JPS63259815A

JPS63259815A - 薄膜磁気ヘツド

Info

Publication number: JPS63259815A
Application number: JP9206387A
Authority: JP
Inventors: Noboru Komori; 昇小森
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1987-04-16
Filing date: 1987-04-16
Publication date: 1988-10-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、記録または再生効率の評価手段が設けられた
薄膜磁気ヘッドに関する。

（従来技術）従来より、基板上に、下部磁性層、絶縁層、コイル導体
層、ギャップ層、上部磁性層および保護層を順次積層し
て成る薄膜磁気ヘッドは周知である。

通常、薄膜磁気ヘッドの評価方法としては、記録ヘッド
においては、実際にこの記録ヘッドを用いて磁気記録媒
体に所定信号を記録し、記録された信号を基準ヘッドで
再生することにより、また、再生ヘッドにおいては、予
め標準信号が記録された磁気記録媒体を、評価を行うヘ
ッドを用いて再生することにより、それぞれ評価する方
法が用いられている。

また他の方法としては、ヘッドギャップ先端に外部導体
線を配置し、これに電流を流して磁界を発生させ、ヘッ
ド巻線に発生する電圧を測定する方法等が知られている
。

（発明が解決しようとする問題点）前述の方法のうち、磁気記録媒体を用いて評価する場合
、ヘッド摺動面と媒体との間に隙間が生したり、再生能
力の評価時にアジマスがずれたり、評価精度に種々の問
題を生じ、純粋なヘッド性能の評価とはならない。

また、外部導体綿を利用する方法では、ギャップ先端か
ら微少間隔、例えば数μｍ離れた位置にギャップに沿っ
て導体線を常に同し様にセットしなければならないとい
う難しさがある。

本発明の目的は、上記事情に基づいてなされたもので、
磁気記録媒体や、外部導体線を用いた際のへ・７ドの姿
勢を調整するような装置を用いることなく、高精度にか
つ簡単に記録または再生効率の評価が行える薄膜磁気ヘ
ッドを提供することにある。

（問題点を解決するだめの手段）すなわち、本発明の上記目的は、基板上に、下部磁性層
、絶縁層、コイル導体層、ギャップ層、上部磁性層およ
び保護層を順次積層して成る薄膜磁気ヘッドにおいて、
ヘッドギャップ部とコイル導体層との間でかつギヤノブ
部近傍に、ギャップ部に沿って導体線が配置されたこと
を特徴とする薄膜磁気ヘッドにより達成される。

（作用）ヘッド製造プロセス中、コイル導体と同時にヘッドコア
内部に作り込まれる導電性線材は、フットリソグラフィ
の技術によりヘッドギャップとの間に常時最適な位置関
係が維持でき、従って線材から発生ずる磁束を位置によ
る誤差なく、磁性コアに導入できる。その結果として、
ヘッドの再生効率の測定が良好に行える。

（実施例）以下、図面に基づいて本発明の詳細な説明する。

第１図の１実施例は、（Ａ）図に本発明の薄膜ヘッドの
断面図を、（Ｂ）図にその平面図をそれぞれ図示したも
のである。

図において、本発明の薄膜磁気ヘッドは従来ヘッドと略
同−構造によって設けられている。

すなわち、この薄膜磁気ヘッドは、例えば、フェライト
あるいはΔ１□０３ＴｉＣ％へ１□０３などの６荘１生
あるいは非磁性の基板１の上に、蒸着あるいはスパッタ
等の手段により形成される下部磁性層２を有し、その上
にＳｉＯ□等の非磁性絶縁層３に囲まれたコイル導体層
４を有し、更にその上にギャップ層５を介して上部磁性
層６、および保護層７を順次積層している。そして、本
発明の薄膜ヘッドでは、所定ギャップ長から成るヘッド
ギャップ部８と前記コイル導体層４との間で、かつギャ
ップ部近傍の絶縁層３に導体線９が設けられている。こ
の導体線９はギャップ部８に沿って配置され、両端部は
パッドとして形成されている。

なお、前記両磁性Ｎ２．６はコイル導体層４を囲む形で
ギャップ部８を介して閉磁路を形成している。

このような薄膜磁気ヘッドは概ね以下の製造プロセスに
より製作される。

下部磁性層２上の非磁性絶縁層３上に、パターニングに
より所定形状に設けられるコイル導体層４およびＣｕ、
ＡＩ、Ａｕ等の導電性材料から成る導体綿９がそれぞれ
同時に形成される。前記導体線９はギヤ、プ部近傍でか
つギャップ部に沿って形成される。更にバターニングさ
れたコイル導体層４および前記導体線９上に再び非磁性
絶縁層を形成した後、フロントギャップ部およびリアギ
ャップ部に相当する部分の前記非磁性絶縁層をテーパー
エツチングにより除去し、フロントギャップ部に所定ギ
ャップ長が設けられる。その後全面に亘って非磁性絶縁
膜から成るギャップ層５を被着し、その上にアモルフォ
ス、センダスト、パーマロイ等による上部磁性層６をス
パッタ等により形成し、最後に保護層７を設けて形成さ
れる。

また、前記導体線９はコイル巻線とは別にヘッド外部に
引き出され、パット９ａが形成される。

このように形成された薄膜磁気ヘッドは、例えば再生効
率の評価試験が、パッド９ａより導体線９に電流を流し
、ギャップ部近傍に磁界を発生させることにより行われ
る。すなわち、磁界を発生させることにより、前記上部
磁性層６および下部磁性層２によって形成される閉磁路
に磁束φを生じ、この磁束によりコイル薄体層４に発生
ずる起電圧を測定して行われる。

前記バッド９ａは、測定後切断しても良いし、そのまま
開放にして適宜測定が行えるように設けてあってもよい
。第２図は、本発明の他の実施例を図示している。なお
、第１図と同一構成部分には同一符号を付し、説明は省
略する。

この実施例は、本発明が多チヤンネルヘッドに適用され
たものを図示しており、先の第１図の実施例と同様、ヘ
ッドギャップ部近傍かつギャップ部に沿った位置に導体
線１０が配置されている。導体綿１０は図示したように
、各チャンネルに対して共通にし、外部への引き出しを
１対のパッド１０ａで設けている。しかし、このように
構成しないで導体線は各チャンネル毎に独立に設けても
よい。

なお、このようなヘッドは１チツプ化されて製品化され
る前の段階で、その評価試験が行われるものであっても
よい。

（発明の効果）以上記載したとおり、本発明の薄膜磁気ヘッドによれば
、特性評価用の導体線が予めヘッド内部に一体に組込ま
れているので、ヘッドの姿勢とは関係なく評価が行える
ため、正確かつ容易に評価測定を行うことができる。ま
た、通常の製造プロセスと略同一工程で製作でき、製造
コストを上げるものではない。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の１実施例による薄膜磁気ヘッドを説
明する図であり、（Ａ）図はその断面図、（Ｂ）図はそ
の平面図、第２図は本発明の他の実施例による薄膜磁気
ヘッドを説明する平面図である。１・・・基板、　２・・・下部磁性層、　３・・・非磁
性絶縁層、　　４・・・コイル導体層、　　５・・・ギ
ャップ層、６・・・上部磁性層、　７・・・保護層、　
８・・・ヘッドギャップ部、　９．１０・・・導体線、
　９ａ、１０ａ・・・パラ　　ド　。く

Claims

【特許請求の範囲】１）基板上に、下部磁性層、絶縁層、コイル導体層、ギ
ャップ層、上部磁性層および保護層を順次積層して成る
薄膜磁気ヘッドにおいて、ヘッドギャップ部とコイル導
体層との間でかつギャップ部近傍に、ギャップ部に沿っ
て導体線が配置されたことを特徴とする薄膜磁気ヘッド
。２）ヘッド製造プロセスにおいて、導体線がコイル導体
層と同時に形成されることを特徴とする特許請求の範囲
第１項に記載の薄膜磁気ヘッド。