JPS63274308A - 磁気浮上搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は浮上用マグネットの吸引力を制御することに
よって浮上させられる搬送台車によって物品を搬送する
磁気浮上搬送装置に関するもので。

例えば半導体製造設備におけるクリーンルーム内等で使
用されるものである。

〔従来の技術〕

第４図は例えば特開昭５８−１３３１１１５号公報に示
された従来の磁気浮上搬送装置における複数個の浮上用
マグネットの各々に対応して設けられる浮上用マグネッ
ト制御回路を示すブロック図であプ１図忙おいて、（１
）は浮上用マグネットの電磁石用コイル、（２）はこの
［磁石用コイルに流れる電流を検出する電流検出用抵抗
、（３１は前記電磁石用コイル（１）の可変電力源とな
る電力増幅器、（４１はこの電力増幅器を制御する加算
増幅器、（５）は浮上用マグネットのギャップ方向（走
行方向に対し直角をなす方向）への変位を検出する変位
センサ、（６）は前記浮上用マグネットのギャップ方向
への変位の車位時間当シの変化量を検出し該変化量に対
応した制御信ｇｔ加算増幅器（４）に供給する微分回路
。

（７）は電流検出用抵抗（２）から得られたコイル（１
）電流の変動信号を入力するレベル設定器である。また
。

第５図は従来の磁気浮上搬送装置の上部浮上マグネツ）
　（Ａ）の磁気浮上アクチュエータ部を示す構成図であ
９１図において、（８）は上部ガイド、（９）は永久磁
石、鱈は電磁石コアで、前記永久磁石（９）とで上部浮
上用マグネット（Ａ）　？構成しておシ、上部ガイド（
８）との間で相対的に吸引し合う。ａυは永久磁石（９
）と上部ガイド１８１との間のギャップである。なお、
前記上部浮上用マグネットに）と物理的に一体に結合さ
れ下部ガイド（図示せず）との間で相対的に吸引し合う
下部浮上マグネットは図示全省略しである。捷た。上部
浮上用マグネット（Ａ）と図示しない下部浮上用マグネ
ットの各々の、対応する上部ガイド（８）及び下部ガイ
ド（図示せず）との相対的吸引力は各々の浮上マグネッ
トの制御回路（第４図）によって互いにバランスするよ
うに制御され、その鮎来、互いに一体をなす上部浮上用
マグネット（Ａ）及び下部浮上用マグネット（図示せず
）は物理的無支持の浮遊状態となる。

つまシ、磁気浮上搬送装置の上部浮上マグネットは上述
のように構成されているので、変位センサ（５）によシ
永久磁石（９）と上部ガイド１３）との間のギャップ（
１）１長が検出され、前記変位センサ（５）の出力は加
算増幅器（４）で増幅された後、電力増幅器（３１に入
力され、浮上用マグネットの電磁石用コイル（１１の電
流が増減され、ギャップ（Ｉｌｌが一定に保つように制
御される。更に安定な制御を行うため別系統として、微
分回路（６）で得られた微分信号（ギャップαＤ長の変
化率信号）、及び抵抗（２功為ら得られた電磁石用コイ
ル（１１’ＦＩＬ流の変動信号の双方の信号が加算増幅
器（４１によって増幅加算されて電力増幅器＋３１の制
御信号とされ、安定なギャップ長制御が行われる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の磁気浮上搬送装置は以上のように磁気浮上用マグ
ネットのギャップ長、つまシ永久磁石＋９１と上部ガイ
ド（８）との間のギャップ（１１１の長さ、が常に一定
となるように制御されるので、磁気浮上用マグネットに
一体に結合された或いは磁気浮上用マグネット自体から
なる搬送台車に物品を移載する部分（通称ステーション
部）に、物品を搬送台車に移載するための可動部を有し
た移載機構及びこの移載機構に移載動作させるための駆
動回路。

その制御回路等が必要とな）高価になると共に。

装置全体のフレキシビリティも低くなってしまうといっ
た問題点があった◎ この発明は前述のような従来の問題点全解消するために
なされたもので、搬送台車への物品の移載を簡便にでき
、安価でフレキシビリティの高い磁気浮上搬送装置を得
ることを目的とする〇〔問題点を解決するだめの手段〕 この発明に係る磁気浮上搬送装置は、浮上片マグネット
の吸引力を制御す′ることによって搬送台車を浮上させ
、前記搬送台車が物品？運搬する磁気浮上搬送装置にお
いて、前記搬送台車の走行方向の位置全検知する検知セ
ンサを設けると共に。

前記搬送台車がその走行方向の所定位置に来たときに前
記検知センサの出力によって前記磁気浮上用マグネット
の吸引力ｆ制御して前記搬送台車全前記走行方向と直角
をなす方向に変位させる変位回路管設けたものである。

〔作用〕

この発明の磁気浮上搬送装置によれば、浮上用マグネッ
トの吸引力を制御することによって浮上させられる搬送
台車がその走行方向の所定位置。

つま）物品を移載する位置（通称ステーション部）や搬
送台車の走行に対中る障害物が存在する位置等々、に来
たときに、当該位置に搬送台車が来たことを検知センサ
が検知し、この検知センサの検知動作による出力によっ
て変位回路が動作し、この変位回路の動作時出力によっ
て磁気浮上用マグネットの吸引力が制御され、搬送台車
がその走行方向と直角をなす方向に変位させられる。

〔発明の実施例〕

第１図〜第３図はこの発明の一実施例を示す図で、第１
図は制御回路を示すブロック図、第２図は搬送台単に物
品を移載する前の状態を示す概略構成図、第３図は物品
移載時の状態管示す概略構成図で、これらの図において
、α２は搬送台単で。

例えば前述の第５図のような磁気浮上用マグネット等に
一体に結合され或いは磁気浮上用マグネット自体から成
るものであシ、上部ガイド（８１に沿った矢印０）方向
への走行は前記磁気浮上用マグネットとは別の駆動装置
０例えばリニアモータ等、ニよって行われる。（１２Ａ
）はこの搬送台車ａ３の側面の下半部に走行方向０）と
直角管なす方向に突設された突出部で、その走行方向（
イ）中央部上面に突起（１２Ｂ）′ｌｒ有している。α
３け前記搬送台車ａｚの走行方向０）先端部上側に設け
られた検知センサで１例えば光学的センサ等、適当なセ
ンサが使用される。

Ｑ４１は上部ガイド（８１に対向して該上部ガイド（８
１と平行に延在する下部ガイドで、この下部ガイドと上
部ガイド１８１との間の走行空間Ｑ５１内に磁気浮上用
マグネット（第５図）や搬送台車１３２が配設されてい
る。また、上部ガイド（８）の下面の基糸面（８Ａ）と
下部ガイドα−の上面の基準面（１４Ａ）との間の空間
距離■は搬送台車α２の走行方向（イ）に沿ってその全
長に亘って一定にしてあシ、従って搬送台車ａ３が一体
的に取シ付けられる或いは搬送台車α２ｆ成す磁気浮上
マグネットの複数個の上部電磁石及び複数個の下部電磁
石の各コイルの夫々に個別に設けられ接続された制御回
路（第１図）によって、搬送台車α２の走行方向（イ）
と直角をなす方向（第２図及び第３図において上下方向
）の位置が制御される。αｅは前記下部ガイドａ４）上
に載置された被搬送物品であシ、前記搬送台車α２の突
出部（１２Ａ）が設けられた側面に対応する側面の上部
に走行方向（イ）と直角をなす方向に突設された突出部
（１６Ａ）ｆ有している。（１６Ｂ）は前記突出部（１
６Ａ）の走行方向０〕中央部下面に形成された凹部で、
前記突出部ａ突起（１２Ｂ）に符合して遊嵌する形状を
成している。ａηは物品搬送路におけるステーション部
で、前記下部ガイドα４上に載置された物品ａ１１を搬
送台車Ｑ２に移載する部分である。錦はこのステーショ
ン部ａ′ｒＩにおける上部ガイド１８１下面に取ル付け
られたドッグ板で、前記検知センサＱ３と協動して前記
搬送台車α２が物品ａＳを移載すべき位置に来たことを
検知するために設けられている。ａｌは搬送台車（１３
の上面と上部ガイド（８）下面の基準面（８Ａ）との間
のギャップ、翰は物品αｅが搬送台車０ｚに移載された
状態での物品ａ９下面と下部ガイドα滲上面の基準面（
１４Ａ）との間のギャップ、ＱＢは前記検知センサ（Ｉ
Ｊの出力信号によって動作する変位回路で。

その出力によって加算増幅器（４：を制御して電力増幅
器（３）ｆ制御し、磁気浮上用マグネットの電磁石用コ
イル（１）に流れる電流の大きさを変え、磁気浮上用の
マグネットの磁気ギャップ（第５図の（１１１）　。

つまシ搬送台車α２と上部ガイドＣＦ＆１との間のギャ
ップａ１．即ち搬送台車α２の走行方向（イ）と直角を
なす方向の位！（高さ）？変える（具体的には加算増幅
６（４）の目標ギャップ値を変える）ものである。

次に前述の実施例の動作？説明する。

第２図において、搬送台車ｔＪ’ｌＪは図示しない走行
ｊｌＡｌ装動によって矢印０）方向に走行して一点鎖線
で示すようにステーション部ａηに至ジ、検知センサ０
がドッグ黴ａ砂に対応すると、搬送台車ａ２の矢印０）
方向への走行は停止あるいは低速とされると共に、前記
ドッグ板ａ饋と対応した検知センサａｉが動作してその
出力が第１図における変位回路なりに供給され、変位回
路Ｃ！υは加算増幅器（４）？−ル１１＃（目標ギャッ
プ値をａ−４ｂに切侠える等）して電力増幅器（３）を
ｉ制御することによって磁気浮上用マグネットの電磁石
用コイル（１１の電流を変える。具体的にけ１図示して
ないが、磁気浮上用の複数個の上部マグネット及び複数
個の下部マグネットの各コイルの電流が、各コイル毎に
個別に設けられた制御回路（＃１図）によって個別に変
えられる。谷コイルの電流が個別に制御されることによ
シ、上部ガイド１８）と下部ガイドａ４１との間の走行
空間αり内の磁気浮上用マグネットは走行方向０）と直
角？なす方向の位置が一方の側（第２図及び第３図にお
ける上側）に変えられる。つまシ、第２図において、搬
送台車０ｚが一点鎖線の位置から走行方向０）と直角を
なす方向（矢印（ロ）の方向）に変位して第３図に示す
ように搬送台車α２の突起（１２Ｂ）が物品翰の凹部（
１６Ｂ）に妖まシ込むと共に物品αｅが搬送台車ｔＪ２
によって持ち上げられ、搬送台車ａＺの上面と上部ガイ
ド（８１の下面の基地面（８Ａ）との間のギャップＱｌ
の長さはａからｂ（ａ＞ｂ）となシ、物品αＧの下面と
下部ガイドａ４の上面の基糸面（１４Ａ）との間のギャ
ップ（イ）の長さは（ａ−ｂ）となって。

その位置に安定する。すなわち、所定の物品Ｑ［９が搬
送台車α２に移載されたときに、搬送台車α２の上面と
上部ガイド（かの下面の基準面（８Ａ）との間のギャッ
プＱ１は、非移載時（搬送台車ａ２が空搬送していると
き）の所定長さａから所定長すとなるように、前記上部
及び下部の磁気浮上マグネットの各コイルに所定の電流
が流れるべく予め変位回路Ｃａ１ｌの出力証、加算増幅
器（４）及び電力増幅器（３）の制御量が設定されてい
る。第３図に示すように物品αＧが搬送台車ａｚに移送
きれた恢は、再び矢印０ン方向等、所定の方向に搬送台
車α２は走行駆動される。

物品αＧを降ろす場合は前述と逆のプロセスとなる。

前述の説明から明らかなように、物品ａＩ懺送送台車３
に移送するために、ａ気浮上用マグネットの電磁石用コ
イル（１１の１「流を制御する制御回路（第４図）に、
検知センサａ３及び検知センサａ３の出力によって作動
する変位回路ＱＩｌｆＩ設し、前記電磁石用コイル（１
）１ｉ流を制御して磁気浮上用マグネットの吸引力をル
ＩＪ御するよう処したので、物品αｌを搬送台車Ｑ３に
移載するための可動部を有した移載機構及びとの移載機
構に移載動作させるだめの駆動回路、その制御回路等は
不要である。また。

物品αＧを搬送台車（１３に移載する場合に限らず、搬
送台車ａ３の走行路にその走行に対する障害物が存在す
るような場合にも、その障害物が存在する部分にドッグ
板ａｇを前記同様に取付ければ搬送台車α２が当該障害
物管避けて走行するようにすることもでき、搬送装置の
フレキシビリティが高くなる。

また、物品（Ｌｅが重い場合にはそのＴＬ量分だけ搬送
台車ａ２の高さが低くなろうとする７５し空搬送時と物
品搬送時のそれぞれの適正ギャップ値（磁気浮上用マグ
ネットの磁気ギャップ或いは搬送台車ａ３と土部ガイド
（８１，下部ガイド（＋４）との間のギャップのギャッ
プ長）を予め計算によって求めておき。

磁気浮上用マグネットの電磁石用コイルの制御回路での
制御による目標ギャップ値、つまりは加算増幅器（４！
、　１４１力増幅器（３）の制御量、を当該適正ギャッ
プ値に前記ギャップが適時切換制御されるように設定す
ることにより省電力での搬送が可能となる。つま先従来
の制御回路（第４図）は、第５図における磁気浮上用マ
グネットの磁気ギャップＩが常に一定となるように制御
するので、物品搬送時と空搬送時の倒れの場合も前記ギ
ャップαυ長が同一となるように制御され、従って物品
搬送時にはギャップａＤ長が物品重量によって長くなら
ないように磁気浮上マグネットの１１磁石用コイル（１
）に大きな電流が流れるようにｌ１１（１１４１され、
消費電力が大きくなる。

〔発明の効果〕

この発明は前述のように、磁気浮上用マグネットの吸引
力を制′＠干ることによって搬送台車を浮上させ、前記
搬送台車が物品を運搬する磁気浮上搬送装置ｉ！ｔにお
いて、前記搬送台車の走行方向の位ｔ［−検知する検知
センサを設けると共に、前記搬送台車がその走行方向の
所定位置に来たときに前記検知センサの出力によって前
記磁気浮上用マグネットの吸引力を制御して前記搬送台
車を前記走行方向と直角管なす方向に変位させる変位回
路を設けたので、搬送台車に物品を移載する場合には。

物品移載機構及びその制御回路ｆ％別に設けることなく
、磁気浮上用マグネットの制御回路を使って移載するこ
とができ、！た搬送台車の走行に対する障害物が走行路
に存在する場合にも同様ＶＣ磁気浮上用マグネットの制
御回路を使って障畜物？避けることもでき、フレキシビ
リティの高い磁気浮上搬送装置ｆ得ることができる効果
がある。

４・　図面の簡単な！５２＃４ ＩＫ１図〜第３図はこの発明の一実施例を示す図で、＃
Ｘ１図は磁気浮上マグネットの制御回路、第２図は搬送
台車に物品を移載する前の状態を示寸概略格成図、第３
図は物品移載時の状態を示す概略構成図、第４図は従来
の磁気浮上マグネットの制御回路、ｕ１５図は従来周知
の磁気浮上搬送装置の上部浮上マグネットの磁気浮上ア
クチュエータ部？示す概略構成図である。

図において、　　ＡＩ／ｉｉ気浮上用マグネット、（１
）は浮上用マグネットの電磁石用コイル、（３）は電力
増幅器、（４）は加算増幅器、（７）はレベル設定器、
（８１は上部ガイド、αＧは電磁石コア、　（１３は搬
送台車、　（１３は変位センサ、　Ｑ４１は下部ガイド
、α９は走行空間。

（Ｉｅは物品、　ａｌｌはドッグ板、　Ｃａｌ＋は変位
回路である。

なお各図中同一符号は同−又は相当部分ケ示す。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）磁気浮上用マグネットの吸引力を制御することに
   よって搬送台車を浮上させ、前記搬送台車が物品を運搬
   する磁気浮上搬送装置において、前記搬送台車の走行方
   向の位置を検知する検知センサを設けると共に、前記搬
   送台車がその走行方向の所定位置に来たときに前記検知
   センサの出力によって前記磁気浮上用マグネットの吸引
   力を制御して前記搬送台車を前記走行方向と直角をなす
   方向に変位させる変位回路を設けたことを特徴とする磁
   気浮上搬送装置。
2. （２）搬送台車は変位回路によって走行方向と直角をな
   す方向に変位された後に変位前の位置近傍に再度変位さ
   れ、この搬送台車の変位及び再度変位の動きによって物
   品が前記搬送台車に移載されることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載の磁気浮上装置。
3. （３）検知センサは搬送台車の走行に対する障害物の位
   置を検出し、前記搬送台車が障害物の位置に近づいたと
   きに前記搬送台車が変位回路によって前記障害物を避け
   るように変位されることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の磁気浮上搬送装置。