JPS63277007A - 洗浄用ブラシ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は回転することによって被洗浄物を洗浄するブラ
シに関するものである。

〔従来の技術〕

半導体ウェハにパターンを焼付ける際に使用されるフォ
トマスク（以下マスクという）は回転するブラシによっ
て洗浄されている。これを図によって説明すると、第３
図はマスクを洗浄する洗浄装置を示す概略構成図、第４
図は洗浄部の一部を断面して示す斜視図、第５図はブラ
シを外し次状態を示す斜視図である。これらの図におい
て、符号１はブラシ２によってマスク３を洗浄する洗浄
部、４はマスク３が保管される保管部、５はイソプロピ
ルアルコール６が溜められ、下部に取付けられたヒータ
ーＴがイソプロピルアルコール６を加熱し、その蒸気に
よってマスク３を乾燥させる乾燥部、８は前記イソプロ
ピルアルコール６の蒸気が乾燥部５内から外部に漏洩す
るのを防ぐ冷却コイルで、これら洗浄部１、保管部４お
よび乾燥部５によってマスク３を洗浄する洗浄装置が構
成されている。９は前記洗浄部１のケーシングを形成す
る箱体で、この箱体９は上方に開口部を有し、互いに対
向する側壁に取付けられ次軸受１０．１０によってブラ
シ取付軸１１を回転自在に軸支している。また、前記ブ
ラシ取付軸１１はその一端にジヨイント１２を介してモ
ーター１３が連結されている０１４は合成樹脂によって
形成されたブラシ２が外周部に植設されたブラシ軸で、
このブラシ軸１４はその細心部にブラシ取付は用孔１４
ａを有し、このブラシ取付は用孔１４藤内に前記ブラシ
取付軸１１が挿入されることによって箱体９内に保持さ
れている０１５はブラシ取付軸１１に設けられたねじ孔
、１６はブラシ軸１４に設けられた透孔で、この透孔１
６にボルト（図示せず）を挿通し、ねじ孔１５に螺着さ
せることによシプラシ取付軸１１とブラシ軸１４が結合
される。１７はマスクを洗浄する際に使用する洗剤が噴
出する洗剤ノズル、１８はマスクの表面を洗い流す純水
が噴出する純水ノズルである。

この洗浄装置によってマスク３を洗浄するには、先ず、
マスク３を保管部４から搬送装置（図示せず）によって
洗浄装置に搬送し、ブラシ２，２の下方に位置決めする
。次いで、洗剤および純水が洗剤ノズル１７および純水
ノズル１８から噴出し、ブラシ２か第３図中に示す矢印
の方向に回転する。

マスク３はこの回転するブラシ２，２０間を通シ上方へ
搬送されることによってその表面が洗浄される。さらに
マスク３は乾燥部５に搬送され、乾燥した時点で再び保
管部４へ搬送される。このようにしてマスク３はブラシ
２によって洗浄されることになる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかるに、このように構成された従来の洗浄用ブラシに
おいては、マスクを一定枚数以上洗浄することによって
ブラシの先端部が摩耗し九り、またブラシが著しく汚染
され念マスクを洗浄することによってブラシに汚れが残
存し、次に洗浄するマスクを逆に汚染してしまう程汚染
され次場合にブラシを交換するには、ブラシ取付軸から
ブラシ軸を抜き取る几めにその都度軸受、モーター等か
らブラシ取付軸を外さなければならず、このため非常に
手間が掛かつていた。

〔問題点を解決する九めの手段〕

本発明に係る洗浄用ブラシは、ブラシ軸を軸線に沿って
分割形成し、５駆動軸に挟着させたものである。

〔作　用〕

駆動軸に対してブラシ軸を独自に着脱でき、駆動軸を何
ら操作することなくしてブラシを交換することかできる
。

〔実施例〕

以下、本発明を図に示す実施例により詳細に説明する。

第１図は本発明に係る洗浄用ブラシを一部を断面して示
す斜視図、第２図は駆動軸からブラシ軸を取外した状態
を示す側断面図である。これらの図において、符号２０
はモーター（図示せず）に連結され、かつ洗浄装置（図
示せず）に回転自在に軸支され次組動軸たるブラシ取付
軸、２１はブラシ軸で、このブラシ軸２１は中空軸を軸
線に沿って二分割したような形状に形成されておシ、前
記ブラシ取付軸２０が嵌合する凹溝２２を有し、かつ外
周部に合成樹脂によって形成されたブラシ２３が植設さ
れている。２４は前記ブラシ取付軸２０に設けられたね
じ孔、２５はブラシ軸２１に設けられた透孔である。す
なわち、前記断面略々半円状に形成されたブラシ軸２１
およびブラシ２３を、凹溝２２がブラシ取付軸２０に嵌
合するようにブラシ取付軸２０に挾持させ、透孔２５に
ボルト（図示せず）を挿通し、ねじ孔２４に螺着させる
ことによってブラシ取付軸２０にブラシ軸２１およびブ
ラシ２３を取付けｂことができる０し九がって、ボルト
（図示せず）を外すだけでブラシ取付軸２０からブラシ
軸２１を独自に取外すことができるので、ブラシ取付軸
２０を洗浄装置（図示せず）およびモーター（図示せず
）等から取外さなくともブラシ２３を交換することがで
きる。

なお、上記実施例におけるブラシ軸２１は中空軸を軸線
に沿って二分割したような形状に形成され次ものを示し
たが、このような限定にとられれることなく、二分割以
上にしてもよい。また、ブラシ取付軸２０にブラシ軸２
１を取付けるにあたシ、本実施例ではボルトを使用し九
が、ビン等を使用することもできる０ また、本実施例では、半導体ウエノ・にパターンを焼付
ける際に使用されるマスクを洗浄するブラシについて説
明し九が、回転することによって被洗浄物を洗浄するブ
ラシでアシ、かつ交換を要するものであれば、どのよう
な装置に取付けられたブラシにでも使用することができ
、同等の効果が得られる。

〔発明の効果〕

以上説明し次ように本発明によれば、ブラシ軸を軸線に
沿って分割形成し、駆動軸に挟着させたため、駆動軸に
対してブラシ軸を独自に着脱できるようになシ、駆動軸
を何ら操作することなくしてブラシ軸およびブラシを交
換することができる。

したがって、ブラシを交換する時間が短縮され、このブ
ラシを使用した装置の稼動率が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る洗浄用ブラシを一部を断面して示
す斜視図、第２図は駆動軸からブラシ軸を取外した状態
を示す側断面図、第３図はマスクを洗浄する洗浄装置を
示す概略構成図、第４図は洗浄部の一部を断面して示す
斜視図、第５図はブラシを外した状態を示す斜視図であ
る。 ２０・・・・ブラシ取付軸、２１・・・・ブラシ軸、２
２・・・・凹溝、２３・―・・ブラシ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 軸心部に駆動軸が挿着される中空部を有しかつ外周部に
   ブラシが植設されたブラシ軸からなり、駆動軸が回転す
   ることによつて被洗浄物を洗浄する洗浄用ブラシにおい
   て、前記ブラシ軸を軸線に沿つて分割形成し、駆動軸に
   挟着させたことを特徴とする洗浄用ブラシ。