パーフルオロノニル）エチル−ビス
（エチルアミノ）−アミノシラン。２−（パーフルオロ
ノニル）エチル−トリス（エチルアミノ）シラン。本発
明では、これらに限定されるのではなく、特許請求の範
囲に示される一般式のものであれば、本発明の目的を、
達成できることは言うまでもない。また、本発明におい
て、オリゴマー、ポリマーとは、

【０００８】

【化３】

【０００９】で示される反応基同士が反応して形成され
るオリゴマー、ポリマーを指す。これには、脱アンモニ
アによって形成されるシラザン化合物も含まれる。従っ
て、使用するシラン化合物同士が無機コート膜との反応
前、もしくは反応後結合し、ボリマー化することがあり
えるが、本発明の目的とするところの重合度を得るよう
に調整すればなんら問題はない。また、目的に応じて、
１種以上のシラン化合物を混合して用いてもよい。シラ
ン化合物を無機コート膜に反応あるいは吸着させるに
は、ＤｉＰ法、スピンナー法、スプレー法等により表面
に塗布し、反応、吸着させる方法を用いることが出来る
が、塗布膜厚を調整するためにシラン化合物を希釈する
ための溶媒が必要となる。また、表面との反応に寄与し
なかったシラン化合物を洗浄するための溶媒も必要であ
る。水酸基を有する水系、アルコール系の溶媒は、溶媒
とシラン化合物が反応したり、溶解性、洗浄性が悪いた
め、使用することが困難である。そのため、今までは人
体に有害な溶媒、環境に有害な溶媒（例えばフロン）を
使用することが一般的であった。フロンに関してはオゾ
ン層破壊物質として世界的に全廃の動きがあり、環境保
護の面からも使用を避ける事が望ましい。また、Ｄｉｐ
法、スピンナー法、スプレー法の場合、真空中で形成し
た無機コート膜を、真空槽内から取り出して新たな工程
を増やす必要があり、洗浄工程も付設しなければならず
効率的とは言えない。従って、反応方法としては、真空
雰囲気中あるいは大気中でシラン化合物のガスを無機コ
ート膜と反応させる方法などを用いることが望ましい。
Ｄｉｐ法などの場合、塗布中の雰囲気、例えば、湿度、
温度を最適にコントロールすることにより、反応速度が
制御でき、また浸漬時間、液温、シラン化合物の濃度を
調節することにより所望の処理膜を得ることができる。
さらに、塗布後、コート膜の特性に影響を与えない程度
の加熱や光照射を行うことにより反応を促進すればより
効果的である。気体のシラン化合物で処理する場合、真
空槽内で無機コート膜を形成中、あるいは形成後にシラ
ン化合物のガスを導入し、反応させてもよい。また、ア
ルゴンや酸素等のプラズマ雰囲気中にシラン化合物のガ
スを導入し、反応性蒸着、反応性イオンプレーティング
等を行うことも可能である。シラン化合物と無機コート
膜との反応性を高めるために前処理して、無機コート膜
表面を、洗浄、薬品処理、プラズマ処理することはより
効果的である。反応に用いるシラン化合物は、単体もし
くは混合で用いてもよく、溶媒で希釈したり、酸や塩基
で前処理して使用することも可能である。反応が終了
後、大気中の水分子と反応したシラン化合物、コート膜
表面付近との反応、吸着に寄与できなかったシラン化合
物を洗浄により洗い流すことにより、処理前の反射防止
特性などの外観が変わらない処理を行うことができる。
いままで述べた処理は、二酸化珪素を主として含む無機
コート膜表面に可能である。

【００１０】

【作用】無機コート膜、たとえば、二酸化珪素膜などで
は、その表面に極性の大きな−ＯＨ基が露出しており、
これが水滴中に含まれる不純物を吸着し易いため、ヤケ
が起こると説明できる。従って、無機コート膜表面を極
性の小さな、あるいは撥水性の基で置換することによ
り、ヤケの防止ができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、実施例に基づき本発明を詳
細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものでは
ない。

【００１２】〔実施例１〕ジエチレングリコールビス
（アリルカーボネート）製樹脂からなる合成樹脂製レン
ズを、アセトンで洗浄し、室温で５分間、５％水酸化ナ
トリウム水溶液を用いて表面処理を行い、以下に述べる
コーティング液をディッピング法により、液温５℃、引
き上げ速度４０ｃｍ／ｍｉｎの条件で塗布した。次に熱
風乾燥炉中で８０℃で３０分、１３０℃で２時間加熱硬
化させた。コーティング液は次の様にして作成した。撹
拌装置を備えた反応容器中にエタノール２０６部、エタ
ノール分散コロイダルシリカ３９６部（触媒化成工業株
式会杜製“オスカル１２３２”固形分３０％）、γーグ
リシドキシプロピルトリメトキシシランの部分加水分解
物３１２部、フローコントロール剤０．２部（日本ユニ
カー（株）製“Ｌー７６０４”）及び０．０５Ｎ酢酸水
溶液８６部を加え、室温で３時間撹拌をし、コーティン
グ液とした。上記のようにして得られたレンズを真空槽
内にセットし、真空蒸着法により、基板温度５０℃で、
樹脂表面に反射防止処理を行なった。膜構成はレンズ側
から、ＳｉＯ₂ 層がλ／４、ＺｒＯ₂ 層とＳｉＯ₂ 層の
合成膜厚がλ／４、ＺｒＯ₂層がλ／４、最上層のＳｉ
Ｏ₂ 層がλ／４とした（ここでλ＝５２０ｎｍ）。次に
このレンズをアセトンで洗浄し、十分乾燥させた後、液
温２０℃の２−（パーフルオロオクチル）エチルトリア
ミノシラン、を１ｗｔ％含む１、１、２−トリクロロ−
１、２、２−トリフルオロエタン溶液に５分間浸漬し
た。浸漬後、相対湿度５０％、温度５０℃雰囲気中に取
り出し、１０分間放置した。その後、１、１、２−トリ
クロロ−１、２、２−トリフルオロエタンにより洗浄を
行なった。洗浄後のレンズの外観、反射防止の特性に大
きな変化はみられなかった。

【００１３】得られたコート膜の評価方法は以下に示す
方法を用いた。 ヤケ性：水道水をコート膜表面にたらし乾燥させた
のち、布で残留物を拭き取った。残留物が残ればＣ、完
全に拭きとれればＡ、一部残ればＢと評価した。 接触角：接触角計（協和科学株式会社製ＣＡ−Ｄ）
を用いて液滴法（純水）により測定した。 温水試験：８０℃の温度に５時間浸漬後と同様に
ヤケ性の試験を行なった。

【００１４】〔実施例２〕ジエチレングリコールビス
（アリルカーボネート）製樹脂からなる合成樹脂製レン
ズをアセトンで洗浄し、その後、真空蒸着法により基板
温度５０℃で、樹脂表面に反射防止処理を行なった。反
射防止処理は実施例１と同様の処理を行ない、処理後イ
ソプロビルアルコールで洗浄を行なった。次にこのレン
ズを実施例１で用いた処理液で実施例１と同橡に処理し
た。洗浄後のレンズの外観、反射防止の特性に大きな変
化はみられなかった。

【００１５】〔実施例３〕実施例１で用いた反射防止層
の最上層である二酸化珪素層を、次のようにして形成し
た。電子銃を用いて、二酸化珪素を溶解しながら、アル
ゴンとビス（パーフルオロプロピルメチル）ジアミノシ
ランを９：１に混合した気体を真空度が０．０１Ｔｏｒ
ｒになるよう、真空槽内に導入し、１３．５６ＭＨ_Z の
高周波電場により、雰囲気をプラズマ化した。基板には
３００Ｖ直流電圧を印加し、高周波出力３００Ｗで反応
性イオンプレーティングを行ないながら二酸化珪素層を
形成した。

【００１６】〔実施例４〕実施例１で得られたレンズ
に、実施例１と同様に反射防止処理を行ない、その後、
ビス−（２−パーフルオロへプチル）エチル）−ブチル
−アミノシランを５ｗｔ％含む１、１、２、−トリクロ
ロ−１、２、２−トリフルオロエタン溶液に１分間浸漬
した。浸漬後、相対湿度７０％、温度６０℃雰囲気中に
取り出し、５分間放置した。放置後テトラヒドロフラン
により洗浄を行なった。洗浄後の外観は処理前とほとん
ど変化がなかった。

【００１７】〔実施例５〕クラウンガラスからなるレン
ズ表面に、レンズ側から、ＳｉＯ₂ を１μｍ厚にアルゴ
ンプラズマ中でイオンプレーティングした。この様にし
て得られたレンズを、純水で洗浄後、十分に水を切り乾
燥させた。次に液温２０℃の２−（パーフルオロノニ
ル）エチル−ブチル−ジアミノシランを１０ｗｔ％含む
１、１、２−トリクロロ−１、２、２トリフルオロエタ
ン溶液に２分間浸漬した。浸漬後、相対湿度２０％、温
度５０℃中に１５分間放置した。その後１、１、２−ト
リクロロ−１、２、２−トリフルオロエタンにより洗浄
を行なった。洗浄後のレンズの外観に大きな変化はみら
れなかった。

【００１８】〔比較例１〕実施例１で用いた処理前の反
射防止膜付レンズを液温１５℃のジメチルジクロロシラ
ン９８％溶液に、１分間浸漬した。浸漬後、湿度６０
％、温度２５℃の雰囲気中で、１０ｃｍ／秒の速度でレ
ンズを引き上げた。引き上げ後、トリクロロエチレンに
より洗浄を行なった。

【００１９】〔比較例２〕実施例１で用いた処理前の反
射防止膜付レンズを、ジメチルジエトキシシラン５０ｇ
とイソプロピルアルコール４５０ｇ、及び０．０５Ｎ塩
酸２０ｇを混合した液温１０℃の溶液に３分間浸漬し
た。浸漬後、湿度７５％、温度５０℃の雰囲気中で１５
分間放置し、その後アセトンにより洗浄を行なった。

【００２０】〔比較例３〕実施例１で得られたシラン化
合物による処理を行う前の反射防止膜付きの合成樹脂製
レンズを比較例３とした。

【００２１】上記実施例１〜５、比較例１〜３の評価結
果をまとめて表１に示す。

【００２２】

【表１】

【００２３】

【発明の効果】無機コート膜表面に、水に対する静止接
触角が１０１度以上の撥水性を持たせたことにより、表
面エネルギーが低下し、水及び水中の不純物との親和性
が低下し、ヤケ現象を防止することができた。さらに表
面エネルギー低下に伴い、人体から分泌される汗、脂肪
又は食用油等の有機物による汚れも、ティッシュペーパ
ー等で拭くだけで簡単に取り除くことができた。また本
発明で用いる物質は、他の表面処理剤と比較して低温で
の反応性も十分で、表面処理の持続性も良いことが判っ
た。さらに、気体のシラン化合物を反応させる方法を用
いると溶剤（例えばフロン）を使用する必要がなくな
り、地球に優しい処理が可能となる。

【００２４】本発明は、合成樹脂製眼鏡レンズ、精密機
器用光学レンズ、表示パネル、時計用カバーガラス、窓
ガラス等、無機コート膜を使用した製品に広く適用でき
る方法であり、その用途はさらに拡大されるであろう。

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成９年２月１２日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】 明細書

【発明の名称】 光学物品の製造方法

【特許請求の範囲】

【化１】 （ここで、Ｒ¹ はフッ素を含む有機基を表し、Ｒ² 、Ｒ
³ 及びＲ⁴ はそれぞれ水素又は有機基を表し、ａ、ｂ及
びｃはそれぞれ次の範囲である。１≦ａ≦３、０≦ｂ≦
２、１≦ｃ≦３）

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、無機コート膜を有
する光学物品及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空蒸着法、イオンプレーティング法、
スパッタリング法などによって得られる無機コート膜
は、眼鏡、レンズ、ディスプレイ装置のパネル等、光学
材料の反射防止膜、ハードコート膜、各種機能性膜等に
広く用いられている。特に二酸化珪素膜は、その基板と
の付着力、硬度、取扱い易さ等の点で幅広く使用されて
いる。 また、表面改質に関しては、無機コート膜に係わ
らず、アルコキシシラン、ハロゲン化シラン、アルキル
ポリシロキサンを用いた処理方法が開示されている。
（例えば、特公昭３５−９７６０号公報、特開昭４９−
１２８３３号公報、特公昭５０−１５４７３号公報、特
開昭６１−１３０９０２号公報など）

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、これら無機コ
ート膜の表面には、表面に付着した水滴の乾燥過程にお
いて、光学ガラスに発生するヤケ現象に似たヤケが発生
し、外観、光学特性などに好ましくない影響を及ぼして
いる。特に眼鏡レンズは、玉摺加工時及び使用時に水滴
が付着し易く、水滴が付着した状能で短時間でも放置す
ると、ヤケが発生していた。一般に光学ガラスに発生す
るヤケの原因は次の様に考えられている。先ず、表面に
付着した水滴にガラス内部のイオンであるＮａ⁺ 、Ｂａ
²⁺、Ｐｂ²⁺などが溶け出し、水滴がアルカリ性の溶液と
なる。次に、この溶液と空気中のＣＯ₂ 、ＳＯ₂ 等の酸
性ガスが反応し、Ｎａ₂ＣＯ₃、ＢａＣＯ₃ 、ＰｂＣ
Ｏ₃ 、ＢａＳＯ₄ 等が化合物として生成し、表面に残り
ヤケの原因となる。一方、合成樹脂製基板表面に形成し
た二酸化珪素膜などの無機コート膜には、陽イオンが含
まれておらず、発生するヤケの原因は、未だ不明の所が
多かった。本発明者らが、実験、分析を行なった結果、
これらのコート膜上に発生するヤケの原因は、付着した
水滴から生ずる珪素化合物を中心とした蒸発残留物が、
表面に強固に付着して起こることが判明した。このこと
は以下に述べる事実から明らかにされたものである。 超純水をコート膜表面に付着させた場合、ヤケは発
生しない。（光学ガラスに発用するヤケの生成過程で
は、超純水に於いてもヤケは発生する。） 透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により、ヤケの発生し
たコート膜表面付近を断面観察したところ、表面に付着
物が観察された。 で観察された付着物の元素分析を行なったとこ
ろ、Ｓｉが主に検出された。そこで本発明は、このよう
な問題点を解決するもので、その目的とするところは、
無機コート膜の表面状態を改質し、この問題を解消でき
うる機能を表面に持たせるところにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明の無機
コート膜を有する光学物品及びその製造方法は、最表層
が主として二酸化珪素からなる単層または多層の無機コ
ート膜に、下記式（１）で示されるシラン化合物、ある
いはそのオリゴマー、もしくはポリマーを少なくとも１
種以上含む混合物よりなる組成物を反応あるいは吸着さ
せ、かつ処理した表面の水に対する静止接触角が１０１
度以上であることを特徴とする。さらには、最表層が主
として二酸化珪素からなる無機コート膜に、下記（１）
式で表されるシラン化合物、あるいはそのオリゴマー、
もしくはポリマーを少なくとも１種以上含む組成物を塗
布し、しかる後乾燥することを特徴とする。さらに、最
表層が主として二酸化珪素からなる無機コート膜に、真
空中或いは大気中で気体の下記（１）式で表されるシラ
ン化合物、あるいはそのオリゴマー、もしくはポリマー
を少なくとも１種以上含む組成物を反応あるいは吸着さ
せたことを特徴とする。

【０００５】

【化２】

【０００６】（ここでＲ¹ はフッ素を含む有機基、
Ｒ² 、Ｒ³ 、Ｒ⁴ は水素または有機基、ａ、ｂ、ｃはそ
れぞれ次の範囲である。１≦ａ≦３、０≦ｂ≦２、１≦
ｃ≦３） 前記に示した様に、無機コート膜の表面でのヤケの発生
原因は、水滴中の成分が蒸発残留物として表面に付着す
るためである。蒸発残留物の成分は、Ｓｉを中心として
おり、二酸化珪素のような無機コート膜との親和性が大
きく、コート膜表面と強固に付着していると考えられ
る。ヤケの発生を防ぐには、無機コート膜表面を改質
し、表面と蒸発残留物との親和性を小さくすることが必
要である。鋭意研究の結果、撥水性を表面に持たせるこ
とにより、蒸発残留物の無機コート膜表面との付着強度
が弱まり、たとえ表面に残留物が残っても、布等で軽く
拭き取れることが判った。さらに、撥水性を持たせるこ
とにより、水滴自体も表面に付着しにくくなり、ヤケの
発生低下に役立つことも判った。ここで言う撥水性の基
準としては、純水の表面に対する接触角が１０１°以上
あるのが望ましい。また、無機コート膜に処理を行なう
には、すでに、基材上に存在しているコート膜の性質、
密着性、耐久性を低下させることなく処理を行なう必要
がある。特に、合成樹脂性基板上に設けた無機コート膜
に処理を行う場合、高温で処理を行なうと、無機コート
膜にクラックが発生し、外観、耐久性が著しく低下す
る。従って、処理前の密着性、耐久性、外観、反射防止
膜における分光特性などに悪影響を与えない程度の処理
層の厚み、温度範囲、環境で処理できることが望まし
い。

【０００７】基板表面に撥水性を付与するには、従来か
ら用いられているシリコンオイルを薄く塗布したり、四
フッ化エチレンを基材表面に形成させて表面の撥水性を
高める方法が知られている。しかし、これらの方法は、
処理剤が、表面と反応するわけではなく化学的には表面
と結合しているとは言えない。そのため、拭きや溶剤で
容易に表面から処理剤が脱落していた。一方、本発明
で、無機コート膜表面との反応、あるいは吸着に用いる
物質は、処理温度範囲が常温付近から高温までと広く、
上記の条件を満足し、常温においても十分な処理膜が得
られる。また、従来使用されている撥水処理剤であるア
ルコキシシラン、ハロゲン化シラン、アルキルポリシロ
キサンなどと比較して、取扱いも簡単で、液の寿命も長
い。本発明に使用する物質として、次のような物が挙げ
られる。２、２、２−トリフルオロエチルトリアミノシ
ラン，３、３、３−トリフルオロプロピルトリアミノシ
ラン，２、２、２、３、３、３−へキサフルオロトリア
ミノシラン，４、４、４−トリフルオロブチルトリアミ
ノシラン，２−（パーフルオロエチル）エチルトリアミ
ノシラン，５、５、５−トリフルオロペンチルトリアミ
ノシラン，３−（パーフルオロエチル）プロピルトリア
ミノシラン。２−（パーフルオロプロピル）エチルトリ
アミノシラン，（パーフルオロプロピルメチル）トリア
ミノシラン，（パーフルオロブチルメチル）トリアミノ
シラン，６、６、６−トリフルオロへキシルトリアミノ
シラン，４−（パーフルオロエチル）ブチルトリアミノ
シラン，３−（パーフルオロプロピル）プロピルトリア
ミノシラン，４−（パーフルオロブチル）エチルトリア
ミノシラン，５−（パーフルオロペンチル）メチルトリ
アミノシラン，７、７、７−トリフルオロへブチルトリ
アミノシラン，５−（パーフルオロエチル）ペンチルト
リアミノシラン，４−（パーフルオロプロピル）ブチル
トリアミノシラン。３−（パーフルオロブチル）プロピ
ルトリアミノシラン，２−（パーフルオロぺンチル）エ
チルトリアミノシラン，（パーフルオロへキシルメチ
ル）トリアミノシラン，８、８、８−トリフルオロオク
チルトリアミノシラン，６−（パーフルオロエチル）へ
キシルトリアミノシラン，５−（バーフルオロプロピ
ル）ペンチルトリアミノシラン，４−（パーフルオロブ
チル）ブチルトリアミノシラノ，３−（パーフルオロペ
ンチル）ブチルトリアミノシラン，２−（パーフルオロ
へキシル）エチルトリアミノシラン，（パールオロへブ
チルメチル）トリアミノシラン，９、９、９−トリフル
オロノニルトリアミノシラン，７−（パーフルオロエチ
ル）へプチルトリアミノシラン，６−（パーフルオロプ
ロピル）へキシルトリアミノシラン，５−（パーフルオ
ロブチル）ヘ゜ンチルトリアミノシラン，４−（パーフル
オロペンチル）ブチルトリアミノシラン，３−（パーフ
ルオロへキシル）プロピルトリアミノシラン，２−（パ
ーフルオロへプチル）エチルトリアミノシラン，（パー
フルオロオクチルメチル）トリアミノシラン，１０、１
０、１０−トリフリオロデシルトリアミノシラン，８−
（パーフルオロエチル）オクチルトリアミノシラン，７
−（パーフルオロプロピル）へプチルトリアミノシラ
ン，６−（パーフルオロブチル）へキシルトリアミノシ
ラン，５−（パーフルオロペンチル）ペンチルトリアミ
ノシラン，４−（パーフルオロへキシル）ブチルトリア
ミノシラン，３−（パーフルオロへプチル）プロピルト
リアミノシラン，２−（パーフルオロオクチル）エチル
トリアミノシラン，（パーフルオロノニルメチル）トリ
アミノシラン，１１、１１、１１−トリフルオロウンデ
シルトリアミノシラン，９−（パーフルオロエチル）ノ
ニルトリアミノシラン，８−（パーフルオロプロピル）
オクチルトリアミノシラン，７−（パーフルオロブチ
ル）へプチルトリアミノシラン，６−（パーフルオロペ
ンチル）へキシルトリアミノシラン，５−（パーフルオ
ロへキシル）ペンチルトリアミノシラン，４−（パーフ
ルオロへプチル）ブチルトリアミノシラン，３−（パー
フルオロオクチル）プロピルトリアミノシラン，２−
（パーフルオロノニル）エチルトリアミノシラン。（パ
ーフルオロデシルメチル）トリアミノシラン，１２、１
２、１２−トリフルオロドデシルトリアミノシラン，１
０−（パーフルオロエチル）デシルトリアミノシラン，
９−（パーフルオロプロピル）ノニルトリアミノシラ
ン，８−（パーフルオロブチル）オクチルトリアミノシ
ラン，７−（パーフルオロペンチル）へプチルトリアミ
ノシラン，６−（パーフルオロへキシル）へキシルトリ
アミノシラン，５−（パーフルオロへプチル）ペンチル
トリアミノシラン，４−（パープルオロオクチル）ブチ
ルトリアミノシラン，３−（パーフルオロノニル）プロ
ピルトリアミノシラン，２−（パーフルオロデシル）エ
チルトリアミノシラン，（パーフルオロウンデシルメチ
ル）トリアミノシラン，１３、１３、１３、−トリフル
オロトリデシルトリアミノシラン，１１−（パーフルオ
ロエチル）ウンデシルトリアミノシラン，１０−（パー
フルオロプロピル）デシルトリアミノンラン，９−（パ
ーフルオロブチル）ノニルトリアミノシラン，８−（パ
ーフルオロペンチル）オクチルトリアミノシラン、７−
（パーフルオロへキシル）へプチルトリアミノシラン，
６−（パーフルオロへプチル）へキシルトリアミノシラ
ン，５−（パーフルオロオクチル）ペンチルトリアミノ
シラン，４−（パーフルオロノニル）ブチルトリアミノ
シラン，３−（パーフルオロデシル）プロピルトリアミ
ノシラン，２−（パーフルオロウンデシル）エチルトリ
アミノシラン，（パーフルオロドデシルメチル）トリア
ミノシラン，ビス（２、２、２−トリフルオロエチル）
ジアミノシラン，ビス（３、３、３−トリフルオロプロ
ピル）ジアミノシラン。ビス（２、２、２、３、３、３
−へキサフルオロ）ジアミノシラン，ビス（４、４、４
−トリフリオロブチル）ジアミノシラン，ビス（２−
（パーフルオロエチル）エチル）ジアミノシラン，ビス
（５、５、５−トリフルオロペンチル）ジアミノシラ
ン，ビス（３−（パーフルオロエチル）プロピル）ジア
ミノシラン，ビス（２−（パーフルオロプロピル）エチ
ル）ジアミノシラン，ビス（パーフルオロプロピルメチ
ル）ジアミノシラン，ビス（パーフルオロブチルメチ
ル）ジアミノシラン，ビス（６、６、６−トリフルオロ
へキシル）ジアミノシラン，ビス（４−（パーフルオロ
エチル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（３−（パーフ
ルオロプロピル）プロピル）ジアミノシラン，ビス（４
−（パーフルオロブチル）エチル）ジアミノシラン，ビ
ス（５−（パーフルオロペンチル）メチル）ジアミノシ
ラン，ビス（７、７、７−トリフルオロへプチル）ジア
ミノシラン，ビス（５−（パーフルオロエチル）ペンチ
ル）ジアミノシラン。ビス（４−（パーフルオロプロピ
ル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（３−（パーフルオ
ロブチル）プロピル）ジアミノシラン，ビス（２−（パ
ーフルオロペンチル）エチル）ジアミノシラン，ビス
（パーフルオロへキシルメチル）ジアミノシラン，ビス
（８、８、８−トリフルオロオクチル）ジアミノシラ
ン，ビス（６−（パーフルオロエチル）へキシル）ジア
ミノシラン，ビス（５−（パーフルオロプロピル）ペン
チル）ジアミノシラン，ビス（４−（パーフルオロブチ
ル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（３−（パーフルオ
ロペンチル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（２−（パ
ーフルオロへキシル）エチル）ジアミノシラン，ビス
（パールオロへプチルメチル）ジアミノシラン，ビス
（９、９、９−トリフルオロノニル）ジアミノシラン，
ビス（７−（パフルオロエチル）へプチル）ジアミノシ
ラン，ビス（６−（パーフルオロプロピル）へキシル）
ジアミノシラン，ビス（５−（パーフルオロブチル）ペ
ンチル）ジアミノシラン，ビス（４−（パーフルオロペ
ンチル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（３−（パーフ
ルオロへキシル）プロピル）ジアミノシラン，ビス（２
−（パーフルオロへプチル）エチル）ジアミノシラン，
ビス（パーフルオロオクチルメチル）ジアミノシラン，
ビス（１０、１０、１０−トリフリオロデシル）ジアミ
ノシラン，ビス（８−（パーフルオロエチル）オクチ
ル）ジアミノシラン，ビス（７−（パーフルオロプロピ
ル）へプチル）ジアミノシラン，ビス（６−（パーフル
オロブチル）へキシル）ジアミノシラン，ビス（５−
（パーフルオロペンチル）ペンチル）ジアミノシラン，
ビス（４−（パーフルオロへキシル）ブチル）ジアミノ
シラン，ビス（３−（パーフルオロへプチル）プロピ
ル）ジアミノシラン，ビス（２−（パーフルオロオクチ
ル）エチル）ジアミノシラン，ビス（パーフルオロノニ
ルメチル）ジアミノシラン，ビス（１１、１１、１１−
トリフルオロウンデシル）ジアミノシラン，ビス（９−
（パーフルオロエチル）ノニル）ジアミノシラン，ビス
（８−（パーフルオロプロピル）オクチル）ジアミノシ
ラン，ビス（７−（パーフルオロブチル）ヘプチル）ジ
アノシラン，ビス（６−（パーフルオロペンチル）ヘキ
シル）ジアミノシラン，ビス（５−（パーフルオロヘキ
シル）ペンチル）ジアミノシラン，ビス（４−（パーフ
ルオロへプチル）ブチルジアミノシラン，ビス（３−
（パーフルオロオクチル）プロピル）ジアミノシラン，
ビス（２−（パーフルオロノニル）エチル）ジアミノシ
ラン，ビス（パーフルオルデシル）メチル）ジアミノシ
ラン，ビス（１２，１２，１２−トリフルオロドデシ
ル）ジアミノシラン，ビス（１０−（パーフルオロメチ
ル）デシル）ジアミノシラン，ビス（９−（パーフルオ
ロプロピル）ノニル）ジアミノシラン，ビス（８−（パ
ーフルオロブチル）オクチル）ジアミノシラン，ビス
（７−（パーフルオロペンチル）ヘプチル）ジアミノシ
ラン，ビス（６−（パーフルオロヘキシル）ヘキシル）
ジアミノシラン，ビス（５−（パーフルオロヘプチル）
ペンチル）ジアミノシラン，ビス（４−（パーフルオロ
オクチル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（３−（パー
フルオロノニル）プロピル）ジアミノシラン，ビス（２
−（パーフルオロデシル）エチル）ジアミノンラン，ビ
ス（パーフルオロウンデシルメチル）ジアミノシラン，
ビス（１３、１３、１３、−トリフルオロトリデシル）
ジアミノシラン，ビス（１１−（パーフルオロエチル）
ウンデシル）ジアミノシラン，ビス（１０−（パーフル
オロプロピル）デシル）ジアミノシラン，ビス（９−
（パーフルオロブチル）ノニル）ジアミノシラン，ビス
（８−（パーフルオロペンチル）オクチル）ジアミノシ
ラン，ビス（７−（パーフルオロへキシル）へプチル）
ジアミノシラン，ビス（６−（パーフルオロへプチル）
へキシル）ジアミノシラン，ビス（５−（パーフルオロ
オクチル）ペンチル）ジアミノシラン，ビス（４−（パ
ーフルオロノニル）ブチル）ジアミノシラン，ビス（３
−（パーフルオロデシル）プロビル）ジアミノシラン，
ビス（２−（パーフルオロウンデシル）エチル）ジアミ
ノシラン，ビス（パーフルオロウンデシルメチル）ジア
ミノシラン，トリス（２、２、２−トリフリオロエチ
ル）アミノシラン，トリス（３、３、３−トリフルオロ
プロピル）アミノシラン、トリス（２、２、２、３、
３、３−へキサフルオロ）アミノシラン，トリス（４、
４、４−トリフルオロブチル）アミノシラン，トリス
（２−（パーフルオロエチル）エチル）アミノシラン，
トリス（５、５、５−トリフルオロペンチル）アミノシ
ラン，トリス（３−（パーフルオロエチル）プロピル）
アミノシラン，トリス（２−（パーフルオロプロピル）
エチル）アミノシラン，トリス（パーフルオロプロピル
メチル）アミノシラン，トリス（パーフルオロブチルメ
チル）アミノシラン，トリス（６、６、６−トリフルオ
ロへキシル）アミノシラン，トリス（４−（パーフルオ
ロエチル）ブチル）アミノシラン，トリス（３−パーフ
ルオロプロピル）プロピル）アミノシラン，トリス（４
−（パーフルオロブチル）エチル）アミノシラン，トリ
ス（５−（パーフルオロぺンチル）メチル）アミノシラ
ン，トリス（７、７、７−トリフルオロへプチル）アミ
ノシラン，トリス（５−（パーフルオロエチル）ペンチ
ル）アミノシラン，トリス（４−（パーフルオロプロピ
ル）ブチルアミノシラン，トリス（３−（パーフルオロ
ブチル）プロピル）アミノシラン，トリス（２−（パー
フルオロペンチル）エチル）アミノシラン，トリス（パ
ーフルオロへキシルメチル）アミノシラン，トリス
（８、８、８−トリフルオロオクチル）アミノシラン，
トリス（６−（パーフルオロエチル）へキシル）アミノ
シラン，トリス（５−（パーフルオロプロピル）ペンチ
ル）アミノシラン，トリス（４−（パーフルオロブチ
ル）ブチル）アミノシラン，トリス（３−（パーフルオ
ロペンチル）ブチル）アミノシラン，トリス（２−（パ
ーフルオロへキシル）エチルアミノシラン，トリス（パ
ールオロへプチルメチル）アミノシラン，トリス（９、
９、９−トリフルオロノニル）アミノシラン，トリス
（７−（パーフルオロエチル）へプチル）アミノシラ
ン。トリス（６−（パーフルオロプロピル）へキシル）
アミノシラン，トリス（５−（パーフルオロブチル）ペ
ンチル）アミノシラン，トリス（４−（パーフルオロペ
ンチル）ブチル）アミノシラン、トリス（３−（パーフ
ルオロへキシル）プロピル）アミノシラン，トリス（２
−（パーフルオロへプチル）エチル）アミノシラン，ト
リス（パーフルオロオクチルメチル）トリアミノシラ
ン，トリス（１０、１０、１０−トリフルオロデシル）
アミノシラン。トリス（８−（パーフルオロエチル）オ
クチル）アミノシラン，トリス（７−（パーフルオロプ
ロピル）へプチル）アミノシラン，トリス（６−（パー
フルオロブチル）へキシル）アミノシラン，トリス（５
−（パーフルオロペンチル）ペンチル）アミノシラン，
トリス（４−（パーフルオロへキシル）ブチル）アミノ
シラン，トリス（３−（パーフルオロへプチル）プロピ
ル）アミノシラン，トリス（２−（パーフルオロオクチ
ル）エチル）アミノシラン，トリス（パーフルオロノニ
ルメチル）アミノシラン，トリス（１１、１１、１１−
トリフルオロウンデシル）アミノシラン，トリス（９−
（パーフルオロエチル）ノニル）アミノシラン，トリス
（８−（パーフルオロプロピル）オクチル）アミノシラ
ン、トリス（７−（パーフルオロブチル）へプチル）ア
ミノシラン，トリス（６−（パーフルオロペンチル）へ
キシル）アミノシラン，トリス（５−（パーフルオロへ
キシル）ペンチル）アミノシラン，トリス（４−（パー
フルオロへプチル）ブチル）アミノシラン，トリス（３
−（パーフルオロオクチル）プロビル）アミノシラン，
トリス（２−（パーフルオロノニル）エチル）アミノシ
ラン，トリス（パーフルオロデシルメチル）アミノシラ
ン，トリス（１２、１２、１２−トリフルオロドデシ
ル）アミノシラン，トリス（１０−（パーフルオロエチ
ル）デシル）アミノシラン，トリス（９−（パーフルオ
ロプロピル）ノニル）アミノシラン，トリス（８−（パ
ーフルオロブチル）オクチル）アミノシラン，トリス
（７−（パーフルオロペンチル）へプチル）アミノシラ
ン，トリス（６−（パーフルオロへキシル）へキシル）
アミノシラン，トリス（５−（ハーフルオロヘプチル）
ペンチル）アミノシラン，トリス（４−（パーフルオロ
オクチル）ブチル）アミノシラン，トリス（３−（パー
フルオロノニル）プロピル）アミノシラン，トリス（２
−（パーフルオロデシル）エチル）アミノシラン，トリ
ス（パーフルオロウンデシルメチル）アミノシラン，ト
リス（１３、１３、１３、−トリフルオロトリデシン）
アミノシラン，トリス（１１−（パーフルオロエチル）
ウンデシル）アミノシラン，トリス（１０−（パーフル
オロプロピル）デシル）アミノシラン，トリス（９−
（パーフルオロブチル）ノニル）アミノシラン，トリス
（８−（パーフルオロペンチル）オクチル）アミノシラ
ン，トリス（７−（パーフルオロヘキシル）ヘプチル）
アミノシラン，トリス（６−（パーフルオロヘプチル）
ヘキシル）アミノシラン，トリス（５−（パーフルオロ
オクチル）ペンチル）アミノシラン，トリス（４−（パ
ーフルオロノニル）ブチル）アミノシラン，トリス（３
−（パーフルオロデシル）ブロピル）アミノシラン，ト
リス（２−（パーフルオロウンデシル）エチル）アミノ
シラン，トリス（パーフルオロドデシルメチル）アミノ
シラン，２−（パーフルオロへブチル）エチルジアミノ
シラン，２−（パーフルオロへブチル）エチル−メチル
−ジアミノシラン，２−（パーフルオロへブチル）エチ
ル−ブロピル−ジアミノシラン，２−（パーフルオロへ
ブチル）エチル−ブチル−ジアミノシラン，２−（パー
フルオロへブチル）エチル−ペンチル−ジアミノシラ
ン，２−（パーフルオロへブチル）エチル−へキシル−
ジアミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロへプチ
ル）エチル）−アミノシラン，ビス−（２−（パーフル
オロへプチル）エチル−メチル−アミノシラン，ビス−
（２−（パーフルオロへプチル）エチル）−エチル−ア
ミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロへプチル）エ
チル）−ブチル−アミノシラン，ビス−（２−（パーフ
ルオロへプチル）エチル）−プロピル−アミノシラン，
ビス−（２−（パーフルオロへプチル）エチル）−ペン
チル−アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロへプ
チル）エチル−へキシル−アミノシラン，２−（パーフ
ルオロへプチル）エチルジメチルアミノシラン，２−
（パーフルオロへプチル）エチルメチルエチルアミノシ
ラン，２−（パーフルオロへプチル）エチルメチルプロ
ピルアミノシラン，２−（パーフルオロへプチル）エチ
ルジエチルアミノシラン，２−（パーフルオロへプチ
ル）エチルエチルプロピルアミノシラン，２−（パーフ
ルオロへプチル）エチルジプロピルアミノシラン，２−
（パーフルオロへプチル）エチル−メチルアミノ−ジア
ミノシラン，２−（パーフルオロへプチル）エチル−ビ
ス（メチルアミノ）−アミノシラン，２−（パーフルオ
ロへプチル）エチル−トリス（メチルアミノ）シラン，
２−（パフルオロへプチル）エチル−エチルアミノ−ジ
アミノシラン，２−（パーフルオロへプチル）エチル−
ビス（エチルアミノ）−アミノシラン，２−（パーフル
オロへプチル）エチル−トリス（エチルアミノ）シラ
ン，２−（パーフルオロオクチル）エチルジアミノシラ
ン，２−（パーフルオロオクチル）エチル−メチル−ジ
アミノシラン，２−（パーフルオロオクチル）エチル−
プロピル−ジアミノシラン，２−（パーフルオロオクチ
ル）エチル−ブチル−ジアミノシラン，２−（パーフル
オロオクチル）エチル−ペンチル−ジアミノシラン。２
−（パーフルオロオクチル）エチル−へキシル−ジアミ
ノシラン，ビス−（２−（パーフルオロオクチル）エチ
ル）−アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロオク
チル）エチル−メチル−アミノシラン，ビス−（２−
（パーフルオロオクチル）エチル）−エチル−アミノシ
ラン，ビス−（２−（パーフルオロオクチル）エチル）
−ブチル−アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロ
オクチル）エチル）−プロピル−アミノシラン，ビス−
（２−（パーフルオロオクチル）エチル）−ぺンチル−
アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロオクチ
ル）エチル−へキシル−アミノシラン，２−（パーフル
オロオタチル）エチルジメチルアミノシラン，２−（パ
ーフルオロオクチル）エチルメチルエチルアミノシラ
ン，２−（パーフルオロオクチル）エチルメチルプロピ
ルアミノシラン，２−（パーフルオロオクチル）エチル
ジエチルアミノシラン，２−（パーフルオロオクチル）
エチルエチルプロピルアミノシラン，２−（パーフルオ
ロオクチル）エチルジプロピルアミノシラン，２−（パ
ーフルオロオクチル）エチル−メチルアミノ−ジアミノ
シラン，２−（パーフルオロオクチル）エチル−ビス
（メチルアミノ）−アミノシラン，２−（パーフルオロ
オクチル）エチル−トリス（メチルアミノ）シラン，２
−（パーフルオロオクチル）エチル−エチルアミノ−ジ
アミノシラン，２−（パーフルオロオクチル）エチル−
ビス（エチルアミノ）−アミノシラン，２−（パーフル
オロオクチル）エチル−トリス（エチルアミノ）シラ
ン，２−（パーフルオロノニル）エチルジアミノシラ
ン，２−（パーフルオロノニル）エチル−メチル−ジア
ミノシラン，２−（パーフルオロノニル）エチル−プロ
ピル−ジアミノシラン，２−（パーフルオロノニル）エ
チル−ブチル−ジアミノシラン，２−（パーフルオロノ
ニル）エチル−ペンチル−ジアミノシラン，２−（パー
フルオロノニル）エチル−へキシル−ジアミノシラン，
ビス−（２−（パーフルオロノニル）エチル）−アミノ
シラン，ビス−（２−（パーフルオロノニル）エチル−
メチル−アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロノ
ニル）エチル）−エチル−アミノシラン，ビス−（２−
（パーフルオロノニル）エチル）−ブチル−アミノシラ
ン，ビス−（２−（パーフルオロノニル）エチル）−プ
ロピル−アミノシラン，ビス−（２−（パーフルオロノ
ニル）エチル）−ペンチル−アミノシラン，ビス−（２
−（パーフルオロノニル）エチル−へキシル−アミノシ
ラン，２−（パーフルオロノニル）エチルジメチルアミ
ノシラン，２−（パーフルオロノニル）エチルメチルエ
チルアミノシラン，２−（パーフルオロノニル）エチル
メチルプロピルアミノシラン，２−（パーフルオロノニ
ル）エチルジエチルアミノシラン，２−（パーフルオロ
ノニル）エチルエチルプロピルアミノシラン，２−（パ
ーフルオロノニル）エチルジプロピルアミノシラン，２
−（パーフルオロノニル）エチル−メチルアミノ−ジア
ミノシラン，２−（パーフルオロノニル）エチル−ビス
（メチルアミノ）−アミノシラン，２−（パーフルオロ
ノニル）エチル−トリス（メチルアミノ）シラン，２−
（パーフルオロノニル）エチル−エチルアミノ−ジアミ
ノシラン，２−（パーフルオロノニル）エチル−ビス
（エチルアミノ）−アミノシラン。２−（パーフルオロ
ノニル）エチル−トリス（エチルアミノ）シラン。本発
明では、これらに限定されるのではなく、特許請求の範
囲に示される一般式のものであれば、本発明の目的を、
達成できることは言うまでもない。また、本発明におい
て、オリゴマー、ポリマーとは、

【０００８】

【化３】

【０００９】で示される反応基同士が反応して形成され
るオリゴマー、ポリマーを指す。これには、脱アンモニ
アによって形成されるシラザン化合物も含まれる。従っ
て、使用するシラン化合物同士が無機コート膜との反応
前、もしくは反応後結合し、ボリマー化することがあり
えるが、本発明の目的とするところの重合度を得るよう
に調整すればなんら問題はない。また、目的に応じて、
１種以上のシラン化合物を混合して用いてもよい。シラ
ン化合物を無機コート膜に反応あるいは吸着させるに
は、ＤｉＰ法、スピンナー法、スプレー法等により表面
に塗布し、反応、吸着させる方法を用いることが出来る
が、塗布膜厚を調整するためにシラン化合物を希釈する
ための溶媒が必要となる。また、表面との反応に寄与し
なかったシラン化合物を洗浄するための溶媒も必要であ
る。水酸基を有する水系、アルコール系の溶媒は、溶媒
とシラン化合物が反応したり、溶解性、洗浄性が悪いた
め、使用することが困難である。そのため、今までは人
体に有害な溶媒、環境に有害な溶媒（例えばフロン）を
使用することが一般的であった。フロンに関してはオゾ
ン層破壊物質として世界的に全廃の動きがあり、環境保
護の面からも使用を避ける事が望ましい。また、Ｄｉｐ
法、スピンナー法、スプレー法の場合、真空中で形成し
た無機コート膜を、真空槽内から取り出して新たな工程
を増やす必要があり、洗浄工程も付設しなければならず
効率的とは言えない。従って、反応方法としては、真空
雰囲気中あるいは大気中でシラン化合物のガスを無機コ
ート膜と反応させる方法などを用いることが望ましい。
Ｄｉｐ法などの場合、塗布中の雰囲気、例えば、湿度、
温度を最適にコントロールすることにより、反応速度が
制御でき、また浸漬時間、液温、シラン化合物の濃度を
調節することにより所望の処理膜を得ることができる。
さらに、塗布後、コート膜の特性に影響を与えない程度
の加熱や光照射を行うことにより反応を促進すればより
効果的である。気体のシラン化合物で処理する場合、真
空槽内で無機コート膜を形成中、あるいは形成後にシラ
ン化合物のガスを導入し、反応させてもよい。また、ア
ルゴンや酸素等のプラズマ雰囲気中にシラン化合物のガ
スを導入し、反応性蒸着、反応性イオンプレーティング
等を行うことも可能である。シラン化合物と無機コート
膜との反応性を高めるために前処理して、無機コート膜
表面を、洗浄、薬品処理、プラズマ処理することはより
効果的である。反応に用いるシラン化合物は、単体もし
くは混合で用いてもよく、溶媒で希釈したり、酸や塩基
で前処理して使用することも可能である。反応が終了
後、大気中の水分子と反応したシラン化合物、コート膜
表面付近との反応、吸着に寄与できなかったシラン化合
物を洗浄により洗い流すことにより、処理前の反射防止
特性などの外観が変わらない処理を行うことができる。
いままで述べた処理は、二酸化珪素を主として含む無機
コート膜表面に可能である。

【００１０】

【作用】無機コート膜、たとえば、二酸化珪素膜などで
は、その表面に極性の大きな−ＯＨ基が露出しており、
これが水滴中に含まれる不純物を吸着し易いため、ヤケ
が起こると説明できる。従って、無機コート膜表面を極
性の小さな、あるいは撥水性の基で置換することによ
り、ヤケの防止ができる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、実施例に基づき本発明を詳
細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものでは
ない。

【００１２】〔実施例１〕ジエチレングリコールビス
（アリルカーボネート）製樹脂からなる合成樹脂製レン
ズを、アセトンで洗浄し、室温で５分間、５％水酸化ナ
トリウム水溶液を用いて表面処理を行い、以下に述べる
コーティング液をディッピング法により、液温５℃、引
き上げ速度４０ｃｍ／ｍｉｎの条件で塗布した。次に熱
風乾燥炉中で８０℃で３０分、１３０℃で２時間加熱硬
化させた。コーティング液は次の様にして作成した。撹
拌装置を備えた反応容器中にエタノール２０６部、エタ
ノール分散コロイダルシリカ３９６部（触媒化成工業株
式会杜製“オスカル１２３２”固形分３０％）、γーグ
リシドキシプロピルトリメトキシシランの部分加水分解
物３１２部、フローコントロール剤０．２部（日本ユニ
カー（株）製“Ｌー７６０４”）及び０．０５Ｎ酢酸水
溶液８６部を加え、室温で３時間撹拌をし、コーティン
グ液とした。上記のようにして得られたレンズを真空槽
内にセットし、真空蒸着法により、基板温度５０℃で、
樹脂表面に反射防止処理を行なった。膜構成はレンズ側
から、ＳｉＯ₂ 層がλ／４、ＺｒＯ₂ 層とＳｉＯ₂ 層の
合成膜厚がλ／４、ＺｒＯ_２層がλ／４、最上層のＳｉ
Ｏ_２ 層がλ／４とした（ここでλ＝５２０ｎｍ）。次
にこのレンズをアセトンで洗浄し、十分乾燥させた後、
液温２０℃の２−（パーフルオロオクチル）エチルトリ
アミノシラン、を１ｗｔ％含む１、１、２−トリクロロ
−１、２、２−トリフルオロエタン溶液に５分間浸漬し
た。浸漬後、相対湿度５０％、温度５０℃雰囲気中に取
り出し、１０分間放置した。その後、１、１、２−トリ
クロロ−１、２、２−トリフルオロエタンにより洗浄を
行なった。洗浄後のレンズの外観、反射防止の特性に大
きな変化はみられなかった。

【００１３】得られたコート膜の評価方法は以下に示す
方法を用いた。 ヤケ性：水道水をコート膜表面にたらし乾燥させた
のち、布で残留物を拭き取った。残留物が残ればＣ、完
全に拭きとれればＡ、一部残ればＢと評価した。 接触角：接触角計（協和科学株式会社製ＣＡ−Ｄ）
を用いて液滴法（純水）により測定した。 温水試験：８０℃の温度に５時間浸漬後と同様に
ヤケ性の試験を行なった。

【００１４】〔実施例２〕ジエチレングリコールビス
（アリルカーボネート）製樹脂からなる合成樹脂製レン
ズをアセトンで洗浄し、その後、真空蒸着法により基板
温度５０℃で、樹脂表面に反射防止処理を行なった。反
射防止処理は実施例１と同様の処理を行ない、処理後イ
ソプロビルアルコールで洗浄を行なった。次にこのレン
ズを実施例１で用いた処理液で実施例１と同橡に処理し
た。洗浄後のレンズの外観、反射防止の特性に大きな変
化はみられなかった。

【００１５】〔実施例３〕実施例１で用いた反射防止層
の最上層である二酸化珪素層を、次のようにして形成し
た。電子銃を用いて、二酸化珪素を溶解しながら、アル
ゴンとビス（パーフルオロプロピルメチル）ジアミノシ
ランを９：１に混合した気体を真空度が０．０１Ｔｏｒ
ｒになるよう、真空槽内に導入し、１３．５６ＭＨ_Z の
高周波電場により、雰囲気をプラズマ化した。基板には
３００Ｖ直流電圧を印加し、高周波出力３００Ｗで反応
性イオンプレーティングを行ないながら二酸化珪素層を
形成した。

【００１６】〔実施例４〕実施例１で得られたレンズ
に、実施例１と同様に反射防止処理を行ない、その後、
ビス−（２−パーフルオロへプチル）エチル）−ブチル
−アミノシランを５ｗｔ％含む１、１、２、−トリクロ
ロ−１、２、２−トリフルオロエタン溶液に１分間浸漬
した。浸漬後、相対湿度７０％、温度６０℃雰囲気中に
取り出し、５分間放置した。放置後テトラヒドロフラン
により洗浄を行なった。洗浄後の外観は処理前とほとん
ど変化がなかった。

【００１７】〔実施例５〕実施例１と同様に反射防止膜
を形成したレンズを、引き続き真空槽内で基板温度を５
０℃に保持した状態で、アルゴンと２−（パーフルオロ
ノニル）エチル−ブチル−ジアミノシランの比を５対１
に混合した気体を、毎分２５ｃｃの速度で２分間真空槽
内に導入し表面を処理した。

【００１８】〔比較例１〕実施例１で用いた処理前の反
射防止膜付レンズを液温１５℃のジメチルジクロロシラ
ン９８％溶液に、１分間浸漬した。浸漬後、湿度６０
％、温度２５℃の雰囲気中で、１０ｃｍ／秒の速度でレ
ンズを引き上げた。引き上げ後、トリクロロエチレンに
より洗浄を行なった。

【００１９】〔比較例２〕実施例１で用いた処理前の反
射防止膜付レンズを、ジメチルジエトキシシラン５０ｇ
とイソプロピルアルコール４５０ｇ、及び０．０５Ｎ塩
酸２０ｇを混合した液温１０℃の溶液に３分間浸漬し
た。浸漬後、湿度７５％、温度５０℃の雰囲気中で１５
分間放置し、その後アセトンにより洗浄を行なった。

【００２０】〔比較例３〕実施例１で得られたシラン化
合物による処理を行う前の反射防止膜付きの合成樹脂製
レンズを比較例３とした。

【００２１】上記実施例１〜５、比較例１〜３の評価結
果をまとめて表１に示す。

【００２２】

【表１】

【００２３】

【発明の効果】無機コート膜表面に、水に対する静止接
触角が１０１度以上の撥水性を持たせたことにより、表
面エネルギーが低下し、水及び水中の不純物との親和性
が低下し、ヤケ現象を防止することができた。さらに表
面エネルギー低下に伴い、人体から分泌される汗、脂肪
又は食用油等の有機物による汚れも、ティッシュペーパ
ー等で拭くだけで簡単に取り除くことができた。また本
発明で用いる物質は、他の表面処理剤と比較して低温で
の反応性も十分で、表面処理の持続性も良いことが判っ
た。さらに、気体のシラン化合物を反応させる方法を用
いると溶剤（例えばフロン）を使用する必要がなくな
り、地球に優しい処理が可能となる。

【００２４】本発明は、合成樹脂製眼鏡レンズ、精密機
器用光学レンズ、表示パネル、時計用カバーガラス、窓
ガラス等、無機コート膜を使用した製品に広く適用でき
る方法であり、その用途はさらに拡大されるであろう。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板上方に設けられた最表層が主として二
   酸化珪素からなる単層または多層の無機コート膜に、下
   記（１）式で示されるシラン化合物あるいはそのオリゴ
   マー、もしくはポリマーを少なくとも１種以上含む組成
   物を反応あるいは吸着させ、かつ下記（１）式で示され
   るシラン化合物あるいはそのオリゴマー、もしくはポリ
   マーを少なくとも１種以上含む組成物を反応あるいは吸
   着させた前記無機コート膜の表面の水に対する静止接触
   角が１０１度以上であることを特徴とする無機コート膜
   を有する光学物品。
2. 【請求項２】前記無機コート膜は、合成樹脂製レンズ、
   またはハードコート層を有する合成樹脂製レンズ上に形
   成された反射防止膜であることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の無機コート膜を有する光学物品。
3. 【請求項３】基板上方に最表層が主として二酸化珪素か
   らなる単層または多層の無機コート膜を設ける工程、前
   記無機コート膜に、下記（１）式で示されるシラン化合
   物あるいはそのオリゴマー、もしくはポリマーを少なく
   とも１種以上含む組成物からなる膜を反応あるいは吸着
   させる工程を有し、下記（１）式で示されるシラン化合
   物あるいはそのオリゴマー、もしくはポリマーを少なく
   とも１種以上含む組成物を塗布した前記無機コート膜の
   表面の水に対する静止接触角を１０１度以上とすること
   を特徴とする無機コート膜を有する光学物品の製造方
   法。 【化１】 （ここでＲ¹ はフッ素を含む有機基、Ｒ² 、Ｒ³ 、Ｒ⁴
   は水素または有機基、ａ、ｂ、ｃはそれぞれ次の範囲で
   ある。１≦ａ≦３、０≦ｂ≦２、１≦ｃ≦３）