JPS63228637A - 取付治具 - Google Patents
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- JPS63228637A JPS63228637A JP62060957A JP6095787A JPS63228637A JP S63228637 A JPS63228637 A JP S63228637A JP 62060957 A JP62060957 A JP 62060957A JP 6095787 A JP6095787 A JP 6095787A JP S63228637 A JPS63228637 A JP S63228637A
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- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims abstract description 66
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 34
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 9
- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 206010011224 Cough Diseases 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/7525—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/753—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/75301—Bonding head
- H01L2224/75302—Shape
- H01L2224/75303—Shape of the pressing surface
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、四角形試料、特に半導体ペレットの接合に適
用して有効な技術に関する。
用して有効な技術に関する。
所定の厚さを有する四角形の試料を、その−主面側で拘
持して、他の一主面を接合材を介して被接合面に取付け
る作業を自動化する技術がある。
持して、他の一主面を接合材を介して被接合面に取付け
る作業を自動化する技術がある。
その具体的技術として、半導体ペレット（以下、単にペ
レットともいう。）の取付けがある。このペレットの取
付けについては、昭和５６年１１月１０日、工業調査会
発行「電子材料Ｊ １９８１年別冊、Ｐ２Ｓ５に説明さ
れている。
レットともいう。）の取付けがある。このペレットの取
付けについては、昭和５６年１１月１０日、工業調査会
発行「電子材料Ｊ １９８１年別冊、Ｐ２Ｓ５に説明さ
れている。
上記半導体ペレットの取付けにおいては、一般に、四角
形の試料であるペレットを、その取付治具であるコレッ
トで拘持してその取付が行なわれている。上記コレット
には、ペレットの拘持部が略四角錐または四角錐台形状
に穿設された凹部が形成され、該ペレットの一主面を吸
引し、該主面側の周囲端辺を上記凹部の内周側面に接触
させてその拘持を行うものがある。このコレットを用い
て半導体ペレットを拘持する場合、該半導体ベレットの
コーナの先端がコレットの上記内周側面に点接触するこ
とがあり、その際の衝撃で該ペレットのコーナ部に欠け
や亀裂が生じやすいという問題があった。そこで、この
問題を解消すべく、ペレットのコーナ先端が接触し易い
コレットのコーナ部を、四つの全ての内周側面について
その末端から中心方向に向かって所定長さだけ切除また
は穿設して切欠部を形成することが考えられる。このよ
うにコレットの内周側面コーナ部に切欠部を形成する場
合には、ペレットのコータ先端がコレットの内周側面に
点接触することを避けることが可能となる。
形の試料であるペレットを、その取付治具であるコレッ
トで拘持してその取付が行なわれている。上記コレット
には、ペレットの拘持部が略四角錐または四角錐台形状
に穿設された凹部が形成され、該ペレットの一主面を吸
引し、該主面側の周囲端辺を上記凹部の内周側面に接触
させてその拘持を行うものがある。このコレットを用い
て半導体ペレットを拘持する場合、該半導体ベレットの
コーナの先端がコレットの上記内周側面に点接触するこ
とがあり、その際の衝撃で該ペレットのコーナ部に欠け
や亀裂が生じやすいという問題があった。そこで、この
問題を解消すべく、ペレットのコーナ先端が接触し易い
コレットのコーナ部を、四つの全ての内周側面について
その末端から中心方向に向かって所定長さだけ切除また
は穿設して切欠部を形成することが考えられる。このよ
うにコレットの内周側面コーナ部に切欠部を形成する場
合には、ペレットのコータ先端がコレットの内周側面に
点接触することを避けることが可能となる。
しかしながら、上記コレットでペレットを拘持し、その
拘持側主面とは反対側の主面である接合面をベレット取
付基板の被接合面に押しつけながらそのペレットの一対
の端辺に対し垂直な方向にスクラブして、該ペレットを
接合する場合には、そのスクラブ方向に対して垂直な上
記ベレット端辺のコーナ部はコレットの内周側面に接触
していないため、該ペレットのコーナ部はコレットによ
って支持、固定されていないことになる。そのため、上
記スクラブ時には、支持、固定されていない上記ペレッ
トのコーナ部においてはペレットの接合面とペレット取
付基板の被接合面との摩擦に起因する応力が吸収されな
いことになる。そのため、上記応力はペレットのコーナ
部、とりわけコレットの内周側面に対する接触部と非接
触部との境界部に、すなわち上記切欠部端に位置するベ
レヅト端邪に集中することになる。その結果、上記応力
集中個所やその近傍のベレット部に欠けや亀裂が発生し
易くなるという新たな問題の生じることが本発明者によ
り見出された。
拘持側主面とは反対側の主面である接合面をベレット取
付基板の被接合面に押しつけながらそのペレットの一対
の端辺に対し垂直な方向にスクラブして、該ペレットを
接合する場合には、そのスクラブ方向に対して垂直な上
記ベレット端辺のコーナ部はコレットの内周側面に接触
していないため、該ペレットのコーナ部はコレットによ
って支持、固定されていないことになる。そのため、上
記スクラブ時には、支持、固定されていない上記ペレッ
トのコーナ部においてはペレットの接合面とペレット取
付基板の被接合面との摩擦に起因する応力が吸収されな
いことになる。そのため、上記応力はペレットのコーナ
部、とりわけコレットの内周側面に対する接触部と非接
触部との境界部に、すなわち上記切欠部端に位置するベ
レヅト端邪に集中することになる。その結果、上記応力
集中個所やその近傍のベレット部に欠けや亀裂が発生し
易くなるという新たな問題の生じることが本発明者によ
り見出された。
本発明の目的は、四角形試料を取付治具でその一主面側
を拘持し、他の一主面をスクラブして被接合面に接合す
る場合、上記試料に生じる欠けや亀裂を、拘持時および
スクラブ時のいずれの場合においても低減できる技術を
提供することにある。
を拘持し、他の一主面をスクラブして被接合面に接合す
る場合、上記試料に生じる欠けや亀裂を、拘持時および
スクラブ時のいずれの場合においても低減できる技術を
提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、四角形の開口端から、その各対向面が深さ方
向に互いに接近する形状の凹部が形成され、その凹部に
ある吸引口で四角形試料の一主面を吸引し、該主面側の
四周端辺を二対の対向面からなる上記凹部の内周側面に
接触させて上記四角形試料の拘持を行う取付治具につい
て、上記試料の四周端辺と接触する上記内周側面の中、
対向する一組の内周側面における接触部の長さを、該内
周側面に接触する周端辺の長さ以上にし、他の一組の対
向する内周側面における接触部の長さの両端を、該内周
側面に接触する周端辺の両端より内側に位置されてなる
ものである。
向に互いに接近する形状の凹部が形成され、その凹部に
ある吸引口で四角形試料の一主面を吸引し、該主面側の
四周端辺を二対の対向面からなる上記凹部の内周側面に
接触させて上記四角形試料の拘持を行う取付治具につい
て、上記試料の四周端辺と接触する上記内周側面の中、
対向する一組の内周側面における接触部の長さを、該内
周側面に接触する周端辺の長さ以上にし、他の一組の対
向する内周側面における接触部の長さの両端を、該内周
側面に接触する周端辺の両端より内側に位置されてなる
ものである。
上記した手段によれば、取付治具で上記試料を吸引・拘
持してその非吸引側の主面を被接合面に接触させ、その
状態でスクラブして接合するため、その接触部の長さが
、そこに接触する周端辺の長さ以上である上記対向する
内周側面側の開口端辺と直交する方向にスクラブする場
合、スクラブ時に被接合面から上記試料端に加わる応力
をその周端辺の全長にわたって該試料を支持、固定して
吸収させることができるため、該内周側面に接触した位
置の試料部に応力が局部的に集中することを有効に防止
できると同時に、他の一組の内周側面では、試料の拘持
時にそのコーナ先端が上記内周側面に接触することを避
けることができるため、咳接触に起因する該試料の欠け
や亀裂の発生を有効に防止することができるものである
。
持してその非吸引側の主面を被接合面に接触させ、その
状態でスクラブして接合するため、その接触部の長さが
、そこに接触する周端辺の長さ以上である上記対向する
内周側面側の開口端辺と直交する方向にスクラブする場
合、スクラブ時に被接合面から上記試料端に加わる応力
をその周端辺の全長にわたって該試料を支持、固定して
吸収させることができるため、該内周側面に接触した位
置の試料部に応力が局部的に集中することを有効に防止
できると同時に、他の一組の内周側面では、試料の拘持
時にそのコーナ先端が上記内周側面に接触することを避
けることができるため、咳接触に起因する該試料の欠け
や亀裂の発生を有効に防止することができるものである
。
第１図（ａ）は本発明による一実施例であるコレットを
示す、同図Ｃｂ）におけるＩＡ−ＩＡ断面図であり、第
１図ら）は上記コレットの底面図である。また、第２図
は本実施例のコレットが適用されるペレット取付装置の
一部を示す概略説明図である。
示す、同図Ｃｂ）におけるＩＡ−ＩＡ断面図であり、第
１図ら）は上記コレットの底面図である。また、第２図
は本実施例のコレットが適用されるペレット取付装置の
一部を示す概略説明図である。
本実施例のコレット（取付治具）１は略四角形の柱状体
からなり、その一端には開口端が略正方形からなる凹部
２が形成されている。上記凹部２は、その対向する面が
深さ方向に互いに接近する所定のテーバのついた４つの
平面でその周囲が形成されているものであり、上記柱状
体の一端を四角錐台形状に刻設してなるものである（以
下、上記４つの平面を内周側面３という。）。そして、
上記凹部２の上底部４には、その略中心に小径の吸引孔
５が形成され、その吸引孔５は、その奥部に位置する大
径の吸引孔５ａに連通されている。
からなり、その一端には開口端が略正方形からなる凹部
２が形成されている。上記凹部２は、その対向する面が
深さ方向に互いに接近する所定のテーバのついた４つの
平面でその周囲が形成されているものであり、上記柱状
体の一端を四角錐台形状に刻設してなるものである（以
下、上記４つの平面を内周側面３という。）。そして、
上記凹部２の上底部４には、その略中心に小径の吸引孔
５が形成され、その吸引孔５は、その奥部に位置する大
径の吸引孔５ａに連通されている。
上記コレット１は、第１図（ａ）に示すように、二点鎖
線で示す半導体ペレット（四角形試料）６を、その−主
面を矢印方向に吸引し、該主面側の四周端辺を上記内周
側面３に接触させて、該ペレット６の拘持を行うもので
ある。その際、上記ペレット６の他の一主面である接合
面６ａは、コレット１の下端１ａより下に位置する。
線で示す半導体ペレット（四角形試料）６を、その−主
面を矢印方向に吸引し、該主面側の四周端辺を上記内周
側面３に接触させて、該ペレット６の拘持を行うもので
ある。その際、上記ペレット６の他の一主面である接合
面６ａは、コレット１の下端１ａより下に位置する。
本実施例のコレット１では、第１図（ｂ）に示すように
、上記二対の対向する内周側面３の中、一対にのみその
コーナから内側方向に所定幅を穿設して深さ方向に延び
た溝（切欠部）７を形成しである。その結果、上記溝７
においてはペレット６の周端辺が接触しないことになる
。すなわち、ペレット６の四周端辺の中、図中左右に位
置する一対の周端辺のみがその全長にわたってコレット
１の内周側面３ａに接触するが、他の一対である上下に
位置する周端辺１３ａはその両端部に位置する上記溝７
を除いた該周端辺１３ａより短い内周側面３ｂと部分的
に接触することになる。
、上記二対の対向する内周側面３の中、一対にのみその
コーナから内側方向に所定幅を穿設して深さ方向に延び
た溝（切欠部）７を形成しである。その結果、上記溝７
においてはペレット６の周端辺が接触しないことになる
。すなわち、ペレット６の四周端辺の中、図中左右に位
置する一対の周端辺のみがその全長にわたってコレット
１の内周側面３ａに接触するが、他の一対である上下に
位置する周端辺１３ａはその両端部に位置する上記溝７
を除いた該周端辺１３ａより短い内周側面３ｂと部分的
に接触することになる。
本実施例のコレット１は、第２図にその一部を示すよう
なペレット取付装置に適用されるものである。上記ペレ
ット取付装置は、架台８にアーム駆動部９が固定されて
いるものである。上記アーム駆動部９にはアーム１０が
連結されており、本実施例のコレット１は咳アーム１０
の先端にある保持部１０ａで挟持・固定されている。上
記コレット１の下方にはフレームフィーダ１１が位置し
ており、該フレームフィーダ１１にはリードフレーム１
２が載置されている。そして、上記リードフレーム１２
とコレット１との間にあるのはペレット６である。
なペレット取付装置に適用されるものである。上記ペレ
ット取付装置は、架台８にアーム駆動部９が固定されて
いるものである。上記アーム駆動部９にはアーム１０が
連結されており、本実施例のコレット１は咳アーム１０
の先端にある保持部１０ａで挟持・固定されている。上
記コレット１の下方にはフレームフィーダ１１が位置し
ており、該フレームフィーダ１１にはリードフレーム１
２が載置されている。そして、上記リードフレーム１２
とコレット１との間にあるのはペレット６である。
次に、本実施例の作用について説明する。
まず、第２図のように本実施例のコレット１を保持部１
０ａで挟持・固定して駆動可能な状態にする。その後、
第１図（ａ）に示すようにペレット６を吸引・拘持する
。次いで、第２図に示すようにリードフレーム１２のペ
レット取付部（図示せず）に上記ペレット６の接合面６
ａをその間に接合材（図示せず）を介在させて接触させ
る。ペレット６の接合面６ａを上記ペレット取付部の表
面（被接合面）に押し付けながら、コレット１を第２図
の矢印方向に振動させてペレット６のスクラブを行う。
０ａで挟持・固定して駆動可能な状態にする。その後、
第１図（ａ）に示すようにペレット６を吸引・拘持する
。次いで、第２図に示すようにリードフレーム１２のペ
レット取付部（図示せず）に上記ペレット６の接合面６
ａをその間に接合材（図示せず）を介在させて接触させ
る。ペレット６の接合面６ａを上記ペレット取付部の表
面（被接合面）に押し付けながら、コレット１を第２図
の矢印方向に振動させてペレット６のスクラブを行う。
このスクラブの方向は、第１図ら）に矢印で示す方向で
ある。すなわち、上記スクラブは、コレット１の内周側
面３ａにその全長が接触している、対向する一対の周端
辺１３ａに対して垂直な方向に行われる。このスクラブ
を経てペレット６の取付が達成されるものである。
ある。すなわち、上記スクラブは、コレット１の内周側
面３ａにその全長が接触している、対向する一対の周端
辺１３ａに対して垂直な方向に行われる。このスクラブ
を経てペレット６の取付が達成されるものである。
このように、本実施例によれば以下の効果を得ることが
できる。
できる。
（１）、略正方形の開口端から、その各対向面が深さ方
向に互いに接近する形状の凹部２が形成され、その凹部
２にある吸引孔５で正方形状のペレット６の一主面を吸
引し、該主面側の四周端辺を二対の対向面からなる上記
凹部２の内周側面３に接触させて上記ペレット６の拘持
を行うコレット１について、上記ペレットの四周端辺と
接触する上記内周側面３の中、対向する一対の内周側面
３のコーナ部に溝７を設けることにより、コレット１で
上記ペレット６の一主面を吸引・拘持してその接合面６
ａをペレット取付部に接触させ、スクラブして接合する
ために、その接触部の長さが、そこに接触するベレット
６０周端辺１３の長さに一致する上記対向する内周側面
３ａ側の開口端辺と直交する方向にスクラブする場合、
スクラブ時にベレット取付部の被接合面から上記ベレッ
ト６の周端部に作用する応力をその周端辺１３の全長に
わたって該ベレット６を支持、固定して吸収させること
ができるので、該内周側面３ａに接触した位置のベレッ
ト部に応力が局部的に集中することに起因してペレット
６に欠けや亀裂が生じることを有効に防止することがで
きる。
向に互いに接近する形状の凹部２が形成され、その凹部
２にある吸引孔５で正方形状のペレット６の一主面を吸
引し、該主面側の四周端辺を二対の対向面からなる上記
凹部２の内周側面３に接触させて上記ペレット６の拘持
を行うコレット１について、上記ペレットの四周端辺と
接触する上記内周側面３の中、対向する一対の内周側面
３のコーナ部に溝７を設けることにより、コレット１で
上記ペレット６の一主面を吸引・拘持してその接合面６
ａをペレット取付部に接触させ、スクラブして接合する
ために、その接触部の長さが、そこに接触するベレット
６０周端辺１３の長さに一致する上記対向する内周側面
３ａ側の開口端辺と直交する方向にスクラブする場合、
スクラブ時にベレット取付部の被接合面から上記ベレッ
ト６の周端部に作用する応力をその周端辺１３の全長に
わたって該ベレット６を支持、固定して吸収させること
ができるので、該内周側面３ａに接触した位置のベレッ
ト部に応力が局部的に集中することに起因してペレット
６に欠けや亀裂が生じることを有効に防止することがで
きる。
（２）、コレット１を上記（１）に示した構造にするこ
とにより、該コレット１でペレット６をその一主面側を
吸引・拘持する際、他の一組の内周側面３ｂでは上記ベ
レットのコーナ先端が該内周側面３ｂと点接触すること
を避けることができるので、該点接触に起因する該試料
の欠けや亀裂の発生をも有効に防止することができる。
とにより、該コレット１でペレット６をその一主面側を
吸引・拘持する際、他の一組の内周側面３ｂでは上記ベ
レットのコーナ先端が該内周側面３ｂと点接触すること
を避けることができるので、該点接触に起因する該試料
の欠けや亀裂の発生をも有効に防止することができる。
（３）、上記（１）および（２）により、ベレット６を
拘持する時点およびスクラブ時の何れにおいても該ペレ
ット６に欠けや亀裂が生じることを防止できるので、半
導体装置の歩留向上を達成することができる。
拘持する時点およびスクラブ時の何れにおいても該ペレ
ット６に欠けや亀裂が生じることを防止できるので、半
導体装置の歩留向上を達成することができる。
（４）、上記（１）のように、コレット１の内周側面３
を穿設して溝７からなる切欠部を形成することにより、
該ペレットの外周壁を連続した構造にできるので、スリ
ット形状の切欠部にする場合に比してコレット１自体の
強度を向上できる。
を穿設して溝７からなる切欠部を形成することにより、
該ペレットの外周壁を連続した構造にできるので、スリ
ット形状の切欠部にする場合に比してコレット１自体の
強度を向上できる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。
たとえば、コレット１の開口端の基本形状が正方形であ
るものについて説明したが、これに限るものでなく上記
開口端の形状は、拘持・取付を行う対象であるペレット
６の形状にしたがい種々変化するものであることはいう
までのない。ベレットが矩形のものであれば、必然的に
その開口端の基本形状も同形状の矩形からなるコレット
が用いられることになる。
るものについて説明したが、これに限るものでなく上記
開口端の形状は、拘持・取付を行う対象であるペレット
６の形状にしたがい種々変化するものであることはいう
までのない。ベレットが矩形のものであれば、必然的に
その開口端の基本形状も同形状の矩形からなるコレット
が用いられることになる。
また、コレット１自体の形状、その内周側面３に形成す
る溝７の形状等も前記実施例に示したものに限らないこ
とはいうまでもない。と（に、実施例では一対の内周側
面３ａにおける接触部の長さとベレット６の周端辺１３
の長さとが一致する場合についてのみ説明したが、これ
に限るものでなく、接触部の長さの方がペレット６の周
端辺１３の長さより長い場合であってもよい。
る溝７の形状等も前記実施例に示したものに限らないこ
とはいうまでもない。と（に、実施例では一対の内周側
面３ａにおける接触部の長さとベレット６の周端辺１３
の長さとが一致する場合についてのみ説明したが、これ
に限るものでなく、接触部の長さの方がペレット６の周
端辺１３の長さより長い場合であってもよい。
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体ペレ７）の取
付に使用されるコレットに適用した場合について説明し
たが、これに限定されるものではなく、たとえば、四角
形状の試料であれば如何なる試料の取付に適用しても有
効な技術である。
をその背景となった利用分野である半導体ペレ７）の取
付に使用されるコレットに適用した場合について説明し
たが、これに限定されるものではなく、たとえば、四角
形状の試料であれば如何なる試料の取付に適用しても有
効な技術である。
本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。
て得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである
。
すなわち、四角形の開口端から、その各対向面が深さ方
向に互いに接近する形状の凹部が形成され、その凹部に
ある吸引口で四角形試料の一主面を吸引し、該主面側の
四周端辺を二対の対向面からなる上記凹部の内周側面に
接触させて上記四角形試料の拘持を行う取付治具につい
て、上記試料の四周端辺と接触する上記内周側面の中、
対向する一組の内周側面における接触部の長さを、該内
周側面に接触する周端辺の長さ以上にし、他の一組の対
向する内周側面における接触部の長さの両端を、核内周
側面に接触する周端辺の両端より内側に位置させること
により、取付治具で上記試料を吸引・拘持してその被吸
引側の主面を被接合面に接触させ、その状態でスクラブ
して接合するために、その接触部の長さが、そこに接触
する周端辺の長さ以上である上記対向する内周側面側の
開口端辺と直交する方向にスクラブする場合、スクラブ
時に被接合面から上記試料端に加わる応力をその周端辺
の全長にわたって該試料を支持、固定して吸収させるこ
とができるので、該内周側面に接触した位置の試料部に
応力が局部的に集中することを有効に防止できると同時
に、他の一組の内周側面では、試料の拘持時にそのコー
ナ先端が上記内周側面に接触することを避けることがで
きるので、該接触に起因する該試料の欠けや亀裂の発生
を有効に防止することができるものである。したがって
、上記試料の拘持時および接合時の何れの段階にふいて
も、該試料に欠けや亀裂が生じることを有効に防止する
ことができるものである。
向に互いに接近する形状の凹部が形成され、その凹部に
ある吸引口で四角形試料の一主面を吸引し、該主面側の
四周端辺を二対の対向面からなる上記凹部の内周側面に
接触させて上記四角形試料の拘持を行う取付治具につい
て、上記試料の四周端辺と接触する上記内周側面の中、
対向する一組の内周側面における接触部の長さを、該内
周側面に接触する周端辺の長さ以上にし、他の一組の対
向する内周側面における接触部の長さの両端を、核内周
側面に接触する周端辺の両端より内側に位置させること
により、取付治具で上記試料を吸引・拘持してその被吸
引側の主面を被接合面に接触させ、その状態でスクラブ
して接合するために、その接触部の長さが、そこに接触
する周端辺の長さ以上である上記対向する内周側面側の
開口端辺と直交する方向にスクラブする場合、スクラブ
時に被接合面から上記試料端に加わる応力をその周端辺
の全長にわたって該試料を支持、固定して吸収させるこ
とができるので、該内周側面に接触した位置の試料部に
応力が局部的に集中することを有効に防止できると同時
に、他の一組の内周側面では、試料の拘持時にそのコー
ナ先端が上記内周側面に接触することを避けることがで
きるので、該接触に起因する該試料の欠けや亀裂の発生
を有効に防止することができるものである。したがって
、上記試料の拘持時および接合時の何れの段階にふいて
も、該試料に欠けや亀裂が生じることを有効に防止する
ことができるものである。
第１図（ａ）は本発明による一実施例であるコレットを
示す、同図（ｂ）におけるＩＡ−ＩＡ断面図、第１図ら
）は上記コレットの底面図、 第２図は本実施例のコレットが適用されるベレット取付
装置の一部を示す概略説明図である。 １・・・コレット、１ａ・・・下端、２・・・凹部、３
．３ａ、３ｂ・・・内周側面、４・・・上底部、５，５
ａ・・・吸引孔、６・・・ペレット、６ａ・・・接合面
、７・・・溝、８・・・架台、９・・・アーム駆動部、
１０・・・アーム、１０ａ・・・（ｌｅＢ、１１・・・
フレームフィーダ、１２・・・リードフレーム、１３．
１３ａ・・・周端辺。
示す、同図（ｂ）におけるＩＡ−ＩＡ断面図、第１図ら
）は上記コレットの底面図、 第２図は本実施例のコレットが適用されるベレット取付
装置の一部を示す概略説明図である。 １・・・コレット、１ａ・・・下端、２・・・凹部、３
．３ａ、３ｂ・・・内周側面、４・・・上底部、５，５
ａ・・・吸引孔、６・・・ペレット、６ａ・・・接合面
、７・・・溝、８・・・架台、９・・・アーム駆動部、
１０・・・アーム、１０ａ・・・（ｌｅＢ、１１・・・
フレームフィーダ、１２・・・リードフレーム、１３．
１３ａ・・・周端辺。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、四角形の開口端から、その各対向面が深さ方向に互
いに接近する形状の凹部が形成され、その凹部にある吸
引孔で四角形試料の一主面を吸引し、該主面側の四周端
辺を二対の対向面からなる上記凹部の内周側面に接触さ
せて上記四角形試料の拘持を行う取付治具であって、上
記試料の四周端辺と接触する上記内周側面の中、対向す
る一対の内周側面の接触部の長さが、該内周側面に接触
する試料の周端辺の長さ以上であり、他の一対の対向す
る内周側面の接触部の長さの両端が、該内周側面に接触
する周端辺の両端より内側に位置されてなることを特徴
とする取付治具。 ２、上記内周側面の中、一組の対向する内周側面のコー
ナ部にのみ切欠部が設けられていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の取付治具。 ３、上記取付治具が、半導体ペレット取付装置に適用さ
れるコレットであることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の取付治具。 ４、上記開口端が方形であることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の取付治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62060957A JPS63228637A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 取付治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62060957A JPS63228637A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 取付治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63228637A true JPS63228637A (ja) | 1988-09-22 |
Family
ID=13157387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62060957A Pending JPS63228637A (ja) | 1987-03-18 | 1987-03-18 | 取付治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63228637A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06275664A (ja) * | 1993-03-22 | 1994-09-30 | Rohm Co Ltd | 半導体チップピックアップ装置 |
| CN100349253C (zh) * | 2001-09-27 | 2007-11-14 | Lpe公司 | 传送晶片的工具和外延生长台 |
| CN105870047A (zh) * | 2016-06-01 | 2016-08-17 | 爱普科斯科技（无锡）有限公司 | 一种芯片拾取装置 |
-
1987
- 1987-03-18 JP JP62060957A patent/JPS63228637A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06275664A (ja) * | 1993-03-22 | 1994-09-30 | Rohm Co Ltd | 半導体チップピックアップ装置 |
| CN100349253C (zh) * | 2001-09-27 | 2007-11-14 | Lpe公司 | 传送晶片的工具和外延生长台 |
| CN105870047A (zh) * | 2016-06-01 | 2016-08-17 | 爱普科斯科技（无锡）有限公司 | 一种芯片拾取装置 |
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