JP3796943B2 - ワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フレキシブル基板上に搭載されるチップなどをワイヤボンディングするためのワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、コンタクトレスＩＣカードなどの基板は、薄さや量産性などが考慮されることにより、ＰＥＴなどの材質からなるフレキシブル基板が用いられている。このフレキシブル基板上に、制御用のマイクロコンピュータなどがＩＣとして形成されたＳｉチップ（ＩＣチップ）が搭載された後に、Ｓｉチップ上のボンディングパッドとフレキシブル基板上の配線パターンとを電気的に接続する必要がある。
【０００３】
そのために、例えばフリップチップ接続を行う場合もあるが、フリップチップ接続では、ＩＣの仕様が変更された場合などの対応を十分に行うことができない場合がある。そこで、この様な仕様変更にも柔軟に対応できるように、Ｓｉチップとフレキシブル基板との電気的接続を、超音波を用いたワイヤボンディングにより対応することが行われている。
【０００４】
ワイヤボンディングを行う際には、例えば、図８に示すように、ステージ１上に載せた基板２の端部を押さえ治具３により押さえ付けた状態で行うが、基板２が軟質なフレキシブル基板の場合は、端部を押さえ付けても、ボンディング時には、ボンディング点におけるボンディングウエッジ及びワイヤの振動によって端部以外の部分が動くため、ワイヤが剥がれたり、基板２上に搭載されたＳｉチップ４が割れるなどの不良が発生する場合がある。
【０００５】
この場合、フレキシブル基板２とステージ１との間に多孔質焼結体の治具を介挿してステージ１側から真空吸着することにより、フレキシブル基板２を吸着固定するものもあるが、この方式では、硬質な焼結体と軟質なフレキシブル基板２との間が十分密着せず、ボンディングウエッジの振動がステージ１に伝播して、やはりチップ割れなどの不良が発生するという問題があった。
【０００６】
このように、ボンディングウエッジの振動がステージ１に伝わるのを遮断するため、図９に示すように、フレキシブル基板２とステージ１との間に振動吸収材５を介挿して、ステージ１側からフレキシブル基板２を真空吸着することにより、超音波エネルギーによる振動を吸収するものがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この方式でも、吸引孔の直上に位置するフレキシブル基板２の部分は比較的良好に吸着固定できるが、やはり、軟質なフレキシブル基板２の他の部分は吸着固定が不十分になりがちであり、上記課題を十分に解決し得るものとは言い難かった。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、フレキシブル基板を、超音波ボンディングによる振動の影響を受けることがないように、ステージ上に確実に吸着固定した状態でワイヤボンディングを行うことができるワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のワイヤボンディング装置または請求項３記載のワイヤボンディング方法によれば、ＩＣチップが搭載されたフレキシブル基板を、真空吸着用の吸引孔に繋がる吸引溝がフレキシブル基板に接する面側で且つ少なくとも前記フレキシブル基板においてボンディング手段によりワイヤボンディングが行われる部位の直下に形成された振動吸収材を介してステージ上に真空吸着した状態で、超音波ボンディングによりワイヤボンディングする。
【００１０】
この場合、フレキシブル基板は、主にボンディング手段によりワイヤボンディングが行われる部位が、振動吸収材に設けられた吸引溝によってステージ上に吸着固定されるので、超音波ボンディングによる振動がフレキシブル基板に加わっても、その振動は振動吸収材により十分に吸収される。従って、フレキシブル基板上の配線パターンとＩＣチップ上のボンディングパッドとを安定した状態で確実にワイヤボンディングすることができる。
【００１１】
そして、吸引溝を、フレキシブル基板の周縁部に対応する部位にも合わせて形成するので、フレキシブル基板の全体を良好に吸着固定することができる。
【００１２】
更に、吸引溝を、フレキシブル基板において、ボンディング手段によりワイヤボンディングが行われる部位の直下及びその周辺部分に比較的高密度に形成し、具体的には、吸引溝を格子状に形成する（請求項２，４）ので、超音波ボンディングによる振動が直接加わる部位に対する真空吸着をより確実に行うことによって、フレキシブル基板の吸着固定の効果を高めることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
（第１実施例）
以下、本発明の第１実施例について図１乃至図６を参照して説明する。図１は、ワイヤボンディング装置１１の要部の構成を示す斜視図である。部分的に示すステージ１２は、上面がフレキシブル基板１３の外形寸法よりもやや大となる矩形をなしており、その中央部には、真空ポンプなどからなる真空吸引装置（吸引手段）１４によってフレキシブル基板１３を吸引するための吸引孔１２ａが設けられている。
【００１４】
フレキシブル基板１３は、例えばコンタクトレスＩＣカードの内部に収納されるものであり、板厚が５０〜５００μｍ程度のＰＥＴやガラスエポキシなどの軟質な樹脂材料で構成されている。その表面側には、配線パターン１３ａ（図３参照）が銅箔などによって形成されていると共に、ＩＣカードとしての機能をなすためのマイクロコンピュータなどがワンチップＩＣとして形成された例えば２つのＩＣチップ１５が、接着されて搭載されている。
【００１５】
そして、フレキシブル基板１３とステージ１２との間には、振動吸収材１６が介挿されている。振動吸収材１６は、例えば、厚さ１．３ｍｍ程度のクロロプレンなどの柔軟性を有する材料で構成されており、その外形寸法は、ステージ１２と同様に、フレキシブル基板１３の外形寸法よりもやや大となる矩形をなしている。振動吸収材１６の中央部には、真空吸引用の吸引孔１６ａがステージ１２の吸引孔１２ａと一致するように形成されている。
【００１６】
振動吸収材１６がフレキシブル基板１３と接する側の面には、吸引孔１６ａに繋がるようにして吸引溝１７が形成されている。吸引溝１７は、図２に示すように、フレキシブル基板１３の周縁部に合わせて形成された矩形の外枠溝１７ａと、その外枠溝１７ａの上辺及び下辺と吸引孔１６ａとを接続する縦溝１７ｂとを有している。
【００１７】
また、図２に円で囲んで示すように、振動吸収材１６における図２中右下方は、フレキシブル基板１３上においてＩＣチップ１５に対してワイヤボンディングが行われる部位であり、その部位に対応するようにして、外枠溝１７ａの右辺と縦溝１７ｂとを接続する多数の横溝１７ｃが形成されている。その横溝１７ｃの内、図２中最上部に形成されているものと外枠溝１７ａの上辺とを接続するように、縦溝１７ｄが形成されている。縦溝１７ｄの途中部位には、横溝１７ｃにおける吸着効果を高めるために、円形の凹部１７ｅが形成されている。
【００１８】
ここで、吸引溝１７の寸法は、例えば、ＩＣチップ１５の一辺が２．５ｍｍ以上である場合、横溝１７ｃを０．２〜０．５ｍｍ程度、その他の溝は０．５〜１．０ｍｍ程度とし、溝深さは何れも０．５ｍｍ程度である。また、横溝１７ｃのピッチ間隔は、０．８〜１．２ｍｍ程度である。尚、凹部１７ｅの深さは、１ｍｍ程度である。また、図１におけるフレキシブル基板１３や振動吸収材１６の厚さ寸法は、図示の関係上、実際の比率とは異なっている。
【００１９】
次に、本実施例の作用について図３乃至図６をも参照して説明する。以上のように、フレキシブル基板１３とステージ１２との間に振動吸収材１６を介挿した状態で、真空吸引装置１４によってフレキシブル基板１３を真空吸引してステージ１２上に固定する。
【００２０】
そして、図３に模式的な断面図を示すように、ボンディング装置の一部であるワイヤクランプ（ボンディング手段）１８及びボンディングウエッジ（ボンディング手段，以下、ウエッジと称す）１９によって、フレキシブル基板１３上に搭載されているＩＣチップ１５上のボンディングパッド１５ａと、フレキシブル基板１３上に形成されている配線パターン１３ａとの間を例えばアルミニュウムからなり径が４０μｍ程度のワイヤ２０によってボンディングする。尚、ウエッジ１９の振動数は、１００ＫＨｚ程度である。
【００２１】
この場合、振動吸収材１６の吸収溝１７が真空状態となることにより、フレキシブル基板１３は、ステージ１２上に確実に吸着固定され、また、ワイヤボンディング時に生ずる振動は、柔軟性を有する振動吸収材１６によって吸収される。
【００２２】
ここで、図４は、吸引溝の形成パターンによる振動吸収効果の違いを、振動吸収材１６と比較するために形成した振動吸収材２１の平面図である。振動吸収材２１の吸引溝２２は、溝幅が２〜３ｍｍであり、ＩＣチップに対してワイヤボンディングが行われる部分（ボンディング部）２か所の内、一方はボンディング部の周囲に（Ａ）形成し、他方はボンディング部の周囲及びボンディング部の直下に（Ｂ）形成したものである。
【００２３】
図５及び図６は、本発明の発明者らが、振動吸収材１６と２１とを用いて実際にワイヤボンディングを行った場合において、ボンディングツールであるウエッジ１９に発生する振動を計測したものである。横軸は時間であり、発振時間とは、１回のワイヤボンディングに要する時間であって３０〜５０ｍｓ程度である。縦軸は、この時ウエッジ１９に発生する振動振幅を、ウエッジ１９を駆動する圧電素子に流れる電流値を計測することにより求めたものである。尚、振動吸収材２１については、ボンディング部の周囲にのみ溝を形成した（Ａ）の部分について測定を行った。
【００２４】
図５に示すように、振動吸収材１６を用いた場合におけるウエッジ１９の振動振幅は、ボンディングの開始から時間の経過と共にスムーズに低下して、ワイヤ２０と例えば配線パターン１３ａとの接合が良好に進行している。これに対して、図６に示すように、振動吸収材２１を用いた場合は、振動が殆ど収束することなく上記接合が良好に行われているとは言い難い。この両者の比較結果から、振動吸収材１６に形成した吸引溝１７ｃによって、フレキシブル基板１３の吸着効果が確実に向上していることが明らかである。
【００２５】
以上のように本実施例によれば、ステージ１２とＩＣチップ１５が搭載されたフレキシブル基板１３との間に、真空吸着用の吸引孔１６ａ及びその吸引孔１６ａに繋がる吸引溝１７を形成した振動吸収材１６を介し、フレキシブル基板１３を真空吸着した状態で超音波ボンディングによりワイヤボンディングを行うので、フレキシブル基板１３を、振動吸収材１６に設けられた吸引溝１７によってステージ１２上に吸着固定することができる。
【００２６】
従って、超音波ボンディングによる振動がフレキシブル基板に加わっても、その振動は振動吸収材１６により十分に吸収されるので、ワイヤ剥がれやチップ割れなどを生ずることなく、フレキシブル基板１３上の配線パターン１３ａとＩＣチップ１５上のボンディングパッド１５ａとを安定した状態で確実にワイヤボンディングすることができる。
【００２７】
また、吸引溝１７を、フレキシブル基板１３の周縁部に合わせた外枠溝１７ａとして形成すると共に、フレキシブル基板１３においてウエッジ１９によりワイヤボンディングが行われる部位の直下及びその周辺部分に比較的高密度に横溝１７ｃとして形成したので、フレキシブル基板１３全体を良好に吸着固定することができ、また、超音波ボンディングによる振動が直接加わる部位に対する真空吸着をより確実に行うことによって、フレキシブル基板１３の吸着固定効果を高めることができる。
【００２８】
（第２実施例）
図７は、本発明の第２実施例を示す振動吸収材２３の平面図である。第２実施例の振動吸収材２３は、第１実施例の振動吸収材１６に横溝１７ｃを形成した部分に、それらの横溝１７ｃと垂直に交わる縦溝１７ｆを形成することにより、当該部分を格子状にしたものである。斯様に構成した場合でも、第１実施例と同様に、超音波ボンディングによる振動が直接加わる部位に対する真空吸着をより確実に行うことにより、フレキシブル基板１３の吸着固定効果を高めることができる。
【００２９】
本発明は上記し且つ図面に記載した実施例にのみ限定されるものではなく、次のような変形または拡張が可能である。
ボンディング用のワイヤの材質はアルミニュウムに限らず、金などでも良い。
フレキシブル基板１３においてウエッジ１９によりワイヤボンディングが行われる部位の直下及びその周辺部分に形成する吸収溝は、横溝１７ｃや縦溝１７ｄを多数形成するものに限ることなく、当該部分に１本の溝を一筆書きのようにして比較的高密度に形成しても良い。
【００３０】
また、吸引溝は、例えば、第１実施例の横溝１７ｃのみを設けて外枠溝１７ａは設けずに、振動吸収材１６の周辺部は、例えば図８に示す押さえ治具３により固定しても良い。
フレキシブル基板に搭載されるＩＣチップの数は、１個でも、或いは３個以上であっても良い。
ワイヤボンディング装置は、フレキシブル基板を１枚ずつワイヤボンディングするものに限ることなく、複数のフレキシブル基板を多数枚取りするようにした基板について、１回の吸着固定において複数のフレキシブル基板をワイヤボンディングするものでも良い。その場合、振動吸収材には、それら複数のフレキシブル基板に対応する位置に合わせて吸収溝を形成すれば良い。そして、例えば６枚取りの場合には、１回の吸着固定でフレキシブル基板を２枚ずつボンディングし、て、基板を送りながら連続的にボンディングするものでも良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例におけるワイヤボンディング装置の要部の構成を示す斜視図
【図２】振動吸収材の平面図
【図３】ワイヤボンディングを行う状態を示す模式的な断面図
【図４】吸引溝の形成パターンによる振動吸収効果の違いを比較するために形成した振動吸収材の平面図
【図５】図２に示す振動吸収材を用いてワイヤボンディングを行った場合の、ボンディングウエッジに発生する振動を計測した結果を示す図
【図６】図４に示す振動吸収材を用いてワイヤボンディングを行った場合の図５相当図
【図７】本発明の第２実施例を示す図２相当図
【図８】従来技術（その１）を示す図１相当図
【図９】従来技術（その２）を示す図１相当図
【符号の説明】
１１はワイヤボンディング装置、１２はステージ、１３はフレキシブル基板、１３ａは配線パターン、１４は真空吸引装置（吸引手段）、１５はＩＣチップ、１５ａはボンディングパッド、１６は振動吸収材、１６ａは吸引孔、１７は吸収溝、１７ａは外枠溝、１７ｃは横溝、１７ｆは縦溝、１８はワイヤクランプ（ボンディング手段）、１９はボンディングウエッジ（ボンディング手段）、２０はワイヤ、２３は振動吸収材を示す。
【発明の属する技術分野】
本発明は、フレキシブル基板上に搭載されるチップなどをワイヤボンディングするためのワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、コンタクトレスＩＣカードなどの基板は、薄さや量産性などが考慮されることにより、ＰＥＴなどの材質からなるフレキシブル基板が用いられている。このフレキシブル基板上に、制御用のマイクロコンピュータなどがＩＣとして形成されたＳｉチップ（ＩＣチップ）が搭載された後に、Ｓｉチップ上のボンディングパッドとフレキシブル基板上の配線パターンとを電気的に接続する必要がある。
【０００３】
そのために、例えばフリップチップ接続を行う場合もあるが、フリップチップ接続では、ＩＣの仕様が変更された場合などの対応を十分に行うことができない場合がある。そこで、この様な仕様変更にも柔軟に対応できるように、Ｓｉチップとフレキシブル基板との電気的接続を、超音波を用いたワイヤボンディングにより対応することが行われている。
【０００４】
ワイヤボンディングを行う際には、例えば、図８に示すように、ステージ１上に載せた基板２の端部を押さえ治具３により押さえ付けた状態で行うが、基板２が軟質なフレキシブル基板の場合は、端部を押さえ付けても、ボンディング時には、ボンディング点におけるボンディングウエッジ及びワイヤの振動によって端部以外の部分が動くため、ワイヤが剥がれたり、基板２上に搭載されたＳｉチップ４が割れるなどの不良が発生する場合がある。
【０００５】
この場合、フレキシブル基板２とステージ１との間に多孔質焼結体の治具を介挿してステージ１側から真空吸着することにより、フレキシブル基板２を吸着固定するものもあるが、この方式では、硬質な焼結体と軟質なフレキシブル基板２との間が十分密着せず、ボンディングウエッジの振動がステージ１に伝播して、やはりチップ割れなどの不良が発生するという問題があった。
【０００６】
このように、ボンディングウエッジの振動がステージ１に伝わるのを遮断するため、図９に示すように、フレキシブル基板２とステージ１との間に振動吸収材５を介挿して、ステージ１側からフレキシブル基板２を真空吸着することにより、超音波エネルギーによる振動を吸収するものがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この方式でも、吸引孔の直上に位置するフレキシブル基板２の部分は比較的良好に吸着固定できるが、やはり、軟質なフレキシブル基板２の他の部分は吸着固定が不十分になりがちであり、上記課題を十分に解決し得るものとは言い難かった。
【０００８】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、フレキシブル基板を、超音波ボンディングによる振動の影響を受けることがないように、ステージ上に確実に吸着固定した状態でワイヤボンディングを行うことができるワイヤボンディング装置及びワイヤボンディング方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１記載のワイヤボンディング装置または請求項３記載のワイヤボンディング方法によれば、ＩＣチップが搭載されたフレキシブル基板を、真空吸着用の吸引孔に繋がる吸引溝がフレキシブル基板に接する面側で且つ少なくとも前記フレキシブル基板においてボンディング手段によりワイヤボンディングが行われる部位の直下に形成された振動吸収材を介してステージ上に真空吸着した状態で、超音波ボンディングによりワイヤボンディングする。
【００１０】
この場合、フレキシブル基板は、主にボンディング手段によりワイヤボンディングが行われる部位が、振動吸収材に設けられた吸引溝によってステージ上に吸着固定されるので、超音波ボンディングによる振動がフレキシブル基板に加わっても、その振動は振動吸収材により十分に吸収される。従って、フレキシブル基板上の配線パターンとＩＣチップ上のボンディングパッドとを安定した状態で確実にワイヤボンディングすることができる。
【００１１】
そして、吸引溝を、フレキシブル基板の周縁部に対応する部位にも合わせて形成するので、フレキシブル基板の全体を良好に吸着固定することができる。
【００１２】
更に、吸引溝を、フレキシブル基板において、ボンディング手段によりワイヤボンディングが行われる部位の直下及びその周辺部分に比較的高密度に形成し、具体的には、吸引溝を格子状に形成する（請求項２，４）ので、超音波ボンディングによる振動が直接加わる部位に対する真空吸着をより確実に行うことによって、フレキシブル基板の吸着固定の効果を高めることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】
（第１実施例）
以下、本発明の第１実施例について図１乃至図６を参照して説明する。図１は、ワイヤボンディング装置１１の要部の構成を示す斜視図である。部分的に示すステージ１２は、上面がフレキシブル基板１３の外形寸法よりもやや大となる矩形をなしており、その中央部には、真空ポンプなどからなる真空吸引装置（吸引手段）１４によってフレキシブル基板１３を吸引するための吸引孔１２ａが設けられている。
【００１４】
フレキシブル基板１３は、例えばコンタクトレスＩＣカードの内部に収納されるものであり、板厚が５０〜５００μｍ程度のＰＥＴやガラスエポキシなどの軟質な樹脂材料で構成されている。その表面側には、配線パターン１３ａ（図３参照）が銅箔などによって形成されていると共に、ＩＣカードとしての機能をなすためのマイクロコンピュータなどがワンチップＩＣとして形成された例えば２つのＩＣチップ１５が、接着されて搭載されている。
【００１５】
そして、フレキシブル基板１３とステージ１２との間には、振動吸収材１６が介挿されている。振動吸収材１６は、例えば、厚さ１．３ｍｍ程度のクロロプレンなどの柔軟性を有する材料で構成されており、その外形寸法は、ステージ１２と同様に、フレキシブル基板１３の外形寸法よりもやや大となる矩形をなしている。振動吸収材１６の中央部には、真空吸引用の吸引孔１６ａがステージ１２の吸引孔１２ａと一致するように形成されている。
【００１６】
振動吸収材１６がフレキシブル基板１３と接する側の面には、吸引孔１６ａに繋がるようにして吸引溝１７が形成されている。吸引溝１７は、図２に示すように、フレキシブル基板１３の周縁部に合わせて形成された矩形の外枠溝１７ａと、その外枠溝１７ａの上辺及び下辺と吸引孔１６ａとを接続する縦溝１７ｂとを有している。
【００１７】
また、図２に円で囲んで示すように、振動吸収材１６における図２中右下方は、フレキシブル基板１３上においてＩＣチップ１５に対してワイヤボンディングが行われる部位であり、その部位に対応するようにして、外枠溝１７ａの右辺と縦溝１７ｂとを接続する多数の横溝１７ｃが形成されている。その横溝１７ｃの内、図２中最上部に形成されているものと外枠溝１７ａの上辺とを接続するように、縦溝１７ｄが形成されている。縦溝１７ｄの途中部位には、横溝１７ｃにおける吸着効果を高めるために、円形の凹部１７ｅが形成されている。
【００１８】
ここで、吸引溝１７の寸法は、例えば、ＩＣチップ１５の一辺が２．５ｍｍ以上である場合、横溝１７ｃを０．２〜０．５ｍｍ程度、その他の溝は０．５〜１．０ｍｍ程度とし、溝深さは何れも０．５ｍｍ程度である。また、横溝１７ｃのピッチ間隔は、０．８〜１．２ｍｍ程度である。尚、凹部１７ｅの深さは、１ｍｍ程度である。また、図１におけるフレキシブル基板１３や振動吸収材１６の厚さ寸法は、図示の関係上、実際の比率とは異なっている。
【００１９】
次に、本実施例の作用について図３乃至図６をも参照して説明する。以上のように、フレキシブル基板１３とステージ１２との間に振動吸収材１６を介挿した状態で、真空吸引装置１４によってフレキシブル基板１３を真空吸引してステージ１２上に固定する。
【００２０】
そして、図３に模式的な断面図を示すように、ボンディング装置の一部であるワイヤクランプ（ボンディング手段）１８及びボンディングウエッジ（ボンディング手段，以下、ウエッジと称す）１９によって、フレキシブル基板１３上に搭載されているＩＣチップ１５上のボンディングパッド１５ａと、フレキシブル基板１３上に形成されている配線パターン１３ａとの間を例えばアルミニュウムからなり径が４０μｍ程度のワイヤ２０によってボンディングする。尚、ウエッジ１９の振動数は、１００ＫＨｚ程度である。
【００２１】
この場合、振動吸収材１６の吸収溝１７が真空状態となることにより、フレキシブル基板１３は、ステージ１２上に確実に吸着固定され、また、ワイヤボンディング時に生ずる振動は、柔軟性を有する振動吸収材１６によって吸収される。
【００２２】
ここで、図４は、吸引溝の形成パターンによる振動吸収効果の違いを、振動吸収材１６と比較するために形成した振動吸収材２１の平面図である。振動吸収材２１の吸引溝２２は、溝幅が２〜３ｍｍであり、ＩＣチップに対してワイヤボンディングが行われる部分（ボンディング部）２か所の内、一方はボンディング部の周囲に（Ａ）形成し、他方はボンディング部の周囲及びボンディング部の直下に（Ｂ）形成したものである。
【００２３】
図５及び図６は、本発明の発明者らが、振動吸収材１６と２１とを用いて実際にワイヤボンディングを行った場合において、ボンディングツールであるウエッジ１９に発生する振動を計測したものである。横軸は時間であり、発振時間とは、１回のワイヤボンディングに要する時間であって３０〜５０ｍｓ程度である。縦軸は、この時ウエッジ１９に発生する振動振幅を、ウエッジ１９を駆動する圧電素子に流れる電流値を計測することにより求めたものである。尚、振動吸収材２１については、ボンディング部の周囲にのみ溝を形成した（Ａ）の部分について測定を行った。
【００２４】
図５に示すように、振動吸収材１６を用いた場合におけるウエッジ１９の振動振幅は、ボンディングの開始から時間の経過と共にスムーズに低下して、ワイヤ２０と例えば配線パターン１３ａとの接合が良好に進行している。これに対して、図６に示すように、振動吸収材２１を用いた場合は、振動が殆ど収束することなく上記接合が良好に行われているとは言い難い。この両者の比較結果から、振動吸収材１６に形成した吸引溝１７ｃによって、フレキシブル基板１３の吸着効果が確実に向上していることが明らかである。
【００２５】
以上のように本実施例によれば、ステージ１２とＩＣチップ１５が搭載されたフレキシブル基板１３との間に、真空吸着用の吸引孔１６ａ及びその吸引孔１６ａに繋がる吸引溝１７を形成した振動吸収材１６を介し、フレキシブル基板１３を真空吸着した状態で超音波ボンディングによりワイヤボンディングを行うので、フレキシブル基板１３を、振動吸収材１６に設けられた吸引溝１７によってステージ１２上に吸着固定することができる。
【００２６】
従って、超音波ボンディングによる振動がフレキシブル基板に加わっても、その振動は振動吸収材１６により十分に吸収されるので、ワイヤ剥がれやチップ割れなどを生ずることなく、フレキシブル基板１３上の配線パターン１３ａとＩＣチップ１５上のボンディングパッド１５ａとを安定した状態で確実にワイヤボンディングすることができる。
【００２７】
また、吸引溝１７を、フレキシブル基板１３の周縁部に合わせた外枠溝１７ａとして形成すると共に、フレキシブル基板１３においてウエッジ１９によりワイヤボンディングが行われる部位の直下及びその周辺部分に比較的高密度に横溝１７ｃとして形成したので、フレキシブル基板１３全体を良好に吸着固定することができ、また、超音波ボンディングによる振動が直接加わる部位に対する真空吸着をより確実に行うことによって、フレキシブル基板１３の吸着固定効果を高めることができる。
【００２８】
（第２実施例）
図７は、本発明の第２実施例を示す振動吸収材２３の平面図である。第２実施例の振動吸収材２３は、第１実施例の振動吸収材１６に横溝１７ｃを形成した部分に、それらの横溝１７ｃと垂直に交わる縦溝１７ｆを形成することにより、当該部分を格子状にしたものである。斯様に構成した場合でも、第１実施例と同様に、超音波ボンディングによる振動が直接加わる部位に対する真空吸着をより確実に行うことにより、フレキシブル基板１３の吸着固定効果を高めることができる。
【００２９】
本発明は上記し且つ図面に記載した実施例にのみ限定されるものではなく、次のような変形または拡張が可能である。
ボンディング用のワイヤの材質はアルミニュウムに限らず、金などでも良い。
フレキシブル基板１３においてウエッジ１９によりワイヤボンディングが行われる部位の直下及びその周辺部分に形成する吸収溝は、横溝１７ｃや縦溝１７ｄを多数形成するものに限ることなく、当該部分に１本の溝を一筆書きのようにして比較的高密度に形成しても良い。
【００３０】
また、吸引溝は、例えば、第１実施例の横溝１７ｃのみを設けて外枠溝１７ａは設けずに、振動吸収材１６の周辺部は、例えば図８に示す押さえ治具３により固定しても良い。
フレキシブル基板に搭載されるＩＣチップの数は、１個でも、或いは３個以上であっても良い。
ワイヤボンディング装置は、フレキシブル基板を１枚ずつワイヤボンディングするものに限ることなく、複数のフレキシブル基板を多数枚取りするようにした基板について、１回の吸着固定において複数のフレキシブル基板をワイヤボンディングするものでも良い。その場合、振動吸収材には、それら複数のフレキシブル基板に対応する位置に合わせて吸収溝を形成すれば良い。そして、例えば６枚取りの場合には、１回の吸着固定でフレキシブル基板を２枚ずつボンディングし、て、基板を送りながら連続的にボンディングするものでも良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例におけるワイヤボンディング装置の要部の構成を示す斜視図
【図２】振動吸収材の平面図
【図３】ワイヤボンディングを行う状態を示す模式的な断面図
【図４】吸引溝の形成パターンによる振動吸収効果の違いを比較するために形成した振動吸収材の平面図
【図５】図２に示す振動吸収材を用いてワイヤボンディングを行った場合の、ボンディングウエッジに発生する振動を計測した結果を示す図
【図６】図４に示す振動吸収材を用いてワイヤボンディングを行った場合の図５相当図
【図７】本発明の第２実施例を示す図２相当図
【図８】従来技術（その１）を示す図１相当図
【図９】従来技術（その２）を示す図１相当図
【符号の説明】
１１はワイヤボンディング装置、１２はステージ、１３はフレキシブル基板、１３ａは配線パターン、１４は真空吸引装置（吸引手段）、１５はＩＣチップ、１５ａはボンディングパッド、１６は振動吸収材、１６ａは吸引孔、１７は吸収溝、１７ａは外枠溝、１７ｃは横溝、１７ｆは縦溝、１８はワイヤクランプ（ボンディング手段）、１９はボンディングウエッジ（ボンディング手段）、２０はワイヤ、２３は振動吸収材を示す。
Claims (4)
- ＩＣチップが搭載されたフレキシブル基板を載置するためのステージと、
このステージと前記フレキシブル基板との間に介挿され、真空吸着用の吸引孔を具備した振動吸収材と、
前記ステージ上に載置された前記フレキシブル基板を、前記振動吸収材の吸引孔を介して真空吸引することにより固定させる吸引手段と、
この吸引手段によって固定された前記フレキシブル基板上の配線パターンと前記ＩＣチップ上のボンディングパッドとを超音波ボンディングによってワイヤボンディングするボンディング手段とを備え、
前記振動吸収材の前記フレキシブル基板に接する面側で且つ少なくとも前記フレキシブル基板において前記ボンディング手段によりワイヤボンディングが行われる部位の直下に、前記吸引孔に繋がる吸引溝を形成し、
前記吸引溝は、前記フレキシブル基板の周縁部に対応する部位にも形成されている共に、前記フレキシブル基板において、前記ボンディング手段によりワイヤボンディングが行われる部位の直下及びその周辺部分に比較的高密度に形成されていることを特徴とするワイヤボンディング装置。 - 前記吸引溝は、前記フレキシブル基板において、前記ボンディング手段によりワイヤボンディングが行われる部位の直下及びその周辺部分に格子状に形成されていることを特徴とする請求項１記載のワイヤボンディング装置。
- ＩＣチップが搭載されたフレキシブル基板をステージ上に真空吸着させた状態で、前記フレキシブル基板上の配線パターンと前記ＩＣチップ上のボンディングパッドとを超音波ボンディングによってワイヤボンディングするワイヤボンディング方法において、
前記ステージと前記フレキシブル基板との間に、前記フレキシブル基板に接する面側で且つ少なくとも前記フレキシブル基板において前記ボンディング手段によりワイヤボンディングが行われる部位の直下に、真空吸着用の吸引孔及びその吸引孔に繋がる吸引溝が形成され、前記吸引溝を、前記フレキシブル基板の周縁部に対応する部位、並びに前記フレキシブル基板において前記ボンディング手段によりワイヤボンディングが行われる部位の直下及びその周辺部分に比較的高密度に形成した振動吸収材を介して、前記フレキシブル基板を真空吸着した状態でワイヤボンディングを行うことを特徴とするワイヤボンディング方法。 - 前記吸引溝は、前記フレキシブル基板において、前記ボンディング手段によりワイヤボンディングが行われる部位の直下及びその周辺部分に格子状に形成されていることを特徴とする請求項３記載のワイヤボンディング方法。
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