JPS63233548A - 半導体用ダイソ−タプロ−ブカ−ド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は半導体装置の製造において、半導体ウェーへ
の状態でこれに形成された素子特性を測定する装置にお
けるダイソータプローブカードに適用される。

（従来の技術） 従来、半導体ウェーハに素子を複数形成したのち、これ
らの各々に対し順次測定を施す工程がある。これに用い
られる測定装置は高精度の回路構成になるので、回路の
正常作動につき屡々チェックを施している。これには予
め標準となる素子特性を備える一例のＩＣ（以下較正球
と称する）が用意され、これをプローブカードに接続し
てチェックを行なう。

上記について従来のプローブカードは第４図に上面図で
示すように構成されている。すなわち。

１０１で示されるプローブカード本体には半導体ウェー
ハの素子に圧接する複数の測定針１０２．１０２・・・
が放射状に夫々の一端が測定針固定部材１０３．１０３
・・・に固定され、これらの各々の他端は供試ウェーハ
の一素子に指向して配置されている。そして、上記測定
針固定部材１０３から電気配線１０４によって測定装置
に接続するための端子１０５に、また、別の電気配線１
１４によってプローブカード１０１の端部に取着された
較正球用ソケット１０６に夫々接続されている。なお、
１０７はプローブカード１０１に形成された一部の測定
回路である。

（発明が解決しようとする問題点） 上記従来の較正球配設方式によれば、測定針固定部材か
ら較正球用、ソケットに至る配線が長いため、その配線
の方法、長さ１種類等により測定データが不安定になる
という重大な問題点がある。

また、電気配線に生じやすい断線や、接続のためのはん
だの接触不良等が発生する問題もある。

この発明は取上の問題点に鑑み、較正球を用いダイソー
タプローブ装置によってウェーハに形成された素子特性
を測定するための改良装置を提供する。

〔発明の構成１ （問題、？＆′を解決するための手段）この発明にかか
る半導体用ダイソータプローブカードは、ダイソータプ
ローブカードの測定針に電気的に接続して複数のピンソ
ケットを各々の一方を配設したプローブカード本体と、
上記ピンソケットの一方に対応するピンソケットの他方
の各々を取着しこれらのピンソケットを締結することに
より上記プローブカード本体に装着される較正球用ボー
ドと、上記較正球用ボードに取着されかつそのピンソケ
ットとの間に電気配線が施された較正球用ソケットを具
備したことを特徴とする。

（作　用） この発明の半導体用ダイソータプローブカードは定期的
または随時に測定用回路のチェックが可能で、安定した
測定結果が得られる。

（実施例） 以下、この発明の一実施例につき、第１図ないし第３図
を参照して説明する。なお、説明において従来と変わら
ない部分については図面に従来と同じ符号をつけて示し
説明を省略する。

第１図に斜視図、第２図に側面図、第３図に較正球用ソ
ケットが設けられた較正球用ボードの上面図で示すよう
に、プローブカード本体１１は測定針固定部材が一例の
雄のピンソケット１２．１２・・・になっており、この
プローブカード本体の上面に垂直に突出している。

上記プローブカード本体１１に対向しその雄のピ。

ンソケット１２．１２・・・に対向し締結できる雌のピ
ンソケット２２．２２・・・を備えた較正球用ボード２
１を備えこの較正球用ボード２１の上記プローブカード
本体１１との対接面、すなわち、雌のピンソケット２２
゜２２・・・の突出側と反対側主面に較正球用ソケット
２３が取着されており、この較正球用ソケット２３とピ
ンソケット２２．２２・・・どの間には電気配線２４が
設けられ電気的に接続されている。

較正球により回路のチェックを行なうには、まず、較正
球用ソケット２３に較正球を取着し、較正球用ボード２
１をピンソケット１２．２２によってプローブカード本
体１１に装着する。これで、所定のチェックを行ない、
チェック後はピンソケットを引抜けば直ちに測定に移れ
る。　　゛ このプローブカードでは測定する素子の品種が変わった
場合、測定針の位置変更に対応して較正球用ボード２１
における電気配線２４のみ変えれば容易に対応できる。

〔発明の効果〕

この発明によれば、較正球用ソケットまでの配線が不要
なため、安定に回路チェックが達成できる０次に、較正
球用ボード１枚で相当数のプローブカードに使用が可能
である。さらに、測定品種の変換等によってプローブカ
ードの針位置に変化があっても、較正球用ボードの配線
を例えばラッピング等の手段で変えるのみで簡単に対応
できる。

取上により、較正球用ソケットをすべてのプローブカー
ドに装着しなくてよいので経済的である。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図はこの発明の一実施例のダイソータ
プローブカードにかかり、第１図はダイソータプローブ
の斜視図、第２図はダイソータプローブの側面図、第３
図は較正球用ソケットが設けられた較正球用ボードの上
面図、第４図は従来のダイソータプローブの上面図であ
る。 １１−−−−−プローブカード本体 １２−一−−−（雄の）ピンソケット ２１−−−−一較正球用ボード ２２−−−−一（雌の）ピンソケット ２３−一−−−較正球用ソケット ２４−−−−一電気配線

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ダイソータプローブカードの測定針に電気的に接続し
   て複数のピンソケットを各々の一方を配設したプローブ
   カード本体と、上記ピンソケットの一方に対応するピン
   ソケットの他方の各々を取着しこれらのピンソケットを
   締結することにより上記プローブカード本体に装着され
   る較正球用ボードと、上記較正球用ボードに取着されか
   つそのピンソケットとの間に電気配線が施された較正球
   用ソケットを具備したことを特徴とする半導体用ダイソ
   ータプローブカード。