JPS63266692A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPS63266692A
JPS63266692A JP62099775A JP9977587A JPS63266692A JP S63266692 A JPS63266692 A JP S63266692A JP 62099775 A JP62099775 A JP 62099775A JP 9977587 A JP9977587 A JP 9977587A JP S63266692 A JPS63266692 A JP S63266692A
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JP
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circuit
level
emitter follower
transistor
circuits
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JP62099775A
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Kazuhisa Miyamoto
和久 宮本
Shuichi Miyaoka
修一 宮岡
Masanori Odaka
小高 雅則
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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    • G11CSTATIC STORES
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    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C5/00Details of stores covered by group G11C11/00
    • G11C5/14Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
    • G11C5/147Voltage reference generators, voltage or current regulators; Internally lowered supply levels; Compensation for voltage drops

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  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体記憶装置に関するもので、例えば、
ECL (エミッタ・カップルド・ロジック)回路によ
り構成されるバイボー51MRAM (ランダム・アク
セス・メモリ)などに利用して有効な技術に関するもの
である。
〔従来の技術〕
ECL回路によって構成されるバイポーラ型RAMがあ
る。このバイポーラ型RAMには、その電源電圧を−5
,2vとする10Kタイプと、−4゜5vとする100
Kタイプの2種類がある。
バイポーラ型RAMについては、例えば、特開昭58−
60487号公報に記載されている。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記のようなバイポーラ型RAMの周辺回路を構成する
入力回路及び論理ゲート回路は1、差動トランジスタを
含む電流スイッチ回路をその基本構成とする。これらの
論理ゲート回路の論理スレフシホルトレベルは、差動ト
ランジスタの一方のベースに供給される参照電位−vb
bによって設定される。
バイポーラ型RAMは、上記参照電位−vbbを形成す
るため、第5図に示されるようなレベル生成回路VG3
及びエミッタフォロア出力回路VO3からなる10Kタ
イプの定電圧発生回路と、レベル生成回路VG4及びエ
ミッタフォロア出力回路VO4からなる100にタイプ
の定電圧発生回路VG4の両方を内蔵する。これらの定
電圧発生回路は、バイポーラ型RAMに供給される電源
電圧に応じて、マスター・スライスにより択一的に有効
とされる。これらの定電圧発生回路VC3及びVO2は
、例えば第4図に示されるように、半導体基板SUBの
両端にそれぞれ形成され、有効とされる定電圧発生回路
から半導体基板SUB内のすべての回路に参照電位−v
bbが供給される。
したがって、参照電位−vbbの供給線が長くなり、そ
の配線抵抗等によって参照電位−vbbが低下する。こ
のため、入力回路や論理ゲート回路の論理スレ7シホル
ドレベルが変化し、バイポーラ型RAMの動作が不安定
となる。
一方、定電圧発生回路VG3及びVO2によって形成さ
れる参照電位−vbbは、電流スイッチ回路を構成する
比較的多数のトランジスタのベースに供給される。した
がって、複数の電流スイッチ回路が同時に状態遷移しそ
のトランジスタのベース電流が変化することによって、
参照電位−vbbが変動する。これを防止するため、第
5図に示されるように、比較的大きな静電容量を持つキ
ャパシタC5・C6又はC7・C8を付加し、基準レベ
ルの変動を抑える方法が効果的とされる。ところが、こ
の方法を採った場合、バイポーラ型RAMに内蔵される
二つの定電圧発生回路VG3及びVO2のそれぞれに、
比較的大きな面積を必要とするキャパシタC5・C6又
はC7・C8を設けなくてはならない、このため、半導
体基板のレイアウト効率が低下し、チップサイズが大型
化してしまう。
この発明の目的は、参照電位の変動を抑え動作の安定化
を図ったバイポーラ型RAMなどの半導体記憶装置を提
供することにある。
この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
この明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろ
う。
〔問題点を解決するための手段〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
すなわち、10Kタイプ及び100にタイプの定電圧発
生回路を構成するレベル生成回路及びエミッタフォロア
出力回路を半導体基板の両端にそれぞれ配置し、上記2
個のエミッタフォロア出力回路の基準レベル入力端子を
共通接続し、さらに供給される電源電圧に従って選択的
に一方のレベル生成回路に結合することで、半導体基板
の両側から近接する周辺回路にそれぞれ参照電位を供給
するものである。
〔作 用〕
上記した手段によれば、参照電位の供給線を短くするこ
とができ、配線抵抗による参照電位等の低下を防止し、
バイポーラ型RAMなどの半導体記憶装置の動作を安定
化できる。
〔実施例〕
第2図には、この発明が通用されたバイポーラ型RAM
の一実施例の回路ブロック図が示されている。同図のR
AMは、公知の半導体集積回路の製造技術によって、1
個のシリコンのような半導体基板上において形成される
この実施例のバイポーラ型RAMは、ECL回路をその
基本構成とし、−5,2Vを電源電圧とする10Kタイ
プと−4,5vを電源電圧とする100にタイプに切り
換え使用することができる。バイポーラ型RAMは、そ
れぞれ半導体基板の両側に配置される2組のレベル生成
回路vG1及びVO2とエミッタフォロア出力回路VO
I及びV。
2を内蔵する。これらのレベル生成回路及びエミッタフ
ォロア出力回路は、供給される電源電圧に応じて選択的
に組み合わされて動作状態とされ、10にタイプの定電
圧発生回路又はLOOKタイプの定電圧発生回路として
機能する。特に制限されないが、この実施例においてバ
イポーラ型RAMは10Kタイプとされ、参照電位−v
bb及び基準電位−Vcsは、レベル生成回路VGIと
エミッタフォロア出力回路VOI及びVO2からなる1
0にタイプの定電圧発生回路によって形成され各回路に
供給される。
第2図において、メモリアレイM−ARYは、同図の水
平方向に配置されるm+1本のワード線WO〜Wmと、
同図の垂直方向に配置されるn+1組の相補データ線D
O・DO〜Dn−Dn及びこれらのワード線と相補デー
タ線の交点に格子状に配置される(m+1)X (n+
1)個のメモリセルMCによって構成される。
それぞれのメモリセルMCは、特に制限されないが、例
えば第2図に例示的に示されるように、そのベースとコ
レクタが互いに交差接続されるNPN型の駆動トランジ
スタQ25及びQ26と、これらの駆動トランジスタの
コレクタにそれぞれ設けられるPNP型の負荷トランジ
スタQ43及びQ44とからなるフリフプフロンブ回路
により構成される。メモリセルMCの駆動トランジスタ
Q25及びQ26は、特に制限されないが、マルチエミ
ッタ構造とされ、それぞれ二つのエミ7りを持つ、この
うち、一方のエミッタは共通接続され、さらに後述する
保持電流供給線!3に結合される。駆動トランジスタQ
25及びQ26の他方のエミッタは、メモリセルの入出
力端子とされ、相補データ線(ピント線又はディジット
線)DO・DOの非反転信号線及び反転信号線にそれぞ
れ接続される。一方、メモリセルMCを構成する負荷ト
ランジスタQ43及びQ44のエミッタは共通接続され
、さらに対応するワード線WOに結合される。
同様に、メモリアレイM−ARYの同一の列に配置され
るm+1個のメモリセルMCの入出力端子は、対応する
相補データ線DO・σ1〜Dn・丁1の非反転信号線又
は反転信号線にそれぞれ共通に結合される。また、メモ
リアレイM−ARYの同一の行に配置されるn+1個の
メモリセルMCの負荷トランジスタの共通接続されたエ
ミッタは、対応するワード線WO〜Wmにそれぞれ共通
に結合される。すべてのメモリセルMCの駆動トランジ
スタQ25及びQ26の共通接続されたエミッタは、保
持電流供給線Isに結合され、さらに、保持電流供給回
路Isに結合される。
保持電流供給回路Isは、特に制限されないが、定電圧
発生回路VGI又はVO2から基準電位−Vcsを受け
、メモリセルMCに所定の記憶保持電流を流す機能を持
つ、この記憶保持電流はバイポーラ型RAMが非選択状
態とされるときも流されるため、その値はメモリセルM
Cが記憶データを保持しうる程度の比較的小さな値とさ
れる。
メモリアレイM−ARYを構成するワード線WO−%−
Wmは、XアドレスデコーダXDCRに結合され、その
うちXアドレス信号AXO〜AXiによって指定される
1本のワード線が択一的にハイレベルの選択状態とされ
る。
外部の装置から供給されるXアドレス信号AXO〜AX
iは、外部端子AXO〜AXiを介してXアドレスバッ
ファXADHに供給される。XアドレスバンファXAD
Bは、これらのXアドレス信号AXO〜AXiをもとに
、相補内部アドレス信号axQ〜axi(ここで、例え
ばXアドレス信号AXOと同相の内部アドレス信号ax
Qと逆相の内部アドレス信号丁T1をあわせて相補内部
アドレス信号axOと表す、以下同じ)を形成し、Xア
ドレスデコーダXDCRに供給する。
XアドレスデコーダXDCRは、XアドレスバフファX
ADBから供給される相補内部アドレス信号axQ〜土
xiをデコードし、対応する1本のワード線をハイレベ
ルの選択状態とする。
一方、メモリアレイM−ARYを構成する相補データ線
DO−ITて〜Dn−庇は、第2図の相補データ線DO
・■τ及びDn−丁子に代表して示されるように、対応
するカラムスイッチ用トランジスタQ33・Q34ない
しQ35・Q36を介して、対応するトランジスタQ3
9・Q40ないしQ41・Q42のコレクタにそれぞれ
結合される。これらのトランジスタQ39・Q40ない
しQ41・Q42は、そのエミッタが回路の電源電圧−
Veeに結合されそのベースに所定のバイアス電圧−V
b2が供給されることによって、畜き込み・読み出し動
作のための定電流源として機能する。
カラムスイッチ用のトランジスタQ33・Q34〜Q3
5・Q36のベースには、後述するYアドレスデコーダ
YDCRから対応するデータ線選択信号YO〜Ynがそ
れぞれ供給される。これらのデータ線選択信号Y O=
 Y nは、通常ロウレベルの非選択状態とされ、Yア
ドレス信号AYO〜AYjが対応する組み合わせとされ
るとき択一的にハイレベルの選択状態とされる。
外部から供給されるYアドレス信号AYO〜AYjは、
外部端子AYO−AYjを介してYアドレスバッファY
ADBに供給される。YアドレスバンファYADBは、
これらのYアドレス信号AYO〜AYjをもとに、相補
内部アドレス信号土yO〜ayjを形成し、Yアドレス
デコーダYDCRに供給する。
YアドレスデコーダYDCRは、YアドレスバフファY
ADBから供給される相補内部アドレス信号ayO〜a
yjをデコードし、対応するデータ線選択信号YO−Y
nを択一的にハイレベルの選択状態とする。これにより
、対応する対のカラムスイッチ用トランジスタQ33・
Q34〜Q35・Q36が選択的にオン状態となる。
この実施例では、特に制限されないが、非選択状態とさ
れる相補データ線に所定のバイアス電圧を与えるため、
次のようなバイアス回路が設けられる。すなわち、相補
データ線DO・DO〜Dn・Dnは、その一方において
対応するトランジスタQ21・Q22〜Q23・Q24
及び抵抗R13・R14〜R15・R16を介して、回
路の電源電圧−Veeに結合される。トランジスタQ2
1・Q22〜Q23・Q24のゲートは共通接続され、
図示されない伯の定電圧発生回路によって形成される所
定のバイアス電圧−vblが供給される。これにより、
トランジスタQ21・Q22〜Q23・Q24及び抵抗
R13・R14〜R15・RIGはそれぞれ定電流源と
し°ζ機能し、対応する相補データ線DO−Do〜Dn
−Dに対して常時微小定電流の吸い込み動作を行う。
一方、相補データ線DO・■1〜1)n−百1は、その
他方において、対応するNPN)ランジスタQ31〜Q
32の第1及び第2のエミツタにそれぞれ結合される。
これらのトランジスタQ31〜Q32のコレクタは回路
の接地電位に結合され、そのベースとコレクタすなわち
回路の接地電位との間には、直列形態とされるダイオー
ドD1及び抵抗R17ないしダイオードD2及び抵抗R
18がそれぞれ設けられる。また、トランジスタQ31
〜Q32のベースは、さらに上記カラムスイッチ用トラ
ンジスタQ33・Q34〜Q35・Q36と並列形態に
設けられるカラムスイッチ用トランジスタQ37〜Q3
Bを介して、トランジスタQ43〜Q44のコレクタに
それぞれ結合される。
これらのトランジスタQ43〜QQ44は、そのエミツ
タが回路の電源電圧−Veeに結合されそのベースにバ
イアス電圧−Vb2を受けることによって、定電流源と
して機能する。
相補データ線が非選択状態とされるとき、対応するカラ
ムスイッチ用トランジスタQ37〜Q38はオフ状態と
なる。このため、各相補データ線の非反転信号線及び反
転出力信号線の電位は、はぼダイオードDI−D2の順
方向電圧にトランジスタQ31〜Q32のベース・エミ
ッタ電圧を加えた電圧にバイアスされる。一方、相補デ
ータ線が選択状態とされるとき、対応するカラムスイッ
チ用トランジスタQ37〜Q38が択一的にオン状態と
なるため、対応するトランジスタQ43〜Q44からト
ランジスタQ37〜Q3Bを介して比較的大きな電流が
抵抗R17〜R1Bに流される。これにより、トランジ
スタQ31〜Q32がオフ状態となり、対応する1組の
相補データ線のレベルが選択されたメモリセルの記憶情
報に従った電位となる。このとき、対応する他のカラム
スイッチ用トランジスタQ33・Q34〜Q35・Q3
6が選択的にオン状態となり、相補データ線DO−15
’l〜Dn−flli”iには対応するトランジスタQ
39・Q40〜Q41・Q42を介して比較的大きな電
流が流される。また、選択されたワード線に結合される
fi+1個のメモリセルMCには、対応するワード線が
ハイレベルとされることによって比較的大きな動作電流
が供給される。これにより、選択された相補データ線の
非反転信号線及び反転信号線のレベルはともに上昇しつ
つそのレベル差が拡大される。
さらに、相補データ線DO・百]〜Dn−D石には、第
2図に例示的に示されるように、そのエミッタが対応す
る相補データ線の非反転信号線又は反転信号線に結合さ
れる電流切り換えスイッチ用トランジスタQ27・Q2
8〜Q29・Q30がそれぞれ設けられる。これらの電
流切り換え用トランジスタQ27 ・Q28〜Q29−
 Q30(7)コレクタは相補信号線S1・s2に結合
され、さらにセンスアンプSAの入力端子に結合される
また、これらの電流切り換え用トランジスタQ27・Q
28〜Q29・Q30のベースは、同様に相補信号線V
l−V2に結合され、さらにライトアンプWAの出力端
子に結合される。この相補信号線v1・■2のレベルは
、バイポーラ型RAMが読み出し動作モードとされると
き、選択されたメモリセルMCの記憶データに従った相
補データ線の読み出し信号レベルのほぼ中間電位に設定
され、読み出し動作時における基準電位とされる。
このとき、トランジスタQ27・Q28〜Q29・Q3
0は対応するメモリセルMCの駆動トランジスタQ25
・Q26等とともに差動形態とされ、センスアンプSA
には相補信号線5l−32を介して選択されたメモリセ
ルMCの記憶データに応じた読み出し電流が得られる。
一方、バイポーラ型RAMが書き込み動作モードとされ
るとき、トランジスタQ27・Q28〜Q29・Q30
は、書き込み動作モードの場合と同様に、対応するメモ
リセルMCの駆動トランジスタQ25・Q26等ととも
に差動形態とされる。また、このとき、相補信号線v1
・■2は、データ入力端子DIからデータ入力バッファ
DIBを介して供給される書き込みデータに従って、選
択状態とされるメモリセルの保持電圧のハイレベルより
高く、又は保持電圧のロウレベルより低いレベルに相補
的に設定される。これにより、選択されたメモリセルの
駆動トランジスタは、相補信号線Vl−V2のレベルに
応じて相補的にオン状態又はオフ状態となり、その記憶
データは外部から供給される書き込みデータに従って書
き直される。
センスアンプSAは、相補信号線S1・S2を介して伝
達される読み出し信号を増幅し、レベル変換した後、デ
ータ出力バッファDOBに送る。
データ出力バッファDOBは、バイポーラ型RAMの読
み出し動作モードにおいて、タイミング発生回路TGか
ら供給されるタイミング信号φoeに従って選択的に動
作状態とされ、センスアンプSAから出力される読み出
し信号を、オーブンコレクタの出力トランジスタを介し
て、データ出力端子DOに送出する。
データ入カバソファDIBは、外部の装置からデータ入
力端子DIを介して供給される書き込みデータを受け、
レベル変換した後、相補書き込み信号としてライトアン
プWAに伝達する。ライトアンプWAは、バイポーラ型
RAMの書き込み動作モードにおいて、タイミング発生
回路TGから供給されるタイミング信号φweに同期し
て、相補信号線V1・■2をデータ入力バッフ7DIB
から供給される書き込み信号に従ったレベルに設定する
。また、バイポーラ型RAMが読み出し動作モードとさ
れるとき、ライトアンプWAは相補信号線v1・■2の
レベルを読み出し基準電位となる中間レベルに設定する
タイミング発生回路TGは、外部から制御信号として供
給されるチップ選択信号C丁及びライトイネーブル信号
循百をもとに、上記タイミング信号φ―e及びφoeを
形成し、ライトアンプWA及びデータ出力バッファDO
Bに供給する。
上記XアドレスバッファXAD、B、Yアドレスバッフ
ァYADB、データ入力バッフ7DIB及びタイミング
発生回路TGには、差動トランジスタからなる電流スイ
ッチ回路を基本構成とする入力回路や論理ゲート回路が
設けられる。このため、これらの各回路には、電流スイ
ッチ回路の論理スレフシホルトレベルを設定する参照電
位−vbbが供給される。この参照電位−vbb及び上
述の基準電位−Vcsは、このバイポーラ型RAMに供
給される電源電圧に応じて選択的に組み合わされて動作
状態とされるレベル生成回路VGI、VG2及びエミッ
タフォロア出力回路VOI、VO2からなる10Kタイ
プ又は100Kタイプの定電圧発生回路によって形成さ
れる。
この実施例のバイポーラ型RAMには、後述するように
、それぞれ2組のレベル生成回路VGI及びVO2とエ
ミッタフォロア出力回路VOI及びVO2が設けられる
。このうち、レベル生成回路VGI及びエミッタフォロ
ア出力回路VOIは、バイポーラ型RAMが形成される
半導体基板の一方の端に配置され、またレベル生成回路
VG2及び工t−zタフォロア出力回路VO2は半導体
基板の他方の端に配置される。これらのレベル生成回路
及びエミッタフォロア出力回路は、バイポーラ型RAM
に供給される[源電圧に従って選択的に組み合わされて
動作状態とされ、10Kタイプ又は100Kタイプの定
電圧発生回路としてamする。
これらのレベル生成回路VGI、VG2及びエミッタフ
ォロア出力回路VO1,VO2の具体的な回路構成とこ
れらのレベル生成回路及びエミッタフォロア出力回路に
よって構成される10Kタイプ及び100にタイプの定
電圧発生回路の動作については、後で詳細に説明する。
第1図には、第2図のバイポーラ型RAMのレベル生成
回路VC,1,VG2及びエミッタフォロア出力回路V
OI、VO2の一実施例の回路図が示されている。前述
のように、この実施例のバイポーラ型RAMには、それ
ぞれ2組のレベル生成回路VC!及びVO2とエミッタ
フォロア出力回路VOI及びVO2が設けられ、バイポ
ーラ型RAMに供給される電源電圧に応じて選択的に組
み合わされて動作状態とされることによって、10にタ
イプ又は100Kタイプの定電圧発生回路が構成される
第1図において、レベル生成回路VGIは、NPN型バ
イポーラトランジスタQl−Q5と抵抗R1−R5及び
キャパシタC3によって構成される。トランジスタQ1
のエミッタは電源電圧−■eeに結合され、そのコレク
タと回路の接地電位との間には抵抗R1が設けられる。
また、トランジスタQlのベースは、並列トランジスタ
Q3〜Q5の共通接続されたコレクタに結合される。ト
ランジスタQlのベースとコレクタとの間には、上記発
振防止用のキャパシタC3が設けられ、トランジスタQ
1のベースと回路の電源電圧−VcsO間には抵抗R2
が設けられる。並列トランジスタQ3〜Q5の共通接続
されたコレクタと回路の接地電位との間には、直列形態
の抵抗R3とトランジスタQ2及び抵抗R4が設けられ
る。また、並列トランジスタQ3〜Q5の共通接続され
たエミッタと回路の電:R電圧−Veeとの間には、抵
抗R5が設けられる。トランジスタQ2のコレクタ電圧
は、第1の基準レベルとして、エミッタフォロア出力回
路VOIのトランジスタQ6のベースに供給される。ト
ランジスタQ2のベースは、上記トランジスタQ1のコ
レクタに結合される。このトランジスタQ2のベース電
圧は、第2の基準レベルとして、エミッタフォロア出力
回路vO1のトランジスタQ8のベースに供給される。
並列トランジスタQ3〜Q5の共通接続されたベースに
は、エミッタフォロア出力回路v01のトランジスタQ
9のコレクタ及びベース電圧が供給される。
上記トランジスタQ2のコレクタとベース及び並列トラ
ンジスタQ3〜Q5の共通接続されたベースと、エミッ
タフォロア出力回路VOIのトランジスタQ6とQ8及
びQ9のベースとの間に設けられる3本の配線は、後述
するように、マスター・スライスによって選択的に形成
される。また、レベル生成回路VGIのトランジスタQ
2とエミッタフォロア出力回路VOIのトランジスタQ
8は、同じベース・エミッタ電圧を持つように設計され
る。
同様に、レベル生成回路VG2は、NPN型バイポーラ
トランジスタQ10〜Q16と抵抗R7〜R11及びキ
ャパシタC4によって構成される。
トランジスタQllのエミッタは電源電圧−Veeに結
合され、そのコレクタと回路の接地電位との間には抵抗
R1とレベルシフト用のトランジスタQ10が設けられ
る。トランジスタQ10は、そのコレクタとベースが共
通接続されることによってダイオード形態とされる。ト
ランジスタQllのベースは、並列トランジスタQ13
〜Q16の共通接続されたコレクタに結合される。また
、トランジスタQllのベースとコレクタとの間には、
発振防止用のキャパシタC3が設けられる。並列トラン
ジスタ013〜Q16の共通接続されたコレクタと回路
の接地電位との間には、直列形態の抵抗R8とトランジ
スタQ12及び抵抗R9が設けられる。また、並列トラ
ンジスタQ13〜Q16の共通接続されたエミッタと回
路の電源電圧−Veeとの間には、抵抗R10が設けら
れる。トラ、 ンジスタQ12のコレクタ電圧は、第1
の基準レベルとして、エミッタフォロア出力回路VO2
のトランジスタQ17のベースに供給される。トランジ
スタQ12のベースは、上記トランジスタQ11のコレ
クタに結合される。このトランジスタQ12のベース電
圧は、第2の基準レベルとして、エミッタフォロア出力
回路VO2のトランジスタQ19のベースに供給される
。並列トランジスタQ13〜Q16の共通接続されたベ
ースには、抵抗R11を介して、エミッタフォロア出力
回路Vo2のトランジスタQ20のコレクタ及びベース
電圧が供給される。上記トランジスタQ12のコレクタ
とベース及び並列トランジスタQ13〜Q16の共通接
続されたベースと、エミッタフォロア出力回路VO2の
トランジスタQ17とQ19及びQ20のベースとの間
に設けられる3本の配線は、上記レベル生成回路VGI
及びエミッタフォロア出力回路VOIの場合と同様に、
マスター・スライスによって選択的に形成される。また
、レベル生成回路VG2のトランジスタQ12とエミッ
タフォロア出力回路VO2のトランジスタQ19は、同
じベース・エミッタ電圧を持つように設計される。
エミッタフォロア出力回路■01は、回路の接地電位と
電源電圧−Veeとの間に直列形態に設けられるトラン
ジスタQ6〜Q9及び抵抗R6によって構成される。こ
のうち、トランジスタQ7及びQ9は、そのコレクタと
ベースが共通接続されることによってダイオード形態と
される。トランジスタQ8のコレクタ電圧及びエミッタ
電圧は、それぞれ参照電位−vbb及び基準電位−Vc
sとして、エミッタフォロア出力回路VOIに近接して
配置される複数の回路に供給される。
同様に、エミッタフォロア出力回路VO2は、回路の接
地電位と電源電圧−Veeとの間に直列形態に設けられ
るトランジスタQ17〜Q2G及び抵抗R12によって
構成される。このうち、トランジスタQ1B及びQ20
は、そのコレクタとベースが共通接続されることによっ
てダイオード形態とされる。トランジスタQ19のコレ
クタ電圧及び工E7タ電圧は、それぞれ参照電位−vb
b及び基準電位−Vcsとして、エミッタフォロア出力
回路VO2に近接して配置される複数の回路に供給され
る。これらのエミッタフォロア出力回路V01及びVO
2の対応する回路素子は、それぞれ同じ電気的特性を持
つように設計される。
工(フタフォロア出力回路VOIのトランジスタQ6の
ベースとエミッタフォロア出力回路v02のトランジス
タQ17のベースは、結合配線Vb1を介して固定的に
結合される。この結合配線Vblと回路の接地電位との
間には、比較的大きな静電容量を持つレベル変動防止用
キャパシタC1が設けられる。また、結合配線vb1と
回路の電源電圧−Veeとの間には、同様に比較的大き
な静電容量を持つレベル変動用キャパシタC2が設けら
れる。一方、エミッタフォロア出力回路v01のトラン
ジスタQ8のベースとエミッタフォロア出力回路VO2
のトランジスタQ19のベースは、結合配線vb2を介
して固定的に結合される。
また、前述のように、共通接続されたトランジスタQ6
及びQ17のベースすなわち結合配線vblとレベル生
成回路VGIのトランジスタQ2又はレベル生成回路V
G2の1−ランジスタQ12のコレクタとの間には、マ
スター・スライスによって択一的に形成される結合配線
が設けられる。同様に、共通接続されたトランジスタQ
8及びQ19のベースすなわち結合配線Vb2とレベル
生成回路VGIのトランジスタQ2又はレベル生成回路
VG2のトランジスタQ12のベースとの間にも、マス
ター・スライスによって択一的に形成される結合配線が
設けられる。さらに、エミッタフォロア出力回路■01
のトランジスタQ9のベースとレベル生成回路VGIの
並列1−ランジスクQ3〜Q5の共通接続されたべ−4
との間又はエミッタフォロア出力回路VO2の1−ラン
ジスタQ20のベースとレベル生成回路VG2の並列ト
ランジスタQ13〜Q16の共通接続されたベース(実
質的には抵抗R11)との間には、マスター・スライス
によって択一的に形成される結合配線が設けられる。
特に制限されないが、この実施例のバイポーラ型RAM
に供給される電源電圧−Yesは−5,2vとされるた
め、レベル生成回路VGIとエミッタフォロア出力回路
VOI及びVO2との間に実線で示される結合配線が設
けられる。これにより、レベル生成回路VGIとエミッ
タフォロア出力回路VO1及びVO2は、10Kタイプ
の定電圧発生回路として機能する。バイポーラ型RAM
に供給される電源電圧−Veeが−4,5vとされる場
合、レベル生成回路VGIとエミッタフォロア出力回路
VOI及びVO2の間に設けられる結合配線は×印にお
いて切断され、代わってレベル生成回路VG2とエミッ
タフォロア出力回路v01及びVO2の間に点線で示さ
れる結合配線が設けられる。
このとき、レベル生成回路VG2と工主フタフォロア出
力回路v01及びVO2は、100Kタイプの定電圧発
生回路として機能する。
第1図において、レベル生成回路VGIの抵抗R3〜R
5とトランジスタQ2及び並列トランジスタQ3〜Q5
全体に流れる電流を■とするとき、エミッタフォロア出
力回路VOIのトランジスタQ8及びエミッタフォロア
出力回路VO2のトランジスタQ19のエミッタ電圧す
なわち10Kタイプの定電圧発生回路における基準電位
−Vcsの値は、 −Vcs−−Vee+ (VEEI  +l−R4+VeEz  Vei−e 
)繻−Vee+I・R4・・・・・・・・filとなる
。(ココで、VEEI 、VBE2及びVBEIIはそ
れぞれトランジスタQ1.Q2及びQ8のベース・エミ
ッタ電圧である。以下同様にVBEの後にトランジスタ
と同じ数字を付加することによって、それぞれのベース
・エミッタ電圧を表す)また、並列トランジスタQ3〜
Q5の合成ベース・エミッタ電圧をV 8E3とすると
き、V8Es =VeE3+I ・R5 なる関係にあるため、 1− (VBE9−VBE3)/R5・ ・ ・ ・ 
・(2)となる。この(2)式を上記(1)式に代入す
ると、−Vcs −−Vee+VFIE+  +(Vs
cs −VBE3 ) R4/R5・131となる。こ
の基準電位−Vcsは、バイポーラ型RAMの各回路に
おいて、電流スイッチ回路を構成する差動トランジスタ
の定電流源となる駆動トランジスタのベースに供給され
る。これらの駆動トランジスタのエミッタは、エミッタ
抵抗を介して回路の電源電圧−Veeに結合される。し
たがって、この駆動トランジスタのエミッタ電流すなわ
ち各電流スイッチ回路の差動トランジスタに供給される
動作電流IEは、駆動トランジスタのベース・エミッタ
電圧をVBEとしエミッタ抵抗の抵抗値をREとすると
き、 I E −(−Vcs−Ve2− (−Vee) ) 
/RE= (−Vcs −V8E+ Vee) / R
E= (V8E+   v8E+ (VBE9  VBE3)R4/R5)/REとなる。
この動作電流IEは、電源電圧−Veeを含まない安定
した定電流となり、その電流値は抵抗R4及びR5の比
に従って任意に設定することができる。
一方、上記(2)式に示されるように、電流■が電源電
圧−veeに依存しない安定した電流値となることから
、参照電位−vbbの絶対値Vbbは、Vbb=VBE
6 +V8E7 + I−R3”’VEE6+VBE7 +(VBE9  VBE3)R3/、R5・・(4)と
なる、この(4)式は、同様に電源電圧−VcsO項を
含まないため、参照電位−vbbは電源電圧依存性を持
たない安定した電圧となる。また、この参照電位−vb
bは、抵抗R3及びR5の比を適当に設定することによ
って所望の電圧値を得ることができる。
前述のように、エミッタフォロア出力回路V。
lのトランジスタQ6.Q8のベースとエミッタフォロ
ア出力回路VO2のトランジスタQ17゜C19のベー
スは、それぞれ結合配線Vbl及びVb2を介して結合
され、それぞれ同一の基準レベルとなる。これらの結合
配線に流される電流は対応するトランジスタに対する比
較的小さなベース電流のみであり、またエミッタフォロ
ア出力口、 路VOI及びVO2を構成する各回路素子
は同じ電気的特性を持つように設計される。このため、
エミッタフォロア出力回路VOI及びVO2が半導体基
板の両端に離れて形成されるにもかかわらず、エミッタ
フォロア出力回路VO2のトランジスタQ19のコレク
タ電圧及びエミッタ電圧として得られる参照電位−vb
b及び基準電位−Vcsは、上記エミッタフォロア出力
回路v01によって形成される参照電位−vbb及び基
準電位−Vcsとほぼ同一の電圧値となる。また、前述
のように、上記結合配置JIVblにはレベル変動防止
用キャパシタCI及びC2が設けられるため、参照電位
−Vbbの電圧値はさらに安定化される。
ところで、バイポーラ型RAMが100にタイプとされ
る場合、前述のように、レベル生成回路VGIとエミッ
タフォロア出力回路vO1との間に設けられるX印の結
合配線が切断され、レベル生成回路VG2とエミッタフ
ォロア出力回路v。
2の間に点線で示される結合配線が形成される。
言い換えると、エミッタフォロア出力回路VOIのトラ
ンジスタQ6とQ8及びエミッタフォロア出力回路VO
2のトランジスタQ17とC19のベースには、レベル
生成回路VG2によって形成される第1及び第2の基準
レベルが供給される。
したがって、エミッタフォロア出力回路vO1及びVO
2から出力される基準電位−VcsO値は、前述の10
Kタイプの定電圧発生回路の場合と同様に、 −Vcs= −Vee+ VBE 。
+ (VBE2G−V8EI3)R9/R1Oとなる*
  (VBE13は、並列トランジスタQ13〜Q16
の合成ベース・エミッタ電圧を示す)つまり、基準電位
−Vcsに従って形成される各電流スイッチ回路の動作
電流は、電源電圧依存性を持たない安定した定電流とな
り、その電流値は、抵抗R9及びR10の比に従って任
意に設定することができる。
同様に、参照電位−vbbの絶対値vbbは、Vbb=
 VBE I7+VaE1e + (VeE20 VBE13)R8/R10となる。
つまり、参照電位−vbbも、電源電圧依存性を持たな
い安定した定電圧となり、その電圧値は、抵抗R8及び
R100比に従って任意に設定することができる。
第3図には、この実施例のバイポーラ型RAMの一実施
例の配置図が示されている。同図には、上記レベル生成
回路VGI、VG2及びエミッタフォロア出力回路VO
1,VO2を除くメモリアレイM−ARYとその周辺回
路が、まとめてM−ARYとして示されている。
第3図において、バイポーラ型RAMは、1個の半導体
基板SUB上に形成される。半導体基板SUBの両端に
はボンディング用パッドP1〜P2及びP3〜P4がそ
れぞれ直線的に整列して形成され、その中央部にはメモ
リアレイM−ARY及びその周辺回路が形成される。半
導体基板SUBの両端には、ボンディング用パッドP1
〜P2に近接してレベル生成回路VGI及びエミッタフ
ォロア出力回路VOIが形成され、ボンディング用パッ
ドP3〜P4に近接してレベル生成回路VG2及びエミ
ッタフォロア出力回路VO2が形成される。半導体基板
SUBの下方はぼ中央部には、レベル変動防止用キャパ
シタC1及びC2が形成され、これに近接して結合配線
Vbl及びVb2が形成される。
レベル生成回路vG1とエミッタフォロア出力回路VO
Iとの間には、供給される電源電圧に応じてマスター・
スライスにより選択的に形成される3本の結合配線が設
けられる。また、同様に、レベル生成回路VG2とエミ
ッタフォロア出力回路VO2との間には、供給される電
源電圧に応じてマスター・スライスにより選択的に形成
される他の3本の結合配線が設けられる。特に制限され
ないが、この実施例のバイポーラ型RAMは10にタイ
プとされるため、レベル生成回路VGIとエミッタフォ
ロア出力回路VOIの間に上記結合配線が形成され、レ
ベル生成回路VG2及びエミッタフォロア出力回路VO
2の間には形成されない、バイポーラ型RAMが100
Kタイプとされる場合、レベル生成回路VGI及びエミ
ッタフォロア出力回路VOIの間の上記結合配線は×印
において切断され、レベル生成回路VG2とエミッタフ
ォロア出力回路VO2の間には点線で示される結合配線
が形成される。
エミッタフォロア出力回路VOIによって形成される参
照電位−vbbは、エミッタフォロア出力回路VOIに
近接して配置されるメモリアレイM−ARY及びその周
辺回路に供給される。また、エミッタフォロア出力回路
VO2によって形成される参照電位−vbbは、エミッ
タフォロア出力回路VO2に近接して配置されるメモリ
アレイM−ARY及びその周辺回路に供給される。
以上のように、この実施例のバイポーラ型RAMでは、
10Kタイプ及び100Kタイプの定電圧発生回路を構
成するレベル生成回路VGIとエミッタフォロア出力回
路vo1及びレベル生成回路VG2とエミッタフォロア
出力回路VO2がそれぞれ半導体基板の両端に配置され
る。エミッタフォロア出力回路v01及びVO2の基準
レベル入力端子はそれぞれ固定的に結合され、それらの
ほぼ中間の位置にレベル変動用のキャパシタC1及びC
2が配置される。エミッタフォロア出力回路VOI及び
VO2は、バイポーラ型RAMに供給される電源電圧に
応じて選択的にレベル生成回路■G1又はVO2に結合
され、参照電位−vbbを形成するための基準レベルが
供給される。参照電位−vbbは、エミッタフォロア出
力回路VOI及びVO2から各エミッタフォロア出力回
路に近接して配置されるメモリアレイM−ARY及び周
辺回路にそれぞれ供給される。このため、エミッタフォ
ロア出力回路vO1及びVO2から各回路に参照電位−
vbbを供給するための配線は短くて済み、配線抵抗な
どによる参照電位−vbbの低下を防止することができ
る。また、比較的大きな面積を必要とするレベル変動用
キャパシタを両方のレベル生成回路で共用し1(IIず
つ設けるだけで済むため、半導体基板のレイアウト効率
が向上し、チップサイズの大型化を抑えることができる
以上の本実施例に示されるように、この発明を電源電圧
に応じて10Kタイプ又は100にタイプとして仕様変
更されるようなバイポーラ型RAMなどの半導体記憶装
置に適用した場合、次のような効果が得られる。すなわ
ち、 Tl) 10 Kタイプ及び100にタイプの定電圧発
生回路を構成するレベル生成回路及びエミッタフォロア
出力回路を半導体基板の両側にそれぞれ形成するととも
に、上記2個の工文ツタフォロア出力回路の基準レベル
入力端子を固定的に結合しさらに電源電圧に応じて選択
的に一方のレベル生成回路に結合して、半導体基板の両
側に配置される2個のエミッタフォロア出力回路から各
エミッタフォロア出力回路に近接して配置されるメモリ
アレイM−ARY及び周辺回路にそれぞれ参照電位等を
供給することで、供給線の配線長を短(し、配線抵抗に
よる参照電位等の低下を防止できるという効果が得られ
る。
(2)上記(11項により、入力回路や論理ゲート回路
の論理スレッシホルトレベルを安定化することができ、
バイポーラ型RAMなどの半導体記憶装置の動作を安定
化できるという効果が得られる。
(3)上記(1)において、レベル変動防止用のキャパ
シタを共用化し、2個のレベル生成回路及びエミッタフ
ォロア出力回路のほぼ中間位置に配置することで、半導
体基板のレイアウト効率を向上し、チップサイズの大型
化を抑えることができるという効果が得られる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を進展しない範囲で極々変更可
能であることはいうまでもない0例えば、第3図の配置
図において、レベル変動用キャパシタC1及びC2はエ
ミッタフォロア出力回路vO1又はVO2の一方に近接
して配置されてもよいし、各レベル生成回路に対応して
2個設けられてもよい、また、レベル生成回路■Gl、
VG2及びエミッタフォロア出力回路v01、VO2は
、それぞれ同図とは異なる位置に配置されてもよい、第
2図の実施例において、バイポーラ型RAMのメモリセ
ルの構成は、PNP型の負荷トランジスタに並列形態の
高抵抗を設けるものあるいはPNP型の負荷トランジス
タに代えて並列形態の抵抗とクランプダイオードを用い
るものであってもよいし、メモリセルを高抵抗負荷型8
M03回路又はCMO8(相補型MOS)回路によって
構成するものであってもよい、さらに、第1図のレベル
生成回路及びエミッタフォロア出力回路の具体的な回路
構成や第2図のバイポーラ型RAMの回路ブロック構成
及び制御信号、タイミング信号の組み合わせ等、vi^
・の実施形態を採りうるちのである。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるバイポーラ型RAM
に適用した場合について説明したが、それに限定される
ものではなく、例えば、その周辺回路がECL回路及び
バイポーラ・CMO8複合回路により構成されそのメモ
リアレイが高抵抗負荷型8M03回路により構成される
いわゆるバイポー90MO3型RAMやバイポーラ型の
プログラマブルROM (リード・オンリー・メモリ)
などにも通用できる0本発明は、少なくともECL回路
を含み、供給される電源電圧に応じて選択的に有効とさ
れる複数の定電圧発生回路を内蔵する半導体記憶装置及
びこのような半導体記憶装置を含むディジタル装置に広
く利用できる。
〔発明の効果〕
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。すなわち、10Kタイプ及び100にタイプの定電圧
発生回路を構成するレベル生成回路及びエミッタフォロ
ア出力回路を半導体基板の両側にそれぞれ形成するとと
もに、2個のエミッタフォロア出力回路の基準レベル入
力端子を固定的に共通接続し、さらに電源電圧に従って
選択的に一方のレベル生成回路に結合して、半導体基板
の両側から近接して配置される周辺回路にそれぞれ参照
電位等を供給することで、供給線の配線長を短くし、配
線抵抗による参照電位等の低下を防止して、バイポーラ
型RAM等の動作を安定化できるとともに、レベル変動
防止用のキャパシタを共用化し半導体基板のほぼ中間位
置に配置することで、半導体基板のレイアウト効率を向
上し、チップづ・イズの大型化を抑えることができるも
のである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明が通用されたバイポーラ型RA M
のレベル生成回路及びエミッタフォロア出力回路の一実
施例を示す回路図、 第2図は、上記レベル生成回路及びエミッタフォロア出
力回路を含むバイポーラ型RAMの一実施例を示す回路
ブロック図、 第3図は、第2図のバイポーラ型RAMの一実施例を示
す配置図、 第4図は、従来のバイポーラ型RAMの一例を示す配置
図、 第5図は、従来のバイポーラ型RAMのレベル生成回路
及びエミッタフォロア出力回路の一例を示す回路図であ
る。 vGl、VO2・・・レベル生成回路、vol。 VO2・・・エミッタフォロア出力回路、Q1〜Q42
・・・NPN型バイポーラトランジスタ、Q 43〜Q
44・・・PNP型バイポーラトランジスタ、R1−R
lB・・・抵抗、01〜C8・・・キャパシタ。 M−ARY・・・メモリアレイ、MC・・・メモリセル
、XDCR・・・Xアドレスデコーダ、YDCR・・・
Yアドレスデコーダ、XADB・・・Xアドレスバッフ
ァ、YADB・・・Yアドレスバッファ、SA・・・セ
ンスアンプ、WA・・・ライトアンプ、DOB・・・デ
ータ出力バッファ、DIB・・・データ人力バッファ、
TG・・・タイミング発生回路、Is・・・保持電流供
給回路、D1〜D2・・・ダイオード。 SUB・・・半導体基板、pi〜P8・・・ボンディン
グ用バンド。 第1図 第2図 第3図 第4図 第5図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、出力電圧を設定するための基準レベルを形成する第
    1及び第2のレベル生成回路と、上記第1又は第2のレ
    ベル生成回路により形成される上記基準レベルを選択的
    に共通に受け上記共通レベルに従った出力電圧を形成す
    る第1及び第2のエミッタフォロア出力回路により構成
    される定電圧発生回路を具備することを特徴とする半導
    体記憶装置。 2、上記第1及び第2のエミッタフォロア出力回路は、
    上記半導体記憶装置が形成される半導体基板の両側にそ
    れぞれ形成されることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項記載の半導体記憶装置。 3、上記基準レベルは、第1の出力電圧を設定するため
    の第1の基準レベルと第2の出力電圧を設定するための
    第2の基準レベルを含み、上記第1及び第2のエミッタ
    フォロア出力回路は、回路の接地電位及び電源電圧との
    間に直列形態に設けられ上記第1の基準レベルを受ける
    第1のトランジスタと上記第2の基準レベルを受ける第
    2のトランジスタと上記第2のトランジスタのエミッタ
    に設けられる負荷手段及びダイオード形態とされる第3
    のトランジスタをそれぞれ含むものであることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項又は第2項記載の半導体記憶
    装置。 4、上記第1の基準レベルを伝達するための結合配線と
    回路の接地電位及び電源電圧との間には、それぞれレベ
    ル変動を防止するための第1及び第2のキャパシタが設
    けられることを特徴とする特許請求の範囲第1項、第2
    項又は第3項記載の半導体記憶装置。 5、上記半導体記憶装置は、ECL構成のバイポーラ型
    RAMであることを特徴とする特許請求の範囲第1項、
    第2項、第3項又は第4項記載の半導体記憶装置。 6、上記第1及び第2のエミッタフォロア回路と上記第
    1のレベル生成回路は、上記ECL構成のバイポーラ型
    RAMにおける10Kタイプの定電圧発生回路を構成す
    るものであり、上記第1及び第2のエミッタフォロア出
    力回路と第2のレベル生成回路は、上記ECL構成のバ
    イポーラ型RAMにおける100Kタイプの定電圧発生
    回路を構成するものであることを特徴とする特許請求の
    範囲第1項、第2項、第3項、第4項又は第5項記載の
    半導体記憶装置。
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