JP2949982B2 - 薄膜磁気ヘッドの磁気ギャップ深さの加工方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は磁気記録再生装置に用い
られる薄膜磁気ヘッドの磁気ギャップ深さの加工方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】磁気ヘッドの記録再生特性は磁気ギャッ
プ深さの影響を強く受けるため、研削・研摩加工におい
て０〜１μｍの微小な寸法にまで、この磁気ギャップ深
さを仕上げる必要がある。

【０００３】以下に従来の薄膜磁気ヘッドの磁気ギャッ
プ深さの加工方法について説明する。

【０００４】所定の磁気ギャップ深さで研削・研摩加工
を終了させるために、複数個の薄膜磁気ヘッドを一直線
上に配列した磁気ヘッドブロック１の両端部に図４に示
すような研削・研摩量を割り出すマーカー９を形成して
おき、このマーカー９が研削・研摩加工により除去され
た端面の寸法を光学顕微鏡などを利用して測定しながら
加工を行う方法、あるいは薄膜磁気ヘッド自体または、
それと同一の磁気ギャップ深さを有するマーカーを形成
しておきそれらの断面を光学顕微鏡などを用いて磁気ギ
ャップ深さを測定しながら加工を行う方法、あるいは図
５に示すように磁気ヘッドブロック１の両端部に磁気ギ
ャップ深さモニタ素子４を形成し、これに直流電流を供
給しながら研削・研摩加工を行い、これによって磁気ギ
ャップ深さモニタ素子４の一部が除去されるにしたがっ
て磁気ギャップ深さモニタ４の抵抗値が変化することを
利用して所定の磁気ギャップ深さに加工する方法があ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の従
来の方法では、加工途中において磁気ギャップ深さを割
り出すために加工を一時中断しなければならないという
問題点、またその研削・研摩量割り出しマーカー９の寸
法は微小であるため測定に読み取り誤差が生じるという
問題点を有していた。

【０００６】さらに磁気ギャップ深さモニタ素子４に直
流電流を供給する方法は、磁気ギャップ深さモニタ素子
４と電気回路とを接続する接点において抵抗変化が生じ
たり、あるいは研削・研摩加工時に発生する熱や外気温
の変化によって磁気ギャップ深さモニタ素子４の抵抗値
が変動したり、研削・研摩加工時に砥石、または錫など
の金属からなるラップ盤が磁気ギャップ深さモニタ素子
４と接触していることから生ずるノイズの進入があり、
したがって複数個の薄膜磁気ヘッドあるいは複数個の薄
膜磁気ヘッドを一直線上に配列した磁気ヘッドブロック
１を加工する際に、各磁気ヘッドのギャップ深さを所定
の寸法に精度良く加工することは困難であるという問題
点を有していた。

【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、薄膜磁気ヘッドまたは磁気ヘッドブロックの磁気ギ
ャップ深さを高精度にかつ効率よく仕上げる薄膜磁気ヘ
ッドの磁気ギャップ深さの加工方法を提供することを目
的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の薄膜磁気ヘッドの磁気ギャップ深さの加工方
法は、研削・研摩加工中に磁気ギャップ深さモニタ素子
に高周波信号を印加しその出力信号から低域周波数を除
去する回路によってノイズを低減し、出力信号が所定の
水準に達した時点で加工を終了させる方法である。

【０００９】

【作用】この方法によって、磁気ギャップ深さモニタ素
子からの出力信号は低域周波数を除去する回路に通すこ
とで不必要なノイズが除去されることとなり、研削・研
摩加工中にこの出力信号を検出することとなる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。図１および図２に示すように、所定
の磁気ギャップ深さｄより大きい磁気ギャップ深さｍを
有する磁気ヘッドが一直線上に並んだ磁気ヘッドブロッ
ク１と、それを固定する磁気ヘッドブロック固定治具２
から構成されており、スライダー加工面３を研削・研摩
加工して磁気ギャップ深さ加工を行う。

【００１１】磁気ギャップ深さ加工は所定の磁気ギャッ
プ深さｄより大きな磁気ギャップ深さｍを有する磁気ヘ
ッドのスライダー加工面３を、研削・研摩加工により寸
法ｌを除去することで、磁気ヘッドに満足できる磁気特
性を持たせる加工である。

【００１２】磁気ヘッドブロック１の両端部には、磁気
ギャップ深さ加工中に磁気ヘッドと同時に、その一部が
研削・研摩加工により除去される磁気ギャップ深さモニ
タ素子４を形成している。図中の１０は磁気ギャップ深
さモニタ素子４に高周波信号を印加するリード線、１
１，１２はコア、１３はコイル、１４，１５は絶縁層、
１６は保護層である。

【００１３】図３に示すように、検出装置８は磁気ギャ
ップ深さモニタ素子４と、商用周波数の数倍ないし数十
倍の高周波信号を発生させる交流発振器５と、その高周
波信号を磁気ギャップ深さモニタ素子４に印加し、そこ
からの高周波の出力信号のみを検出するノイズ除去回路
６と、この出力信号によって磁気ギャップ深さ加工の終
了を検知する信号検出器７で構成されている。

【００１４】以下検出装置８と、研削・研摩加工機によ
る加工方法について説明する。交流発信器５からの高周
波信号を磁気ギャップ深さモニタ素子４に印加する。磁
気ギャップ深さモニタ素子４は、磁気ギャップ深さ加工
で行われる研削・研摩加工によりその一部が除去される
ことから、電気抵抗値が上昇し、入力信号に対して出力
信号のレベルが変化する。また同時に、磁気ギャップ深
さモニタ素子４は、砥石あるいは錫などの金属からなる
ラップ盤と常時接触しているために、磁気ギャップ深さ
モニタ素子４からの出力信号には低域周波数のノイズが
混入している。そこで、その出力信号に対して低域周波
数の信号を除去し、有用な高周波信号のみを検出するノ
イズ除去回路６を用いている。さらに、この高周波信号
の出力を検知するホイートストンブリッジで回路を構成
した信号検出器７により、磁気ヘッドの磁気ギャップ深
さ加工中に出力信号の振幅が変化し、所定の水準にまで
振幅が低下した時点で、所定の磁気ギャップ深さである
加工終点を検出することができる。

【００１５】これにより加工を終了させれば、所定の磁
気ギャップ深さを有する磁気ヘッドを目標寸法の±０.
５μｍにまでも高精度に、かつ歩留り良く製造すること
ができる。

【００１６】また、磁気ディスク深さ加工中に磁気ギャ
ップ深さを確認するための加工の一時中断も必要としな
いため加工能力が向上し、工数が削減できる。

【００１７】

【発明の効果】以上の実施例の説明からも明らかなよう
に、本発明は、研削・研摩加工中に磁気ギャップ深さモ
ニタ素子に高周波信号を印加し、その出力信号から低域
周波数を除去する回路によってノイズを低減し、出力信
号が所定の水準に達した時点で加工を終了させる方法に
より、薄膜磁気ヘッドまたは磁気ヘッドブロックの磁気
ギャップ深さを高精度にかつ効率良く仕上げる優れた薄
膜磁気ヘッドの磁気ギャップ深さ加工方法を実現できる
ものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の薄膜磁気ヘッドの磁気ギャ
ップ深さの加工方法の固定治具に磁気ヘッドブロックを
固定した状態を示す外観斜視図

【図２】薄膜磁気ヘッドの磁気ギャップを構成する要部
の断面略図

【図３】本発明の一実施例の薄膜磁気ヘッドの磁気ギャ
ップ深さの加工方法の回路図

【図４】従来の薄膜磁気ヘッドの磁気ギャップ深さの加
工方法の磁気ヘッドブロックの要部を拡大して示した外
観斜視図

【図５】従来の別の薄膜磁気ヘッドの磁気ギャップ深さ
の加工方法の磁気ヘッドブロックの要部を拡大して示し
た外観斜視図

【符号の説明】

１ 磁気ヘッドブロック ４ 磁気ギャップ深さモニタ素子 ５ 交流発振器 ８ 検出装置

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数個の薄膜磁気ヘッドあるいは複数個
   の薄膜磁気ヘッドを一直線上に配列した磁気ヘッドブロ
   ックを、所定の磁気ギャップ深さとなるように研削・研
   摩する加工方法であって、前記薄膜磁気ヘッドの近傍に
   あらかじめ形成した磁気ギャップ深さモニタ素子に高周
   波信号を印加し、その出力信号から低域周波数を除去す
   る回路によってノイズを低減し、前記出力信号が所定の
   水準に達した時点で加工を終了させる薄膜磁気ヘッドの
   磁気ギャップ深さの加工方法。