JPS63272085A - 固体レ−ザ発振器 - Google Patents
固体レ−ザ発振器Info
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- JPS63272085A JPS63272085A JP10669287A JP10669287A JPS63272085A JP S63272085 A JPS63272085 A JP S63272085A JP 10669287 A JP10669287 A JP 10669287A JP 10669287 A JP10669287 A JP 10669287A JP S63272085 A JPS63272085 A JP S63272085A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
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-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01S3/04—Arrangements for thermal management
- H01S3/042—Arrangements for thermal management for solid state lasers
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-
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- H01S3/061—Crystal lasers or glass lasers with elliptical or circular cross-section and elongated shape, e.g. rod
Landscapes
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- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、レーザ加工機あるいはレーザ計測器などに用
いられる固体レーザ発振器に関するものである。
いられる固体レーザ発振器に関するものである。
従来の技術
近年、固体レーザ発振器は集積回路の抵抗体トリミング
装置、レーザ溶接装置、あるいは分析装置などのレーザ
源としてその利用分野は広がりつつある。
装置、レーザ溶接装置、あるいは分析装置などのレーザ
源としてその利用分野は広がりつつある。
従来の固体レーザ発振器において、第2図にその一例を
示すように、レーザ媒質8は、レーザボットの両側壁7
,7により両端部が支持されている。レーザ媒質8と側
壁7との間隙はゴム製のパツキン9及びパツキン押え1
oにより密封されて、冷却液11が側壁7から外部へ漏
れ出さないようになっ°ている。また、レーザ媒質に透
明ガラス管をかぶせて透明ガラス管とレーザ媒質との間
を冷却液が流れるように構成したものもある。(図示せ
t″、) しかし、いずれの従来例もレーザ媒質のレーザ光線が出
射する端面は被覆されておらず、固体レーザ発振器の置
かれた環境の雰囲気中に露呈している。
示すように、レーザ媒質8は、レーザボットの両側壁7
,7により両端部が支持されている。レーザ媒質8と側
壁7との間隙はゴム製のパツキン9及びパツキン押え1
oにより密封されて、冷却液11が側壁7から外部へ漏
れ出さないようになっ°ている。また、レーザ媒質に透
明ガラス管をかぶせて透明ガラス管とレーザ媒質との間
を冷却液が流れるように構成したものもある。(図示せ
t″、) しかし、いずれの従来例もレーザ媒質のレーザ光線が出
射する端面は被覆されておらず、固体レーザ発振器の置
かれた環境の雰囲気中に露呈している。
発明が解決しようとする問題点
従来、レーザ発振器は清浄でかつ温度及び湿度が適正な
値に制御された雰囲気中に設置するのが常識とされ、そ
のような整備された雰囲気中ではレーザ媒質の端面が露
呈していても特に支障は生じなかった。
値に制御された雰囲気中に設置するのが常識とされ、そ
のような整備された雰囲気中ではレーザ媒質の端面が露
呈していても特に支障は生じなかった。
ところが、近年、生産設備の一部としてレーザ発振器が
多用されるようになると、それらが設置される雰囲気は
必らずしも整備されたものでは無くなっている。
多用されるようになると、それらが設置される雰囲気は
必らずしも整備されたものでは無くなっている。
例えば、浮遊塵埃の多い中では、レーザ媒質の端面に付
着した塵埃がレーザ光線を吸収して焼き付きを起こすと
いう問題が生じる。
着した塵埃がレーザ光線を吸収して焼き付きを起こすと
いう問題が生じる。
また1、高温多湿の雰囲気中では、レーザ媒質と外気温
との温度差によシレーザ媒質の端面に結露が生じてレー
ザ発振効率が低下するという問題もある。
との温度差によシレーザ媒質の端面に結露が生じてレー
ザ発振効率が低下するという問題もある。
本発明は上記問題点に鑑み、清浄度、温度、湿度等の環
境条件が特に管理されていない雰囲気中でも、レーザ媒
質に損傷を与えることなく動作させることが可能な固体
レーザ発振器を提供することを目的とする。
境条件が特に管理されていない雰囲気中でも、レーザ媒
質に損傷を与えることなく動作させることが可能な固体
レーザ発振器を提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
本発明は上記目的を達成するため、レーザ媒質を透明材
料からなる容器に収容すると共に、この容器とレーザ媒
質との間隙を液体で満たしたことを特徴とする。
料からなる容器に収容すると共に、この容器とレーザ媒
質との間隙を液体で満たしたことを特徴とする。
作 用
本発明は上記した構成により、レーザ媒質が雰囲気中に
露呈しないために端面に塵埃が付着するのを防止するこ
とができる結果、端面での焼き付きを防止することがで
きる。
露呈しないために端面に塵埃が付着するのを防止するこ
とができる結果、端面での焼き付きを防止することがで
きる。
また、レーザ媒質と容器との間に液体が介在するため、
雰囲気温度と容器との温度差は、雰囲気温度とレーザ媒
質との温度差より常に小さいため、結露の発生を抑制し
てレーザ発振効率の低下を回避することができる。
雰囲気温度と容器との温度差は、雰囲気温度とレーザ媒
質との温度差より常に小さいため、結露の発生を抑制し
てレーザ発振効率の低下を回避することができる。
さらには、レーザ媒質の屈折率と空気の屈折率との差よ
り、レーザ媒質の屈折率と液体の屈折率との差の方が小
さいため、端面での反射による損失が減じられると共に
、レーザ出力の増幅に寄与しない無駄な発振を抑えるこ
とができる。
り、レーザ媒質の屈折率と液体の屈折率との差の方が小
さいため、端面での反射による損失が減じられると共に
、レーザ出力の増幅に寄与しない無駄な発振を抑えるこ
とができる。
実施例
以下本発明をネオジウムヤグレーザ発振器に適用した一
実施例について、図面を参照しながら説明する。
実施例について、図面を参照しながら説明する。
レーザ媒質1はガラス管2内に入れられ、ガラス管2の
両端はガラス製のウィンドウ3でシールされている。こ
れらガラス管2及びウィンドウ3は、本発明の容器を構
成する。
両端はガラス製のウィンドウ3でシールされている。こ
れらガラス管2及びウィンドウ3は、本発明の容器を構
成する。
ガラス管2とレーザ媒質1との間隙に、シリコンオイル
(液体)4が充填されている。6はガラス管2とレーザ
ボットの側壁7との間をシールするパツキンであり、冷
却液6が外部に漏れ出すのを防いでいる。
(液体)4が充填されている。6はガラス管2とレーザ
ボットの側壁7との間をシールするパツキンであり、冷
却液6が外部に漏れ出すのを防いでいる。
以上の構成によれば、レーザ媒質1の端面12に直接塵
埃が付着して焼き付きを生じることが無くなる。ウィン
ドウ3での焼き付きは考えられるが、このウィンドウ3
は安価であり、交換することにより容易に修復できるた
め支障はない。
埃が付着して焼き付きを生じることが無くなる。ウィン
ドウ3での焼き付きは考えられるが、このウィンドウ3
は安価であり、交換することにより容易に修復できるた
め支障はない。
また、レーザ媒質1と雰囲気との導度差はシリコンオイ
ル4の中で連続的に変化するため、ウィンドウ3と雰囲
気との温度差は比較的小さく、多湿な雰囲気中でも結露
が生じにくい。
ル4の中で連続的に変化するため、ウィンドウ3と雰囲
気との温度差は比較的小さく、多湿な雰囲気中でも結露
が生じにくい。
さらにシリコンオイル4の屈折率は1.4前後で、空気
の屈折率1.0より相当高い。従がって屈折率1.8の
レーザ媒質1と空気との間の屈折率よりも、レーザ媒質
1とシリコンオイル4との間の屈折率の方が差が小さい
ので、境界面での反射による損失や、反射が引き起こす
レーザ光線の増幅に寄与しない発振を抑制することがで
きる。
の屈折率1.0より相当高い。従がって屈折率1.8の
レーザ媒質1と空気との間の屈折率よりも、レーザ媒質
1とシリコンオイル4との間の屈折率の方が差が小さい
ので、境界面での反射による損失や、反射が引き起こす
レーザ光線の増幅に寄与しない発振を抑制することがで
きる。
尚、ウィンドウ30表面、或はシリコンオイル4との界
面での反射もレーザ発振の効率を低下させる要因となる
が、ウィンドウ3の素材として屈折率が1.6程度のガ
ラスを用い、これに減反対コーティングを施すことによ
り、効率の低下を問題にならない程度に抑えることがで
きる。
面での反射もレーザ発振の効率を低下させる要因となる
が、ウィンドウ3の素材として屈折率が1.6程度のガ
ラスを用い、これに減反対コーティングを施すことによ
り、効率の低下を問題にならない程度に抑えることがで
きる。
発明の効果
以上のように、本発明はレーザ媒質を透明容器に収容し
、容器とレーザ媒質との間隙に液体を満たすことにより
レーザ媒質の端面での塵埃の焼き付きや結露の発生を防
止することができると共に、端面における反射による損
失及びレーザ光線の増幅に寄与しない無駄な発振を抑え
ることができる。
、容器とレーザ媒質との間隙に液体を満たすことにより
レーザ媒質の端面での塵埃の焼き付きや結露の発生を防
止することができると共に、端面における反射による損
失及びレーザ光線の増幅に寄与しない無駄な発振を抑え
ることができる。
第1図は本発明の実施例におけるネオジウムヤグレーザ
発振器のレーザ媒質を示す断面図、第2図は従来の固体
レーザ発振器のレーザ媒質を示す断面図である。 1・・・・・−レーザ媒質、2・・・・・・ガラス管、
3・・・・・・ウィンドウ、4・・・・・・シリコンオ
イル、12・・・・・・端面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名1−
−−レーザ芒艮賓 2−一−びラスτ 第 1 図
3−一−ウィンドウ4−−−シリコンXイル 7−−−イ員1ノ5i t’z−i−tm面 IQ−−−ヂ 41トメし
発振器のレーザ媒質を示す断面図、第2図は従来の固体
レーザ発振器のレーザ媒質を示す断面図である。 1・・・・・−レーザ媒質、2・・・・・・ガラス管、
3・・・・・・ウィンドウ、4・・・・・・シリコンオ
イル、12・・・・・・端面。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名1−
−−レーザ芒艮賓 2−一−びラスτ 第 1 図
3−一−ウィンドウ4−−−シリコンXイル 7−−−イ員1ノ5i t’z−i−tm面 IQ−−−ヂ 41トメし
Claims (1)
- レーザ媒質を透明材料からなる容器に収容すると共に、
この容器とレーザ媒質との間隙を液体で満たしたことを
特徴とする固体レーザ発振器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10669287A JPS63272085A (ja) | 1987-04-30 | 1987-04-30 | 固体レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10669287A JPS63272085A (ja) | 1987-04-30 | 1987-04-30 | 固体レ−ザ発振器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63272085A true JPS63272085A (ja) | 1988-11-09 |
Family
ID=14440090
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10669287A Pending JPS63272085A (ja) | 1987-04-30 | 1987-04-30 | 固体レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63272085A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0587092A1 (en) * | 1992-09-08 | 1994-03-16 | Hughes Aircraft Company | Stress-free mounting and protection of liquid-cooled solid-state laser media |
WO1998034305A1 (fr) * | 1997-01-30 | 1998-08-06 | Fanuc Ltd | Oscillateur laser |
CN100452570C (zh) * | 2007-03-23 | 2009-01-14 | 清华大学 | 一种液体导引泵浦光束的装置 |
-
1987
- 1987-04-30 JP JP10669287A patent/JPS63272085A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0587092A1 (en) * | 1992-09-08 | 1994-03-16 | Hughes Aircraft Company | Stress-free mounting and protection of liquid-cooled solid-state laser media |
WO1998034305A1 (fr) * | 1997-01-30 | 1998-08-06 | Fanuc Ltd | Oscillateur laser |
CN100452570C (zh) * | 2007-03-23 | 2009-01-14 | 清华大学 | 一种液体导引泵浦光束的装置 |
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