JPS63230551A - ＬａＭｎＯ↓３焼結体の製造方法 - Google Patents
ＬａＭｎＯ↓３焼結体の製造方法Info
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- JPS63230551A JPS63230551A JP62062686A JP6268687A JPS63230551A JP S63230551 A JPS63230551 A JP S63230551A JP 62062686 A JP62062686 A JP 62062686A JP 6268687 A JP6268687 A JP 6268687A JP S63230551 A JPS63230551 A JP S63230551A
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- JP
- Japan
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- sintered body
- lamno3
- powder
- graphite mold
- hot
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- Pending
Links
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔施業上の利用分野〕
本発明は、高温用′Ｉｔ極などに使用するＬａＭｎ Ｏ
ｓホットプレス焼結体の製造方法に関する。
ｓホットプレス焼結体の製造方法に関する。
従来、Ｉｉ ＩＬＭｎ Ｏｓ のホットプレス焼結体
を製造する場合、１１００℃以上に温度を上け、４００
ｋｌｔ／（’１１８２以上の加圧全行いながら２時間程
度焼結を行ってい次。
を製造する場合、１１００℃以上に温度を上け、４００
ｋｌｔ／（’１１８２以上の加圧全行いながら２時間程
度焼結を行ってい次。
ＬａＭｎＯ３粉末金ホットプレスによる加圧焼結する場
合、１１００℃以上の温度で焼結させると充分に緻密化
した焼結体が得られる。しかし、焼結温度を１１００℃
以上にすると、ＬａＭｎＯ３粉末とホットプレスの黒鉛
型とが反応し、ＬａＭｎＯ３焼結体と黒鉛型とが接層奮
起こす。このような接着が起こると、焼結温度から温度
を下げる際にＬａＭｎＯ３焼結体とホットプレスの黒鉛
型との熱膨張率の差で生じる熱応力により焼結体に割れ
を生じてし筐うという問題点がめった。
合、１１００℃以上の温度で焼結させると充分に緻密化
した焼結体が得られる。しかし、焼結温度を１１００℃
以上にすると、ＬａＭｎＯ３粉末とホットプレスの黒鉛
型とが反応し、ＬａＭｎＯ３焼結体と黒鉛型とが接層奮
起こす。このような接着が起こると、焼結温度から温度
を下げる際にＬａＭｎＯ３焼結体とホットプレスの黒鉛
型との熱膨張率の差で生じる熱応力により焼結体に割れ
を生じてし筐うという問題点がめった。
本発明は上記従来技術におけるような問題点のないＬａ
ＭｎＯ３ 焼結体の製造方法を提供しようとするもの
である。
ＭｎＯ３ 焼結体の製造方法を提供しようとするもの
である。
本発明はＬａＭｎＯ３粉末の予備成形体ｔＢＮ粉末で包
んでホットプレス用黒鉛型に装側し、加圧焼結すること
を特徴とするＬａＭｎＯ３ 焼結体の製造方法である
。
んでホットプレス用黒鉛型に装側し、加圧焼結すること
を特徴とするＬａＭｎＯ３ 焼結体の製造方法である
。
すなわち、本発明は％ Ｌａ Ｍｎ Ｏｓ とホット
プレスの黒鉛型との反応を防ぐことによｐ熱応力の発生
を防ぎ、良好な焼結体を得るため、ＬａＭｎ０゜と黒鉛
型との間に高温１で安定でＬａ Ｍｎ Ｏ５、黒鉛と反
応を起こさないＢＮ粉末をホットプレスの黒鉛型内にＬ
ａＭｎＯ３予備成形体を包むように装填し加圧焼結を行
うものである。
プレスの黒鉛型との反応を防ぐことによｐ熱応力の発生
を防ぎ、良好な焼結体を得るため、ＬａＭｎ０゜と黒鉛
型との間に高温１で安定でＬａ Ｍｎ Ｏ５、黒鉛と反
応を起こさないＢＮ粉末をホットプレスの黒鉛型内にＬ
ａＭｎＯ３予備成形体を包むように装填し加圧焼結を行
うものである。
本発明では、ＬａＭｎ０ 粉末（Ｌ ａ Ｍｎ Ｏｓ
予備成形体）をＢＮ粉末で包み黒鉛との反応を防いでい
る。高温で安定なりＮ粉末が、加圧焼結時にＬ ａＭ
ｎ Ｏｓ と黒鉛型との間に存在すると両者の反応接
着は発生せず、Ｌ ａＭｎ Ｏｓは、降温時に黒鉛型に
拘束されずに収縮を起ζし、応力は発生しないため、焼
結体は−ｊれが入いらず良好な焼結体が得られる。
予備成形体）をＢＮ粉末で包み黒鉛との反応を防いでい
る。高温で安定なりＮ粉末が、加圧焼結時にＬ ａＭ
ｎ Ｏｓ と黒鉛型との間に存在すると両者の反応接
着は発生せず、Ｌ ａＭｎ Ｏｓは、降温時に黒鉛型に
拘束されずに収縮を起ζし、応力は発生しないため、焼
結体は−ｊれが入いらず良好な焼結体が得られる。
本発明の一実施例を第１図を参照しながら説明する。第
１図はＬ ａ Ｍｎ Ｏｓ予備成形体のホットプレス用
黒鉛型に装填して加圧焼結している状態を示す。第１図
において、１はＬａＭｎＯ３予備成形体、２はＢＮ粉末
、３はホットプレス用黒鉛型外枠、４はホットプレス用
黒鉛型内枠、５はホットプにス用黒鉛上部押神、６はホ
ットプレス用黒鉛下部押棒、７はホットプレス炉発熱体
である。
１図はＬ ａ Ｍｎ Ｏｓ予備成形体のホットプレス用
黒鉛型に装填して加圧焼結している状態を示す。第１図
において、１はＬａＭｎＯ３予備成形体、２はＢＮ粉末
、３はホットプレス用黒鉛型外枠、４はホットプレス用
黒鉛型内枠、５はホットプにス用黒鉛上部押神、６はホ
ットプレス用黒鉛下部押棒、７はホットプレス炉発熱体
である。
平均粒径１μｍ程度のＬａＭｎＯｓ粉末２０１を、直径
２７ｙｍＯ金型中に入れ、２００ｋｇｒ／ｃｒｒｒ’ｃ
Ｑ圧力テ３０秒間、−軸成形を行い予備成形体１を得る
。この予備成形体１をＢＮ粉末２を充填した直径５０ｍ
のホットプレス用黒鉛型中に静置する。次にＢＮ粉末が
充分に充填するようにタッピングを行った後、さらにＢ
Ｎ粉末を充填し、予備成形体１をＢＮ粉末で包む。以上
の処理をほどこしたＬａＭｎＯ３予備成形体１をホット
ブレス加熱体７で＋ ２００Ｃに加熱し、上下のホット
プレス用黒鉛押棒５，６によって２時間ホットプレスし
て、割れのない相対密度（実測値／理論値）９８Ｚ以上
の焼結体を得九以上、Ｌ＆ＭｎＯ，焼結体の製法につい
て説明し九が、黒鉛型と反応を起こすＬａ０ｒＯ３やＣ
ｒ２Ｏ３の加圧焼結体の製造に際しても本発明を適用す
ることができる。
２７ｙｍＯ金型中に入れ、２００ｋｇｒ／ｃｒｒｒ’ｃ
Ｑ圧力テ３０秒間、−軸成形を行い予備成形体１を得る
。この予備成形体１をＢＮ粉末２を充填した直径５０ｍ
のホットプレス用黒鉛型中に静置する。次にＢＮ粉末が
充分に充填するようにタッピングを行った後、さらにＢ
Ｎ粉末を充填し、予備成形体１をＢＮ粉末で包む。以上
の処理をほどこしたＬａＭｎＯ３予備成形体１をホット
ブレス加熱体７で＋ ２００Ｃに加熱し、上下のホット
プレス用黒鉛押棒５，６によって２時間ホットプレスし
て、割れのない相対密度（実測値／理論値）９８Ｚ以上
の焼結体を得九以上、Ｌ＆ＭｎＯ，焼結体の製法につい
て説明し九が、黒鉛型と反応を起こすＬａ０ｒＯ３やＣ
ｒ２Ｏ３の加圧焼結体の製造に際しても本発明を適用す
ることができる。
本１発明によシ、割れのないＬａＭｎＯ３の緻密な焼結
体が得られる。
体が得られる。
第１図本発明の一実施例としてのＬａＭｎ０，５予備成
型体のホットプレス用黒鉛型中での加圧焼結時の状態全
説明するための図である。
型体のホットプレス用黒鉛型中での加圧焼結時の状態全
説明するための図である。
Claims (1)
- ＬａＭｎＯ＿３粉末の予備成形体をＢＮ粉末で包んで
ホットプレス用黒鉛型に装填し、加圧焼結することを特
徴とするＬａＭｎＯ＿３焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62062686A JPS63230551A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | ＬａＭｎＯ↓３焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62062686A JPS63230551A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | ＬａＭｎＯ↓３焼結体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63230551A true JPS63230551A (ja) | 1988-09-27 |
Family
ID=13207413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62062686A Pending JPS63230551A (ja) | 1987-03-19 | 1987-03-19 | ＬａＭｎＯ↓３焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63230551A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012241218A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-10 | Mitsubishi Materials Corp | 酸化物スパッタリングターゲット及びその製造方法並びにこれに用いる緩衝粉 |
-
1987
- 1987-03-19 JP JP62062686A patent/JPS63230551A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012241218A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-10 | Mitsubishi Materials Corp | 酸化物スパッタリングターゲット及びその製造方法並びにこれに用いる緩衝粉 |
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