JPS63223716A - 光学的結合装置 - Google Patents
光学的結合装置Info
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- JPS63223716A JPS63223716A JP5835687A JP5835687A JPS63223716A JP S63223716 A JPS63223716 A JP S63223716A JP 5835687 A JP5835687 A JP 5835687A JP 5835687 A JP5835687 A JP 5835687A JP S63223716 A JPS63223716 A JP S63223716A
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- light guide
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- optical waveguide
- optical
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- Pending
Links
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Landscapes
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光ファイバと平板光導波路とを一体化した光
学的結合装置に関する。
学的結合装置に関する。
本発明は、光ファイバと平板光導波路とを一体化した光
学的結合装置において、平板光導波路の光導波部分の物
質と光ファイバを平板光導波路基板に固定する物質とが
同一の物質である事によって、光ファイバと平板光導波
路との結合ロスが小さくなり、作製方法が容易となる光
学的結合装置を提供するものである。
学的結合装置において、平板光導波路の光導波部分の物
質と光ファイバを平板光導波路基板に固定する物質とが
同一の物質である事によって、光ファイバと平板光導波
路との結合ロスが小さくなり、作製方法が容易となる光
学的結合装置を提供するものである。
従来、光ファイバと平板光導波路の結合に関しては、平
板光導波路の端面を研磨した後、単に光ファイバを接着
する方法がとられていた。製造は簡単であるが、入出射
ロスが多く、光ファイバと平板光導波路の光軸を合わせ
るのが困難であった。
板光導波路の端面を研磨した後、単に光ファイバを接着
する方法がとられていた。製造は簡単であるが、入出射
ロスが多く、光ファイバと平板光導波路の光軸を合わせ
るのが困難であった。
又、光ファイバと平板光導波路の間にボールレンズを挿
入し、出入射する方法があるが、この方法も出入射ロス
が大きく、光軸あわせが困難であった。そこで、平板光
導波路の端部に■溝を設けそこに光ファイバの端部を接
着する光学的結合装置が考えられている。この場合、光
ファイバを固定する事が、容易になり入出射ロスを低減
することが以前と比較して可能になった。
入し、出入射する方法があるが、この方法も出入射ロス
が大きく、光軸あわせが困難であった。そこで、平板光
導波路の端部に■溝を設けそこに光ファイバの端部を接
着する光学的結合装置が考えられている。この場合、光
ファイバを固定する事が、容易になり入出射ロスを低減
することが以前と比較して可能になった。
しかし、従来の構造の結合装置では、未だ入出射ロスが
大きく、平板光導波路でデバイス、例えばＹ分岐導波路
を形成した場合においても光ファイバからＹ分岐導波路
への入射部分及びＹ分岐導波路から光ファイバへの出射
部分において光パワーのロスが生じてしまい、将来、光
通信などに平板光導波路のデバイスを使用することが不
可能となってしまう。
大きく、平板光導波路でデバイス、例えばＹ分岐導波路
を形成した場合においても光ファイバからＹ分岐導波路
への入射部分及びＹ分岐導波路から光ファイバへの出射
部分において光パワーのロスが生じてしまい、将来、光
通信などに平板光導波路のデバイスを使用することが不
可能となってしまう。
そこで、本発明は従来のこのような欠点を解決するため
に、光ファイバと平板光導波路の光学的結合装置におい
て、光ファイバを平板光導波路に固定する接着物質と平
板光導波路の導波部分の物質を同一物質にすることによ
って、入出射ロスを低減するとともに、製造を簡単にす
ることを目的としている。
に、光ファイバと平板光導波路の光学的結合装置におい
て、光ファイバを平板光導波路に固定する接着物質と平
板光導波路の導波部分の物質を同一物質にすることによ
って、入出射ロスを低減するとともに、製造を簡単にす
ることを目的としている。
上記問題点を解決するための手段として、光ファイバを
平板光導波路に固定する物質と同一の物質で平板光導波
路の光導波部分を作製することである。このようにする
ことによって、光ファイバと平板光導波路の光学的結合
装置において、構造が簡単で作製が容易であり、しかも
入出射ロスの少ない光学的結合装置を提供することにあ
る。
平板光導波路に固定する物質と同一の物質で平板光導波
路の光導波部分を作製することである。このようにする
ことによって、光ファイバと平板光導波路の光学的結合
装置において、構造が簡単で作製が容易であり、しかも
入出射ロスの少ない光学的結合装置を提供することにあ
る。
以下、本発明について実施例に基づいて詳細に説明する
。
。
第１図は、本発明の光学的結合装置における光ファイバ
と平板光導波路の結合部分の拡大図である。第２図は、
本発明の光学的結合装置の全体の斜視図である。第４図
は、本発明の光学的結合装置の製造工程の一例を示した
断面図である。
と平板光導波路の結合部分の拡大図である。第２図は、
本発明の光学的結合装置の全体の斜視図である。第４図
は、本発明の光学的結合装置の製造工程の一例を示した
断面図である。
まず、第４図ｆａ）に示すごとく、（１００）面を主表
面とするＳｉ蟇板ｌを用意する。Ｓ＋基板１の厚さは約
５００μｍ程度である６次に第４図ｉｂｌのようにＳｉ
基板の異方性エツチングを行い、所望パターンの深い溝
をＳｉ基板表面に形成する。第３図は、異方性エツチン
グによって作製した溝の斜視図である０例えばＫＯＨ水
溶液で前述の異方性エツチングを行い、開き角７０．５
３ ″深さは約１００μｍ程度、幅約１４０μｍ程度
の■溝と深さは約７０μｍ程度、輻約８０ＩＩｍ程度の
台形状の溝を連続に形成する０次に第４図（Ｃ１に示す
ようにＳｉ基板を熱酸化することによって、クラッド層
となるＳ＋ｏｘ２を形成する。上記クラフト層の製造方
法はＣＶＤによる被着形成を利用してもよい、ＳｉＯ２
膜の膜厚は２μｍ以上あれば光導波部分からＳｉ基板へ
の光の漏れを防ぐことができるので、５ｔＯｚ［は２ｐ
ｍ以上必要である。
面とするＳｉ蟇板ｌを用意する。Ｓ＋基板１の厚さは約
５００μｍ程度である６次に第４図ｉｂｌのようにＳｉ
基板の異方性エツチングを行い、所望パターンの深い溝
をＳｉ基板表面に形成する。第３図は、異方性エツチン
グによって作製した溝の斜視図である０例えばＫＯＨ水
溶液で前述の異方性エツチングを行い、開き角７０．５
３ ″深さは約１００μｍ程度、幅約１４０μｍ程度
の■溝と深さは約７０μｍ程度、輻約８０ＩＩｍ程度の
台形状の溝を連続に形成する０次に第４図（Ｃ１に示す
ようにＳｉ基板を熱酸化することによって、クラッド層
となるＳ＋ｏｘ２を形成する。上記クラフト層の製造方
法はＣＶＤによる被着形成を利用してもよい、ＳｉＯ２
膜の膜厚は２μｍ以上あれば光導波部分からＳｉ基板へ
の光の漏れを防ぐことができるので、５ｔＯｚ［は２ｐ
ｍ以上必要である。
次の工程第４図ｆｄｌでは、上記３ｉ０ｚ膜の上面にク
ラッド層よりも高屈折率の光導波部分を形成するととも
に、平板光導波路の端部のＶ溝部分に光ファイバの端部
を乗せ、光導波部分の物質と同一の物質を用いて固定す
る０本実施例では、光導波部分の物質として、ゾル−ゲ
ル法を用いたガラスとした。まず、市販されているケイ
酸エチル（Ｓ ｉ （ＯＣｚ Ｈｓ）＜−）とテトラ
エチルゲルマニウム（Ｑｓ （ＱＣ寥Ｈｓ）、）を適当
な割合で混合し、その後、良く混合させた水（ＨっＯ）
・塩酸（Ｈｃｉ）・エタノール（Ｃｍ Ｈｓ ＯＨ）の
溶液を注入し、分散装置で１〜２時間程撹拌を行い十分
加水分解させる。
ラッド層よりも高屈折率の光導波部分を形成するととも
に、平板光導波路の端部のＶ溝部分に光ファイバの端部
を乗せ、光導波部分の物質と同一の物質を用いて固定す
る０本実施例では、光導波部分の物質として、ゾル−ゲ
ル法を用いたガラスとした。まず、市販されているケイ
酸エチル（Ｓ ｉ （ＯＣｚ Ｈｓ）＜−）とテトラ
エチルゲルマニウム（Ｑｓ （ＱＣ寥Ｈｓ）、）を適当
な割合で混合し、その後、良く混合させた水（ＨっＯ）
・塩酸（Ｈｃｉ）・エタノール（Ｃｍ Ｈｓ ＯＨ）の
溶液を注入し、分散装置で１〜２時間程撹拌を行い十分
加水分解させる。
上記、加水分解により得られたゲルを用いて、光導波部
分となる高屈折率ガラスを形成するとともに、平板光導
波路に光ファイバを固定する。平板光導波路の端部に作
製した■溝に、光ファイバの端部を治具等でおさえて■
溝にはめ、その上から加水分解によって得られたゾルを
流し込み、又、平板光導波路の光導波部分を作製するた
め上記ゲルを台形状の溝に流し込む。
分となる高屈折率ガラスを形成するとともに、平板光導
波路に光ファイバを固定する。平板光導波路の端部に作
製した■溝に、光ファイバの端部を治具等でおさえて■
溝にはめ、その上から加水分解によって得られたゾルを
流し込み、又、平板光導波路の光導波部分を作製するた
め上記ゲルを台形状の溝に流し込む。
次に上記、光ファイバと平面光導波路の結合体全体を乾
燥機内で、加熱温度・空気湿度・空気速度を制御しなが
ら、温度６０”Ｃ〜８０°Ｃで１０日間ぐらいゆっくり
と時間をかけて乾燥させることにより、ゾルを高品質な
湿潤ゲルに変化させることができる。その後、上記結合
体を１０００”ｃまでゆっくり加熱し、乾燥・焼結する
ことにより、湿潤ゲルの表面から水分・アルコールを除
去でき、光ファイバを平面光導波路に固定することと平
板光導波路の光導波部分を作製することが同時にできる
。
燥機内で、加熱温度・空気湿度・空気速度を制御しなが
ら、温度６０”Ｃ〜８０°Ｃで１０日間ぐらいゆっくり
と時間をかけて乾燥させることにより、ゾルを高品質な
湿潤ゲルに変化させることができる。その後、上記結合
体を１０００”ｃまでゆっくり加熱し、乾燥・焼結する
ことにより、湿潤ゲルの表面から水分・アルコールを除
去でき、光ファイバを平面光導波路に固定することと平
板光導波路の光導波部分を作製することが同時にできる
。
本実施例においては、物質としてゾル−ゲル法を用いた
ガラスを用いた場合について説明したが、前記物質はこ
れに限定されるものではない０例えば、高分子材料（エ
ポキシ、ポリウレタン）を用いる事もできる。
ガラスを用いた場合について説明したが、前記物質はこ
れに限定されるものではない０例えば、高分子材料（エ
ポキシ、ポリウレタン）を用いる事もできる。
本発明は、光ファイバと平板光導波路との光学的結合装
置において、平板光導波路の光導波部分の物質と光ファ
イバを平板光導波路基板に固定する物質とが同一である
ために、製造が簡単になるとともに、光ファイバと平板
光導波路との接続ロスが減少し、効率よい光学的結合装
置が得られる。
置において、平板光導波路の光導波部分の物質と光ファ
イバを平板光導波路基板に固定する物質とが同一である
ために、製造が簡単になるとともに、光ファイバと平板
光導波路との接続ロスが減少し、効率よい光学的結合装
置が得られる。
第１図は、本発明の光学的結合装置の拡大図、第２図は
、本発明の光学的結合装置全体の斜視図、第３図は、製
造工程中で作製した溝の斜視図、第４図は、本発明の光
学的結合装置の製造工程の一部を示す断面図である。 ■・・・ＳＬ基板 ２・・・Ｓ ｉ Ｏｚ ３・・・光ファイバ 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 本光ｅハの尤偉的に各合装置の砿人図 不１図 本発明の先琴的紡合ｔｔ、を金体の斜視図第２図 １Ｔ賢しに；４ρ伯視図 第３図 本売ｅバの製遺工程口 弔４図
、本発明の光学的結合装置全体の斜視図、第３図は、製
造工程中で作製した溝の斜視図、第４図は、本発明の光
学的結合装置の製造工程の一部を示す断面図である。 ■・・・ＳＬ基板 ２・・・Ｓ ｉ Ｏｚ ３・・・光ファイバ 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 本光ｅハの尤偉的に各合装置の砿人図 不１図 本発明の先琴的紡合ｔｔ、を金体の斜視図第２図 １Ｔ賢しに；４ρ伯視図 第３図 本売ｅバの製遺工程口 弔４図
Claims (2)
- （１）光ファイバと平板光導波路との光学的結合装置に
おいて、平板光導波路の光導波部分の物質と光ファイバ
を平板光導波路基板に固定する物質とが同一である事を
特徴とする光学的結合装置。 - （２）特許請求の範囲第１項において、平板光導波路の
光導波部分の物質と光ファイバを平板光導波路基板に固
定する物質がゾル−ゲル法を用いたガラスである事を特
徴とする光学的結合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5835687A JPS63223716A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 光学的結合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5835687A JPS63223716A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 光学的結合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63223716A true JPS63223716A (ja) | 1988-09-19 |
Family
ID=13082038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5835687A Pending JPS63223716A (ja) | 1987-03-13 | 1987-03-13 | 光学的結合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63223716A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4973133A (en) * | 1988-09-29 | 1990-11-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Arrangement for coupling an optical fiber to a coupling window of a planarly integrated optical component and the method of manufacturing the arrangement |
| DE4446101A1 (de) * | 1994-12-22 | 1996-07-04 | Siemens Ag | Thermo-optischer Schalter mit verringertem Leistungsbedarf |
| JP2005516253A (ja) * | 2002-01-29 | 2005-06-02 | キネティック リミテッド | 光学回路製造方法及び装置 |
-
1987
- 1987-03-13 JP JP5835687A patent/JPS63223716A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4973133A (en) * | 1988-09-29 | 1990-11-27 | Siemens Aktiengesellschaft | Arrangement for coupling an optical fiber to a coupling window of a planarly integrated optical component and the method of manufacturing the arrangement |
| DE4446101A1 (de) * | 1994-12-22 | 1996-07-04 | Siemens Ag | Thermo-optischer Schalter mit verringertem Leistungsbedarf |
| JP2005516253A (ja) * | 2002-01-29 | 2005-06-02 | キネティック リミテッド | 光学回路製造方法及び装置 |
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