JPS6323330A - 手動ボンデイング目合せ機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体組立工程のうちのワイヤーボンディング
、特にボンディングツール先端をワークのボンディング
パツドに手！ＩＪ操作により「目合せを行なうボンディ
ング回合せは構に関する。

［従来の技術１ 従来、手動ボンディングにおいては、ワークのボンディ
ングパッドへのポンプイングツ〜ルの位置決めには、特
に目印がなく、専ら作業者の熟練に依存していた。

［発明が解決しようとする問題点］ このように従来の手動ボンディング時のワークのボンデ
ィングパッドへのボンディングツールの位置決めは作業
者の熟練にたよっていたため、ワークのボンディングパ
ッドの大きざがボンディングツール先端の大きざに近づ
くにつれ、ボンディング位置がボンディングパッドから
はみ出す頻度が大きくなり、半導体素子の特性に悪影響
を及ぼし、組立て歩沼を大幅に低下させるという欠点が
あった。

本発明の目的はワークのボンディングパッドへのボンデ
ィングツールの位置決めを目印を付して行う手動ボンデ
ィング目合せ機構を提供することにある。

［問題点を解決するための手段］ 本発明はワークのボンディングパッドへのボンディング
ツールの位置決めを手動操作により行うワイヤーボンデ
ィング装置において、ボンディングツールの動きに連動
してワークのボンディングパッド上のボンディング位置
に目印としての光のスポットを照射する光源を有するこ
とを特徴とする手動ポンディング目金せ数構である。

［実施例］ 次に、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図は本発明の一実施例の横断面図である。

１はボンディングツールで必る。２は連動用アームであ
り、連動用アーム２はワークボンディングパツド５上に
光のスポット８を生じさぜる光源３を備えており、該ア
ーム２はボンディングツール１の動きに連動して光源３
の動きをボンディングツール１の動きに追尾させる。光
のスポット８はワーク６のボンディングパッド５で反射
し、作業者のモニター４へ入射する。７はワーク支持台
である。

実施例において、作業前の初期調整により、作業者はモ
ニター４を監視しながら、手動操作により、ワーク６の
高さに対してポンディングツール１のＸ、ｙ方向の位置
を光源３によりボンディングパツド５上に決める。初期
調整後、ワーク６を支持台７にのせ、マニュアル操作に
よりボンディングツール１を動かすと、ポンディングツ
ール１の動きに光源３か連動しボンディングパツド５上
のボンディング位置へ光のスポット８が移動する。

［発明の効果］ 以上説明したように本発明はマニュアル操作によりポン
ディング位置をボンディングパツド上に目合せする際、
光のスポットによりボンディング位置を正確に目合せす
ることが可能であり、ポンディング位置ずれを防止し、
それによる組立て不良を大幅に低減できるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す横断面図である。 １・・・ポンディングツール ２・・・連動アーム　　　　３・・・光源５・・・ワー
クボンディングパツド ８・・・スポット

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ワークのボンディングパツドへのボンディングツ
   ールの位置決めを手動操作により行うワイヤーボンディ
   ング装置において、ボンディングツールの動きに連動し
   てワークのボンディングパッド上のボンディング位置に
   目印としての光のスポットを照射する光源を有すること
   を特徴とする手動ボンディング目合せ機構。