JPS63288413A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気ヘッドの製造方法に係り、特に、基板とに
薄膜状の磁気抵抗効果素子（以下、ＭＲ素子と略称する
）を有する磁気ヘッドの製造方法に関する。

〔従来の技術〕

この種のＭＲ素子を有する磁気抵抗効果型磁気ヘッド（
以下、ＭＲヘッドと略称する）の−例として、モールド
ケース内にＭＲ素子や電極等を形成した基板を収納固定
し、しかる後、前記ケースの前面に研摩を施すことによ
り、磁気記録媒体摺動面に前記ＭＲ素子の端面を露出さ
せたものが知られている。また、他の例として、特開昭
５８−５０６２１号公報等に記載されているように、Ｍ
Ｒ素子を磁気記録媒体摺動面に露出させずに若干後方に
位置させたＭＲヘッドも知られている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、前者のＭＲヘッドにあっては、ケースを
研摩して磁気記録媒体摺動面を形成する際に、膜厚が７
００人程度の極めて薄いＭＲ素子の一部をも同時に研摩
するため、ＭＲ素子にクラックが生じたり、はなはだし
い時にはＭＲ素子の一部が剥離するという問題があった
。さらに、ＭＲ素子が磁気記録媒体摺動面に露出する構
成となっているため、使用に際してＭＲ素子が磁気記録
媒体に摺接し、その結果、ＭＲ素子が摩耗したり磁気記
録媒体が損傷するという聞届があった。

一方、後者のＭＲヘッドにあっては、ＭＲ素子が磁気記
録媒体摺動面に露出しないため、前述の如き問題は解消
されるものの、ケース内にＭＲ素子が埋設されているた
め、研摩後の磁気記録媒体摺動面からＭＲ素子までのス
ペーシング距離を正確にコントロールすることが困難と
なり、製品によって出力電圧がばらつくという別の問題
があった。

本発明は、上述した従来技術の実情に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは、ＭＲ素子や磁気記録媒
体の損傷を防止できると共に、スペーシング距離のばら
つきをなくして歩留りの向上を図ることのできるＭＲヘ
ッドを提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明は、基板上に所定間
隔を存して平行に対向する第１および第２の磁気抵抗効
果素子と、これらの磁気抵抗効果素子にそれぞれ接続す
る一対の電極とを設けた後、前記第１の磁気抵抗効果素
子側から順次研摩を施し、前記両電極の出力信号の変化
に基いて、前記研摩を前記第１の磁気抵抗効果素子が完
全に除去された時点で停止させたことを特徴とするもの
である。

〔作用〕

例えば抵抗測定器を用いて一対の電極間の抵抗値を測定
しながら、第１の磁気抵抗効果素子側から順次研摩を行
うと、第１の磁気抵抗効果素子が完全に除去された時点
で抵抗変化率が急変するため、ここを研摩の終了位置と
することにより、磁気記録媒体摺動面の後方に第２の磁
気抵抗効果素子が位置する磁気ヘッドが得られる。ここ
で、第１の磁気抵抗効果素子と第２の磁気抵抗効果素子
は蒸着やスパッタリング等の薄膜形成技術により基板上
に形成されるものであるから、再磁気抵抗効果素子間の
距離は高精度に維持されており、従って、研摩後の磁気
記録媒体摺動面と第２の磁気抵抗効果素子間のスペーシ
ング距離は高精度に設定される。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図に基づいて説明する。

第１図は本発明の一実施例に係る磁気ヘッドの研摩前の
状態を示す拡大斜視図、第２図はその磁気ヘッドの研摩
量を制御する制御系統のブロック図、第３図は磁気ヘッ
ドの研摩量と検出抵抗値との特性図、第４図は磁気ヘッ
ドの研摩後の状態を示す拡大斜視図、第５図はその磁気
ヘッドを装着した磁気ヘッド装置の断面図である。

電気ｗＡ縁性の基板１上には、アルミニウムや金などの
薄膜からなる２本の供電用電極２．２が所定の間隔をお
いて平行に形成されている。第１図および第２図に示す
ように、この供電用電極２゜２上で研摩（Ｐ−Ｐ線）側
と、それより若干間隔をおいた位置に薄膜上の第１ＭＲ
素子３と第２ＭＲ素子４とが、それぞれ平行に設けられ
ている。

ＭＲ素子３．４の材料としてはニッケルー鉄合金などが
用いられる。

第２図に示すように前記供電用電極２，２間には直流電
源（図示せず）の他に抵抗測定器５が接続され、さらに
この抵抗測定器５にはパーソナルコンピュータ６が接続
され、またこのパーソナルコンピュータ６の出力端は研
摩装置（図示せず）に内蔵されている研摩制御部７に接
続されている。

磁気ヘッドの研摩は矢印Ｘ方向（第１図、第２図参照）
から行なわれ、最初、基板ｌと供電用電極２の先端と第
１ＭＲ素子３が徐々に研摩される。

前記抵抗測定器５によって検出される抵抗値は、第３図
に示すように研摩の進行にともない順次増大する訳であ
るが、所定の短時間毎に測定されたこれら抵抗値はＡ／
Ｄ変換されて順次パーソナルコンピュータ６に入力され
、先に入力された抵抗値と新しく入力された抵抗値とか
ら抵抗変化率が演算される。

研摩が進行して第１ＭＲ素子３が完全に除去された時点
、すなわち第１図および第２図において研摩位置が一点
鎖線Ｐ−Ｐ上に来たとき、第３図に示すように抵抗変化
率が急変するから、その時点をパーソナルコンピュータ
６で判断し、その判断に基いてパーソナルコンピュータ
６より研摩停止信号を斬摩制御部７に送信して、磁気ヘ
ッドの研摩を終了する。

このようにして磁気ヘッドの研摩を終了すると、第４図
に示すように研摩面、すなわち磁気記録媒体摺接面８か
ら第２ＭＲ素子４が微小な間隔だけ後方にずれた位置に
配置するように、磁気ヘッドを仕上げることができる。

なお、磁気記録媒体摺接面８から第２ＭＲ素子４までの
スペーシング距ＩＬＬ、換言すれば第１ＭＲ素子３と第
２ＭＲ素子４０間隔は、パターンニングによって寸法精
度よ≦保持することができる。

即ち、上記方法によって研摩作業を前記Ｐ−Ｐ線で確実
に完了させることにより、摺接面８と第２ＭＲ素子４間
のスペーシング距ｉＬが精度良く出て再生特性のバラツ
キを防止することができ、また、本体となる第２ＭＲ素
子４を誤って研摩することも防止できる。

前述のようにして研摩仕上げをした磁気ヘッドは第５図
に示すように、供電用電極２．２の端部にそれぞれリー
ド線９が接続され、その後ヘツドホルダ１０の中空部に
磁気ヘッドの磁気記録媒体摺接面８がヘッドホルダ１０
の周面と面一になるように配置し、中空部の残りの空間
に合成樹脂などの充填剤１１が注入されて、磁気ヘッド
の固定がなされる。なお、図中の１２は磁気記録媒体で
ある。

前述した一実施例にあっては、磁気記録媒体に記録され
た磁気情報を再生するための第２ＭＲ素子４が磁気記録
媒体摺動面８に露出せず、所定距離だけ後方に離れてい
るため、再生時に第２ＭＲ素子４や磁気記録媒体が損傷
するおそれが少なくなり、信鯨性を高めることができる
。また、第２ＭＲ素子４と磁気記録媒体摺動面８間のス
ペーシング距離を、供電用電極２から得られる抵抗変化
率に基づいて正確にコントロールできるため、再生特性
のバラツキを抑えることができ、製品の歩留りが向上す
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、電極から得られ
る出力信号に基いて第１の磁気抵抗効果素子の研摩量を
検出するようにしたものであるから、磁気記録媒体摺動
面から第２の磁気抵抗効果素子までのスペーシング距離
を正確にコントロールすることができ、信転性および歩
留りの高い磁気ヘッドを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

図は全て本発明の一実施例を説明するためのもので、第
１図は磁気ヘッドの研摩前の状態を示す拡大斜視図、第
２図はその磁気ヘッドの研摩量を制御する制御系統のブ
ロック図、第３図は磁気ヘッドの研摩量と検出抵抗値と
の特性図、第４図は磁気ヘッドの研摩後の状態を示す拡
大斜視図、第５図はその磁気ヘッドを装着した磁気ヘッ
ド装置の断面図である。 ｌ・・・・・・・・・基板、２・・・・・・・・・供電
用電極、３・・・・・・・・・第１ＭＲ素子、４・・・
・・・・・・第２ＭＲ素子、５・・・・・・・・・抵抗
測定器、８・・・・・・・・・磁気記録媒体摺接面、１
２・・・・・・・・・磁気記録媒体。 第１図 第２図　　　　　　　　第３図 ６　　　　　？

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 基板上に所定間隔を存して平行に対向する第１および第
   ２の磁気抵抗効果素子と、これらの磁気抵抗効果素子に
   それぞれ接続する一対の電極とを設けた後、前記第１の
   磁気抵抗効果素子側から順次研摩を施し、前記両電極の
   出力信号の変化に基いて、前記研摩を前記第１の磁気抵
   抗効果素子が完全に除去された時点で停止させたことを
   特徴とする磁気ヘッドの製造方法。