JPS63216259A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は走査電子顕微鏡に関し、特に試料よりの検出信
号を微分するための微分回路を備えた走査電子顕微鏡に
関する。

［従来の技術］ 走査電子顕微鏡においては、第３図（ａ）に示すような
通常の試料像を表示した後、検出器よりの信号を微分回
路に導入して微分し、この微分信号を陰極線管に輝度信
号として導入することにより、第３図（１））の口に示
すような輪郭部の強調された試料像を表示することが行
なわれている。

尚、説明を簡単にするため、観察中の試料像が第３図イ
に示すような円形の輪郭を有するものとする。この像の
表示にあたっては、走査電子顕微鏡の走査信号発生回路
より第２図（ａ）に示す水平走査信号が発生し、この走
査信号に同期して陰極線管の水平走査が行なわれ、検出
信号として第２図（Ｃ）に示す信号が得られる。尚、第
２図（ｂ）は水平ブランキング信号を示している。

［発明が解決しようとする問題点１ 前記検出信号は微分回路に供給されて第２図（ｄ）に示
す信号に変換されるが、微分回路の時定数は、低速走査
となる写真撮影時に最適な微分信＠像が得られるように
、比較的大きな値に設定されている。しかしながら、写
真撮影するための視野選択の段階では、肉眼の残像効果
で対応できる程度の速い走査速度で微分像を観察するの
が常である。そのため、前回の水平走査の際に微分回路
のコンデンサに充電された電荷が放電されない内に次の
水平走査が開始されるため、第２図（ｄ）の期間への部
分に示すような信号の尾引きが発生し、陰極線管の画面
には第３図（ｂ）においてハで示すような影が表示され
てしまう。

本発明はこのような従来の欠点を解決し、速い走査速度
で微分信号像を観察する場合に、上述した信号の尾引き
に基づく影が表示されないようにした走査電子顕微鏡を
提供することを目的としている。

［問題点を解決するための手段］ そのため、本発明は試料上において電子線を走査するた
めの手段と、該走査に伴って試料より得られる検出信号
を微分するための微分回路とを備え、該微分回路の出力
信号を前記電子線の走査に周期走査される陰極線管に輝
度信号として導入して試料像の輪郭を強調した像を表示
するようにした走査電子顕微鏡において、前記陰極線管
の水平走査の帰線期間のみ自動的に前記微分回路の時定
数を零にするための回路を備えたことを特徴としている
。

［実施例］ 以下、図面に基づき本発明の実施例を詳述する。

第１図は本発明の一実施例を示すもので、図中１は電子
銃、２は集束レンズ、３は対物レンズ、４は走査用偏向
器、５は試料、６は電子線、７は走査信号発生回路、８
はブランキング信号発生回路、９は二次電子検出器、１
０は増幅器である。

１１は微分回路であり、１１ａ、１１ｂは各々微分回路
１１を構成するコンデンサ′及び抵抗である。

１２はコンデンサ１１ａの充放電を制御するための開閉
スイッチ回路であり、開閉スイッチ回路１２には前記ブ
ランキング信号発生回路８よりのブランキング信号が開
閉を制御する信号として送られている。１３は信号選択
スイッチ、１４は加算回路であり、加算回路１４にはブ
ランキング信号発生回路８の出力信号と信号選択スイッ
チ１３によって選択された信号が送られている。１５は
映像増幅器、１６は陰極線管、１６ｄは陰極線管１６の
偏向器である。

このような構成において、まず最初に信号選択スイッチ
１３をａ端子側に接続し、走査信号発生回路７よりの第
２図（ａ）に示す水平走査信号及び垂直走査信号（図示
せず）を偏向器４及び１６ｄに送り、試料５を二次元的
に走査する。このとき、前記水平走査信号の発生に基づ
いて、ブランキング信号発生回路８より第２図（ｂ）に
示すような水平ブランキング信号が発生し、加算回路１
４に送られる。前記走査に伴って第２図（Ｃ）に示すよ
うな信号が二次電子検出器９より検出されるが、この検
出信号は信号選択スイッチ１３を介して加口回路１４に
送られるため、陰極線管１６には第３図（ａ＞に示すよ
うな像が表示される。

次に、輪郭を強調した像を観察するため、信号選択スイ
ッチ１３をｂｌ子側に接続する。そこで、前回と同様に
試料５と陰極線管１６を周期走査する。この走査によっ
ても検出器９より第２図（Ｃ）に示す信号が検出される
が、この信号は微分回路１１に送られて微分される。と
ころで、前記開閉スイッチ回路１２にはブランキング信
号発生回路８より、第２図（ｂ）に示ず水平ブランキン
グ信号が送られており、開閉スイッチ回路１２は帰線期
間のみ閉状態となる。そのため、陰極線管１６の像表示
期間に微分回路１１のコンデンサ１１ａに充電された電
荷は、帰線期間に速やかに放電される。従つ゛て、微分
回路１１の出力信号は第２図（ｅ）に示すようになり、
第２図（ｄ）の△に示した信号の尾引き部分は消失する
。そのため、陰極！！管１６に表示される輪郭強調惟は
第４図に示すようになり、尾引きによる影の部分が消失
乃至は抑圧された見易い像となる。

上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、変形して
実施することができる。

例えば、上述した実施例においては、水平帰線期間のみ
微分回路の時定数を零にするため、コンデン＋ｊ１１　
ａ＃両端を帰線期間のみショートするようにしたが、抵
抗１１ｂの両端をショートするように構成しても良い。

［発明の効果コ 上述した説明から明らかなように、微分回路の時定数を
写真蹟影に適した比較的大きな値に設定すると共に、比
較的速い走査速度で試料を走査して輪郭像を肉眼観察す
る際に、本発明においては、水平帰線期間のみ自動的に
微分回路の時定数を零にするための回路を備えているた
め、信号の尾引きに基づく影を消失さけた見易い像を表
示することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示すための図、第２図は第
１図に示した実施例装置の動作を説明するための信号図
、第３図は従来の欠点を説明するための院極線管画像図
、第４図は本発明の詳細な説明するための陰極線管画像
図である。 １：電子銃　　　　　２：集束レンズ ３二対物レンズ　　　走査用偏向コイル５：試料　　　
　　　６：電子線 ７：走査信号発生回路 ８ニブランキング信号発生回路 ９：二次電子検出器　１０．１５：増幅器１１：微分回
路　　　１１ａ：コンデンサ１１ｂ：抵抗　　　　１２
：開閉スイッチ回路１３：信号選択スイッチ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 試料上において電子線を走査するための手段と、該走査
   に伴って試料より得られる検出信号を微分するための微
   分回路とを備え、該微分回路の出力信号を前記電子線の
   走査に周期走査される陰極線管に輝度信号として導入し
   て試料像の輪郭を強調した像を表示するようにした走査
   電子顕微鏡において、前記陰極線管の水平走査の帰線期
   間のみ自動的に前記微分回路の時定数を零にするための
   回路を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。