JPS63280209A

JPS63280209A - 光学式顕微鏡

Info

Publication number: JPS63280209A
Application number: JP62116520A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Aoyama; 勉青山
Original assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date: 1987-05-12
Filing date: 1987-05-12
Publication date: 1988-11-17

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野〕本発明は光学式顕微鏡に係り、検査対象物を安全かつ迅
速に観察検査しつつその欠陥部分を除去できるようにし
たものである。

〔従来の技術〕

従来の光学式顕微鏡は、第９図に示されたような構造で
あった。

第９図において、支柱３に図で上下方向に移動可能とさ
れた顕微鏡の本体５に直接観察光学系３１（ダハプリズ
ム３２、直角プリズム３３、接眼レンズ３４）と、テレ
ビカメラ３５等から形成された間接観察光学系と、直接
観察光学系３１および間接観察光学系（３５）に共通の
共通光学系２１（基本光軸Ｐ１上に配設された対物レン
ズ２２、チューブレンズ２３、ビームスプリッタ２４）
と、照明光学系１０（光源１７、ミラー１３、ハーフミ
ラ−１５）とを一体的に設は光学式顕微鏡が構成されて
いた。なお、Ｐ、はビームスプリッタ２４、ダハプリズ
ム３２、直角プリズム３３の協働によって基本光軸Ｐ、
から一定の角度だけ傾斜された直接観察光の光軸であり
、またＰ、は照明光の光軸である。従って、選択された
対物レンズ２２の倍率に基づいた検査対象物（載物台４
に載置されている）の拡大像を直接観察系３１で目視観
察することができるとともに間接観察光学系（３５）で
も目視観察できかつ写真等により拡大像を記憶すること
ができた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで上記光学式顕微鏡では観察光学系（共通光学系
２１、直接観察光学系３１、間接観察光学系（３５））
によって直接的、間接的に目視観察ができるものの検査
を含む生産工程、全体の観点からは機能的な不備が指摘
されていた。すなわち、例えば第８図に示したＩＣ（検
査対象物）のパターン検査をするときにはその欠陥部分
ＮＧを発見できても、その欠陥を除去するためには他の
手段により改めて除去（欠陥部分ＮＧを切断する）作業
をしなければならないという問題があった。これかため
間接観察光学系を形成するテレビカメラ３５等に代えて
加工用レーザビームを発するレーザ発振器を取り付けて
観察（検査）した後、ただちに上記除去作業を試行して
みたが必ずしも十分な実用的価値を得ることができなか
った。

すなわち、基本光軸Ｐ１上でレーザビームを入射する方
式では共通光学系２１の構成要素（ビームスプリッタ等
）による減衰性からパワーロスが大きく不経済であると
ともに所期の除去作業が達成できなかった。また、テレ
ビカメラ３５に代えてレーザ発振器を取り付けるので間
接観察光学系による目視確認不能状態で除去作業をしな
ければならないから相当の熟練を必要とし作業能率が低
いばかりか却って正常パターンを損傷させてしまうよう
な虞れもあった。つまり直接観察光学系３１（接眼レン
ズ３３）によって目視確認することは検査対象物から反
射された有害なレーザ光が直接的に入射され、人体（眼
）を損傷する虞れがあるので安全上、禁止されているの
で盲状態で除去作業をしなければなら、なかったのであ
る、さらに、観察光学系と加工用レーザ光学系との焦点
位置を同一とし゛て構成することは技術的、経済的に至
難であることから直接観察光学系３１で欠陥部分ＮＧを
発見後レーザ発振器を活かしてその除去作業を行い再び
レーザ発振器を停止して検査（観察）するためには、本
体５を繰り返し上下動して各焦点位置を調整しなければ
ならず取扱が煩雑でこの点からも作業能率が悪かった。

しかして、本発明はかかる事情に基づき創成したもので
その目的とするところは迅速かつ安全に正確な検査と加
工とを達成することのできる光学式顕微鏡を提供するこ
とにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、上記共通光学系の一部を利用して加工用レー
ザビームを検査対象物に照射できる加工光学系を巧みに
組み込んで共通光学系によるパワーロスを生じさせずか
つ直接観察光学系と加工光学系とを迅速に切り替えより
安全に直接的目視確認をしながら検査と加工とができる
ように構成したものである。

これかため基本光軸上に配設された対物レンズと、基本
光軸上または基本光軸に対して傾斜する直接観察光の光
軸上に配設された接眼レンズとを含み形成された光学式
顕微鏡において、レーザ発振器を含みこのレーザ発振器
からのレーザビームを前記対物レンズを通して検査対象
物に照射できるよう形°成された加工光学系を設けると
ともに前記直接観察光の光軸上に配設された可視光シャ
ッタと前記レーザビームの光軸上に配設されたレーザ光
シャッタとを含み前記直接観察光およびレーザビームの
いずれか一方を選択的に遮断することができるように形
成されたシャッタ装置を設けた構成とし前記目的を達成
するのである。

〔作用〕

以上の構成による本発明においては、レーザ発振器から
発せられた加工用のレーザビームと接眼レンズへの直接
観察光とのいずれか一方をシャッタ装置で選択的に遮断
することができる。従って、接眼レンズに有害なレーザ
光が入射されることがなく安全に目視確認できるととも
に迅速に加工を行うことができる。

〔実施例〕

本発明に係る光学式顕微鏡の一実施例を第１図〜第７図
を参照して詳細に説明する。

この実施例の光学式顕微鏡は、大別して機構部１、照明
光学系１０、観察光学系２０、加工光学系４０、シャッ
タ装置５０および焦点位置検出手段９０とから構成され
ている。

まず、機構部１は主に第２図、第３図に示された如く、
顕微鏡の本体５を可動台６を介し基台２に立設された支
柱３に取り付けるとともに調整ツマミ（粗動用）７と微
調整ツマミ（微動用）８を操作することによって図で上
下方向に本体５を移動することができるように構成され
ている。なお、４は検査対象物を載置するための載物台
である。

また、本体５の上方部分５°は三眼鏡筒を形成するもの
とされている。従って、ツマミ７．８を操作することに
よって選択された対物レンズ２２に応じた焦点位置を調
整することができる。

次に、観察光学系２０は、第１図に示した如く共通光学
系２１と直接観察光学系３１と間接観察光学系とから構
成されており、この実施例では基本光軸Ｐ、上に配列さ
れた対物レンズ２２、結像用のチューブレンズ２３およ
び可視光を直角２方向に５０％（透過）、５０％（反射
）に分光する第１のビームスプリッタ２４とから共通光
学系２１が形成されている。対物レンズ２２は本体５に
回転可能に支持されたレボルバ２５に取り付けられ、拡
大倍率の異なる複数のレンズからなる。レボルバ２５を
回動させることによって選択された１つの対物レンズ２
２を基本光軸Ｐ、上に位置付けすることができる。なお
、各対物レンズは無限遠補正型とされている。また、直
接観察光学系３１は、ダハプリズム３２と直角プリズム
３３とこの接眼レンズ３４　（３４）と図示しない双眼
用プリズム等から形成され、ビームスプリッタ２４で分
光された一方光を基本光軸Ｐ１に傾斜させた直接観察用
の光軸Ｐ８を生成するとともに双眼で検査対象物の拡大
像を直接的に目視観察するものである。一方、間接観察
光学系はビームスプリッタ２４で分光された他方光（基
本光軸Ｐ１と光軸が同じとされている）を利用して検査
対象物の拡大像を映し出したり、写真等に記憶させるも
のでこの実施例では本体５（三眼鏡筒５°）に着脱自在
とされたテレビカメラ３５から形成されている。

また、照明光学系１０は、光軸Ｐ、上に配設された先端
側が光源（図示省略）に接続されている光ファイバー１
１と照明レンズ１２とミラー１３とからなり後記加工光
学系４０を構成する第２のビームスプリッタ４３を兼用
して基本光軸Ｐ、上の対物レンズ２２を通し載物台４に
載置された検査対象物を光照射するものである。

また、加工光学系４０は、加工用レーザビームを基本光
軸Ｐ、と異なる方向から入射するとともに共通光学系２
１の対物レンズ２２を通して検査対象物を照射するもの
で、本体５に着脱自在に設けられたレーザ発振器４１と
、ミラー４２と、共通光学系２１のビームスプリッタ２
４と対物レンズ２２との間の基本光軸Ｐ１上に配設され
た第２のビームスプリッタ４３と、光軸Ｐ、上に配設さ
れた第３のビームスプリッタ４５とから構成されている
。従って、レーザ発振器４１から発せられたレーザビー
ム（光軸Ｐａ）は照明光学系１ｏのミラー１３を兼用し
て第２のビームスプリッタ４３で基本光軸Ｐ１に方向変
換される。すなわち、加工光学系４０と照明光学系１０
とは相互に構成要素を共通利用して簡単な構造となるよ
うに工夫されている。ここに、レーザ発振器４１はＹＡ
Ｇレーザ型とされＩＣ（検査対象物）のパターンを切断
するに好適なレーザビームたる近赤外光（波長λ−１０
６０ｎ＠〜１．ｕｍ）を発振するものである。

しかして、この実施例では、ミラー４２、第３のビーム
スプリッタ４５、ミラー１３および第２のビームスプリ
ッタ４３は上記近赤外光を略１００％反射するものと形
成されるとともに第３のビームスプリッタ４５は照明光
学系１０の光源（図示省略）から発せられた可視光を光
軸Ｐ、力方向１００％透過できるものと形成されている
。ミラー１３はその可゛視光を１００％反射するものと
されている。また、第２のスプリッタ４３は基本光軸Ｐ
１方向に可視光を７０％透過するとともに直角方向に３
０％だけ反射できる特性とされている。

従って、照明光学系１０の可視光と加工光学系４０の加
工用レーザビームとを対物レンズ２２を介して基本光軸
Ｐ、上で検査対象物に同時に照明することができるから
、間接観察光学系を形成するテレビカメラ３５でその拡
大像を観察（目視確認）しつつ検査対象物（ＩＣ）の欠
陥部分ＮＧ（第８図参照）を切断除去することができる
。また、レーザビームを強力とした場合、第２のビーム
スプリッタ４３を介し第１図で基本光軸Ｐ１の上方側に
抜けるレーザビームは、その大部分が第２のビームスプ
リッタ４３で反射され減衰され、さらにチューブレンズ
２３、ビームスプリッタ２４においても減衰されるので
両観察光学系（接眼レンズ、テレビカメラ）に不都合を
生じさせる虞れはほとんどない。

ところで、間接観察光学系とともにまたは単独で直接観
察光学系３１により確認しつつ前記除去作業ができれば
検査と加工とを一段と迅速かつ正確に行うことができる
。一方、安全上は直接観察光学系３１（接眼レンズ３４
）へのレーザ光の入射を完全に阻止すべきである。ここ
に本発明ではシャッタ装置５０が設けられている。

シャッタ装置５０は、光軸Ｐ２の可視光である直接観察
光および光軸Ｐ４のレーザービームのいずれか一方を選
択的に遮断するものであり、除去作業中には直接観察光
学系３１を゛形成する接眼レンズ３４に漏洩レーザビー
ムが入射されないようするとともに除去作業中において
も一時的にレーザビームを検査対象物に照射させずに直
接観察光学系３１で目視確認しその状態を把握できるよ
うするものである。つまり、安全の完璧を図りつつ一層
の高精度と迅速性を達成するものである。これがため、
シャッタ装置５０は機械式とされ、本体５内に固定され
た支持台５１とこの支持台５１に装着され本体５１の外
側に設けられた操作レバー５８とリンク機構６１とこの
リンク機構６１に一体的に設けられたレーザ光シャッタ
７１および可視光シャッタ８１とから構成されている。

これらを第４図〜第７図を用いて詳述する。支持台５１
は下端側が本体５に固定されるものとされ、第４図で左
右方向に延びる水平長溝５２が設けられるとともにその
上方左側には右方向に傾斜して立ち上がる傾斜長溝５３
が設けられて、かつ回転軸５５をブツシュ５６を介し装
着するための穴５４が設けられている０回転軸５５の一
端側にはハンドル５８が固定され他端側にはリンク機構
６１を固定するフランジ５７が緩締自在に設けられてい
る。

このリンク機構６１は略り字型を形成する溝６３付の短
寸リンクパー６２と、溝６６付の長寸リンクパー６５と
、短寸リンクパー６２に連結され水平長溝５２に沿って
移動可能な水平移動板７２と長寸リンクパー６５に連結
された傾斜長溝５３に沿って移動可能な傾斜移動板８２
とから形成されている。そして、短寸リンクパー６２（
長寸リンクパー６５）と水平移動板７２（傾斜移動板８
２）とは、第７図に示したように中間部に大径部７４Ｂ
（８４Ｂ）が設けられ一端側が移動板７２（８２）に一
体的にカシメられるとともに他端側がリンクパー６２　
（６５）の溝６３　（６６）にその長手方向に摺動可能
に嵌挿された低摩擦の゛弗素系樹脂製ブツシュ７５Ｂ（
８５Ｂ）に貫通された軸７３Ｂ　（８３Ｂ）で連結され
ている。大径部７４Ｂ（８４Ｂ）とブツシュ７５Ｂ（８
５Ｂ）との間には球状黒鉛製のスラストワッシャ７７Ｂ
（８７Ｂ）が介装され、ブツシュ７５Ｂ（８５Ｂ）はス
ナップリング７６Ｂ（８６Ｂ）に抜止めされている。ま
た、水平移動板７２（傾斜移動板８２）と支持板５１の
水平長溝５２（傾斜長溝５３）とは第６図に示したよう
に上記場合と同様に中間部に大径部７４Ａ（８４Ａ）が
設けられ一端側が移動板？２（８２）に加締められると
ともに他端側が長溝５２　（５３）にその長手方向に摺
動可能に嵌挿された弗素系樹脂製ブツシュ７５Ａ（８５
Ａ）に貫通された軸７３Ａ（８３Ａ）で係合されている
。なお、７７Ａ　（８７Ａ）はスラストワッシャ、７６
Ａ（８６Ａ）は抜止めのスナップリングである。従って
、操作ハンドル５８によって回転軸５５を第４図で反時
計方向に回転させれば、水平移動板７２は短寸リンクパ
ー６２によって水平長溝５２の右方向へ移動し、傾斜移
動板８２は長寸リンクバー６５によって傾斜長溝５３の
下側方向に移動される。かくして、水平移動板７２に固
定された保護フィルタ７８付のレーザ光シャッタ７１が
第１図で２点鎖線で示すようにレーザビームの光軸Ｐ４
を遮断するときには傾斜移動板８２に固定された可視光
シャッタ８１は２点鎖線で示すように接眼レンズ３４に
至る可視光の光軸Ｐ８から離脱し完全に直接観察するこ
とができ＼る。

反対に可視光シャッタ８１が光軸Ｐ、を遮断するときに
はレーザ光シャッタ７１は光軸Ｐ４から離脱しレーザビ
ームを検査対象物に照射することができるように形成さ
れている。

次に、焦点位置検出手段９０は、第２図に示したように
支柱３に固定されたケース９１とこのケース９１に上下
方向変位可能とされその先端側に本体５と係合する測定
子９４が設けられたスピンドル９２と、ケース９１に内
蔵されたエンコーダによってスピンドル９２の移動変位
量を検出して支柱３に対する顕微鏡の本体５の上下移動
量をデジタル表示するインジケータ９３とから構成され
るとともにスピンドル９２の位置にかかわらずインジケ
ータ９２の表示数値をスイッチＳＷで強制的に零（リセ
ット）とし、また表示数値を維持（ホールド）できるよ
うに形成されている。従って、観察光学系２０の焦点位
置でインジケータ９３をリセットし、加工光学系４０の
焦点位置における表示数値を読み取れば両光学系２０．
４０の焦点位置の差が定量的に読み取れるから、観察（
検査）と除去（加工）作業とを迅速かつ高精度に行うこ
とを達成でき取扱を容易とすることができる。

このような構成の本実施例においては次のように作用す
る。

（準備）載物台４上に検査対象物を取り付けるとともにレボルバ
２５を回転させて所定倍率の対物レンズ２２を基本光軸
Ｐ１に合わせ、調整ツマミ７を操作して顕微鏡の本体５
を上下動させおよびその位置付けを行う、そしてシャッ
タ装置５ｏの操作レバー５８によってレーザ光シャッタ
７１が光軸Ｐ４を遮断し、可視光シャッタ８１が光軸Ｐ
、から離隔（第１図で２点鎖線で示した位置とする）さ
せておく。

（観察・検査）光ファイバー１１の先端側に設けられた光源のスイッチ
をＯＮして照明光学系ｌＯを起動し、検査対象物に可視
光を照射する。

直接観察光学系３１を形成する双眼の接眼レンズ３３（
３３）を覗きつつ微動ツマミ８を操作して観察系の焦点
位置合わせを行う、焦点位置を確認したところで焦点位
置検出手段９ｏのインジケータ９３の表示数値を零（リ
セット）する、続いて、載物台４を公知の方法によって
基台２上で平面２軸方向に移動させながら検査対象物（
ＩＣ）の検査（観察）すべき部位を基本光軸Ｐ＋　に合
わせる。このようにして、直接観察光学系３１で目視確
認する。間接観察光学系を形成するテレビカメラ３５で
も目視確認することができる。

（除去加工）第８図に示したように欠陥部分ＮＧを発見したときには
、シャッタ装置５０の操作レバー５８を反対方向に倒し
、第４図で実線で示したように可視光シャッタ８１が光
軸Ｐ８を遮断し、レーザ光シャッタ７１が光軸Ｐ、から
離隔させる。リンク機構６１は可視光シャッタ８１とレ
ーザ光シャッタ７１とを当該光軸の一方を遮断し他方を
開放するように二者択一的に作用する。

ここに、レーザ発振器４１を励起し、加工用のレーザビ
ームを発生させる。レーザビームはミラー４２、第３の
ビームスプリッタ−４５、ミラー１３、第２のビームス
プリッタ４３および対物レンズ２２を通し検査対象物上
に照射される。この状態は間接観察光学系を形成するテ
レビカメラ３５で目視観察することができる。従って、
微動ツマミ８を操作して上記欠陥部分ＮＧにレーザビー
ムの焦点位置を合わせることができる。焦点位置合わせ
完了時１点のインジケータ９３の表示数値を読み取る。

ここに、先の観察光学系２０（３１゜（３５））の焦点
位置とレーザビームによる加工光学系４０の焦点位置の
差異を知ることができる。

ここにおいて、レーザ発振器４１の出力を上げて欠陥部
分ＮＧを切断することができる。なお、加工光学系４０
の焦点位置合わせ作業は前記観察検査工程中の観察系の
焦点位置合わせ作業と同時的に行っておいてもよい、も
とより加工光学系４０の焦点位置合わせは、検査対象物
の欠陥部分ＮＧの幅等に応じたレーザビーム径とできる
ように調整する場合も含むものである。

従って、間接観察光学系で目視確認しつつ欠陥部分ＮＧ
の切断（除去）作業をすることができるとともに切断作
業の途中に操作レバー５８を操作してレーザビームを一
時的に遮断して直接観察系３１でも直接的にｉ１認する
ことができる。レーザ光が接眼レンズ３４に入射される
ことがないので完璧な安全が保障される。

引き続き、載物台４を移動させつつ順次パターンを観察
（検査）することができる０次の欠陥部分ＮＧを発見し
たときには、先に読み取ったインジケータ９３の表示数
値になるよう微動つまみ８を操作すれば観察光学系２０
から加工光学系４０に迅速な切り替えができる。一方、
表示数値が零とするように操作すれば加工光学系４０か
ら観察光学系２０に迅速に切り替えすることができる。

しかして、この実施例によれば、観察光学系２０の対物
レンズのみを通して加工用レーザビームを検査対象物に
照射することのできる加工光学系４０が設けられている
から観察光学系２０のビームスプリッタ２４等による減
衰がなくパワー効率が高く経済的な加工（欠陥部分の切
断）を達成することができる。

特に、観察光学系２０（直接観察光学系３１）と加工光
学系４０とには、接眼レンズ３４への観察光（光軸ｐｇ
　）とレーザ発振器４１からのレーザビーム（光軸Ｐ４
）とのいずれか一方を選択的に遮断するシャッタ装置５
０が設けられているいので直接観察と加工とを迅速かつ
繰り返して行なえるとともに接眼レンズ３４に有害なレ
ーザ光が入射されることを完全に阻止することができる
ので安全作業を保障することができる。このことは第８
図に示したような欠陥部分を過不足なく除去できるので
高品質の製品を生産することに直結する。また、シャッ
タ装置５０はリンク機構６１による機械的インターロッ
ク方式とされているので確実なシャッタ切り替えが保障
され、かつ操作レバー５８を本体５の外側から起倒させ
るだけでよいから取扱簡単で迅速な切り替えをすること
ができる。

また、加工光学系４０は観察光学系２０（間接観察光学
系）に関与しないから、間接観察光学系を形成するテレ
ビカメラ３５等を設けることができるのでその加工状態
を目視しながら迅速かつ正確な欠陥部分ＮＧの除去を能
率よく行うことができる。

また、照明光学系１０と加工光学系４０とはミラー１３
、ビームスプリッタ４３等を兼用する系として形成され
ているので構造が簡単でコンパクトな光学式顕微鏡を提
供することができる。

さらにまた、観察光学系２０と加工光学系４０との焦点
位置検出手段９０が設けられているので、検査と加工と
を迅速かつ正確に行うことができる。

また、検査対象物上での加工用レーザビーム径をその欠
陥部分の大きさに応じたものに調整することが容易とな
る。

なお、以上の実施例においては、照明光学系１０と加工
光学系４０との構成要素（ミラー１３、第２のビームス
プリッタ４３等）を共用するものとしたが、要は加工光
学系４０は観察光学系（共通光学系２１）の対物レンズ
２２とビームスプリッタ２４との間の基本軸線Ｐ＋　か
ら加工用レーザビームを照射できるよう形成すればよい
から両光学系１０．４０をそれぞれ独立系に形成しても
よい０間接観察光学系もテレビカメラ３５に限らず各種
映像手段とから形成してもよい。

また、加工光学系４０は、検査対象物の、欠陥部分を切
断するに好適な波長（λ＝１０６Ｏｒ＋ｍ−１μｍ）を
発するＹＡＧレーザ型のレーザ発振器４１を含み形成し
、たが、欠陥部分を溶着するに好適なものとしても本発
明ｔよ通用される。ここに、波長や発振器の里程は限定
されない。

さらに、シャッタ装置５０はリンク機構６１による機械
的インターロック方式としたが、電気的インターロック
方式として形成するこ七も可能である。ただし、機械的
インターロック方式とすれば、保安上の確実性が完璧と
なる利点を有する。

さらにまた、焦点位置検出手段９０はエンコーダ内蔵の
デジタル表示方式のインジケータ９２を採用するものと
したがその構造、取付位置は限定されない、また、調整
ツマミ７、微動ツマミ８と連動させ一旦読み取って記憶
した数値によって自動的に位置合わせ制御させることも
可能である。

〔発明の効果〕

以上の説明から明らかの通り、対物レンズのみを通して
レーザビームを照射する加工光学系が設けられているの
でパワー損失がなく経済的であるとともに直接観察光学
系で目視確認しながら安全かつ迅速に欠陥部分の除去が
できるという優れた効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明←係る光学式顕微鏡の一実施例を示す光
学系の全体構成図、第２図は同じく外観を示す正面図、
第３図は同じく外観を示す右側面図、第４図〜第７図は
同じくシャッタ装置を示し、第４図は側面図、第５図は
平面図、第６図および第７図は移動板とリンクバーとの
連結を示す要部断面図であり、第６図は第４図の矢視線
Ｖｌ−Ｖｌ、第７図は第４図の矢視線■−■に基づく、
第８図は検査対象物をＩＣとした場合のパターンと欠陥
部分を示す平面図および第９図は従来の光学式顕微鏡の
光学系の全体構成図である。１０・・・照明光学系、２０・・・観察光学系、２１・
・・共通光学系、２２・・・対物レンズ、２４・・・ビ
ームスプリッタ、３１・・・直接観察光学系、３５・・
・間接観察光学系を形成するテレビカメラ、４０・・・
加工光学系、４１・・・レーザ発振器、４３・・・第２
のビームスブリフタ、５０・・・シャッタ装置、９０・
・・焦点位置検出手段。代理人　弁理士　長島　脱失（ほか１名）第１図第２図第３図第６図　　　　　第７図第８図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基本光軸上に配設された対物レンズと、基本光軸
上または基本光軸に対して傾斜する直接観察光の光軸上
に配設された接眼レンズとを含み形成された光学式顕微
鏡において、レーザ発振器を含みこのレーザ発振器からのレーザビー
ムを前記対物レンズを通して検査対象物に照射できるよ
う形成された加工光学系を設けるとともに前記直接観察
光の光軸上に配設された可視光シャッタと前記レーザビ
ームの光軸上に配設されたレーザ光シャッタとを含み前
記直接観察光およびレーザビームのいずれか一方を選択
的に遮断することができるように形成されたシャッタ装
置を備えたことを特徴とする光学式顕微鏡。
（２）前記特許請求の範囲第１項において、前記シャッ
タ装置が前記可視光シャッタとレーザ光シャッタとを同
時に移動させるリンク機構から形成されていることを特
徴とした光学式顕微鏡。