JPS6325734Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案はIC製造用装置に用いるフオトマスク
プレートを保持する為のプレート・ホルダに関す
るものである。

ICの製造に使用させるフオトマスクプレート
は、これを使用する装置によりその保持方法は若
干異なるが、基本的には、同じ形状のフオトマス
クプレートならば再現性よく規定位置で停止し、
かつ装置動作時に振動の影響を受ける事なく安定
している事が重要である。この為通常はフオトマ
スクプレートを保時する治具として枠型平面のプ
レート・ホルダが使用されている。

従来、この種のプレート・ホルダは、プレー
ト・ホルダ上にフオトマスクプレートを配置し、
互いに垂直なＸ軸方向、Ｙ軸方向にそれぞれ独立
に移動するピン又は平形ツメなどの移動をバネの
力で押し出してフオトマスクをプレート・ホルダ
上のＸ，Ｙ軸方向に固定された固定子に押し付け
て保持していた。したがつてバネの強さが弱い
と、規定位置までフオトマスクプレートを移動出
来なかつたり、プレート・ホルダを可動ステージ
の上にセツトした場合は、ステージの移動時にプ
レート・ホルダで保持されたフオトマスクプレー
トが動いてしまう事が起る。逆にバネの強さが強
い場合は、セツトする場合にフオトマスクプレー
トの一部を傷付ける可能性が有り、又解放時にも
強い力が必要となる。さらにバネの強さは適切で
も、フオトマスクプレートをＸ，Ｙ軸方向にそれ
ぞれ押し付ける２つの移動子を独立に動かす従来
の方法では、これら移動子を自動的に操作する場
合、複雑な機構を用いないとマスクの自動脱着が
出来ない等の問題を生じている。

本考案の目的は、安定した位置決めと、確実な
保持と、簡単なロツク及解放が可能なフオトマス
クプレート・ホルダを提供する事にある。

本考案によれば、IC製造用の四角形フオトマ
スクプレートを載せるプレート台と、プレート台
上に固定され前記フオトマスクプレートの互いに
直交する第１および第２の辺を受ける固定片と、
第１、第２の辺にそれぞれ対向し互いに直交する
他の第３および第４の辺に接触する第１、第２の
円筒状移動子と、第１、第２の移動子をそれぞれ
回転自在に固定すると共にプレート台の面方向に
延びる第１、第２の腕と、第１、第２の腕端部が
固定されると共に一端を支点として移動子をフオ
トマスクの第３および第４の辺から離間する方向
にスプリングの荷重を受ける第１、第２のてこ
と、これら第１および第２のてこの他端に当接す
る二又の分割バーと、分割バーの駆動機構とを有
し、分割バー駆動機構の動作によつて分割バーを
移動させ第１、第２のてこを同時に回動すること
により第１、第２の移動子をフオトマスクプレー
トの第３、第４の辺に垂直な方向に移動させるこ
とを特徴とするフオトマスクプレート・ホルダが
得られる。

次に本考案を実施例を図面を参照して説明す
る。

第１図は本考案の一実施例を示す斜視図で、正
方形のフオトマスクプレート（以下フオトマスク
と略す）が、プレート台２に載せられており溝４
ａを可動する移動子４によりフオトマスク１は互
いに垂直なＸ，Ｙ方向に固定子３へ押え付けられ
ている。プレート台２の中央には穴（図示せず）
が形成され、図示しないウエハはフオトマスク１
を介してプレート台２の下で露光される。

第２図は、第１図の一部切欠拡大部分斜視図、
第３図は第２図のＢ−Ｂ断面図である。図におい
て、駆動レバー５は、プレート台２の右下角に設
置され、てこ７，腕７ａ，圧縮バネ８，分割バー
９および案内軸１１はプレート台２の右下部内部
に設置されている。逆分割バー９は、プレート台
２の上面に形成されたＴ字型のガイド溝６により
保持されて往復運動と左右の首振りを行なう。こ
の駆動レバー５はその運動方向をＸ，Ｙ方向に分
割して伝える為のＹ字型をした分割バー９に、案
内軸１１を介して結合されている。てこ７は、支
点１０でプレート台に固定されその中間に固定さ
れた腕７ａを経て移動子４に接続される。さら
に、てこ７の片端は、圧縮バネ８により押圧され
て分割バー９の一部に接触している。移動子４は
頭部より底部の径が小さい逆円錐台形状で、腕７
ａに固定される軸１３とはベアリング１２により
接続され、軸上で回転が出来る様になつている。

次に実施例の使用方法および動作について述べ
る。フオトマスク１をプレート台２に載せる前に
駆動レバー５をプレート台２の角へ引き、右又は
左に押してガイド溝６にロツクしておく。この状
態では移動子４はプレート台２の中心より外側に
開いている。次にフオトマスク１をプレート台２
に載せ、ロックしていた駆動レバー５を左又は右
に戻してガイド溝中央まで動かす。てこ７は圧縮
バネ８の力を受け、分割バー９でバランスを持ち
ながら移動子４を徐々に内側に押し出して、プレ
ート台２上に置かれたフオトマスク１をＸ，Ｙ方
向にある固定子３側へ押し付ける。この時、移動
子４は点接触でフオトマスク１の直交する２辺の
それぞれ中点を同時にかつ同じ圧力で押し、フオ
トマスク１の固定子３側への移動は、フオトマス
ク１が回転する様な動きは無く、スムーズかつ安
定に行なわれる。又、移動子４の断面が逆円錐状
になつており、移動子４をフオトマスクへ接触さ
せたときには移動子の上面がフオトマスク上面よ
り上にでるため、固定時にフオトマスク１がプレ
ート台２から浮き上る事も無く確実に保持出来
る。

フオトマスク１の取り出し時には駆動レバー５
を再び角に引き、右（又は左）に押してガイド溝
６にロツクすれば、移動子４は外側に開いてフオ
トマスクを容易に取り出せる。

以上説明したように本考案によれば、フオトマ
スクの安定した位置決めと、確実な保持と、簡単
なロツク及び解放が可能なフオトマスクプレー
ト・ホルダが実現出来る。

さらに本考案では、１個の駆動レバーで、Ｘ，
Ｙ方向に同時にロツク及解放が出来るので、自動
機器への対応を容易に実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例を示す斜視図、第２
図は第１図の一部切欠拡大部分斜視図、第３図は
第２図のＢ−Ｂ断面図である。 １……フオトマスクプレート、２……プレート
台、３……固定子、４……移動子、５……駆動レ
バー、６……ガイド溝、７……てこ、８……ば
ね、９……分割バー。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 IC製造用の四角形フオトマスクプレートを載
   せるプレート台と、 前記プレート台上に固定され前記フオトマスク
   プレートの互いに直交する第１および第２の辺を
   受ける固定片と、 前記第１、第２の辺にそれぞれ対向し互いに直
   交する他の第３および第４の辺に接触する第１、
   第２の円筒状移動子と、 前記第１、第２の移動子をそれぞれ回転自在に
   固定すると共に前記プレート台の面方向に延びる
   第１、第２の腕と、 前記第１、第２の腕端部が固定されると共に一
   端を支点として前記移動子を前記フオトマスクの
   前記第３および第４の辺から離間する方向にスプ
   リングの荷重を受ける第１、第２のてこと、 前記第１および第２のてこの他端に当接する二
   又の分割バーと、 前記分割バーの駆動機構とを有し、 前記分割バー駆動機構の動作によつて前記分割
   バーを移動させ前記第１、第２のてこを同時に回
   動することにより前記第１、第２の移動子を前記
   第３、第４の辺に垂直な方向に移動させることを
   特徴とするフオトマスクプレート・ホルダ。