JPS6299911A - 磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドに関する
。

（従来の技術） 磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドは、例えば磁気テ
ープに記録されている情報信号の頭出し用に、磁気ヘッ
ドの全ｌ】にわたって？！ｉ！録されている信号の再生
を行なうための磁気ヘッドなどとして、従来から磁気録
画再生Ｒｆｆｌなどに使用されている。

磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドにおいて。

それの高感度化及び出力の安定化を目指す場合には、磁
気検出部を構成している磁気抵抗効果を有する磁性膜自
体の特性の向」二が必要とされることは当然のことなが
ら、磁気テープ面に熱々平行な状態に配置されるべき磁
気抵抗効果素子における磁気検出部が、磁気ヘッドにお
ける摺動面から所定の微小な距離だけ隔てている状態に
されていることが必要とされる。

それで、磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドの製作に
当っては、ａ低抵抗効果素子における磁気検出部が磁気
ヘッドの摺動面から所定の微小な距離５例えば数ミクロ
ン乃至数十ミクロンだけ隔てている状態となるようにヘ
ッドの摺動面に対して研磨加工を施こすようにしている
のであるが。

前記のような微小寸法を有する間隔は従来の機械的精度
による研磨加工を磁気ヘッドの摺動面に対して施こした
ところで常に正確に得るようにすることはできない。

そのため、従来、簿記した磁気ヘッドの摺動面に対する
前記した研磨加工の実施を容易とするために、第３図に
示されているように、磁気抵抗効果素子における磁気検
出部Ａを構成しているパターン１と、前記のパターン１
に対して所定の間隔ｄを隔てて平行に、かつ、磁気ヘッ
ドにおける摺動面側に設けられる研磨量判定部Ｂを構成
しているパターン２とが電気的に並列接続された状態の
ものを磁気抵抗効果を有している磁性物質により一体的
に構成するとともに、前記した磁気検出部Ａにおけるパ
ターン１と研ＷＩＩ量判定部Ｂのパターン２とに対して
共通に使用されろ２つの端子３゜４を設けた構成形態の
磁気抵抗効果素子を使用し。

磁気ヘッドの摺動面に対する研磨作業時に前記した２つ
の端子３，４間を通電状態にしながら研磨作業を行なう
ようにしたときに、磁気ヘッドの摺動面に対する研磨作
業の進行につれて磁気抵抗効果素子における研磨量判定
部Ｂを構成しているパターン２が次第に削られて行くの
に伴い、前記した２つの端子３，４間の電気抵抗値が第
２図中に示されているように次第に−Ｅ昇して行き、研
磨撤が第２図中のＰ点に達してパターン２が切断された
時点以後には一定の電気抵抗値になることを利用して、
磁気ヘッドにおける磁気抵抗効果素子のパターン１の前
縁の位置が、常に、磁気ヘッドの摺動面から距離ｄとな
るように磁気ヘッドの摺動面に対する研磨作業による摺
動面の研！１９量を制御することが行なわれていた。

（発明が解決しようとする問題点） ところが、第３図に示されているような構成を有する磁
気抵抗効果素子は、それの磁気検出部Ａを構成している
パターン１と、前記のパターン１に対して所定の間隔ｄ
を隔てて平行に、かつ、磁気ヘッドにおける摺動面側に
設けられる研磨−駄判定部Ｂを構成しているパターン２
とが電気的に並列接続された状態のものを磁気抵抗効果
を有している磁性物質により−・体的に構成していたの
で、次のような点が問題になった。

すなわち、磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドに才？
ける磁気テープとの摺動面に対して施こされる前記した
ような研磨作業は、研磨面に対して液体が注がれている
状態の下で行なわれるのであるが、研磨面に注がれてい
る液体には必らず何らかのイオン成分が含まれており５
それは一種の電解液になっているから、前記のように磁
気ヘッドにおける摺動面に対する研磨作業時に、磁気１
抵抗効果素子における端子３．４間に通電しながら研磨
作業を行なう際に、パターンを保護している保護層に存
在するクラックを通して前記の液体が浸入し、パターン
を構成している磁性物質層に電解腐蝕が生じることがあ
り、その腐蝕が進行した場合に磁気抵抗効果素子におけ
る磁気検出部を構成しているパターンも腐蝕されること
が起こって製品の歩留りを悪化させ、また、前記した磁
気抵抗効果素子における磁気検出部を構成しているパタ
ーンの腐蝕は、磁気ヘッドの通常の使用状態における湿
気の浸入によっても生じることが考えられることから、
磁気ヘッドの信頼性の面からも重大な問題となる。

また、第３図に示した従来の磁気抵抗効果素子における
磁気検出部と研Ｐ５１！判定部とは、２個の端子を共用
しているから、磁気検出部におけるパターン１の重置抵
抗値だけを前爪って単独に測定することはできないため
に、品質管理上でも問題があった。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、磁気テープ面に対して略々平行な状態に配置
されるべき磁気検出部を構成している磁気抵抗効果を有
する磁性物質による所定のパターンと、前記した磁気検
出部に対して所定の間隔を隔てて平行に、かつ、磁気ヘ
ッドにおける摺動面側に設けられろ研磨景判定部祭構成
している導電物質による所定のパターンとを備えて構成
されている磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドにおい
て、前記した研磨址判定部における前記した導電物質に
よる所定のパターン及びその所定のパターンに対する階
続線部ならびに外部端子と、前記した磁気検出部におけ
る磁性物質による所定のパターンに対する接続線部及び
外部端子などの各部分を、ｖ「記した研磨量判ｉ部にお
ける前記した所定のパターンに対して設けられるべき２
個の外部端子の内の１個の外部端子と、前記した磁気検
出部における磁性物質による所定のパターンに対して設
けられるべき２個の外部端子の内の１個の外部端子とが
共用されるようなパターンのものとして、それを耐腐蝕
性金属の薄膜で構成してなる磁気抵抗効果素子を用いた
磁気ヘッドを提供するものである。

（実施例） 以下、本発明の磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドの
具体的な内容を添付図面を参照しながら詳細に説明する
。第１同は本発明の磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッ
ドにおける磁気抵抗効果素子部分のパターンの平面図で
あり、この第１図においてＡは磁気検出部であり、この
磁気検出部Ａは磁気抵抗効果を有する磁性物質の薄膜に
よるパターン１で構成されている。

また、Ｂは前記した磁気検出部へにおける磁気抵抗効果
を有する磁性物質の薄膜によるパターン１に対して所定
の間隔ｄを隔てて平行に、かつ、磁気ヘッドにおける摺
動面側に設けられている研磨値判定部であり、この研磨
値判定部Ｂは前記した磁気検出部へにおける磁気抵抗効
果を有する磁性物質の薄膜によるパターン１に対して所
定の間隔ｄを隔てて平行に設けられた耐腐蝕性金属の薄
膜によるパターン５によって構成されている。

前記した研磨址判定部Ｂを構成している耐腐蝕性金属の
薄膜によるパターン５の１端部５ａは。

前記の耐腐蝕性金属の薄膜によるパターン５に連続して
一体的に構成されている接続線部６を介して、外部端子
９に接続されている。また、前記した外部端子９は、そ
れと連続して一体的に構成されている接続線部１５を介
して前記した磁気検出部へにおける磁気抵抗効果を有す
る磁性物質の簿膜によるパターン１の１端部１ａにも接
続されている。０「記した接続線部６と外部端子９の側
方部との間、及び接続線部６の側方部と接続線部１５の
側方部との間には所定の間隔部８が構成されている。

また、前記した研磨敏判定部Ｂを構成している耐腐蝕性
金属の薄膜によるパターン５の他端部５ｂは、前記の耐
腐蝕性金属の薄膜によるパターン５に連続して一体的に
構成されている接続線部７を介して、外部端子１０に接
続されている。

前記したところからも明らかなように、研磨値判定部Ｂ
を構成している耐腐蝕性金属の薄膜によるパターン５と
、接続線部６と、外部端子９と。

接続線部１５と接続線部７と、外部端子１０などは。

耐腐蝕性金属のｗＩ膜による連続した一体的なパターン
として構成されていて、外部端子９は研磨値判定部Ｂの
一方の外部端子と、磁気検出部Ａの一方の端子とに共用
されている。

また、前記した磁気検出部Ａにおける磁気抵抗効果を有
する磁性物質の薄膜によるパターン１の他端部１ｂは耐
腐蝕性金属の薄膜による接続線部１４を介して、前記し
た接続線部１４と連続した一体的なパターンとして構成
されている耐腐蝕性金属の簿膜による外部端子１１に接
続されている。

１３は前記した外部端子９と外部端子１１との間に構成
されている間隔部であり、また、１２は前記した外部端
子１１と外部端子１０との間、及び外部端子１１と接続
線部７との間、ならびに接続線部７と接続線部１４との
間に構成されている間隔部である。

第１図に示されているように、磁気検出部Ａと研磨値判
定部Ｂと接続線部６．７．１４，１５．と、外部端子９
．ｉｏ、ｘｉと、間隔部８，１２．１３とを備えて構成
されている磁気抵抗効果素子は５例えば次のようにして
製作される。

まず、例えばガラス板のような耐摩耗性を有する基板に
、磁気抵抗効果を有する磁性物質（例えばパーマロイ）
により磁気検出部Ａを構成するパターン１を、蒸着法ま
たはスパッタリング法によって所定の厚さの薄膜として
基板にに付５ｔ１形成させ、次いで、研磨蝋判定部Ｂを
構成するパターン５と、接続線部６，７，１５．と、外
部端子≦〕、１０などの各部分が連続した状態となされ
ている第１のパターンと、外部端子１１と接続線部１４
とが連続した状態となされている第２のパターンとが、
前記した第１のパターンにおける接続線部１５が、前記
した磁気検出部Ａを構成しているパターン１の１端部１
ｎに重なるように、また、前記した第２のパターンにお
ける接続線部１４が前記した磁気検出部へを構成してい
るパターン１の他端部１ｂに１になるように、かつ、前
記した磁気検出部Ａを構成しているパターン１と、前記
した第１のパターンに含まれていて研磨量判定部Ｂを構
成しているパターン２とが所定の距離ｄを隔てて平行な
状態になるようにして、前記した第Ｊ−のパターンと第
２のパターンとを、蒸着法あるいはスパッタリング法の
適用により耐腐蝕性金属１例えば、金、または白金によ
る所定の厚さの薄膜として基板ｌ−に付着形成させる。

次に、前記した外部端子９，１０．１１の部分を除く部
分に１例えば、Ｓ　ｊ、　０２あるいはシリコンナイト
ライドなどによる保護膜を形成させる。前記した保５１
ＷＩｈの形成には例えば蒸着法またはスパッタリング法
が適用できる。

前記した構成の磁気抵抗効果素子を磁気ヘッドのケース
に入れ、研磨量判定部を用いて研磨量の判定を行ないな
がら摺動面に対して研磨作業髪実施することによって磁
気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドが得られる。

（効眼） 以−ヒ、詳細に説明したところから明らかなように、本
発明の磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドは、磁気テ
ープ面に対して略々平行な状態に配置されるべき磁気検
出部を構成している磁気抵抗効果を有する磁性物質によ
る所定のパターンと、前記した磁気検出部に対して所定
の間隔を隔てて平行に、かつ１ＭＡ気ヘッドにおける摺
動面倒に設けられる研磨量判定部を構成している導電物
質による所定のパターンとを備えて構成されている磁気
抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドにおいて、前記した研
磨量判定部における前記した導電物質による所定のパタ
ーン及びその所定のパターンに対する接続線部ならびに
外部端子と、前記したｌｌ儀検出部における磁性物質に
よる所定のパターンに対する接続線部及び外部端子など
の各部分を、前記した研磨量判定部における前記した所
定のパターンに対して設けられるべき２個の外部端子の
内の１個の外部端子と、前記した磁気検出部における磁
性物質による所定のパターンに対して設けられるべき２
個の外部端子の内の１個の外部端子とが共用されるよう
な連続したパターンのものとして、それを耐腐蝕性金属
の薄膜で構成してなる磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘ
ッドであるから。

この本発明の磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドでは
、それの磁気抵抗効果素子におけろ外部端子９，１１間
の電気抵抗を測定すれば、磁気検出部Ａを構成している
パターン１の電気抵抗値を知ることができ、また、磁気
抵抗効果素子を磁気ヘッドのケースに入れた後に磁気ヘ
ッドの摺動面に対して研磨作業を行なう場合には、外部
端子１０と外部端子１１とが接続された状態の外部端子
と、外部端子９との間に通電して電気抵抗値を測定すれ
ば、！５２図を参照して既述した従来の磁気ヘッドにお
ける摺動面の研磨量の判定と同様にして磁気ヘッドにお
ける摺動面の研磨量の判定を良好に行なうことができる
。そして、前記した構成を有する本発明の磁気抵抗効果
素子を用いた磁気ヘッドの場合には、研磨面に霧出され
る研磨景判定部Ｂのパターンが耐腐蝕性金属であるため
に、それの摺動面に対する研磨作業時に研磨面に灼して
注がれる液体によっても腐蝕されるようなことがなく、
また、前記したパターンと保護膜との界面から前記の液
体が浸入したり、あるいは前記の液体が保護膜のクラッ
クなどから浸入したとしても、研磨量判定部１３のパタ
ーンペ）接続部などの構成材料が、例えば金または白金
のような耐腐蝕性金属であるために腐蝕されることがな
いから、磁気検出部Ａを構成している磁性物質によるパ
ターン１に腐蝕が及ぶこともないし、さらにまた、第１
のパターンと第２のパターンどの間には間隔部が設けら
れているから、磁気ヘッドの摺動面に対する研磨量１一
時に研磨面に注がれる液体が、前記したパターンと保護
膜との界面から前記の液体が浸入したり。

あるいは前記の液体が保護膜のクラックなどから浸入し
たり、もしくは磁気ヘッドの通常の使用時に６へ気が浸
入したとしても前記した液体や湿気は磁気検出部Δを構
成している磁性物質によるパターン１には到達し難く、
したがって、磁気検出部における磁性物質によるパター
ンが腐蝕するようなことも起こり難いのであり、本発明
によれば既述した従来の磁気抵抗効果素子を用いた磁気
ヘッドにおける問題点はすべて良好に解決することがで
きるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッド
における磁気抵抗効果素子部分のパターンの平面図、第
２図は研磨量と電気抵抗値との関係を示す図、第３図は
従来の磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドにおける砿
傑抵抗効果素子部分のパターンの平面図である。 Ａ・・・磁気検出部、Ｂ・・・研磨量判定部、■・・・
磁啜（検出部を構成する磁性物質によるパターン。 ２．５・・・研磨軟判定部のパターン、３，４，９゜ｔ
ｏ、１１・・・外部端子、６　、７．１４．１５・・接
続線部、８．１２．１３・・・間隔部、 特許出順人　　日本ビクター株式会社 ′　理　人　弁理士　今　間　孝　生、パ□　、□・ゝ
１．．・ 府１ｆ→ 亮２０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 磁気テープ面に対して略々平行な状態に配置されるべき
   磁気検出部を構成している磁気抵抗効果を有する磁性物
   質による所定のパターンと、前記した磁気検出部に対し
   て所定の間隔を隔てて平行に、かつ、磁気ヘッドにおけ
   る摺動面側に設けられる研磨量判定部を構成している導
   電物質による所定のパターンとを備えて構成されている
   磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドにおいて、前記し
   た研磨量判定部における前記した導電物質による所定の
   パターン及びその所定のパターンに対する接続線部なら
   びに外部端子と、前記した磁気検出部における磁性物質
   による所定のパターンに対する接続線部及び外部端子な
   どの各部分を、前記した研磨量判定部における前記した
   所定のパターンに対して設けられるべき２個の外部端子
   の内の１個の外部端子と、前記した磁気検出部における
   磁性物質による所定のパターンに対して設けられるべき
   ２個の外部端子の内の１個の外部端子とが共用されるよ
   うなパターンのものとして、それを耐腐蝕性金属の薄膜
   で構成してなる磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッド