JPH0322579A - スラブ型固定レーザ装置 - Google Patents
スラブ型固定レーザ装置Info
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- JPH0322579A JPH0322579A JP15756189A JP15756189A JPH0322579A JP H0322579 A JPH0322579 A JP H0322579A JP 15756189 A JP15756189 A JP 15756189A JP 15756189 A JP15756189 A JP 15756189A JP H0322579 A JPH0322579 A JP H0322579A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分封〕
この発明はスラブ杉と通杓＼される高出力用に適する固
体レーザ装置であって、レーザ光を全反射する１対の板
肉と，熱絶縁された１対の仙如と，レーザ光が出入りす
る１対の斜端向とをもつスラブ状体に形放されたレーザ
媒体と、レーザ媒体，冷却媒体，励起光源を収納する収
納容器と、レーザ媒体の斜端面に対向配置されてレーザ
光を反射する１対のミラーとを備えたものに関する。
体レーザ装置であって、レーザ光を全反射する１対の板
肉と，熱絶縁された１対の仙如と，レーザ光が出入りす
る１対の斜端向とをもつスラブ状体に形放されたレーザ
媒体と、レーザ媒体，冷却媒体，励起光源を収納する収
納容器と、レーザ媒体の斜端面に対向配置されてレーザ
光を反射する１対のミラーとを備えたものに関する。
周知のように、固体レーザ装置ではレーザ活性物質を含
むＹＡＧ等のレーザ媒体が一般にはロッド状に形威され
るが、その断面形状が例えは円形の場合はレーザ発振時
にその中心軸にピークをもつ内部温度分布とそれに基づ
く熱歪みが生じるので、媒体の断面を通るレーザ光の位
相にその半径方向の位置によってずれが発生して全体の
発振モードが乱れやすく、この乱れのｈａが者しくなる
とレーザ発振作用か停まってしまうので、高出力レーザ
発振用にはあまり向かない。
むＹＡＧ等のレーザ媒体が一般にはロッド状に形威され
るが、その断面形状が例えは円形の場合はレーザ発振時
にその中心軸にピークをもつ内部温度分布とそれに基づ
く熱歪みが生じるので、媒体の断面を通るレーザ光の位
相にその半径方向の位置によってずれが発生して全体の
発振モードが乱れやすく、この乱れのｈａが者しくなる
とレーザ発振作用か停まってしまうので、高出力レーザ
発振用にはあまり向かない。
前述のスラブ形因体レーザ装置はこの点な旭決するもの
で、レーザ媒体としてスラブ状つまり板状のものを用い
、この媒体内ではレーザ光をその１対の板面で全反射さ
せながらジグザグ状に進行させるので、媒体内に温度分
布があってもレーザ光は温度の異なる場７５１′ｒナ通
りながら進むことになり、熱歪みがレーザ光の位相に与
える影響が全体として平均化されて、レーザの発振モー
ドが温度分布によって影響される度合いがすっと少なく
なる。従って、スラブ形固体レーザ装置は大出力で発振
させることが可能で、かつレーザビームの断面内の位相
がよく揃っているので光学的手段によってごく小さなス
ポットに収束できる特長を有するＯ 第３図はこのスラブ形固体レーザ装置の従来の構造を例
示するものである。レーザ媒体ｌＯは偏平な矩形断面を
もつＮｄ等のレーザ活性物賀を含むＹＡＧ等の結晶体や
ガラスであって、レーザ光Ｌはその１対の敬面１０ ａ
を全反射面として媒体１０内を幽の左右方向に前述のよ
うにシグザグ状に進み、例えはプルースター角として知
られている所定の角度に形威された両斜端面ｔＯ Ｃを
介して出入りする。これら斜端面ｔＯ Ｃにそれそれ対
向して、全反射ミラー２１および部分反射ミラーである
出力ミラーｎが配置され、レーザ媒体１０とともにレー
ザ共振系を構成する。レーザビーム出力はもちろん出力
ミラー２２側から取り出される。
で、レーザ媒体としてスラブ状つまり板状のものを用い
、この媒体内ではレーザ光をその１対の板面で全反射さ
せながらジグザグ状に進行させるので、媒体内に温度分
布があってもレーザ光は温度の異なる場７５１′ｒナ通
りながら進むことになり、熱歪みがレーザ光の位相に与
える影響が全体として平均化されて、レーザの発振モー
ドが温度分布によって影響される度合いがすっと少なく
なる。従って、スラブ形固体レーザ装置は大出力で発振
させることが可能で、かつレーザビームの断面内の位相
がよく揃っているので光学的手段によってごく小さなス
ポットに収束できる特長を有するＯ 第３図はこのスラブ形固体レーザ装置の従来の構造を例
示するものである。レーザ媒体ｌＯは偏平な矩形断面を
もつＮｄ等のレーザ活性物賀を含むＹＡＧ等の結晶体や
ガラスであって、レーザ光Ｌはその１対の敬面１０ ａ
を全反射面として媒体１０内を幽の左右方向に前述のよ
うにシグザグ状に進み、例えはプルースター角として知
られている所定の角度に形威された両斜端面ｔＯ Ｃを
介して出入りする。これら斜端面ｔＯ Ｃにそれそれ対
向して、全反射ミラー２１および部分反射ミラーである
出力ミラーｎが配置され、レーザ媒体１０とともにレー
ザ共振系を構成する。レーザビーム出力はもちろん出力
ミラー２２側から取り出される。
レーザ媒体１０を光励起するために励起光海が必要で、
かつその内部熱歪みを下げて高出力発振させるために冷
却が必要なので、密閉構造の収納容器１内にレーザ媒体
１０と１対の励起光諏２を収納して、その内部に純水等
の冷却媒体Ｃを通流させる０収納容器１は、励起光源２
がもの励起光ＥＬを反射する鋭面に仕上げられた楕円状
等の内面をもつ筒状の本体部１ａとその両端面を閉鎖す
る内面か鏡面に仕上げられた１対の蓋部１ｂとがらなり
、この蓋部１ｂＫｌ３１Ｊけた孔からレーザ媒体１０お
よび励起光源２か容器内に灸入され、それらの画端部か
蓋部１ｂによってそれそれ支持される０レーザ媒体１０
はその両斜端面１０ ｃを外部に露出させるように保持
され、この保持部の密閉は蓋部１ｂと抑え部材３との間
に介装されるＯリング６によって保たれる。同様に励起
光源２はその′ａ極２ａを外部に突出させた状態で蓋部
１ｂに保持され、この惺持部が蓋部１ｂと別の抑え部材
５との間の０リング６により密閉される０な北この例で
は、収納容器１の内室の上下の半都がレーザ媒体１０の
斜端面１０ ｃに応じて図の左右方向に互いにずらされ
てあり、冷却媒体Ｃ用の導出人口１ｃは本体部１ａり頂
部と底部にそれぞれ設けられている。
かつその内部熱歪みを下げて高出力発振させるために冷
却が必要なので、密閉構造の収納容器１内にレーザ媒体
１０と１対の励起光諏２を収納して、その内部に純水等
の冷却媒体Ｃを通流させる０収納容器１は、励起光源２
がもの励起光ＥＬを反射する鋭面に仕上げられた楕円状
等の内面をもつ筒状の本体部１ａとその両端面を閉鎖す
る内面か鏡面に仕上げられた１対の蓋部１ｂとがらなり
、この蓋部１ｂＫｌ３１Ｊけた孔からレーザ媒体１０お
よび励起光源２か容器内に灸入され、それらの画端部か
蓋部１ｂによってそれそれ支持される０レーザ媒体１０
はその両斜端面１０ ｃを外部に露出させるように保持
され、この保持部の密閉は蓋部１ｂと抑え部材３との間
に介装されるＯリング６によって保たれる。同様に励起
光源２はその′ａ極２ａを外部に突出させた状態で蓋部
１ｂに保持され、この惺持部が蓋部１ｂと別の抑え部材
５との間の０リング６により密閉される０な北この例で
は、収納容器１の内室の上下の半都がレーザ媒体１０の
斜端面１０ ｃに応じて図の左右方向に互いにずらされ
てあり、冷却媒体Ｃ用の導出人口１ｃは本体部１ａり頂
部と底部にそれぞれ設けられている。
レーザ媒体ＩＯは、その１対の板面１０ ａを介して５
ー 励起光源２からの励起光ＢＬを受けて所定のレーザ発振
作用を行なうか、励起光から受けたエネルギーの大部分
が最終的にはその中で熱に変換されるので、これによる
熱歪みを減少させるために冷却媒体Ｃによりレーザ媒体
１０が強力に冷却される。
ー 励起光源２からの励起光ＢＬを受けて所定のレーザ発振
作用を行なうか、励起光から受けたエネルギーの大部分
が最終的にはその中で熱に変換されるので、これによる
熱歪みを減少させるために冷却媒体Ｃによりレーザ媒体
１０が強力に冷却される。
この冷却作用もレーザ媒体１００１対の板面１０ ａを
介してなされるので、その一の上下の厘み方向の温度勾
配は儂少になるか、さらにその幅方向の温度勾配を減少
させるために、第４区に示すようにその１対の側向１０
ｂに黙絶縁１１か設けられる。この熱絶縁１１は、例
えは熱絶縁性の良好なシリコーンラバー系等の接着剤を
囚示のように半円筒形のガラスや金属製の保持．Ｊ４１
２と側面１０ ｂとの間に抱持するように充填した上で
峡化させ、あるいは樹脂等の熱絶縁狗と金属の保持具を
側面ｔａ ｂに順次接着することによって設けられる。
介してなされるので、その一の上下の厘み方向の温度勾
配は儂少になるか、さらにその幅方向の温度勾配を減少
させるために、第４区に示すようにその１対の側向１０
ｂに黙絶縁１１か設けられる。この熱絶縁１１は、例
えは熱絶縁性の良好なシリコーンラバー系等の接着剤を
囚示のように半円筒形のガラスや金属製の保持．Ｊ４１
２と側面１０ ｂとの間に抱持するように充填した上で
峡化させ、あるいは樹脂等の熱絶縁狗と金属の保持具を
側面ｔａ ｂに順次接着することによって設けられる。
これによって、レーザ媒体ＩＯ内の熱流は専ら第４図の
上下方向に起こり左右方向には起こらなくなり、レーザ
媒体ｌＯ内の幅方向の温度勾配従って熱歪みをほとんど
なくすることかできる。
上下方向に起こり左右方向には起こらなくなり、レーザ
媒体ｌＯ内の幅方向の温度勾配従って熱歪みをほとんど
なくすることかできる。
一６一
以上のように構成された従来のスラブ形固体レーザ装置
では、高出力のレーザ発振条件下でもレーザ媒体内の熱
歪みが僅少なので、断面内で位相がよく揃った，良真で
高出力のレーサビームをそれから取り出すことができる
。
では、高出力のレーザ発振条件下でもレーザ媒体内の熱
歪みが僅少なので、断面内で位相がよく揃った，良真で
高出力のレーサビームをそれから取り出すことができる
。
ところで、このように＠放される従来のスラブ型固体レ
ーザ装置では、レーザ媒体（ ｉｏ ）を柔軟に保持す
るとともに冷却媒体をシールする役目を併せもつシール
材，例えは０リング（６）がレーザ媒体斜端内近傍で収
納容器とレーザ媒体周面との間に設けられ、抑え部制（
３）を用いて抜け止めがなされている。しかし、この０
リングは、斜端面に対向配置された１対のミラーから反
射され抑え部材とレーザ媒体との隙間を通るレーザ光で
焼損されやすい問題があり、このため、さきに本願と回
一出秒人からその対策が提案されている（特願平１−４
８０５５号）。この提案は、レーザ媒体の露出された斜
端面と各ミラーとの間に、ミラーにより反射されたレー
ザ光を遮光し、０リングを保護する辿光板を設けて焼損
を防止しようとするものである。しかし、完全にレーザ
光から０リングを保護するには、レーザ媒体の余１端簡
の周縁部をわずかではあるが遮光板で８５必要があり、
斜端面の面積の減少分だけ出力か低下するという問題が
発生した。また、ミラーからの反射光か遮光板を過熱す
ることにより遮光扱からガスが発生し、これがレーザ媒
体の糾端匍に鯉き始き、レーザ媒体を破損するという間
顕も併せ発生した。
ーザ装置では、レーザ媒体（ ｉｏ ）を柔軟に保持す
るとともに冷却媒体をシールする役目を併せもつシール
材，例えは０リング（６）がレーザ媒体斜端内近傍で収
納容器とレーザ媒体周面との間に設けられ、抑え部制（
３）を用いて抜け止めがなされている。しかし、この０
リングは、斜端面に対向配置された１対のミラーから反
射され抑え部材とレーザ媒体との隙間を通るレーザ光で
焼損されやすい問題があり、このため、さきに本願と回
一出秒人からその対策が提案されている（特願平１−４
８０５５号）。この提案は、レーザ媒体の露出された斜
端面と各ミラーとの間に、ミラーにより反射されたレー
ザ光を遮光し、０リングを保護する辿光板を設けて焼損
を防止しようとするものである。しかし、完全にレーザ
光から０リングを保護するには、レーザ媒体の余１端簡
の周縁部をわずかではあるが遮光板で８５必要があり、
斜端面の面積の減少分だけ出力か低下するという問題が
発生した。また、ミラーからの反射光か遮光板を過熱す
ることにより遮光扱からガスが発生し、これがレーザ媒
体の糾端匍に鯉き始き、レーザ媒体を破損するという間
顕も併せ発生した。
この発四の目的は、冷却媒体ケシールするシール材の焼
損の問題、このシール羽σ）蜆損防止のための遮光板か
らのガス放出と，このガスのレーザ媒質斜端節への付着
によるレーザ媒体蜆損の問題、大気に露出している斜端
向が長期運転中によごれ、これがレーザ発振中に蜆けて
レーザ媒体を飯損する問題など、従来０）スラブ型固体
レーザ装置におけるこれらの問題を解決するスラブ型固
体レーザ装置の構成を提供することである。
損の問題、このシール羽σ）蜆損防止のための遮光板か
らのガス放出と，このガスのレーザ媒質斜端節への付着
によるレーザ媒体蜆損の問題、大気に露出している斜端
向が長期運転中によごれ、これがレーザ発振中に蜆けて
レーザ媒体を飯損する問題など、従来０）スラブ型固体
レーザ装置におけるこれらの問題を解決するスラブ型固
体レーザ装置の構成を提供することである。
上記課題を解決するために、この発［ｌｌＩ」において
は、レーザ光を全反射する１対の板面と，熱絶縁された
１対の側面と，レーザ光が出入りするｌ対の斜端面とを
もつスラブ状体に形成されたレーザ媒体と、レーザ媒体
，冷却媒体，励起光源な収納する収納容器と、レーザ媒
体の斜端面に対向配置されてレーザ光を反射するｌ対の
ミラーとを備えたスラブ型固体レーザ装置を、スラブ状
のレーザ媒体か斜端面が冷却媒体に接する状態に収納容
器内に取り付けられ、レーザ媒体の斜端面に対向する位
置にレーザ光込過部材が気密に収納容器に保持され、こ
の収納容器の外都にレーサ光透過部材と対向してレーザ
光を反射１−る１対のミラーが配置されてなる横成とす
るか、スラブ状のレーザ媒体が斜端面か冷却媒体に接す
る状態に収納容器内に取り付けられ、レーザ媒体の斜端
而に対向する位置にレーザ光を反射する１対のミラーが
気密に収納容器に保持されてなる徊或とするものとする
。
は、レーザ光を全反射する１対の板面と，熱絶縁された
１対の側面と，レーザ光が出入りするｌ対の斜端面とを
もつスラブ状体に形成されたレーザ媒体と、レーザ媒体
，冷却媒体，励起光源な収納する収納容器と、レーザ媒
体の斜端面に対向配置されてレーザ光を反射するｌ対の
ミラーとを備えたスラブ型固体レーザ装置を、スラブ状
のレーザ媒体か斜端面が冷却媒体に接する状態に収納容
器内に取り付けられ、レーザ媒体の斜端面に対向する位
置にレーザ光込過部材が気密に収納容器に保持され、こ
の収納容器の外都にレーサ光透過部材と対向してレーザ
光を反射１−る１対のミラーが配置されてなる横成とす
るか、スラブ状のレーザ媒体が斜端面か冷却媒体に接す
る状態に収納容器内に取り付けられ、レーザ媒体の斜端
而に対向する位置にレーザ光を反射する１対のミラーが
気密に収納容器に保持されてなる徊或とするものとする
。
スラブ型固体レーザ装置をこのように構成すれは、レー
ザ光透過部利が収納容器に気密に保＋＝ｙさ一 ９ 一 ？る構威では、レーザ光透過部材の面積をこの透過部材
を透過するレーザ光の断面槓より十分大きくし、冷却媒
体のシール材を、レーザ光の光路佃域を十分離れて包囲
するように取り伺けることかでき、このシール材とレー
ザ光迭過部桐とな収納容器に因定する抑え金具の窓を十
分大きく形成することができる。これにより、シール材
の蝕損，抑え部材の過熱によるガス発生かレーサ出力を
轍することなく防止される。また、レーザ奴体のｅ、■
ｆ端佃は冷却媒体中に陵Ｙｘされているために汚染され
ることかなく、また冷却媒体として光吸収σつ少ない，
例えはクロロカーホン糸の冷却媒体を月」いることによ
りレーザ出力を尚＜紐持することができる。
ザ光透過部利が収納容器に気密に保＋＝ｙさ一 ９ 一 ？る構威では、レーザ光透過部材の面積をこの透過部材
を透過するレーザ光の断面槓より十分大きくし、冷却媒
体のシール材を、レーザ光の光路佃域を十分離れて包囲
するように取り伺けることかでき、このシール材とレー
ザ光迭過部桐とな収納容器に因定する抑え金具の窓を十
分大きく形成することができる。これにより、シール材
の蝕損，抑え部材の過熱によるガス発生かレーサ出力を
轍することなく防止される。また、レーザ奴体のｅ、■
ｆ端佃は冷却媒体中に陵Ｙｘされているために汚染され
ることかなく、また冷却媒体として光吸収σつ少ない，
例えはクロロカーホン糸の冷却媒体を月」いることによ
りレーザ出力を尚＜紐持することができる。
また、ミラーが収納容器に気密に保持される悄或の場合
には、冷却媒体のシール制がレーザ光によって照射され
ることかなく、牙たミラーからレーザ媒体斜端面外部へ
反射される分の光はすべて冷却媒体中へ向かい、汚染物
寅を発生させないため、シール材の蜆損防止とレーザ媒
体の破損防Ｊ１１０ とがレーザ出力を減ずることなく可能になるとともに装
置が小型化される副次的効果まで得ることかできる。
には、冷却媒体のシール制がレーザ光によって照射され
ることかなく、牙たミラーからレーザ媒体斜端面外部へ
反射される分の光はすべて冷却媒体中へ向かい、汚染物
寅を発生させないため、シール材の蜆損防止とレーザ媒
体の破損防Ｊ１１０ とがレーザ出力を減ずることなく可能になるとともに装
置が小型化される副次的効果まで得ることかできる。
以下図を参照しなから本発切を説明する〇弟１幽は本発
明によるスラブ型固体レーザ装置構敢の第ｌの実施例を
示す〇一中、弟３図１と同一の部材には回一符号を付し
、説−を省略する０レーザ媒体ｌ０は収納容器１１内に
その斜端向１０ ａが収納容器ｌｌ内に充満する冷却媒
体に嫉丁るよう、その全長にわたって収納され、ここに
は特に幽示しないが、その側而１０ｂ（弟４図）の熱絶
縁１１を抱持する保持具ｌ２を金属製とし、収納容器本
体部１１ ａの側壁を気密に貝通するボルトもしくはス
タッドを用いて収納容器１に固定するｏｌｉ！ＩＪ定さ
れたレーザ媒体ＩＯＯ斜端面１０ ｃに対向する収納容
器１の部分には、レーザ光透過部材４が０リング６区を
介し押え部羽／３によって収納容器』ｌに気密に保持さ
れている。レーザ光透過部材４はレーザ媒体１０の斜端
面１０．ａ−の表面積に比べ十分に広い表面としＣ て０ １Ｊング６ａかレーザ光Ｌの光路を十分に離れて
包囲するようにするとともにと００リングを抑える抑え
部材１３には十分広い窓か形成されている。
明によるスラブ型固体レーザ装置構敢の第ｌの実施例を
示す〇一中、弟３図１と同一の部材には回一符号を付し
、説−を省略する０レーザ媒体ｌ０は収納容器１１内に
その斜端向１０ ａが収納容器ｌｌ内に充満する冷却媒
体に嫉丁るよう、その全長にわたって収納され、ここに
は特に幽示しないが、その側而１０ｂ（弟４図）の熱絶
縁１１を抱持する保持具ｌ２を金属製とし、収納容器本
体部１１ ａの側壁を気密に貝通するボルトもしくはス
タッドを用いて収納容器１に固定するｏｌｉ！ＩＪ定さ
れたレーザ媒体ＩＯＯ斜端面１０ ｃに対向する収納容
器１の部分には、レーザ光透過部材４が０リング６区を
介し押え部羽／３によって収納容器』ｌに気密に保持さ
れている。レーザ光透過部材４はレーザ媒体１０の斜端
面１０．ａ−の表面積に比べ十分に広い表面としＣ て０ １Ｊング６ａかレーザ光Ｌの光路を十分に離れて
包囲するようにするとともにと００リングを抑える抑え
部材１３には十分広い窓か形成されている。
レーザ媒体１０とレーザ光透過部材４との間には冷却媒
体Ｃの通る隙間があり常に冷却媒体Ｃか充満している。
体Ｃの通る隙間があり常に冷却媒体Ｃか充満している。
この冷却媒体Ｃはレーザ光の吸収の少い、つまりレーザ
光を良く透過する，例えばクロロカーボン糸の冷媒が粗
いもれている０収納容器１１に気密に保持されているレ
ーザ光透過部材４と対向する位置に全反射ミラー２１ａ
，出力ミラー２２ａを設けてレーザ発振を行なう〇 このように、レーザ光透過部材を収納容器に気密に取り
付ける構或とすることにより、冷却媒体のシール材をレ
ーザ光の光路な十分陥れて包囲するように取り付けるこ
とができ、レーザ出力を減ずることなくシール材を焼損
から守ることができる。また、レーザ媒体の斜端面は常
時冷却媒体と接触しているため斜端而の汚染がなくなり
、また冷却媒体として光吸収の少ない冷却媒体を用いる
ことにより、レーザ出力を高く維持しつつレーザ媒体の
破損を完全に防止することができる０第２図は本発明に
よるスラブ型固体レーザ装置構或の第２の実施例を示す
。この構威は第１図におけるレーザ光透過部材４を全反
射ミラー２１ｂ，出力ミラー２２ｂと置換したものであ
る。この構威ではシール材６ａはレーザ光によって照射
されることはなく、また、ミラーからレーザ媒体斜端面
の外部へ反射される分の光がすべて冷却媒体内へ向かう
から、斜端面を汚染する物質の発生がなく、従ってレー
ザ媒体の破損か生じることもなくなるＯさらに、ミラー
が収納容器と一体化されるため、装置が小形化されるメ
リットが生じる。
光を良く透過する，例えばクロロカーボン糸の冷媒が粗
いもれている０収納容器１１に気密に保持されているレ
ーザ光透過部材４と対向する位置に全反射ミラー２１ａ
，出力ミラー２２ａを設けてレーザ発振を行なう〇 このように、レーザ光透過部材を収納容器に気密に取り
付ける構或とすることにより、冷却媒体のシール材をレ
ーザ光の光路な十分陥れて包囲するように取り付けるこ
とができ、レーザ出力を減ずることなくシール材を焼損
から守ることができる。また、レーザ媒体の斜端面は常
時冷却媒体と接触しているため斜端而の汚染がなくなり
、また冷却媒体として光吸収の少ない冷却媒体を用いる
ことにより、レーザ出力を高く維持しつつレーザ媒体の
破損を完全に防止することができる０第２図は本発明に
よるスラブ型固体レーザ装置構或の第２の実施例を示す
。この構威は第１図におけるレーザ光透過部材４を全反
射ミラー２１ｂ，出力ミラー２２ｂと置換したものであ
る。この構威ではシール材６ａはレーザ光によって照射
されることはなく、また、ミラーからレーザ媒体斜端面
の外部へ反射される分の光がすべて冷却媒体内へ向かう
から、斜端面を汚染する物質の発生がなく、従ってレー
ザ媒体の破損か生じることもなくなるＯさらに、ミラー
が収納容器と一体化されるため、装置が小形化されるメ
リットが生じる。
以上に述べたように、本発川においては、レーザ光を全
反射するｌ対の板面と，熱絶縁されたｌ対の側面と，レ
ーザ光が出入りする１対の斜端面とをもつスラブ状体に
形成されたレーザ媒体と、レーザ媒体，冷却媒体，励起
光源を収納する収納容器と、レーザ媒体の斜端向に対向
配置されてレーザ光を反射するｌ対のミラーとを備えた
スラブ−１３− 型固体レーザ装渡を、スラブ状のレーザ媒体か斜端面が
冷却媒体に接する状態に収納容器内に取り付けられ、レ
ーザ媒体の斜端面に対回する位置にレーザ光透過部材が
気密に収納容器に保持され、この収納容器の外部にレー
ザ光透過部材と対向してレーザ光を反射する１対のミラ
ーが配置されてなる構成とするか、スラブ状のレーザ媒
体が斜端面が冷却媒体に接する状態に収納容器内に取り
付けられ、レーザ媒体の斜端面に対向する位置にレーザ
光を反射するｌ対のミラーが気密に収納容器に保持され
てなる構取としたので、レーザ光透過部材が収納容器に
保持される構成の場合には、このレーザ光透過部材の面
積を大きくすることにより、冷却媒体のシール材を、レ
ーザ光の光路領域を十分離れて包囲するように取り付け
ることができ、また、このシール材とレーザ光透過部材
とを収納容器に固定する抑え金具の窓を十分大きく形成
することができるため、レーザ出力を減ずることなくシ
ール材の焼損，抑え金具の加熱によるガス発生が防止さ
れる。加えて、レーザ媒体の斜端１４− 面は密閉された収納容器内の冷却媒体中に浸漬されるた
め斜端面の汚染がなく、また、冷却媒体を光吸収の少な
い冷却媒体とすることにより、レーザ出力を高く維持し
つつレーザ奴体の破損を完全に防止することかできる。
反射するｌ対の板面と，熱絶縁されたｌ対の側面と，レ
ーザ光が出入りする１対の斜端面とをもつスラブ状体に
形成されたレーザ媒体と、レーザ媒体，冷却媒体，励起
光源を収納する収納容器と、レーザ媒体の斜端向に対向
配置されてレーザ光を反射するｌ対のミラーとを備えた
スラブ−１３− 型固体レーザ装渡を、スラブ状のレーザ媒体か斜端面が
冷却媒体に接する状態に収納容器内に取り付けられ、レ
ーザ媒体の斜端面に対回する位置にレーザ光透過部材が
気密に収納容器に保持され、この収納容器の外部にレー
ザ光透過部材と対向してレーザ光を反射する１対のミラ
ーが配置されてなる構成とするか、スラブ状のレーザ媒
体が斜端面が冷却媒体に接する状態に収納容器内に取り
付けられ、レーザ媒体の斜端面に対向する位置にレーザ
光を反射するｌ対のミラーが気密に収納容器に保持され
てなる構取としたので、レーザ光透過部材が収納容器に
保持される構成の場合には、このレーザ光透過部材の面
積を大きくすることにより、冷却媒体のシール材を、レ
ーザ光の光路領域を十分離れて包囲するように取り付け
ることができ、また、このシール材とレーザ光透過部材
とを収納容器に固定する抑え金具の窓を十分大きく形成
することができるため、レーザ出力を減ずることなくシ
ール材の焼損，抑え金具の加熱によるガス発生が防止さ
れる。加えて、レーザ媒体の斜端１４− 面は密閉された収納容器内の冷却媒体中に浸漬されるた
め斜端面の汚染がなく、また、冷却媒体を光吸収の少な
い冷却媒体とすることにより、レーザ出力を高く維持し
つつレーザ奴体の破損を完全に防止することかできる。
また、ミラーが収納容器に気密に保持される構或では、
冷却媒体のシール材がレーザ光によって照射されること
かなく、また、ミラーからレーザ媒体料端（自）外部へ
反射される分の光はすべて冷却媒体中へ向かい、汚染物
負を発生させないため、シール材の蝕撰防止とレーザ媒
質の破損防止とがレーザ出力を減することなく達成され
るとともにミラーの収納容器への一体化により装置が小
形化される効果をも得ることができる。
冷却媒体のシール材がレーザ光によって照射されること
かなく、また、ミラーからレーザ媒体料端（自）外部へ
反射される分の光はすべて冷却媒体中へ向かい、汚染物
負を発生させないため、シール材の蝕撰防止とレーザ媒
質の破損防止とがレーザ出力を減することなく達成され
るとともにミラーの収納容器への一体化により装置が小
形化される効果をも得ることができる。
このように、本発四の構成によれは、冷却媒体シール材
へのレーザ光の照射と、レーザ媒体斜端面の汚染とがレ
ーザ出力を減ずることなく防止され、装置の複雑化やコ
スト上昇を伴うことなく、シール材の焼損防止とレーザ
媒体の破損防止とが達成される〇
へのレーザ光の照射と、レーザ媒体斜端面の汚染とがレ
ーザ出力を減ずることなく防止され、装置の複雑化やコ
スト上昇を伴うことなく、シール材の焼損防止とレーザ
媒体の破損防止とが達成される〇
第１図および第２囚はそれそれ本発明の妃１および第２
の実施例によるスラブ型１６１体レーザ製置の構成を示
す側面断面図、弟３図は従来例によるスラブ型固体レー
ザ装置の構或を示す側ｕ月断面レ］、第４塁は第３図に
おけるレーザ媒体の構造を示す正面−である。
の実施例によるスラブ型１６１体レーザ製置の構成を示
す側面断面図、弟３図は従来例によるスラブ型固体レー
ザ装置の構或を示す側ｕ月断面レ］、第４塁は第３図に
おけるレーザ媒体の構造を示す正面−である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）レーザ光を全反射する１対の板面と、熱絶縁された
１対の側面と、レーザ光が出入りする１対の斜端面とを
もつスラブ状体に形成されたレーザ媒体と、レーザ媒体
、冷却媒体、励起光源を収納する収納容器と、レーザ媒
体の斜端面に対向配置されてレーザ光を反射する１対の
ミラーとを備えたスラブ型固体レーザ装置において、ス
ラブ状のレーザ媒体が斜端面が冷却媒体に接する状態に
収納容器内に取り付けられ、レーザ媒体の斜端面に対向
する位置にレーザ光透過部材が気密に収納容器に保持さ
れ、この収納容器の外部にレーザ光透過部材と対向して
レーザ光を反射する１対のミラーが配置されてなるスラ
ブ型固体レーザ装置。 ２）レーザ光を全反射する１対の板面と、熱絶縁された
１対の側面と、レーザ光が出入りする１対の斜端面とを
もつスラブ状体に形成されたレーザ媒体と、レーザ媒体
、冷却媒体、励起光源を収納する収納容器と、レーザ媒
体の斜端面に対向配置されてレーザ光を反射する１対の
ミラーとを備えたスラブ型固体レーザ装置において、ス
ラブ状のレーザ媒体が斜端面が冷却媒体に接する状態に
収納容器内に取り付けられ、レーザ媒体の斜端面に対向
する位置にレーザ光を反射する１対のミラーが気密に収
納容器に保持されてなるスラブ型固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15756189A JPH0322579A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | スラブ型固定レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15756189A JPH0322579A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | スラブ型固定レーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0322579A true JPH0322579A (ja) | 1991-01-30 |
Family
ID=15652373
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15756189A Pending JPH0322579A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | スラブ型固定レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0322579A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998034305A1 (fr) * | 1997-01-30 | 1998-08-06 | Fanuc Ltd | Oscillateur laser |
| EP1670103A1 (en) * | 2003-09-25 | 2006-06-14 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid state laser |
| US7502396B2 (en) | 2003-08-28 | 2009-03-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid-state laser apparatus |
-
1989
- 1989-06-20 JP JP15756189A patent/JPH0322579A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998034305A1 (fr) * | 1997-01-30 | 1998-08-06 | Fanuc Ltd | Oscillateur laser |
| US7502396B2 (en) | 2003-08-28 | 2009-03-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid-state laser apparatus |
| EP1670103A1 (en) * | 2003-09-25 | 2006-06-14 | Hamamatsu Photonics K.K. | Solid state laser |
| EP1670103A4 (en) * | 2003-09-25 | 2006-10-11 | Hamamatsu Photonics Kk | SEMICONDUCTOR LASER |
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