JPS6323213A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents

薄膜磁気ヘツド

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Publication number
JPS6323213A
JPS6323213A JP16759186A JP16759186A JPS6323213A JP S6323213 A JPS6323213 A JP S6323213A JP 16759186 A JP16759186 A JP 16759186A JP 16759186 A JP16759186 A JP 16759186A JP S6323213 A JPS6323213 A JP S6323213A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coil
outermost conductor
film
insulating film
magnetic head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16759186A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyotaka Shimabayashi
嶋林　清孝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS6323213A publication Critical patent/JPS6323213A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109—Details
    • G11B5/313—Disposition of layers
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3163—Fabrication methods or processes specially adapted for a particular head structure, e.g. using base layers for electroplating, using functional layers for masking, using energy or particle beams for shaping the structure or modifying the properties of the basic layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は磁気ディスク装置に用いられる薄膜磁気ヘッド
に関する。
［従来の技術］ 従来、この種の薄膜磁気ヘッドは第２図に示すように、
磁気へラドスライダを構成する基板１上に絶縁膜２．下
部磁性膜３．ギャップ膜４．第１絶縁膜５．スパイラル
型の第１コイル１１．第２絶縁膜６．スパイラル型の第
２コイル１２．第３絶縁膜７．上部磁性膜８．保護膜９
を順次積層することにより形成される。
［発明が解決しようとする問題点］ 上述した従来の薄膜磁気ヘッドでは第１コイル１１およ
び第２コイル１２の断面形状が矩形となっているので、
第１コイル１１．第２コイル１２それぞれの最外周導体
１３．１４で絶縁膜の厚さが薄くなる。
そして、最悪の場合には、第１コイル１１の最外周導体
１３あるいは第２コイル１２の最外周導体１４において
、第２絶縁膜６．第３絶縁膜７により十分絶縁されず、
第１コイル１１の最外周導体１３の端部あるいは第２コ
イル１２の最外周導体１４の端部が上部磁性膜８と短絡
し、記録再生が不能となる現象が生じ、製造歩留りをひ
どく悪化させるという欠点がある。
本発明の目的はスパイラル型コイルの最外周導体につい
ての絶縁を行って確実な記録再生を実現する薄膜磁気ヘ
ッドを提供することにある。
［問題点を解決するための手段］ 本発明の薄膜磁気ヘッドは、基板上に下部Ｅ’ｋ　ｉ生
膜、ギャップ膜、スパイラル型コイル、上部ｍｔ生膜等
を順次積層して得られる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記
スパイラル型コイルの少なくとも最外周導体に面取りを
施したことを特徴とするものである。
［実施例１ 次に、本発明の一実施例について図面を参照して説明す
る。
第１図は本発明の一実施例の断面図である。本発明によ
る薄膜磁気ヘッドはスライダを構成する基板１上に絶縁
膜２．下部磁性膜３．ギャップ膜４、第１絶縁膜５．ス
パイラル型の第１コイル２１゜第２絶縁膜６．スパイラ
ル型の第２コイル２２．第３絶縁膜７．上部磁性膜８．
保護膜９を順次積層することにより形成され、第１コイ
ル２１の最外周導体２３ならびに第２コイル２２の最外
周導体２４に面取り２３ａ、　２４ａを施したものでお
る。本発明によれば、第１コイル２１の最外周導体２３
ならびに第２コイル２２の最外周導体２４に面取り２３
ａ、　２４ａが施されているため、第１コイル２１の最
外周導体２３における第２絶縁膜６および第２コイル２
２の最外周導体２４における第３絶縁膜７の厚さは十分
絶縁される厚さを確保できる。したがって、第１コイル
２１の最外周導体２３あるいは第２コイルの最外周導体
２２と上部磁性１１１８とが短絡することは全くない。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明はスパイラル型コイルの最外
周導体部に面取りを施すことにより、コイルと上部磁性
体との短絡を防ぎ製造歩留りを向上できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の薄膜磁気ヘッドの断面図、第２図は従
来の薄膜磁気ヘッドの断面図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）基板上に下部磁性膜、ギャップ膜、スパイラル型
    コイル、上部磁性膜等を順次積層して得られる薄膜磁気
    ヘッドにおいて、前記スパイラル型コイルの少なくとも
    最外周導体に面取りを施したことを特徴とする薄膜磁気
    ヘッド。
JP16759186A 1986-07-16 1986-07-16 薄膜磁気ヘツド Pending JPS6323213A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08216630A (ja) * 1995-02-16 1996-08-27 Natl Tire Kk 車両用タイヤ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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