JPS63274508A

JPS63274508A - 切断機

Info

Publication number: JPS63274508A
Application number: JP10984887A
Authority: JP
Inventors: Minoru Matsushima; 松島　實
Original assignee: NOMURA SEISAKUSHO KK
Current assignee: NOMURA SEISAKUSHO KK
Priority date: 1987-05-07
Filing date: 1987-05-07
Publication date: 1988-11-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）産業上の利用分野本発明は、切断機に関するものである。

（ロ）従来の技術従来の切断機として、例えば特開昭６２−２４９６１号
公報に示されるものがある。これに示される切断機は、
スライディングフレームに刃物を取付け、刃物を往復動
させることにより例えばウェハを切断する。刃物が取り
付けられるスライディングフレームを往復動させるため
に、スライダー、連結棒及び回転板から成るクランク機
構が用いられ、回転板がモータによって回転駆動される
。

（ハ）発明が解決しようとする問題点しかしながら、上記のような従来の切断機では、加工能
率を向上するためにスライディングフレームを高速で往
復動させると、スライディングフレームの慣性力によっ
て切断機の振動が大きくなり、床面上に置かれている切
断機全体が移動するという問題点がある。すなわち、加
工時間を短縮するためには、回転板の回転速度を上昇さ
せ、スライディングフレームを高速で往復動させる必要
がある。通常１２０ｋｇ程度のスライディングフレーム
が１分間あたり１４０回程度往復動ず、（る。クランク
運動の上死点及び下死点で大きな慣性力が発生するため
振動が発生する。このため、基礎ボルトを用いた固定が
行われていない切断機の場合には、切断機全体が移動し
てしまう。

なお、基礎ボルトを用いて固定するようにするためには
、強固な基礎工事が必要となり、使用場所が制限され、
また機械のレイアウト変更などに対する対応が困難とな
るという別の問題を発生する。従来の切断機の高速化の
限界は、往復ストロークＸ往復数（以下、これをＳＮ値
と呼ぶ）によフて評価されている。例えば、往復ストロ
ーク１４０ｍｍで往復数１５０の場合、ＳＮ値＝１４０
ｘ１５０＝２１，０００となる。

従来の切断機では、このＳＮ値を３０，０００以上とす
ることは困難である。切断機が振動によって移動を開始
すると非常に危険であるので、例えばＳＮ値が２５，０
００以上とならないように安全装置を設けている。本発
明は、このような問題点を解決することを目的としてい
る。

（ニ）問題点を解決するための手段本発明は、スライディングフレームとバランスするよう
に、バランスマスを往復動させることにより上記問題点
を解決する。すなわち、本発明による切断機は、所定の
質量を有するバランスマスと、バランスマスをスライデ
ィングフレームの移動方向と平行にこれと同一周期で往
復動させるバランス用クランク機構と、を有している。

（ホ）作用スライディングフレームを往復動させ、これに取り付け
られた刃物によりて被加工物の加工を開始すると同時に
、バランスマスもバランス用クランク機構の作動により
往復動を開始する。スライディングフレームの往復動に
よって発生する慣性力がバランスマスの往復動によって
発生する慣性力によって打ち消され、切断機全体の振動
が減少する。なお、スライディングフレームとバランス
マスとの往復動の位相は全く逆に設定しても十分な振動
抑制効果を得ることができるが、両者の位相を多少ずら
せると前述のＳＮ値をより大きくすることができる。

（へ）実施例第２図に本発明による切断機全体を示す。

ベース１０上に２つのベッド１２及び１４が設置され（
なお、ベッド１２及び１４は一体のものであってもよい
）、ベッド１２及び１４に第１図に示すようにそれぞれ
駆動用クランク機構１６及びバランス用クランク機構１
８が設けられる。

駆動用クランク機構１６は、回転板２０、連結棒２２、
スライダー２４から構成され、スライダー２４がスライ
ディングフレーム２６と連結されている。スライディン
グフレーム２６に刃物が取り付けられ、上下動装置２８
のテーブル３０上に設置された被加工物を加工可能であ
る。一方、バランス用クランク機構１８も、回転板３２
、連結棒３４及びバランスマス３６（これはスライダー
としての機能を兼ねている）を有している。

バランスマス３６は後述のようにスライディングフレー
ム２６の約８０％の質量としである。回転板２０及び回
転板３２は同一のモータ３８によって駆動される。すな
わち、モータ３８によって駆動されるプーリ４０は歯付
きベルト４２によフてプーリ４４及び４６と連結されて
おり、プーリ４４及び４６はそれぞれカップリング４８
及び５０、フライホイール５２及び５４、及び軸５５及
び５６を介して、回転板２０及び回転板３２と連結され
ている。なお、バランス用クランク機構１８側の回転板
３２と軸５６とは回転方向の取付は位置を調節可能であ
る。このために第３図に示すように軸５６と回転板３２
とを連結する＃擦結合要素５８（例えば、商品名シュパ
ンリング）によって連結しである。もちろん、この部分
をスプライン等による結合とすることもできる。

次にこの実施例の作用について説明する。モータ３８を
回転駆動させると、プーリ４０．歯付きベルト４２、プ
ーリ４４及び４６、カップリング４８及び５０、フライ
ホイール５２及び５４、及び軸５５及び５６を介してそ
れぞれ回転板２０及び回転板３２が同一回転方向に同一
回転速度で駆動される。回転板２０が回転すると、駆動
用クランク機構１６の作用によりスライディングフレー
ム２６が往復動じ、これに取り付けられた刃物により被
加工物の加工が行われる。同様に回転板３２が回転する
とバランス用クランク機構１８の作用により、バランス
マス３６が往復動する。

回転板３２は回転板２０に対して位相を１８０度相違さ
せた状態としであるため、バランスマス３６はスライデ
ィングフレーム２６と逆方向に移動することになる。す
なわち、スライディングフレーム２６が遠ざかる方向に
移動するときにはバランスマス３６も遠ざかる方向に移
動し、スライディングフレーム２６が近付く方向に移動
するときにはバランスマス３６も近づく方向に移動する
。このバランスマス３６の往復動によりスライディング
フレーム２６によって発生する慣性力が打ち消される。

これにより切断機に発生する振動が大幅に低減され、切
断機全体が移動するといった問題の発生が防止される。

これにより前述のＳＮ値を従来の２倍以上とすることが
できる。

なお、上述の説明ではスライディングフレーム２６とバ
ランスマス３６との位相は１８０８０度進るように設定
したが、この状態からバランスマス３６側の位相を多少
変化させることにより、切断機の振動をより減少するこ
とができる。位相の進み角（第１図に示す角度α）を変
えることによりＳＮ値がどのように変化するかを試験し
た結果を第４図に示す。この試験結果は角度αを順次変
え、切断機の振動が許容限界に達するときのＳＮ値を測
定したものである。この結果からバランスマス３６側の
位相を４５度進めた場合に最も振動抑制効果が向上する
ことがわかる。なお、バランスマス３６のｍｕは９０ｋ
ｇ、スライディングフレーム２６の重量は１１５ｋｇ、
バランスマス３６のストロークは１７６ｍｍである。な
お、バランスマスの重量は調節可能としてあり、スライ
ディングフレームの重量に対して１００〜２５％程度の
範囲から適宜選択すればよい。

（ト）発明の詳細な説明してきたように、本発明によると、刃物を取り付
けたスライディングフレームの往復動による慣性力を打
ち消すようにバランスマスを往復動させるようにしたの
で、切断機の振動の発生を抑制することができるように
なり、より高速でスライディングフレームを往復動させ
て加工能率を向上することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による切断機の構造を示す図（第２図の
矢印１方向に見た図）、第２図は切断機全体を示す図、
第３図は回転板を示す図、第４図は試験結果を示す線図
である。１６・・・駆動用クランク機構、１８・・・バランス用
クランク機構、２０・・・回転板、２２・・・連結棒、
２４・・・スライダー、２６・・・スライディングフレ
ーム、３２・・・回転板、３４・・・連結棒、３６・・
・バランスマス、３８・・・モータ。

Claims

【特許請求の範囲】１、刃物が取り付けられたスライディングフレームを往
復動させるための駆動用クランク機構を有する切断機に
おいて、所定の質量を有するバランスマスと、バランスマスをス
ライディングフレームの移動方向と平行にこれと同一周
期で往復動させるバランス用クランク機構と、を有して
いることを特徴とする切断機。２、駆動用クランク機構の回転板の回転位相に対して、
バランス用クランク機構用の回転板の回転位相を調節可
能な位相調節機構が設けられている特許請求の範囲第１
項記載の切断機。