JPS63265439A - 半導体素子のテスト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体素子例えばＩＣの電気的特性を測定し
、その測定結果に応じて分類収容する半導体素子のテス
ト装置に関する。

（従来の技術） 従来、半導体素子のテスト装置では、測定しようとする
半導体素子を収納する棒状のマガジンを装置のローダ側
に配置し、このマガジンから半導体素子を取り出して測
定分類する。そして、この分類結果に対応してアンロー
ダ側に配置された多数本のマガジンに分類収納する。こ
の際、ローダ側のマガジンの供給、およびアンローダ側
の分類後の半導体素子で満杯となったマガジンの取出し
は、人手によって行われていたが、測定の高速化等の事
情により人手による取扱いでは対応が困難となってきた
。

上記の点を考慮した装置例として、例えば特開昭５９−
９４４３３号公報にて開示された装置がある。第４図は
、この装置の概要を示すもので以下この装置の動作を説
明する。

測定しようとする半導体素子（図示せず、以下同じ）を
多数個収納したマガジン１を積重ねて入れたカセット２
から、マガジン１を１本ずっ取出して搬送部［３で図の
左方向に搬送する。そして、マガジン１内の半導体素子
を測定部４に移し換え。

空になった空マガジン５を降下装置６により下降させ、
マガジン特機部７にストックする。

一方、測定部４に移し換えられた半導体素子を。

この測定部４で電気的性能を測定し、その測定結果に応
じて分類する。

そして、所定を終えた半導体素子を選別部８に移し、上
記分類にしたがって所定位置に配置されているマガジン
９に収納する。

マガジン９が半導体素子で満杯になると、このマガジン
９をアンローダ側のカセット１０に下から押し込むと同
時に、マガジン交換機構（図示せず）によりマガジン特
機部７にストックされている空マガジン５を１本取り出
して、満杯となったマガジン９が配置されていた位置に
セットする。

そして、アンローダ側のカセット１０がマガジン９で満
杯になると、このカセット１０を取り出して別の空のカ
セット（図示せず）を上記カセット１゜の有った跡にセ
ットする。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上述の装置には次に述べるような問題点
がある。

人手による作業としては、測定前の半導体素子が収納さ
れているカセット２を ローダ側にセットする作業および空になったカセット２
を取り出す作業、測定分類された半導体素子を収納して
満杯となったアンローダ側のカセット１０を取り出す作
業および取り出した跡に空のカセット１０をセットする
作業等がある。

上記作業のうち、空力セット２を取り出す作業および空
力セット１０をセットする作業は、ローダとアンローダ
の位置が全く別位置であることに起因するものである。

また、Ｗｓ定背分類れた半導体素子をローダ側の空にな
ったカセット２に収納することが不可であるので、アン
ローダ側のカセット１０がマガジン９で満杯になるとテ
ストは中断せざるを得ない。

本発明は、上述の従来の事情に対処してなされたもので
、人手による労力を軽減し、連続無人運転を長くできる
半導体素子のテスト装置を提供しようとするものである
。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） すなわち本発明は、被測定半導体素子を収納するマガジ
ンを多数個収容するローダ用ストッカと、上記半導体素
子を分類別に収納するマガジンを多数個収容するアンロ
ーダ用ストッカと、空のマガジンを収容する空マガジン
特機部とを隣接配置して備え、 上記ローダ用ストッカを、逐次上記アンローダ用ストッ
カに使途変更可能にし、ローダ側で空になったストッカ
を自動的にアンローダ側の所定分類に設定できるよう番
ビ構成したことを特徴する。

（作　用） 本発明の半導体素子のテス゛ト装置では、ローダ用スト
ッカを逐次アンローダ用ストッカに使途変更可能である
ので、測定済半導体素子で満杯となったアンローダ用ス
トッカから直ちにマガジンを取り除く必要はないので、
連続無人運転を長くすることができる。

（実施例） 以下、本発明の半導体素子のテスト装置の実施例を図面
を参照して説明する。

第１図に示すように、本装置は概略、被測定半導体素子
を収納したローダ用ストッカ１８および測定済半導体素
子を収納するアンローダ用ストッカ２２を設けたストッ
カ配置部１１、空になったローダ側マガジンをアンロー
ダ用ストッカ２２に搬送する搬送部１２、被測定半導体
素子の移し換え部１３．搬送部１４、測定分類部１５、
および分類制御部１６とから構成されている。

ストッカ配置部１１には、測定しようとする半導体素子
を多数個収納したマガジン１７を積重ねせて収容したロ
ーダ用ストッカ１８と、空になったマガジン１９を一時
的に収容する空マガジン特機部２ｏと、測定分類された
半導体素子を収納するマガジン２１を収容するアンロー
ダ用ストッカ２２を傾斜した状態で隣接して配置してお
く。

そして、上記ローダ用ストッカ１８の底部からマガジン
１７を１本ずつ取り出して、マガジン搬送部１２により
図の左方向に搬送し、移し換え部１３にマガジン１７を
送る。

送られたマガジン１７は移し換え部１３により半導体素
子の排出口を下にした状態に傾けられて、収納されてい
る半導体素子を１個ずつ排出させる。

半導体素子の排出が終り空になったマガジン２３は、マ
ガジン搬送部１２に移され図の右方向に搬送されて後述
する所定の位置に配置される。

一方、移し換え部１３でマガジン１７から排出された半
導体素子は、搬送部１４により１個ずつ図の上方向に搬
送され、最上位付近でこの搬送部１４から放出され測定
分類部１５に移される。

そして、この測定分類部１５で半導体素子の電気的特性
を測定し、その測定結果に応じて予め設定された通りに
分類する。

測定分類された半導体素子は１分類制御部１６に送られ
分類結果に対応して、マガジン２１に収納される。この
マガジン２１は、上記半導体素子で満杯になるとマガジ
ン搬送部１２によりアンローダ用ストッカ２２内に収容
される。

ここで、ストッカ配置、マガジン搬送１分類制御に関し
詳述する。

第２図において、ストッカ配置部１１には、ローダ用ス
トッカ１８が例えばＡ−Ｅで示すように５個。

アンローダ用ストッカ２２が例えば分類１〜８で示すよ
うに８個、また空マガジン特機部２０がＳで示すように
１個、それぞれ隣接して配置されており。

ストッカの底部２０１からマガジン２０２を出し入れ可
能に構成されている。

上記ストッカ配置部１１の下方には、マガジン搬送部１
２が設けられている。このマガジン搬送部１２は、駆動
手段（図示せず）により左右に移動可能に構成された搬
送手段例えばゴムベルト等からなる搬送ベルト２０３と
、この搬送ベルト２０３に取着されマガジン２０２を保
持し伸縮自在に設けられた保持アーム２０４を備えたマ
ガジン保持装置２０５とから構成されている。

また、ストッカ配置部１１とマガジン搬送部１２どの中
間位置には、測定分類された半導体素子を収納するマガ
ジン２０６が配置されている。

次に動作を説明する。

ローダ用ストッカ１８のうち例えばＡのストッカ２０７
の底部２０８からマガジン落下機構（図示せず）により
マガジン２０２を落下させ、保持アーム２０４を伸張さ
せてこのマガジン２０２を受は取り保持する。そして、
保持アーム２０４をマガジン搬送位置２０９まで縮少さ
せ、搬送ベルト２０３により図の左方向に搬送し、搬送
ベルト２０３の左に位置する移し換え部（図示せず）に
、このマガジン２０２を渡す。

次にマガジン保持装置１２０５は、移し替え部（図示せ
ず）にて半導体素子の排出を終え空になったマガジン２
０９を受は取り空マガジン特機部２０にこのマガジンを
収納したり、また例えばアンローダ用ストッカ２２の分
類１のストッカ２１０下のマガジン２１１が測定分類さ
れた半導体素子で満杯であれば、このマガジン２１１の
位置に移動して、このマガジン２１１を分類１のストッ
カ２１０に収容し別の空のマガジン２１２を空マガジン
特機部２ｏより取り出してセットしたり等、状況に対応
して機能する。

そして、第３図に示すように、例えばアンローダ用スト
ッカ２２の分類１のストッカ２１０が測定分類された半
導体素子を収納したマガジン２１１で満杯になったとす
ると１分類制御部１６により予め設定された手順通りに
他の空ストッカ例えば第２図たちのを、アンローダ用ス
トッカ２２の分類１のストッカ３０フに指定変更し、こ
れに分類１のマガジン２１１　を収容する。

一方、上記の満杯になったアンローダ用ストッカ２２は
１人手によりマガジンを取り出す１代りに被測定半導体
素子を収納したマガジン３０８をストッカ２１０にセッ
トし、ローダ用ストッカ１８のＦとする。

したがって、この位置は、最初アンローダ用ストッカ２
２用であったものがローダ用ストッカ１８用にと指定変
更されたことになる。

上述のように、ローダ用ストッカ１８としてセットされ
たものを、アンローダ用ストッカ２２にと逐次置き換え
ていくことができる。これは、上記２種類のストッカを
同一場所に隣接して配置したことによって初めて可能と
なるものである。

〔発明の効果〕

上述のように本発明の半導体素子のテスト装置では、ス
トッカを使途変更することにより連続無人運転を長くす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を示す構成図、第２図およ
び第３図は第１図の主要部の説明図、第４図は従来例を
示す構成図である。 １１・・・ストッカ配置部、１２・・・マガジン搬送部
。 １３・・・移し換え部、１４・・・搬送部、１５・・・
測定分類部、１６・・・分類制御部。 １８・・・ローダ用ストッカ、２０・・・空マガジン特
機部、２２・・・アンローダ用ストッカ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 被測定半導体素子を収納するマガジンを多数個収容する
   ローダ用ストッカと、 上記半導体素子を分類別に収納するマガジンを多数個収
   容するアンローダ用ストッカと、空のマガジンを収容す
   る空マガジン特機部とを隣接配置して備え、 上記ローダ用ストッカを、逐次上記アンローダ用ストッ
   カに使途変更可能にし、ローダ側で空になったストッカ
   を自動的にアンローダ側の所定分類に設定できるように
   構成したことを特徴とする半導体素子のテスト装置。