JPS63273206A - 薄膜磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は薄膜磁気ヘッドの改良に関し、上部および下
部磁性層相互間の磁界の影響を減少し、安定した記録が
できるようにするとともに、導体コイルの端子への接続
を容易としたものである。

〔従来の技術〕

磁気記録媒体への情報の記録や再生に使用される磁気ヘ
ッドには、種々の形式のものがあり、例えば、第４図に
示すようなモノリシック型リングヘッドがある。

このモノリシック型リングヘッド１は、ヘッドコア２が
スライダ３と一体とされ、これらへラドコア２とスライ
ダ３とが磁性体であるフェライトで作られており、ヘッ
ドコア２にコイル４がδかれ、ヘッドコア２とスライダ
３との間に磁気ギャップ５が形成されている。

このようなモノリシック型リングヘッド１では、ヘッド
コア２およびスライダ３にフェライトを使用しているが
、Ｎｉ−Ｚｎフェライトでは飽和磁束密度が３４００ガ
ウス程瓜であり、Ｍｎ−Ｚｎフェライトでも飽和磁束密
度が５０００ガウス程度である。

このため、最近の高記録密度を目的として開発された高
保持力の磁気記録媒体に使用しようとすると、強い記録
磁界が必要となるが、低磁束密度領域で飽和し、必要な
記録磁界が１ｒ４られないという問題がある。

そこで、フォトリソグラフィ技術を用いて磁性層や導体
コイル層を成膜する薄膜磁気ヘッドが開発されており、
例えば第５図に示すように、非磁性体基板７上に下部磁
性層８を成膜し、その上に磁気ギャップを形成するため
の絶縁層９を形成し導体コイル層１０と絶縁！１１１を
形成し、最上部に先端部が絶縁層９を挾んで下部磁性層
８ど対向し、中間部が導体コイル層１０および絶縁層１
１を覆うように形成され、基端部に下部磁性層８上に位
置Ｊる結合部１２ａが形成された上部磁性層１２を備え
ている。

この簿膜磁気ヘッド６では下部磁性Ｆｆ’ｊ　８　Ｊｊ
よび上部磁性層１２としてパーマロイを使用することで
、飽和磁束密度を約８０００ガウスとすることができ、
高記録密度用の磁気ヘッドに適したものとなる。・ 〔発明が解決しようと１６問題点〕 ところが、この薄膜磁気ヘッド６では、上部および下部
磁性ＦＩ８．１２が金属膜であり、両方から垂直方向の
磁界が逆向きに発生するため、磁気記録媒体への記録の
際、下部磁性層８からの磁界で書込んだものを上部磁性
層１２の逆向きの磁界で反転することになってしまい、
記録が上部および下部磁性層８．１２の両方の影響で不
安定にむっ°（シまう。

また、この薄膜磁気ヘッド６では、製作上、下部磁性層
８を成膜したのち上部磁性Ｆｉ　１２を成膜するが、上
部磁性Ｎ１２の位置合せが難しく、下部磁性層８を幅広
に作らねばならず、磁気記録媒体への記録の際、記録面
のトラックの両側に下部１ｉｆ９ＦＩ８によるものが残
ってしまうという欠点がある。

さらに、導体コイル層１０の端子が中心部と外周部の２
箇所となり、中心部の端子へのリード線等の接続に工夫
を施さねばならないという問題もある。

この発明はかかる従来技術の問題点に鑑みてなされたも
ので、磁気記録媒体への記録を゛安定させることができ
、導体コイル層との接続も容易な薄膜磁気ヘッドを提供
しようとするものである。

〔問題点を解決するだめの手段〕

上記問題点を解決するためこの発明のＲ［磁気ヘッドは
、下部磁性層となる磁性体基板上に磁気ギャップを形成
する絶縁層を形成し、この絶縁層上に４層の導体コイル
層を絶縁層と交互に成膜するとともに、各層のコイルを
外側から中心へのスパイラル状の巻線と中心から外側へ
のスパイラル状の巻線とを交互にＲｕする一方、最上部
に、先端部が磁気ギャップを形成する絶縁層を挾んで下
部磁性層と対向りるとともに、中間部がこれら導体コイ
ル層を覆い、基端部が下部磁性層上に位置ターる土部磁
性層を形成したことを特徴どするものである。

〔作　用〕

下部磁性層を非磁性体基板に成膜することなく、飽和磁
束密度の低いフェライト等の磁性体基板、あるいはフェ
ライト等にパーマロイ膜やセンダスト膜を形成した磁性
体基板で下部磁性層を兼用し、上部磁性層をパーマロイ
やセンダスト等の高透磁率の金属膜とじてトラック幅を
磁路抵抗の低い上部磁性層と相対した幅のみで規制する
ようにし、これら上部および下部磁性層間に絶縁層と交
互に形成βれる尋体コイル層を７１層とし、しかも外側
から中心へのスパイラル巻線と中心から外側へのスパイ
ラル巻線とを交互にすることで、両端部の端子および中
間部の端子を全て外側（外周側）に位置させるようにし
ている。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図面に基づき詳細に説明す
る。

第１図および第２図はこの発明の１膜磁気ヘツドの一実
施例にかかる概略斜視図および８１１　ｔｌＪｉ面図で
ある。

この薄膜磁気ヘヅド２０は、下部磁性層２１が磁性体基
板２２で兼用されてＪｊす、比較的飽和磁束密度（ＢＳ
）が低いＮｉ−Ｚｎフェライト（３５００ガウス）やＭ
ｎ−Ｚｎフェライト（５０００ガウス）等または、■少
時のギレツプ感度を向上させるためその表面に上部磁性
層の１７２以下の厚さのパーマロイ、フェライト、Ｇｏ
−Ｚｒ−Ｎｂアモルファス膜をつけたもの等で作られて
いる。

この下部磁性層２１を兼ねる磁性体基板２２上には、磁
気ギャップｑを形成するための絶縁層２３が設けてあり
、中間に磁気回路形成のため露出部が形成しである。

この絶縁層２３上には、４層の導体コイル層２／１が形
成され、各層の導体コイル２４１〜。

２４４が絶縁層２５と交互に積層され、これら絶縁層２
５によって層間絶縁がなされるようになっている。

この４層の導体コイル層４は、第３図に分解して示すよ
うに、いずれもスパイラル状の巻線とされており、例え
ば第１層の導体コイル２４１が外側から中心への反時計
方向に巻かれたスパイラル形状とされ、外側の端子２４
１．が外部に導出され、中心部の端子２４１．が露出状
態としである。

そして、第２層の導体コイル２４２は、第１層の中心部
の端子２４１ｂに重ねられて中心部の端子２４２、が接
続され、中心から外側へ反時計方向に巻かれたスパイラ
ル形状となっており、外側の端子２４２ｂが外部に導出
されている。

また、第３ｗＡの導体コイル２４３は、第２層の外側の
端子２４２ｂに接続され、外側から中心へ反時計方向に
巻かれたスパイラル形状とされ、中心部の端子２４３．
が露出状態とされる。

最上層である第４層の導体コイル２４４は、第３層の中
心部の端子２４　に中心部の端子２４４゜ｂ が車ねられ、中心部から外側へ反時翳１方向に巻かれた
スパイラル形状とされ、外側の端子２４４ｂが外部に導
出されている。

したがって、これら４層の導体コイル層２４は、両端の
端子が第１層の外側（外周部）の端子２４　と第４層の
外側（外周部）の端子２４４．とａ なるとともに、中間の端子が第２層および第３層の外側
（外周部）の端子２４　　２４３．、！：なり、ｂ− 薄膜磁気ヘッド２０として使用する場合に必要な両端お
よび中間の端子は、いずれも導体コイル層２４の外側（
外周部）に位置し、リード線等の接続が簡単にできるこ
とになる。

このような導体コイル層２４上には、上部磁性層２５が
形成されるが、この上部磁性層２５は下部磁性Ｆ７２１
を兼ねる磁性体基板２２より飽和磁束方度が高く、高透
磁率のパーマロイやセンダスト（Ｆｅ−ＡＩ−８層合金
）あるいは、Ｃ０−Ｚｒ−Ｎｂアモルファス等で成膜さ
れる。

この上部磁性層２６は、先端部が磁気ギャップｑを形成
する絶縁ＦＩ２３を挾んで下部磁性層２１と対向するよ
うになっており、先端部の幅がトラック幅に対応した幅
としである。また、上部磁性層２６の中間部は導体コイ
ル層２４および絶縁層２５を覆うように配置されており
、さらに、基端部には、絶ｎ層２３の露出部を介して下
部磁性層２１ど接続されて磁気回路を形成するため凹状
の結合部２６ａが形成されている。

これら各層はいずれもフォトリソグラフィで形状が決め
られ、積層される。

かように構成したｎ膜磁気ヘッド２０では、例えば、４
層の導体コイル２４１〜２４４を、書込みの場合には、
端子２４１．と端子２４２−を１組とするとともに、端
子２４　と端子２４４−をもａ う１組のコイルとして電気回路側のスイッチングにより
位相が１８０度異なる場合に対応させるようにする一方
、読取りの場合には、全部の導体コイル２４〜２４４を
用いて端子２４１ａと端子２４４−からの出力信号によ
り高感度の読取りができるようにする。

こうして磁気記録媒体への書込みおよび磁気記録媒体か
らの読取りを行なうが、下部磁性層２１が低飽和磁束密
度のフェライトであり、上部磁性層２６が高飽和磁束密
度で高透磁率の金属膜であるので、下部磁性層２１に発
生する磁界強度が上部ｔａ磁性層６の１７２以下となる
。

これにより、トラック幅が上部磁性層２６の先端部の幅
によって定まり、下部磁性層２１が広幅であってもトラ
ック幅への影響がなく、上部磁性層２６によって安定し
た記録・再生ができる。

また、下部磁性層２１は磁気ギ亀シップ０の直角方向に
広く、磁気ギｉ・ツブＱの両側に位置する下部磁性層２
１の両側面までが離れており、磁気回路を形成する端面
エツジがないため上部磁性層２６の幅に相当する磁気回
路が形成され、下部磁性層２１による記録が残ることも
ない。

なお、上記実施例では、下部磁性層を兼ねる磁性体基板
にｌｌ１ｌの薄膜磁気ヘッドを形成する場合で説明した
が、複数の薄１１ＱＩａ気ヘッドを形成する場合にも適
用できる。

〔発明の効果〕

以上、一実施例とともに具体的に説明したようにこの発
明の薄膜磁気ヘッドによれば、下部磁性層を磁性体基板
で兼用し、４層のη体コイル層を外側から中心へのスパ
イラル巻線と中心から外側へのスパイラル巻線との組合
せとし、最上部に上部磁性層を形成したので、下部磁性
層と上部磁性層の材質を変え、下部磁性層をフェライト
等とし、上部磁性層をパー７１コイやセンダス等とする
ことができ、下部磁性層の発生する磁界強度を小さくし
、上部磁性層による大きな磁界によって安定した記録が
できる。

また、上部磁性層に比べ、下部磁性層が幅広であり、端
面エツジがなく上部磁性層の幅に相当りる磁気回路幅と
なるので、従来のように、下部磁性層による記録が広幅
となって残ることがなくなる。

さらに、上部磁性層に比べ、下部磁性層が幅広となって
いるので、上部磁性層の成膜の際の位置合せも容易であ
り、製作が容易となる。

また、導体コイル層を４層とし、しかもスパイラル巻線
の接続を中心部同志および外側同志で行なうようにした
ので、リード線等の接続に必要な端子が全て導体コイル
の外側（外周部）に位置することとなり、接続が容易と
なる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図はこの発明の薄膜磁気ヘッドの一実施例
にかかり、第１図は概略斜視図、第２図はＩＩＩ１ｇｉ
面図、第３図は導体コイル層を分解した平面図、第４図
は従来のモノリシック型リングヘッドの斜視図、第５図
（ａ）、　（ｂ）は従来の薄膜磁気ヘッドにかかり、（
ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）図中の［３−３−８ｌ面
図である。 ２０・・・Ｍｖ、Ｖａ気ヘッド、２１・・・下部磁性層
、２２・・・磁性体基板、２３・・・絶縁層、２４・・
・導体コイル層、２５・・・絶縁層、２６・・・上部磁
性層。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 下部磁性層となる磁性体基板上に磁気ギャップを形成す
   る絶縁層を形成し、この絶縁層上に４層の導体コイル層
   を絶縁層と交互に成膜するとともに、各層のコイルを外
   側から中心へのスパイラル状の巻線と中心から外側への
   スパイラル状の巻線とを交互に配置する一方、最上部に
   先端部が磁気ギャップを形成する絶縁層を挾んで下部磁
   性層と対向するとともに、中間部がこれら導体コイル層
   を覆い基端部が下部磁性層上に位置する上部磁性層を形
   成したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。