JPS6022620Y2 - 気体レ−ザ−管のシ−ル構造 - Google Patents
気体レ−ザ−管のシ−ル構造Info
- Publication number
- JPS6022620Y2 JPS6022620Y2 JP2590682U JP2590682U JPS6022620Y2 JP S6022620 Y2 JPS6022620 Y2 JP S6022620Y2 JP 2590682 U JP2590682 U JP 2590682U JP 2590682 U JP2590682 U JP 2590682U JP S6022620 Y2 JPS6022620 Y2 JP S6022620Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- plasma
- laser
- electrode holder
- gas laser
- Prior art date
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- Expired
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- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、気体レーザー管における電極ホルダーとレー
ザープラズマ管及び気体レーザー管どうジノ接続のため
の、レーザープラズマ管と接続部材との気密シール構造
に関する。
ザープラズマ管及び気体レーザー管どうジノ接続のため
の、レーザープラズマ管と接続部材との気密シール構造
に関する。
気体レーザーは一般に直流放電によりレーザー活性媒体
を励起しレーザー光を発振させる。
を励起しレーザー光を発振させる。
レーザー光発振の際に放電管に発生する熱の除去のため
、放電管の回りにジャケットを設け２重管構造とし、そ
の中に水を通して放電管の冷却を行う。
、放電管の回りにジャケットを設け２重管構造とし、そ
の中に水を通して放電管の冷却を行う。
又電極部の発熱も大きいため、電極ホルダーの回りも冷
却の必要がある。
却の必要がある。
直流放電を行うために放電管に印加される電圧は普通数
ＫＶから数ＩＱＫＶを必要とする。
ＫＶから数ＩＱＫＶを必要とする。
一般に冷却には水をもちいるため、電極ホルダーとレー
ザープラズマ管との接続は、水及びガスに対する気密性
と高電圧に対する絶縁性が必要となる。
ザープラズマ管との接続は、水及びガスに対する気密性
と高電圧に対する絶縁性が必要となる。
一般のレーザー管は電極ホルダ一部、放電管、ジャケッ
ト用外管ともガラス製であり、各部は熱加工により封着
され製作される。
ト用外管ともガラス製であり、各部は熱加工により封着
され製作される。
この種のレーザー管では、熱加工による封着部の製作が
むずかしく、熟練技術者を必要とし、又封着部に熱歪が
残りレーザー発振時の発熱により破損を招く事がある。
むずかしく、熟練技術者を必要とし、又封着部に熱歪が
残りレーザー発振時の発熱により破損を招く事がある。
加えて封着部において電極ホルダ一部材に対する放電管
の取り付は角度を変化させる事ができず、放電管の真直
度の調整が不可能である。
の取り付は角度を変化させる事ができず、放電管の真直
度の調整が不可能である。
本考案は、製作に熱加工を必要とせずに、水とレーザー
活性媒体のガスとの気密シールが行なえ、かつシール後
各部材の取り付は角度を変化でき、短かい距離で高電圧
に対する大きい絶縁抵抗を持ったシール部を備えたレー
ザー管を得る事を目的とする。
活性媒体のガスとの気密シールが行なえ、かつシール後
各部材の取り付は角度を変化でき、短かい距離で高電圧
に対する大きい絶縁抵抗を持ったシール部を備えたレー
ザー管を得る事を目的とする。
以下、添付の図面を用いて本考案の実施例を説明する。
第１図は本考案を実施したレーザー管のｔｔ電極ホルダ
ーレーザープラズマ管との接続部を示す断面図である。
ーレーザープラズマ管との接続部を示す断面図である。
セラミック製電極ホルダー１には、その中央に設けられ
た穴にガラス製プラズマ細管２が取り付けられ、電極ホ
ルダー１のＯ−リング溝に挿入されたＯ−リング３によ
りガスとのシールが行われ、また中央にプラズマ細管が
通る穴とその回りにＯ−リング溝をもったプラスチック
製シールキャンプ４に取り付けられたＯ−リング５によ
り水とのシールが行われる。
た穴にガラス製プラズマ細管２が取り付けられ、電極ホ
ルダー１のＯ−リング溝に挿入されたＯ−リング３によ
りガスとのシールが行われ、また中央にプラズマ細管が
通る穴とその回りにＯ−リング溝をもったプラスチック
製シールキャンプ４に取り付けられたＯ−リング５によ
り水とのシールが行われる。
電極ホルダー１、プラズマ細管２およびシールキャップ
４により囲まれた空間は、シールキャップ４に設けられ
た穴６より流し込まれ硬化し、各部材に接着したゴム状
接着性ポツティング材７により満たされる。
４により囲まれた空間は、シールキャップ４に設けられ
た穴６より流し込まれ硬化し、各部材に接着したゴム状
接着性ポツティング材７により満たされる。
８は電極ホルダー１に取り付けられた電極であり、９は
共振器を構成する反射鏡の１つである。
共振器を構成する反射鏡の１つである。
１０は冷却水を通すためセラミック電極ホルダー１に取
り付けられたガラス製外管であり、両者１，１０はＯ−
リング１１によりシールされる。
り付けられたガラス製外管であり、両者１，１０はＯ−
リング１１によりシールされる。
尚、上記実施例では電極ホルダーとプラズマ細管との接
続部のシール構造を説明したが、内管となるプラズマ細
管を２本用いプラズマ細管どうしを接続する場合も同様
なシール構造とすることができる。
続部のシール構造を説明したが、内管となるプラズマ細
管を２本用いプラズマ細管どうしを接続する場合も同様
なシール構造とすることができる。
以上説明した本考案を実施したレーザー管においては、
気密シールに用いる流動性ポツティング材の硬化は室温
において進行するため、シール部の製作は室温において
容易に行う事ができる。
気密シールに用いる流動性ポツティング材の硬化は室温
において進行するため、シール部の製作は室温において
容易に行う事ができる。
電極ホルダーとプラズマ細管及びプラズマ細管どうしの
取り付は角度は、シールがＯ−リングとゴム状の弾性体
によってのみ行なわれているため、容易に変化させる事
ができる。
取り付は角度は、シールがＯ−リングとゴム状の弾性体
によってのみ行なわれているため、容易に変化させる事
ができる。
従ってレーザー発振においてレーザー出力、横モード等
に重大な影響をおよぼすプラズマ細管の真直度を容易に
調整する事ができ、レーザー発振管にとって非常に有利
である。
に重大な影響をおよぼすプラズマ細管の真直度を容易に
調整する事ができ、レーザー発振管にとって非常に有利
である。
又電気絶縁性に関しては、２つのＯ−リングの間にゴム
状接着性ポツティング材を充填した事により、ガラスあ
るいはセラミック自身の表面抵抗に比べ接着部分骨の抵
抗は大きくなり、ポツティング材自体の体積抵抗に近い
値を持つ様になる。
状接着性ポツティング材を充填した事により、ガラスあ
るいはセラミック自身の表面抵抗に比べ接着部分骨の抵
抗は大きくなり、ポツティング材自体の体積抵抗に近い
値を持つ様になる。
このため水とガスとの隔離の距離を短かくでき、プラズ
マ管の冷却に有利になり、又各接続部材の製作を容易と
なる。
マ管の冷却に有利になり、又各接続部材の製作を容易と
なる。
第１図は本考案の一実施例を示す断面図である。
１・・・・・・電極ホルダー ２・・・・・・プラズマ
細管、３・・・・・・Ｏ−リング、４・・・・・・シー
ルキャップ、５・・・・・・Ｏ−リング、６・・・・・
・ポツティング材流し込み用穴、７・・・・・・ゴム状
接着性ポツティング、８・・・・・・電極、９・・・・
・・反射鏡、１０・・・・・・外管、１１・・・・・・
０−リング。
細管、３・・・・・・Ｏ−リング、４・・・・・・シー
ルキャップ、５・・・・・・Ｏ−リング、６・・・・・
・ポツティング材流し込み用穴、７・・・・・・ゴム状
接着性ポツティング、８・・・・・・電極、９・・・・
・・反射鏡、１０・・・・・・外管、１１・・・・・・
０−リング。
Claims (1)
- 対向する少なくとも２枚の反射鏡を備え、放電励起によ
りレーザー光を発振する気体レーザー装置において、電
極ホルダーとプラズマ細管及びプラズマ細管どうしの接
続のための、プラズマ細管と接続部材との気密シールが
、少なくとも２つの０−リングと、該Ｏ−リングの間に
流し込まれ硬化しゴム状弾性体となったポツティング材
とからなる事を特徴とする気体レーザー管のシール構造
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2590682U JPS6022620Y2 (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 気体レ−ザ−管のシ−ル構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2590682U JPS6022620Y2 (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 気体レ−ザ−管のシ−ル構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58129659U JPS58129659U (ja) | 1983-09-02 |
| JPS6022620Y2 true JPS6022620Y2 (ja) | 1985-07-05 |
Family
ID=30037861
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2590682U Expired JPS6022620Y2 (ja) | 1982-02-25 | 1982-02-25 | 気体レ−ザ−管のシ−ル構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6022620Y2 (ja) |
-
1982
- 1982-02-25 JP JP2590682U patent/JPS6022620Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58129659U (ja) | 1983-09-02 |
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