JPS63271255A - マスキングフイルム原版を用いる感光性樹脂の露光方法 - Google Patents

マスキングフイルム原版を用いる感光性樹脂の露光方法

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JPS63271255A
JPS63271255A JP62106094A JP10609487A JPS63271255A JP S63271255 A JPS63271255 A JP S63271255A JP 62106094 A JP62106094 A JP 62106094A JP 10609487 A JP10609487 A JP 10609487A JP S63271255 A JPS63271255 A JP S63271255A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
photosensitive resin
masking film
plate
masking
Prior art date
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Pending
Application number
JP62106094A
Other languages
English (en)
Inventor
Ryohei Ebara
江原 良平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Somar Corp
Original Assignee
Somar Corp
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/20Masks or mask blanks for imaging by charged particle beam [CPB] radiation, e.g. by electron beam; Preparation thereof

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明はマスキングフィルム原版を用いる感光性樹脂の
露光方法に関するものである。
【従来技術〕
従来、吸引孔又は溝を有する透明支持板上に載置された
感光性樹脂の上面又は下面にベースフィルムを介してマ
スキングフィルム原版を重ねると共に、その積層物の上
面に気密性カバー材料を重ね、その吸引孔又は溝から吸
引を行い、透明支持板と気密性カバー材料との間隙を減
圧状態に保持しながら、該マスキングフィルム原版を通
して光を照射し、感光性樹脂に、マスキングフィルム原
版に形成された透明画像に対応した画像露光を行う方法
は知られている。このようにして露光された感光性樹脂
を処理することにより、所望の硬化樹脂画像を得ること
ができる。このような露光方法は、バーコード印刷用の
合成樹脂製スタンプや、段ボールへの文字、図柄印刷用
の合成樹脂製スタンプ等を製造する工程の一部に用いら
れている。
ところで、前記した如き露光方法において、マスキング
フィルム原版としては、従来、表面に遮光性薄膜を有す
るプラスチックフィルムが一般に用いられている。この
ようなプラスチックフィルムからなるマスキングフィル
ム原版を用いる場合、前記の如き透明支持板と気密性カ
バー材料との間隙部を減圧状態に保持すると、マスキン
グフィルム原版、ベースフィルム及び感光性樹脂からな
る積層物全体は透明支持板と気密性カバー材料との間隙
部に挟圧されて位置ずれは生じないものの。
マスキングフィルム原版とベースフィルムとの間の密着
性が不十分で、マスキングフィルム原版とベースフィル
ムとの間に空気層が入り込み、そのために、マスキング
フィルム原版に対応した画像を精度よく感光性樹脂に形
成させることが困難であるという欠点があった。
〔目  的〕
本発明は、従来技術に見られる前記欠点を克服すること
を目的とする。
〔楕  成〕 本発明によれば、吸引孔又は溝を有する透明支持板上に
載置された感光性樹脂の上面又は下面にベースフィルム
又はカバーフィルムを介してマスキングフィルム原版を
重ねると共に、その積層物の上面に気密性カバー材料を
重ね該吸引孔又は溝から吸引を行い、該透明支持板と気
密性カバー材料との間隙を減圧状態に保持しながら、該
マスキングフィルム原版を通して光を照射する感光性樹
脂の露光方法において、該マスキングフィルム原版とし
て1表面に遮光性薄膜を有し、裏面に微細凹凸を多数有
するプラスチックフィルムを用いると共に、該マスキン
グフィルム原版の微細凹凸面側を該ベースフィルム又は
カバーフィルムに密着させることを特徴とする方法が提
供される。
本発明においては、マスキングフィルム原版として、表
面に遮光性薄膜を有し、裏面に微細な凹凸を有するプラ
スチックフィルムからなるものを用いる0本発明者らの
研究によれば、このようなプラスチックフィルムをマス
キングフィルム原版として用いる時には、意外にも、マ
スキングフィルム原版とベースフィルム又はカバーフィ
ルムとの間の密着性が非常にすぐれたものになることを
見出した。なお1本明細書において言うマスキングフィ
ルム原版とは、遮光性薄膜を有するプラスチックフィル
ムにおいて、その遮光性薄膜を剥離し、所望の透明画像
を形成したものを意味する。
前記マスキングフィルム原版におけるプラスチックフィ
ルムとしては、ポリエステルや、ポリ塩化ビニル、ポリ
カーボネート等の従来一般に用いられている合成樹脂フ
ィルムが用いられる。その厚さは、25〜250μ騰、
好ましくは72〜125μ論である。
また、その表面に設ける遮光性簿膜も、その組成には特
に制限はなく、従来公知の種々の組成物からなるものを
用いることができる。この薄膜については、いったん剥
離した後に再接着性を示すものでも、示さないものでも
いずれのものも使用できる。
本発明において、プラスチックフィルムの遮光性薄膜を
有しない方の面に形成する微細凹凸については、とにか
く微細凹凸が形成されていればよく、この微細凹凸の形
成手段や形成方法に制限はない、微細凹凸の形成手段や
形成方法としては、例えば、サンドブラスト法、ケミカ
ルコーティング法、放電法、エツチング法等のいずれの
方法でも良いが、サンドブラスト法が最も好ましい、こ
の微細凹凸の性状は、中心線平均粗さ01(CLA))
で、0.1〜2.0μ■、好ましくは0.3〜0.7μ
Iの範囲にあるように規定するのがよい、この範囲より
も小さくなると密着性が悪くなるので好ましくなく。
またこの範囲よりも大きくなると、逆に密着性が悪くな
ったり、光透過性が損われて所望の像形成が困難となっ
たり、透明性に劣るようになり、見にくくなって、結果
として位置合せ等の作業性に′悪影響を及ぼす。
次に、本発明の露光方法を、合成樹脂製スタンプの製造
例に基づいて説明する。
〔マスキングフィルム原版の作成〕
前記した表面に遮光性薄膜を有し、裏面に微細な凹凸を
有するプラスチックフィルムにおいて、その遮光性薄膜
を、所望画像に対応して剥離させて透明画像を形成し、
マスキングフィルム原版を得る。
〔感光性樹脂の第1tfg光〕 吸引孔又は吸引溝を有する透明支持板(通常ガラス板)
を有する露光装置において、第1図に示すようにその透
明支持板1の上に、ネガフィルム2、カバーフィルム3
.感光性樹脂4.ベースフィルム5、前記マスキングフ
ィルム原版6及び気密性カバー材料7をその順に重ね、
吸引孔又は吸引溝(図示せず)から吸引を行い、透明支
持板1と気密性カバー材料7との間の間隙部を減圧状態
に保持し、前記積層物を一体化させた。この場合、マス
キングフィルム原版6は、その微細凹凸面がベースフィ
ルム5に接触するように重ねる。次いで、透明支持板の
上方の光源8から光をマスキングフィルム原版6を介し
て、感光性樹脂上部に照射し、これをa露光する。
本発明で用いる露光装置は、内部に露光用の光源と減圧
用の真空装置を備え、上部に吸引孔又は吸引溝を有する
透明支持板と、その透明支持板をカバーする気密性カバ
ー材料(通常は透明ゴムシート)を備え、さらにその上
方に露光用光源を備えたもので、既に市販されているも
のである。この場合、吸引孔又は吸引溝は、透明支持板
の周縁近辺に配設されている。また、本発明で用いる感
光性樹脂は、液体状又は固体状であることができ机 前記のようにして露光を行うことによって、感光性樹脂
上部は、マスキングフィルム原版の透明画像に対応する
画像状に露光される。      ゛〔感光性樹脂の第
2露光〕 前記第1露光後、感光性樹脂下方の光源9からスタンプ
印字面を与える透明画像のネガフィルム2を通して、光
を照射して像露光を行い、感光性樹脂の下部にそのネガ
フィルムに対応する画像を露光する。この場合の露光画
像部は、前記第1露光で感光性樹脂の上部に形成した露
光画像部と対向する位置にある。
〔現像処理〕
前記の第1露光及び第2露光が終った後、未硬化感光性
樹脂を除去処理し、硬化樹脂画像を有するスタンプを得
る。これをスタンプ台に貼着して印刷用スタンプを得る
前記のようにして得られたスタンプの硝造を第5図に示
す。第5図において、11はスタンプ台(ベースフィル
ム)、12はスタンプ台に貼着された硬化樹脂からなる
スタンプ、3はインキ付着面を示す。また、スタンプ1
2において、aはスタンプ印字部、bはスタンプ補強部
を示す、スタンプ印字部aは、第1図のネガフィルム2
を用いる第2露光に対応する硬化樹脂部からなり、スタ
ンプ補強部すは、第1図のマスキングフィルム原版6を
用いる第2露光に対応する硬化樹脂からなる。スタンプ
補強部すを構成する硬化樹脂部の平面形状は、方形や円
形であってもよいが、スタンプ印字部aの文字形と同一
の形状にするのが好ましい。例えば、スタンプ印字部a
の印字面の形が文字rAJを示すものであれば、スタン
プ強化部すの平面形状は、その印字面よりも大きな文字
rAJの形にするのがよい。このようにすることにより
、補強部すの体積が少なくてすみ、感光性樹脂の使用撤
が少なくてすむという利点がある。
本発明において、透明支持板上に載置するカバーフィル
ム、感光性樹脂、ベースフィルム、マスキングフィルム
原版を含む積層物は、第1図に示したものとは、その積
層順序を逆にすることができ、その例を第2図に示す。
また、本発明の実施において、前記のようにして合成樹
脂スタンプを製造する場合、ネガフィルムを通しての第
2露光は省略することが+きる。
即ち、前記においては、スタンプ印字部aは、ネガフィ
ルムを通しての第2露光により形成したものであり、ス
タンプ補強部すはマスキングフィルム原版を通しての第
1露光により形成したものであるが、本発明の場合、マ
スキングフィルム原版を通しての第1露光により形成さ
れる画像は画像精度の良いものであるから、第2m光を
省略し、第1露光により直接印字部a及び補強部すを形
成することができる。この場合の透明支持板上に載置す
る積層物の積層例を第3図及び第4図に示す、これらの
場合、印字面はそのマスキングフィルム原版に対応した
画像状に作成されることから、ベースフィルム5は、感
光樹脂面のマスキングフィルム原版とは反対側に積層さ
れ、マスキングフィルム原版は、第1図及び第2図の場
合とは異なり、カバーフィルム3を介して感光性樹脂に
重ねられる。
また、気密性カバー材料7は1通常、透明性のものであ
るが、第4図の場合、露光は下方の光源9のみで行なわ
れることから、不透明のものであってもよい。
〔効  果〕
本発明の露光方法においては、露光に際し、マスキング
フィルム原版の微細凹凸面とこの面に接触するベースフ
ィルム又はカバーフィルムとの間の密着性がすぐれてい
るため、マスキングフィルにより位置合せも良好に行う
ことができる。さらに光源からの光が微細凹凸により均
一に散乱し、感光性樹脂を目的とする形状に精度よく硬
化させることができる。
本発明の露光方法は、バーコード印刷用合成樹脂製スタ
ンプや、段ボールへの文字、図柄印刷用合成樹脂製スタ
ンプの製造におけるマスキングフィルム原版を用いる露
光方法等に好ましく適用されるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は透明支持板上に載置する感光性樹脂、マスキン
グフィルム原版を含む積層物の積層説明図であり、第2
図〜第4図はその変更例を示す。 第5図はスタンプの説明断面図を示す。 1・・・・・透明支持板、2・・・・・ネガフィルム、
3・・・・・カバーフィルム、4・・・・・感光性樹脂
、5・・・・・ベースフィルム、6・・e・・マスキン
グフィルム原稿、7・・・・・気密性カバー材料、8.
9・・・・光源、11・・・・・スタンプ台、12・・
・・・スタンプ。 13・・・・・インキ付着面、a・・・・・スタンプ印
字部。 b・・・・・スタンプ補強部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)吸引孔又は溝を有する透明支持板上に載置された
    感光性樹脂の上面又は下面にベースフィルム又はカバー
    フィルムを介してマスキングフィルム原版を重ねると共
    に、その積層物の上面に気密性カバー材料を重ね、該吸
    引孔又は溝から吸引を行い、該透明版と気密性カバー材
    料との間隙を減圧状態に保持しながら、該マスキングフ
    ィルム原版を通して光を照射する感光性樹脂の露光方法
    において、該マスキングフィルム原版として、表面に遮
    光性薄膜を有し、裏面に微細凹凸を多数有するプラスチ
    ックフィルムを用いると共に、該マスキングフィルム原
    版の微細凹凸面側を該ベースフィルム又はカバーフィル
    ムに密着させることを特徴とする方法。
JP62106094A 1987-04-28 1987-04-28 マスキングフイルム原版を用いる感光性樹脂の露光方法 Pending JPS63271255A (ja)

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5253226U (ja) * 1975-10-14 1977-04-16
JPS5632144A (en) * 1979-10-05 1981-04-01 Dainippon Printing Co Ltd Vacuum contact printing device

Patent Citations (2)

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